JPH0322547B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は空気中の浮遊物質量が規定されたレベ
ルに管理されたクリーン空間を形成する、通常ク
リーンベンチと称される空気清浄装置に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］ 精密工業製品の例えば組立作業空間は空気中の
浮遊物質量が規定されたレベルに管理された所謂
クリーン空間になつている。このクリーン空間の
清浄度を表わすのにクラス10、クラス100等の用
語が用いられ、例えばクラス100は１立方フイー
トの空気中に0.50μｍ以上の粒子が100個以下存在
する清浄度をいう。一般の部屋はクラス100000程
度の清浄度であると言われている。

またクリーン空間の種類はクリーンルームとク
リーンブースとクリーンベンチとに分けられる。
クリーンブースとは人間が１人入れる程度の部屋
がクリーン空間である場合を言い、クリーンルー
ムとはそれ以上大きい部屋がクリーン空間である
場合を称し、また、クリーンベンチとは作業台上
の組立手元空間程度をクリーン空間とする装置を
称し、この発明はクラス100以下のクリーン空間
を形成するクリーンベンチを対象とする。

クリーン空間のこのような分類基準から明らか
なようにクリーンルーム或いはクリーンブースで
は人が入る空間であるから組立作業空間以外の余
分な空間をも清浄にする必要があることから、設
備費及び維持費が高く、工事期間が長くなる。設
備費を例にすると、クリーンルームでは１m²当り
200万〜300万円であるのに対してクリーンベンチ
では１台当り100万円程度であると言われている。

ところでクラス10程度の高い清浄度を得る手段
として従来は、クリーンルーム内にクリーンベン
チを設置したり、或いは一般の部屋内にクリーン
ブースを置き、そのクリーンブース内にクリーン
ベンチを設置する構成としていた。

しかしこれでは上記のように設備費、維持費が
高く、工期が長くなる欠点があつた。

［発明の目的］ 本発明はクリーンベンチ方式でありながらクリ
ーン空間を２段階に形成して清浄度を段階的に高
めることにより高清浄度のクリーン空間を小形で
且つ廉価に得られる空気清浄装置を提供すること
を目的とする。

［発明の概要］ 本発明による空気清浄装置は外気をブロアによ
り１次ヘパフイルタ（HEPAフイルタ（以下本
書にて同じ））を通過させて１次クリーン空間を
形成し、続いてこの１次クリーン空間の空気をブ
ロアにより更に密度の高い２次ヘパフイルタを通
過させて作業空間用の２次クリーン空間を形成す
るようにしたものであり、クリーンルーム或いは
クリーンブースとの組合せを要せずに高清浄度の
クリーン空間が得られるので、特に大形化を招く
ことがないと共に設備費も廉価になる。

［発明の実施例］ 以下本発明の一実施例について図面を参照しな
がら説明する。図中、１は外筐で、人が入る１次
クリーン空間２とこのクリーン空間２内の作業者
３が手に挿入して組立て作業するデーブル４上の
空間である２次クリーン空間５を形成しており、
１次クリーン空間２は導電性のカーテン６により
外部と区切られ、また１次クリーン空間２と２次
クリーン空間５との間にも作業用の連通代を除き
導電性のカーテン７が設けられている。また外筐
１には第１及び第２のブロアからなるブロアユニ
ツト８と第１及び第２のダクト９，１０を形成し
た二重ダクト１１とが配設され、更に第１のダク
ト９と１次クリーン空間２の入口との間に0.5μｍ
程度の粒子の捕獲を目的とした１次ヘパフイルタ
（通常のクリーンベンチで用いられるものよりも
密度が低い。）１２が設けられ、また第２のダク
ト１０と２次クリーン空間５の入口との間に１次
ヘパフイルタよりも密度が高い、例えば0.1μｍ程
度の粒子の捕獲を目的とした２次ヘパフイルタ１
３が設けられている。

第１のダクト９に通じる第１のブロアによる外
気導入部には１次プレフイルタ１４が設けられ、
第２のブロアにより１次クリーン空間２内の空気
を第２のダクトに導入させる導入口部分には２次
プレフイルタ１５が設けられている。この１次プ
レフイルタ１４は一般のクリーンルームで使用さ
れるものよりも密度の高いものが使用される。
尚、図中実線矢印は外気が１次クリーン空間２に
至るまでの径路、及び点線矢印は１次クリーン空
間２内の空気が２次クリーン空間５に至るまでの
径路を夫々示している。

次に上記構成の作用について説明する。今、ブ
ロアユニツト８の第１及び第２のブロアが駆動さ
れているとすると、清浄度クラス100000〜200000
程度の外気が第１のブロアにより１次プレフイル
タ１４を介して吸入され、これが実線矢印のよう
に第１のダクト９を介して１次ヘパフイルタ１２
に送られこれを通過して１次クリーン空間２に吹
き出され、これを一般のクリーンルーム程度であ
るクラス10000〜20000程度の清浄度にする。

そしてこの１次クリーン空間２内の空気は点線
矢印のようにブロアユニツト８内の第２のブロア
により２次プレフイルタ１５を介して第２のダク
ト１０内に吸入され、ここから２次ヘパフイルタ
１３を介して２次クリーン空間５に吹き出され、
これをクラス10〜100程度の高清浄度にする。

この場合の圧力関係は、１次クリーン空間２内
が外筐１外の気圧より高く、且つ２次クリーン空
間５内が１次クリーン空間２のそれより高くなる
ように設定され、これにより清浄度の低い気体が
逆流入することが防止されている。

以上において、外気が１次プレフイルタ８及び
１次ヘパフイルタ１２を介して１次クリーン空間
２に至るまでの部分が本発明の１次清浄系統に相
当し、そして２次プレフイルタ１５及び２次ヘパ
フイルタ１３を介して２次クリーン空間５に至る
までの部分が２次清浄系統に相当する。

尚、実施態様として、ブロワーユニツト８を下
部に設け第１及び第２のダクト９，１０を二重ダ
クト構造に組合わせこれを背部に配設する構成に
した理由は装置を極力背丈の低い小形ものにしよ
うとするためである。

また、上記実施例では１次及び２次クリーン空
間２，５を垂直層流形に構成しているが、本発明
はこれに限られず、水平層流形或いは垂直及び水
平層流の組合わせ形の何れの構成にしても差支え
ないことは勿論である。

［発明の効果］ 本発明は以上のように外気を１次プレフイルタ
及び１次ヘパフイルタを通過させて１次クリーン
空間を吹き出させ、そしてこの１次クリーン空間
内の空気を２次プレフイルタ及び２次ヘパフイル
タを介して２次クリーン空間に吹き出させて清浄
度を段階的に高める構成とすることによつて高清
浄度を得ているので、従来のようにクリーンルー
ム或いはクリーンブースとの組合わせが不要にな
るので、設備費が廉価になると共に装置の大形化
を招くことがなく、またヘパフイルタを１次と２
次とに分けているので高価な高密度ヘパフイルタ
である２次ヘパフイルタの寿命が長くなり維持費
において経済的に有利になる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示す１部破断の側面
図である。 図中、１は外筐、２は１次クリーン空間、５は
２次クリーン空間、８はブロワーユニツト、１１
は二重ダクト、１２は１次ヘパフイルタ、１３は
２次ヘパフイルタ、１４は１次プレフイルタ、１
５は２次プレフイルタである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 外気をブロアにより１次プレフイルタ及び１
   次ヘパフイルタをこの順に通過させて１次クリー
   ン空間に吹き出せる１次清浄系統と、前記１次ク
   リーン空間の空気をブロアにより２次プレフイル
   タ及び２次ヘパフイルタをこの順に通過させて作
   業部分である２次クリーン空間に吹き出させる２
   次清浄系統とを具備し前記２次ヘパフイルタの密
   度を１次ヘパフイルタのそれよりも高く設定して
   なる空気清浄装置。