JPS631415A - クリ−ンベンチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、それを設置した室内を清浄にし、その室内
をクリーンルーム化する機能と、ベンチ内の作業空間を
清浄にする機能とを合わせ備え、かつその室内の大きさ
，作業状況，および必要な清浄度に応じて設置台数を増
減できる、モジュール化したクリーンベンチに関するも
のである．［従来の技術］ 従来、特殊研究室あるいは半導体製造関係の部屋など、
清浄度め高い室内環境を必要とした場合には、天井面に
高性能のフィルタを取り付けた空気吹出し口ユニットを
設け、この吹出しユニットに接続したダクトを天井に配
設し、そのダクトを介して空気吹出し口から清浄空気を
送り込み、一方、室内の汚れた空気は吸込み口より吸引
して送風機へもどし、その一部を外気と混合して再び上
記ダクトを介して上記室内へ清浄空気を吹き出すように
した装置を連続運転して清浄度の高い室内を形成してい
た．このため、極めて大がかりな設備が必要であった．
また、従来のクリーンベンチは、ベンチ内の作業空間だ
けを清浄に保つ単機能的なものしかなかった． ［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような従来の空気清浄装置では、設置のための工
事期間が長く、多額の費用を必要とし、また、室内の配
置変更などに直ぐに対応することができないという問題
点があった．一方、従来のクリーンベンチでは、それを
設置した室内の空気を清浄化する能力がないという問題
点があった。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、ベンチ内の作業空間だけに限定しないで、それを
設置した室内の空気をも清浄にし、その室内をクリーン
ルーム化する能力を備えたクリーンベンチを得ることを
目的とする．［問題点を解決するための千段］ この発明に係わるクリーンベンチは、送風機とフィルタ
と作業台などからなるクリーンベンチにおいて、そのク
リーンベンチを設置した室内へ清浄化された空気を吹き
出す吹出し口と、上記室内の空気を吸い込む吸込み口な
どを備えるように構成したものである。

［作用］ この発明のクリーンベンチにおいては、清浄化された空
気を上記室内へ吹き出す吹出し口と、上記室内の空気を
吸い込む吸込み口などを備えるようにしたので、上記ク
リーンベンチ内の作業空間だけでなく、そのクリーンベ
ンチを設置した室内の空気を清浄にし、その室内をクリ
ーンルーム化することができる． 〔実施例］ 第１図はこの発明の一実施例であるクリーンベンチを設
置した室内を示す斜視図、第２図は上記クリーンベンチ
を示す斜視図、第３図は第２図のＡ−Ａ＆ｉ断面図、第
４図は第２図のＢ−Ｂ線断面図である． 第１図において、１および１ａはこの発明に係わるクリ
ーンベンチ、２４は外気取入れダクト、２７は他の部屋
の換気用の送気ダクト、３０は上記クリーンベンチによ
って清浄化されるクリーンルームである．外気取入れダ
クト２４は通常送気ダクト２７に接続され、後述するよ
うに空気の補給をするためのものであり、二点鎖線で示
した１ａは、上記クリーンルーム３０の大きさ、あるい
は必要な清浄度によって増減されるクリーンベンチであ
る． 次に、第２〜第４図によって上記クリーンベンチ１の構
成について説明する． ２は空気清浄ユニット室１２，温度調節ユニット１４，
ベンチ送風室２１などを備えた上部ユニット、３は作業
台２０，吸込み口５などを備えた下部ユニット、４は清
浄空気を室内へ吹き出す吹出し口、５は室内の空気を吸
い込む吸込み口、６は吸込み口５より吸い込んだ空気を
空気清浄ユニット室１２および温度調節ユニット１４へ
導く後部通路、７は空気清浄ユニットで、送風Ｒ８と送
風Ｒ８より出た空気の圧力を一様にする邪魔板９および
フィルタＢＩＯなどからなり、１１は上部ふた２６およ
び上記空気清浄ユニット７のケーシングを止める止めね
じ、ｌ２は上記空気清浄ユニット７を収納する空気清浄
ユニット室、１３は上記吸込み口５およびベンチ吸込み
口１８から吸い込んだ空気を第１段階のろ過集塵を行う
フィルタＡ、１４は冷却コイル２２，加熱器２３などか
らなる温度調節ユニット、ｌ５は上記温度調節ユニット
１４を経た空気をベンチ送風室２１へ送り込むベンチ送
風機、１６はベンチ内の作業空間に吹き出す空気の２段
階目のろ過集塵を行うフィルタＣ、１７はベンチ内の作
業空間に吹き出す空気を層流にする整流器、１８はベン
チ内の作業空間の前側にエアカーテンを形成するための
エアカーテン吹き出し口、１９は上記作業空間の空気を
吸い込むベンチ吸込み口、２０は作業台、２１は上記ベ
ンチ送風機１５および上記フィルタＣ１６などを備えた
ベンチ送風呈、２２はフィルタＡｔ３を通過した空気を
冷却するための冷却コイル、２３は上記空気を加熱する
ための例えば電気ヒータなどからなる加熱器、２４は外
気取入れダクト、２５は上記上部ユニット２と上記下部
ユニット３とに分割する境界の接合部、２６は上記空気
清浄ユニット７の吹き出し口４を備えた上部ふたである
．上記止めねじ１１を緩めて除くことにより上記上部ふ
た２６をはずすことができるとともに、上記空気清浄ユ
ニット７を前に引き比すことのできる構成になっている
．各図中の矢印は空気の流れる方向を示している． 次いで、上記クリーンベンチの動作について説明する． まず、ベンチ送風機１５と送風機８のスイッチをＯＮに
して上記二つの送風機を駆動する．上記二つの送風機に
よって、ベンチ内の作業空間の空気はベンチ吸込み口１
９から、上記クリーンベンチを設置した室内（以下室内
という）の空気は吸込み口５から、吸い込まれてフィル
ターＡ１３を通過しろ過され第１段階の清浄化が行われ
る．第１段階の清浄化を終えた空気は、後部通路６を経
て、空気清浄ユニット室１２と温度調節ユニット１４に
導かれる．空気清浄ユニット室１２に導かれた空気は、
送風機８によって付勢されて邪魔板９に衝突し、フィル
タＢ１０の全面を一様な圧力で通過し第２段階の清浄化
が行われて、吹出し口４を経て室内に吹き出され、室内
に清浄空気を供給する．一方、温度調節ユニット１４に
導かれた空気は、上記後部通路６などに設けられた温度
センサ（図示省略》および制御部（図示省略）の協動に
よって作動する冷却コイル２２および加熱器２３の間を
通過し、指定温度になってベンチ送風機１５で付勢され
ベンチ送風室２１に送り込まれる．ベンチ送風室２１に
送り込まれた上記空気はフィルタＣ１６を通過しろ過集
塵されて第２段階目の清浄化を終え、大部は整流器１７
を通り層流となって作業台に向かって吹き出されるが、
他の一部はエアカーテン吹出し口１８より勢いよく吹き
出してエアカーテンを形成する．上記エアカーテンは、
作業台２０上の作業空間と外部空間との間をさえぎり、
外部に浮遊しているほこりが作業空間に入り込まないよ
うにする。上記作業空間に吹き出た空気と上記エアカー
テンを形成した空気の一部は外部（上記室内）へ吹き出
るが、残部はベンチ吸込み口１９から吸い込まれる．そ
して上記吹出し口４から吹き出し、室内を１流して吸込
み口５から吸い込まれた空気と混合し、フィルタ１３を
通過しろ過集塵されて後部通路６を経て循環する。以上
のように空気清浄ユニット７を経た空気と温度調節ユニ
ット１４を経た空気とは、絶えず混合をくり返している
ので室内の温度も指定温度に調温される． 以上はベンチ送風機１５と送風機８との２台の送風機を
用いた場合について説明したが、送風機８のみを使用し
送風機８から送り出された空気の一部をベンチ送風室２
１に送り出し、他の空気をフィルタＢを通過させて清浄
化し吹出し口４から吹き出すように、１台の送風機と２
個以上のフィルタを用いる構成とすることもできる．上
記送風機には、例えばサイリスタモー夕などを使用した
可変型送風機を使用して、室の大きさ．清浄度などに合
わせて出力を変化させることのでき４るものを用いるこ
ともある． 上記クリーンベンチ１，１ａを設置した室内へ外部から
汚れた空気が流入しないようにするためには、室内の空
気の圧力を僅か外部より高くする必要がある．室内の圧
力が高いと扉の開閉のときあるいは、扉のすき間などが
ら空気が流出するので空気を補給しなければならない．
また、換気のためにも新鮮な空気を取り入れなければな
らない．外気取入れダクト２４はこのためのもので、必
要に応じて取り付け、不必要な場合は取り外して、ふた
をすることができる構成となっている．次に、他の実施
例であるクリーンベンチについて説明する． 第５図はこの発明の池の実施例であるクリーンベンチを
示す一部破砕断面図を含む斜視図で、各符号は上記第１
〜３図に示すクリーンベンチと同一、又は相当部分を示
す．図において、２８はクリーンルーム３０の床板、２
９は上記床板の一部に設けられた空気が自由に通過でき
る格子板，３１は床下の空気通路、３２はクリーンベン
チ１の設置する場所の床板２８に設けた吸い込み孔であ
る。図に示すように、このクリーンベンチ１の吸込み口
５は底面に設けられていて、吹き出し口４から吹き出た
清浄空気は床板の多数個所に設けられた格子板２つを通
り床下の空気通路３１を経て．吸込み孔３２および吸込
み口５よりクリーンベンチ１にもどるように構成されて
いる．他の構成は上述した実施例と全く同じである．ク
リーンルーム３０の床とクリーンベンチ１の吸込み口５
とを上記のように構成することによって、クリーンルー
ム３０内の清浄空気の流れは垂直層流に近づき、空気の
滞留する所が少なくなり高い清浄度を保つことができる
． 上記クリーンベンチ１は、以上のような構成になってい
るので空気は、フィルタＡ１３による第１段階のろ過集
塵と、フィルタＢ１０、又はフィルタＣ１６による第２
段階のろ過集塵との２回の清浄化が行われ、非常に清浄
度の高い空気をベンチ内の作業空間と室内に供給するこ
とができる．また、上記温度調節ユニット１４を設けた
ので、乍業環境を適正温度に維持し除湿も行うことがで
きる． さらに、上記クリーンベンチ１は、上記上部ユニット２
，上記下部ユニット３および上記空気清浄ユニット７に
分割できるので、上記クリーンベンチ１の運搬，設置の
場合に非常に便利であり、上記空気清浄ユニット７は、
随時クリーンベンチ１より引き出すことができるので、
点検．修理，清掃を極めて容易に行うことができる．［
発明の効果］ この発明は以上説明したとおり、送風機，フィルタおよ
び作業台を備えたクリーンベンチにおいて、清浄空気を
吹き出す吹出し口と、室内の空気を吸い込む吸込み口な
どを備えるように構成したので、上記クリーンベンチを
設置した室内の空気を清浄にして、その室内をクリーン
ルーム化することができ、また、設置する室内の大きさ
、および必要な清浄度に合わせて台数を加減できるので
、設置のための工期を短縮し、費用を節約できるという
優れた効果を奏するものである．

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例であるクリーンベンチを設
置した室内を示す斜視図、第２図は上記クリーンベンチ
を示す斜視図、第３図は第２図のＡ−Ａ線断面図、第４
図は第２図のＢ−Ｂ線断面図、第５図はこの発明の他の
実施例であるクリーンベンチを示す一部破砕断面図を含
む斜視図である． 図において、１，１ａ・・・クリーンベンチ、２・・・
上部ユニット、３・・・下部ユニット、４・・・吹出し
口、５・・・吸込み口、６・・・後部ユニット、７・・
・空気清浄ユニット、８・・・送風機、９・・・邪魔板
、１０・・・フィルタＢ、１１・・・止めねじ、１２・
・・空気清浄ユニット室、１３・・・フィルタＡ、１４
・・・温度調節ユニット、１５・・・ベンチ送風機、１
６・・・フィルタＣ、１７・・・整流器、１８・・・エ
アカーテン吹出し口、ｌ９・・・ベンチ吸込み口、２０
・・・作業台、２１・・・ベンチ送風室、２２・・・冷
却コイル、２３・・・加熱器、２４・・・外気取入れダ
クト、２５・・・接合部、２６・・・土部ふた、２７・
・・送気ダクト、２８・・・床板、２９・・・格子板、
３０・・・クリーンルーム、３１・・・空気通路、３２
・・・吸込み孔である． なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す． 第１図 １，１０ニ　クリーンヘ゛ン一デ；一 ２４；　外気取入れダクト ２７；　送苑グスト ３０：　クリーンルーＡ 第２ｒ１ｌＪ ２：工作ユニット　　　　　　　　　１４：　：７ＡＸ
Ｏｌ節ユニ．７ト３：　下訃ユニ．，｝−　　　　　　
　　　　　１９：　　べ冫手１υ八．トナロ４：吹出し
口　　　　　　　　　　　２０：　イ脣叢台５：＃．，
む。　　　　　　　　　　　　　２１：　Ｘン手達．［
良１１：疋めねじ　　　　　　　　　　　２４二外林入
九グクト１２：　亭九滑浄ユニ・７ト虱　　　　　　２
６：　工粁ふ乙第３図 第４図 １５：　ベン斗送因』気 ２２：　冷即コイ）レ ２３：　ｉ八呑 第５図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）送風機とフィルタ及び作業台からなるクリーンベ
   ンチにおいて、そのクリーンベンチを設置した室内へ清
   浄化された空気を吹き出す吹出し口と、上記室内の空気
   を吸い込む吸込み口とを設えて、上記室内をクリーンル
   ーム化する機能を備えたことを特徴とするクリーンベン
   チ。
2. （２）上記クリーンベンチは、冷却コイルおよび加熱器
   などを備えた温度調節ユニットを設けたことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載のクリーンベンチ。
3. （３）上記送風機と上記フィルタは、上記クリーンベン
   チから引き出し自在の構成としたことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のクリーンベンチ。