JPH0979629A - ファンフィルタユニット - Google Patents
ファンフィルタユニットInfo
- Publication number
- JPH0979629A JPH0979629A JP23514495A JP23514495A JPH0979629A JP H0979629 A JPH0979629 A JP H0979629A JP 23514495 A JP23514495 A JP 23514495A JP 23514495 A JP23514495 A JP 23514495A JP H0979629 A JPH0979629 A JP H0979629A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fan
- chamber
- air
- filter
- filter unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 吹き出し開口部面積とフィルタ面積が略同一
であるため、希望領域が広くなると多数のファンフィル
タユニットを配設しなければならない。また、１つのフ
ァンフィルタユニットを支える天井フレームの間隔はフ
ィルタのサイズに合わせるため、多数のフレームが必要
になり、高コストになる。 【解決手段】 ファンフィルタユニット１０において、
フィルタ１２の下流側にチャンバ１３を連結して設け
る。チャンバ１３の吹き出し開口面をフィルタ１２の吹
き出し開口面より大きな面積に形成する。チャンバ１３
の吹き出し口に均一な吹き出し気流が生じるように圧力
抵抗係数の異なる圧力抵抗板１４を設けることにより、
希望領域内のファンフィルタユニット１０の数を減らす
ことができ、フレーム数を減少させる。
であるため、希望領域が広くなると多数のファンフィル
タユニットを配設しなければならない。また、１つのフ
ァンフィルタユニットを支える天井フレームの間隔はフ
ィルタのサイズに合わせるため、多数のフレームが必要
になり、高コストになる。 【解決手段】 ファンフィルタユニット１０において、
フィルタ１２の下流側にチャンバ１３を連結して設け
る。チャンバ１３の吹き出し開口面をフィルタ１２の吹
き出し開口面より大きな面積に形成する。チャンバ１３
の吹き出し口に均一な吹き出し気流が生じるように圧力
抵抗係数の異なる圧力抵抗板１４を設けることにより、
希望領域内のファンフィルタユニット１０の数を減らす
ことができ、フレーム数を減少させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器、精密機
械、薬品及び食品等の産業分野に使用されるクリーンル
ーム内に配設される送風用のファンおよびフィルタを一
体に備えたファンフィルタユニットに関する。
械、薬品及び食品等の産業分野に使用されるクリーンル
ーム内に配設される送風用のファンおよびフィルタを一
体に備えたファンフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは、そこで行われる作業
に対して有害な汚染物を制御することができる室であ
り、生産工場、病院、研究施設などで、汚染が問題にな
る場合に設けられる。
に対して有害な汚染物を制御することができる室であ
り、生産工場、病院、研究施設などで、汚染が問題にな
る場合に設けられる。
【０００３】従来、クリーンルーム内では、空気中の浮
遊粉塵が規定されたレベル以下に管理されていて、必要
に応じて温度、湿度、圧力、静電気、振動などの環境条
件も管理される。クリーンルームの送風方式には、天井
チャンバ方式とファンフィルタユニット方式がある。フ
ァンフィルタユニット方式においては、クリーンルーム
内の希望領域の天井に必要な数だけのファンフィルタユ
ニットを取り付け、希望領域をパーティションによって
隔成することによりクリーンエリアを形成し、清浄化を
行っている。
遊粉塵が規定されたレベル以下に管理されていて、必要
に応じて温度、湿度、圧力、静電気、振動などの環境条
件も管理される。クリーンルームの送風方式には、天井
チャンバ方式とファンフィルタユニット方式がある。フ
ァンフィルタユニット方式においては、クリーンルーム
内の希望領域の天井に必要な数だけのファンフィルタユ
ニットを取り付け、希望領域をパーティションによって
隔成することによりクリーンエリアを形成し、清浄化を
行っている。
【０００４】このファンフィルタユニットは、図３に示
すように、送風用のファン１と空気フィルタ２を一体的
に内蔵し、天井フレームシステムによって希望領域の天
井面に取り付けられている。空気が送風用のファンによ
り空気フィルタに送られ、空気フィルタによって浮遊粉
塵が除去されて清浄空気となり、クリーンルーム内に送
り込まれる。そして、格子状の床面に吸入させることに
より、作業による発塵は直ちに床面に吸い込まれて、室
内の清浄度を高く保つことができるようになっている。
すように、送風用のファン１と空気フィルタ２を一体的
に内蔵し、天井フレームシステムによって希望領域の天
井面に取り付けられている。空気が送風用のファンによ
り空気フィルタに送られ、空気フィルタによって浮遊粉
塵が除去されて清浄空気となり、クリーンルーム内に送
り込まれる。そして、格子状の床面に吸入させることに
より、作業による発塵は直ちに床面に吸い込まれて、室
内の清浄度を高く保つことができるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のファンフィルタユニットにあっては、図３に示さ
れるように、吹き出し開口面積Ａとフィルタ２の面積Ｂ
が略同一であるため、１つのファンフィルタユニットが
カバーできる範囲はフィルタ面積分に限られてしまう。
したがって、希望領域が広くなると多数のファンフィル
タユニットを配設しなければならないという課題があっ
た。
従来のファンフィルタユニットにあっては、図３に示さ
れるように、吹き出し開口面積Ａとフィルタ２の面積Ｂ
が略同一であるため、１つのファンフィルタユニットが
カバーできる範囲はフィルタ面積分に限られてしまう。
したがって、希望領域が広くなると多数のファンフィル
タユニットを配設しなければならないという課題があっ
た。
【０００６】また、１つのファンフィルタユニットを支
える天井フレームの間隔はフィルタのサイズに合わせる
ため、希望領域が広くなるとファンフィルタユニットの
個数の増加と相俟って多数のフレームが必要になり、高
コストになるという課題があった。
える天井フレームの間隔はフィルタのサイズに合わせる
ため、希望領域が広くなるとファンフィルタユニットの
個数の増加と相俟って多数のフレームが必要になり、高
コストになるという課題があった。
【０００７】そこで、本発明はかかる従来の課題に鑑み
て、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減らす
ことができ、そしてまた１つのファンフィルタユニット
を支える天井フレームの間隔を大きくしてフレーム数を
減少させることができるファンフィルタユニットを提供
することを目的とする。
て、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減らす
ことができ、そしてまた１つのファンフィルタユニット
を支える天井フレームの間隔を大きくしてフレーム数を
減少させることができるファンフィルタユニットを提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに本発明は、送風用のファンおよび空気フィルタを一
体に備えたファンフィルタユニットにおいて、空気フィ
ルタの下流側にチャンバを連結して設けるとともに、チ
ャンバの吹き出し開口面を空気フィルタの吹き出し開口
面より大きな面積に形成することを特徴としている。
めに本発明は、送風用のファンおよび空気フィルタを一
体に備えたファンフィルタユニットにおいて、空気フィ
ルタの下流側にチャンバを連結して設けるとともに、チ
ャンバの吹き出し開口面を空気フィルタの吹き出し開口
面より大きな面積に形成することを特徴としている。
【０００９】また、空気フィルタの下流側に連結して設
けられたチャンバの吹き出し開口面に、これより均一な
吹き出し気流が生じるように、圧力抵抗係数の異なる圧
力抵抗板を設けることを特徴としている。
けられたチャンバの吹き出し開口面に、これより均一な
吹き出し気流が生じるように、圧力抵抗係数の異なる圧
力抵抗板を設けることを特徴としている。
【００１０】従って、本発明のファンフィルタユニット
では、上記のチャンバにより、１つのファンフィルタユ
ニットがカバーできる範囲を広げることが可能になるの
で、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減らす
ことができ、また１つのファンフィルタユニットを支え
る天井フレームの間隔も大きくすることができるのでフ
レーム数も減少し、低コストなクリーンルームを実現す
ることができる。また、抵抗係数の異なる圧力抵抗板を
使用することより希望領域内に均一な吹き出し気流を得
ることができる。
では、上記のチャンバにより、１つのファンフィルタユ
ニットがカバーできる範囲を広げることが可能になるの
で、希望領域内のファンフィルタユニットの数を減らす
ことができ、また１つのファンフィルタユニットを支え
る天井フレームの間隔も大きくすることができるのでフ
レーム数も減少し、低コストなクリーンルームを実現す
ることができる。また、抵抗係数の異なる圧力抵抗板を
使用することより希望領域内に均一な吹き出し気流を得
ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、添付図
面を参照して詳細に説明する。図１および図２は本発明
のファンフィルタユニットの一実施例を示し、図１はそ
の斜視図、図２はその断面図である。
面を参照して詳細に説明する。図１および図２は本発明
のファンフィルタユニットの一実施例を示し、図１はそ
の斜視図、図２はその断面図である。
【００１２】即ち、本実施例のファンフィルタユニット
１０は、送風用のファン１１、空気フィルタ１２および
チャンバ１３とを備えている。送風用のファン１１はシ
ロッコファンで構成されている。空気フィルタ１２は、
直径１μｍ以下の細いガラス繊維に少量のバインダを加
えた紙状の濾材を、濾材面積を広げるために密に折りた
たみ、その間にセパレータを入れた構造のフィルタで、
粉塵捕集効率が０．３μｍの粉塵に対して９９．９７％
以上のＨＥＰＡフィルタ、または非常に細い繊維で作ら
れた濾材を用いたフィルタで、粉塵捕集効率が０．１μ
ｍの粉塵に対して９９．９９９９％程度のＵＬＰＡフィ
ルタからなっている。空気フィルタ１２は、送風用のフ
ァン１１の下方に、空気が漏れのないように取り付けら
れる。さらに、空気フィルタ１２の下方には、チャンバ
１３が連結して配設されている。
１０は、送風用のファン１１、空気フィルタ１２および
チャンバ１３とを備えている。送風用のファン１１はシ
ロッコファンで構成されている。空気フィルタ１２は、
直径１μｍ以下の細いガラス繊維に少量のバインダを加
えた紙状の濾材を、濾材面積を広げるために密に折りた
たみ、その間にセパレータを入れた構造のフィルタで、
粉塵捕集効率が０．３μｍの粉塵に対して９９．９７％
以上のＨＥＰＡフィルタ、または非常に細い繊維で作ら
れた濾材を用いたフィルタで、粉塵捕集効率が０．１μ
ｍの粉塵に対して９９．９９９９％程度のＵＬＰＡフィ
ルタからなっている。空気フィルタ１２は、送風用のフ
ァン１１の下方に、空気が漏れのないように取り付けら
れる。さらに、空気フィルタ１２の下方には、チャンバ
１３が連結して配設されている。
【００１３】チャンバ１３は、空気フィルタ１２と等し
い長さで、その幅は、空気フィルタ１２の幅より広く形
成され、その下面の吹き出し開口面は圧力抵抗板１４に
よって覆われている。そして送風用のファン１１によっ
て送り込まれ、空気フィルタ１２により浮遊粉塵が除去
された清浄空気は、チャンバ１３の吹き出し開口面の圧
力抵抗板１４を通過し、クリーンルーム内に送り込まれ
る。本発明では、均一な吹き出し気流を得るために、送
風用のファン１１の直下の圧力抵抗係数Ｒ１を、チャン
バ１３の幅方向両端部の圧力抵抗係数Ｒ２より大きくな
るように構成し、チャンバ１３の吹き出し開口面の圧力
抵抗係数を異ならせている。本実施例では、例えば圧力
抵抗板１４に多数の穴を開け、ファン１１の直下の穴の
間隔を大きくし、ファン１１から遠いチャンバ１３の幅
方向の両端部付近では穴の間隔を小さくし、異なった圧
力抵抗係数の値を得ている。また、異なる圧力抵抗係数
を得るために穴の大きさを変えることでもよい。
い長さで、その幅は、空気フィルタ１２の幅より広く形
成され、その下面の吹き出し開口面は圧力抵抗板１４に
よって覆われている。そして送風用のファン１１によっ
て送り込まれ、空気フィルタ１２により浮遊粉塵が除去
された清浄空気は、チャンバ１３の吹き出し開口面の圧
力抵抗板１４を通過し、クリーンルーム内に送り込まれ
る。本発明では、均一な吹き出し気流を得るために、送
風用のファン１１の直下の圧力抵抗係数Ｒ１を、チャン
バ１３の幅方向両端部の圧力抵抗係数Ｒ２より大きくな
るように構成し、チャンバ１３の吹き出し開口面の圧力
抵抗係数を異ならせている。本実施例では、例えば圧力
抵抗板１４に多数の穴を開け、ファン１１の直下の穴の
間隔を大きくし、ファン１１から遠いチャンバ１３の幅
方向の両端部付近では穴の間隔を小さくし、異なった圧
力抵抗係数の値を得ている。また、異なる圧力抵抗係数
を得るために穴の大きさを変えることでもよい。
【００１４】以上の構成により本実施例のファンフィル
タユニット１０にあっては、フィルタ１２の面積よりも
広いチャンバ１３の吹き出し開口面を有しているため、
１つのファンフィルタユニット１０がカバーできる範囲
を広げることが可能になるので、希望領域内のファンフ
ィルタユニット１０の数を減らすことができ、また１つ
のファンフィルタユニット１０を支える天井フレームの
間隔も大きくすることができるのでフレーム数も減少
し、低コストなクリーンルームを実現することができ
る。また、抵抗係数の異なる圧力抵抗板１４を設けるこ
とより希望領域内に均一な吹き出し気流を得ることがで
きる。
タユニット１０にあっては、フィルタ１２の面積よりも
広いチャンバ１３の吹き出し開口面を有しているため、
１つのファンフィルタユニット１０がカバーできる範囲
を広げることが可能になるので、希望領域内のファンフ
ィルタユニット１０の数を減らすことができ、また１つ
のファンフィルタユニット１０を支える天井フレームの
間隔も大きくすることができるのでフレーム数も減少
し、低コストなクリーンルームを実現することができ
る。また、抵抗係数の異なる圧力抵抗板１４を設けるこ
とより希望領域内に均一な吹き出し気流を得ることがで
きる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明にあっては、
１つのファンフィルタユニットがカバーできる範囲を広
げることが可能になるので、希望領域内のファンフィル
タユニットの数を減らすことができ、また１つのファン
フィルタユニットを支える天井フレームの間隔も大きく
することができるのでフレーム数も減少し、低コストな
クリーンルームを実現することができる。また、圧力抵
抗係数の異なる圧力抵抗板を使用することより希望領域
内に均一な吹き出し気流を得ることができるという優れ
た効果を奏する。
１つのファンフィルタユニットがカバーできる範囲を広
げることが可能になるので、希望領域内のファンフィル
タユニットの数を減らすことができ、また１つのファン
フィルタユニットを支える天井フレームの間隔も大きく
することができるのでフレーム数も減少し、低コストな
クリーンルームを実現することができる。また、圧力抵
抗係数の異なる圧力抵抗板を使用することより希望領域
内に均一な吹き出し気流を得ることができるという優れ
た効果を奏する。
【図１】本発明のファンフィルタユニットの一実施例の
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明のファンフィルタユニットの一実施例の
断面図である。
断面図である。
【図３】従来のファンフィルタユニットの一実施例の断
面図である。
面図である。
１０ ファンフィルタユニット １１ ファン １２ フィルタ １３ チャンバ １４ 圧力抵抗板
Claims (2)
- 【請求項１】 送風用のファンおよび空気フィルタを一
体に備えたファンフィルタユニットにおいて、空気フィ
ルタの下流側にチャンバを連結して設けるとともに、前
記チャンバの吹き出し開口面を前記空気フィルタの吹き
出し開口面より大きな面積に形成することを特徴とする
ファンフィルタユニット。 - 【請求項２】 前記空気フィルタの下流側に連結して設
けられた前記チャンバの吹き出し開口面に、これより均
一な吹き出し気流が生じるように、圧力抵抗係数の異な
る圧力抵抗板を設けることを特徴とする請求項１記載の
ファンフィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23514495A JPH0979629A (ja) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | ファンフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23514495A JPH0979629A (ja) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | ファンフィルタユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0979629A true JPH0979629A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=16981712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23514495A Pending JPH0979629A (ja) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | ファンフィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0979629A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009121773A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | ファンフィルタユニット |
| JP2010007972A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Kamimura Kogyo:Kk | クリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置 |
-
1995
- 1995-09-13 JP JP23514495A patent/JPH0979629A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009121773A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | ファンフィルタユニット |
| JP2010007972A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Kamimura Kogyo:Kk | クリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置 |
| TWI412711B (zh) * | 2008-06-27 | 2013-10-21 | Kamimura Kougyo Co Ltd | 可供吹出清淨氣體之箱型組合體 |
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