JPH0979630A - クリーンルームシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一方向流を得るため、クリーンルームの天井
全面にフィルタを取り付けなければ、クリーンルーム内
の空気が乱流を生じて撹拌されてしまう。反面、天井全
面にフィルタを取り付けると、建設コストが高くつく。 【解決手段】 クリーンルーム１１の天井面にフィルタ
１３を互いに間隔を隔てて配置する。フィルタ１３の下
流側全面に均一な吹き出し気流が生じるように圧力抵抗
係数の異なる圧力抵抗板１５を設ける。これにより、天
井に取り付けるフィルタの数を低減させても、クリーン
ルーム内で均一な一方向流を得ることができ、建設コス
トも低減させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器、精密機
械、薬品及び食品等の産業分野に使用されるクリーンル
ームシステムに関し、より具体的には、天井チャンバ、
クリーンルーム、リターンチャンバを備え、気流が室内
を一様に一方向に流れる一方向流型クリーンルームシス
テムに関する。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルームは、そこで行われる作業
に対して有害な汚染物を制御することができる室であ
り、生産工場、病院、研究施設などで、汚染が問題にな
る場合に設けられる。汚染物には空気中に浮遊するも
の、室内にある種々のものの表面に付着しているもの、
室内で使用される水、ガス、薬品に含まれているものな
ど雑多である。クリーンルーム内では、空気中の浮遊粉
塵が規定されたレベル以下に管理されていて、必要に応
じて温度、湿度、圧力、静電気、振動などの環境条件も
管理されている。

【０００３】作業の行われるクリティカルエリアに汚染
した空気を流さないためには、クリーンルーム内の気流
制御が重要である。室内空気の流し方には非層流型と層
流型（一方向流型）の二方式がある。

【０００４】一方向流型クリーンルームは、清浄度クラ
スの高いクリーンルームに用いられる方式で、気流が室
内を一様に一方向に流れるようになっていて、室内で発
生した粉塵は拡散せずに室外に流出する。この一方向流
型クリーンルームには一つの壁面から対向する壁面に流
れる水平層流型クリーンルームと天井から床面に流れる
垂直層流型クリーンルーム等がある。

【０００５】従来、垂直層流型クリーンルームは、図２
に示されるように、天井チャンバ１０、クリーンルーム
１１およびリターンチャンバ１２により構成され、クリ
ーンルーム１１の天井全面にはフィルタ１３が設けら
れ、空調系より供給された空気は、天井チャンバ１０へ
供給され、フィルタ１３でろ過された後、清浄空気とし
てクリーンルーム１１内で一方向流を形成し、室内で発
生した汚染物は床面のグレーチング１６を通過してリタ
ーンチャンバ１２へ押し流すことにより、クリーンルー
ム１１内の清浄化を行っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のクリーンルームシステムにあっては、一方向流を
得るため、クリーンルームの天井全面にフィルタを取り
付けなければ、クリーンルーム内の空気が乱流を起こし
て撹拌されてしまう。反面、天井全面にフィルタを取り
付けると、建設コストが高くつくという課題があった。

【０００７】そこで、本発明はかかる従来の課題に鑑み
て、清浄度がそれほど高くなく、一方向流を必要とする
クリーンルームを対象に、天井に取り付けるフィルタの
数を低減させることによりクリーンルームの建設コスト
を低減させるとともに、均一な吹き出し気流が生じるク
リーンルームシステムを供給することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに本発明は、天井チャンバ、クリーンルーム、リター
ンチャンバを備え、気流が室内を一様に一方向に流れる
一方向流型クリーンルームシステムにおいて、天井面に
フィルタを互いに間隔を隔てて配置し、フィルタの下流
側の天井面全面に均一な吹き出し気流が生じるように圧
力抵抗係数の異なる圧力抵抗板を設けることを特徴とす
る。

【０００９】従って、本発明の一方向流型クリーンルー
ムシステムでは、１つのフィルタがカバーできる範囲を
広げることが可能になるので、天井に取り付けるフィル
タの数を低減させても、クリーンルーム内で均一な一方
向流を得ることができ、建設コストも低減させることが
できる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を添付図面
を参照して詳細に説明する。図１は、本発明のクリーン
ルームシステムの一実施例を示す。

【００１１】即ち、本実施例のクリーンルームシステム
は、天井チャンバ１０、クリーンルーム１１およびリタ
ーンチャンバ１２よりなっている。天井チャンバ１０と
クリーンルーム１１の境界の天井面には、複数のフィル
タ１３，１３が互いに間隔を隔てて配置されている。

【００１２】フィルタ１３は、直径１μｍ以下の細いガ
ラス繊維に少量のバインダを加えた紙状の濾材を、濾材
面積を広げるために密に折りたたみ、その間にセパレー
タを入れた構造のフィルタで、粉塵捕集効率が０．３μ
ｍの粉塵に対して９９．９７％以上のＨＥＰＡフィル
タ、または、非常に細い繊維で作られた濾材を用いたフ
ィルタで、粉塵捕集効率が０．１μｍの粉塵に対して９
９．９９９９％程度のＵＬＰＡフィルタからなってい
る。

【００１３】本実施例では、フィルタ１３は、１列おき
に配置され、フィルタ１３とフィルタ１３との間は、パ
ネル１４，１４で覆われている。

【００１４】また、フィルタ１３の下流側の天井全面は
複数の圧力抵抗板１５，１５によって覆われている。

【００１５】供給風量を調整する風量調整手段を備えた
空調系より供給された供給空気は、天井チャンバ１０を
介し、フィルタ１３により浮遊粉塵が除去されて清浄空
気となり、圧力抵抗板１５を通過し、クリーンルーム１
１内に送り込まれる。本発明では、均一な吹き出し気流
を得るために、圧力抵抗板１５に関し、フィルタ１３の
直下の圧力抵抗係数Ｒ１を、フィルタ１３から遠い箇所
の圧力抵抗係数Ｒ２より大きくなるように構成し、圧力
抵抗係数の異なる圧力抵抗板１５としている。本実施例
では例えば圧力抵抗板１５に多数の穴を開け、フィルタ
１３の直下の穴の間隔を大きくし、フィルタ１３から遠
い箇所の穴の間隔を小さくすることにより、異なった圧
力抵抗係数を得ている。また、異なった圧力抵抗係数を
得るために穴の大きさを変えるようにしてもよい。そし
て、圧力抵抗係数Ｒ１およびＲ２を適切に設置すること
により、クリーンルーム内で均一な一方向流を得るよう
になっている。

【００１６】そして、フィルタ１３から吹き出し、クリ
ーンルーム１１内を均一に一方向に流れる気流により、
作業により発生した粉塵などの汚染物は直ちに床面のグ
レーチング１６を通過し、リターンチャンバ１２に吸い
込まれるようになっている。こうして、クリーンルーム
１１の室内の清浄度を高く保つことができる。

【００１７】さらに、供給風量を調整することにより、
具体的には０．３〜０．５ｍ／ｓの気流速度とすること
により、クリーンルーム１２内の適切な室内気流速度を
得ることができる。

【００１８】以上の構成により本実施例のクリーンルー
ムシステムでは、１つのフィルタ１３がカバーできる範
囲を広げることが可能になるので、天井チャンバ１１に
取り付けるフィルタ１３の数を低減させても、クリーン
ルーム１２内で一方向流を得ることができる。さらに、
クリーンルーム１２の建設コストも低減させることがで
きる。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように本発明にあっては、
１つのフィルタがカバーできる範囲を広げることが可能
になり、天井チャンバに取り付けるフィルタの数を低減
させても、クリーンルーム内で均一な一方向流を得るこ
とができる。さらに、クリーンルームの建設コストも低
減させることができるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーンルームシステムの一実施例の
断面図である。

【図２】従来のクリーンルームシステムの一実施例の断
面図である。

【符号の説明】

１０ 天井チャンバ １１ クリーンルーム １２ リターンチャンバ １３ フィルタ １５ 圧力抵抗板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 天井チャンバ、クリーンルーム、リター
   ンチャンバを備え、気流が室内を一様に一方向に流れる
   一方向流型クリーンルームシステムにおいて、天井面に
   フィルタを互いに間隔を隔てて配置し、前記フィルタの
   下流側の天井面全面に均一な吹き出し気流が生じるよう
   に圧力抵抗係数の異なる圧力抵抗板を設けることを特徴
   とするクリーンルームシステム。