JPS61262537A - 空気清浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は空気中の浮遊物質量が規定されたレベルに管理
されたクリーン空間を形成する、通常クリーンベンチと
称される空気清浄装置に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］ 精密工業製品の例えば組立作業空間は空気中の浮遊物質
量が規定されたレベルに管理された所謂クリーン空間に
なっている。このクリーン空間の清浄度を表わすのにク
ラス１０．クラス１００等の用語が用いられ、例えばク
ラス１００は１立方フイートの空気中に０．５μｍ以上
の粒子が１００個以下存在する清浄度をいう。一般の部
屋はクラス１００，０００程度の清浄度であると言われ
ている。

またクリーン空間の種類はクリーンルームとクリーンブ
ースとクリーンベンチとに分けられる。

クリーンブースとは人間が１大入れる程度の部屋。

がクリーン空間である場合を言い、クリーンルームとは
それ以上大きい部屋がクリーン空間である場合を称し、
また、クリーンベンチとは作業台上の組立手元空間程度
をクリーン空間とする装置を称し、この発明はクラス１
００以下のクリーン空間を形成するクリーンベンチを対
象とする。

クリーン空間のこのような分類基準から明らかなように
クリーンルーム或いはクリーンブースでは人が入る空間
であるから組立作業空間以外の余分な空間をも清浄にす
る必要があることから、設備費及び維持費が高く、工事
１１間が長くなる。設置ｌｉ費を例にすると、クリーン
ルームでは１ｍ１当り２００万〜３００万円であるのに
対してクリーンベンチでは１台当り１００万円程度であ
ると言われている。

ところでクラス１０程度の高い清浄度を得る手段として
従来は、クリーンルーム内にクリーンベンチを設置した
り、或いは一般の部屋内にクリーンブースを置き、その
クリーンブース内にクリーンベンチを！ｉＱｌ！する構
成としていた。

しかしこれでは上記のように設備費、Ｎ持費が高く、工
期が長くなる欠点があった。

［発明の目的］ 本発明はクリーンベンチ方式でありながらクリーン空間
を２段階に形成して清浄度を段階的に高めることにより
高清浄度のクリーン空間を小形で且つ廉価に得られる空
気清浄装置を提供することを目的とする。

［発明の概要］ 本発明による空気清浄装置は外気をブロアにより１次ヘ
パフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ（以下本書にて同じ））
を通過させて１次クリーン空間を形成し、続いてこの１
次クリーン空間の空気をブロアにより更に密度の高い２
次ヘパフィルタを通過させて作業空間用の２次クリーン
空間を形成するようにしたものであり、クリーンルーム
或いはクリーンブースとの組合せを要せずに高清浄度の
クリーン空間が得られるので、特に大形化を招くことが
ないと共に設備費も廉価になる。

［発明の実施例］ 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。図中、１は外筺で、人が入る１次クリーン空間２
とこのクリーン空間２内の作業者３が手を挿入して組立
て作業するデープル４上の空間である２次クリーン空間
５を形成しており、１次クリーン空間２はｙ９′ｉ４性
のカーテン６により外部と区切られ、また１次クリーン
空間２と２次クリーン空間５との間にも作業用の連通化
を除き導電性のカーテン７が設けられている。また外筐
１には第１及び第２のブロアからなるブロアユニット８
と第１及び第２のダクト９．１０を形成した二重ダクト
１１とが配設され、更に第１のダクトつと１次クリーン
空間２の入口との間に０．５μｍ程度の粒子の捕獲を目
的とした１次ヘパフィルタ（通常のクリーンベンチで用
いられるものよりも密度が低い。）１２が設けられ、ま
た第２のダクト１０と２次クリーン空間５の入口との間
に１次ヘパフィルタよりも密度が高い、例えば０゜１μ
ｍ程度の粒子の捕獲を目的とした２次ヘパフィルタ１３
が設けられている。

第１のダクト９に通じる第１のブロアによる外気導入部
には１次プレフィルタ１４が設けられ、第２のブロアに
より１次クリーン空間２内の空気を第２のダクトに導入
させる導入口部分には２次プレフィルタ１５が設けられ
ている。この１次プレフィルタ１４は一般のクリーンル
ームで使用されるものよりも密度の高いものが使用され
る。尚、図中実線矢印は外気が１次クリーン空間２に至
るまでの径路、及び点線矢印は１次クリーン空間２内の
空気が２次クリーン空間５に至るまでの径路を夫々示し
ている。

次に上記構成の作用について説明する。今、プロアユニ
ット８の第１及び第２のブロアが駆動されているとする
と、清浄度クラス１００．０００〜２００，０００程度
の外気が第１のブロアにより１次プレフィルタ１４を介
して吸入され、これが実線矢印のように第１のダクト９
を介して１次ヘパフィルタ１，２に送られこれを通過し
て１次クリーン空間２に吹き出され、これを一般のクリ
ーンルーム程度であるクラス１０．０００〜２０゜００
０程度の清浄度にする。

そしてこの１次クリーン空間２内の空気は点線矢印のよ
うにブロアユニット８内の第２のフロアにより２次プレ
フィルタ１５を介して第２のダクト１０内に吸入され、
ここから２次ヘパフィルタ１３を介して２次クリーン空
間５に吹き出され、これをクラス１０〜１００程度の高
清浄度にする。

この場合の圧力関係は、１次クリーン空間２内が外筐１
外の気圧より高く、且つ２次クリーン空１ｉｌＩ５内が
１°次クリーン空間２のそれより高くなるように設定さ
れ、これにより清浄度の低０気体が逆流入することが防
止されている。

以上において、外気が１次プレフィルタ８及び１次ヘパ
フィルタ１２を介して１次クリーン空間２に至るまでの
部分が本発明の１次清浄系統に相当し、そして２次プレ
フィルタ１５及び２次ヘパフィルタ１３を介して２次ク
リーン空間５に至るまでの部分が２次清浄系統に相当す
る。

尚、実施態様として、プロワ−ユニット８を下部に設は
第１及び第２のダクト９．１０を二重ダクト構造に組合
わせこれを背部に配設する構成にした理由は装置を極力
背丈の低い小形ものにしようとするためである。

また、上記実施例では１次及び２次クリーン空間２，５
を垂直層流形に構成しているが、本発明はこれに限られ
ず、水平層流形成いは垂直及び水平層流の組合わせ形の
何れの構成にしても差支えないことは勿論である。

［発明の効果］ 本発明は以上のように外気を１次プレフイルり及び１次
ヘパフィルタを通過させて１次クリーン空間に吹ぎ出さ
せ、そしてこの１次クリーン空間内の空気を２次プレフ
ィルタ及び２次ヘパフィルタを介して２次クリーン空間
に吹き出さけて清浄度を段階的に高める構成とすること
によって高清浄度を得ているので、従来のようにクリー
ンルーム或いはクリーンブースとの組合わせが不要にな
るので、設備費が廉価になると共に装置の大形化を招く
ことがなく、またヘパフィルタを１次と２次とに分けて
いるので高価な高密度ヘパフィルタである２次ヘパフィ
ルタの寿命が長くなり維持費において経済的に有利にな
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示す１部破断の側面図である
。 図中、１は外筺、２は１次クリーン空間、５は２次クリ
ーン空間、８はブロワ−ユニット、１１は二重ダクト、
１２は１次ヘパフィルタ、１３は２次ヘパフィルタ、１
４は１次プレフィルタ、１５は２次プレフィルタである
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 外気をブロアにより１次プレフィルタ及び１次ヘパフィ
   ルタをこの順に通過させて１次クリーン空間に吹き出さ
   せる１次清浄系統と、前記１次クリーン空間の空気をブ
   ロアにより２次プレフィルタ及び２次ヘパフィルタをこ
   の順に通過させて作業部分である２次クリーン空間に吹
   き出させる２次清浄系統とを具備し前記２次ヘパフィル
   タの密度を１次ヘパフィルタのそれよりも高く設定して
   なる空気清浄装置。