JPS63111913A - 放射気流型空気清浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体工業に代表される電子工業・精密機械
工業・医薬品製造業など各種産業分野において広く用い
られるクリーンルーム・クリーントンネル・クリーンベ
ンチ等の空気清浄装置に関し、特に清浄空気の流れの一
部を放射気流型にした空気清浄装置に係るものである。

従来の技術 一般にクリーンルームと呼ばれている従来の空気清浄室
のうち特に高い清浄度を要求される場合は、室内空間を
作業部と通路部とに分離してとらえ、作業部は垂直層流
、通路部は乱流あるいは作業部より風速の小さい垂直層
流となるように送風を行ない、作業部の清浄度を通路部
よりも高めている。また作業部への汚染空気巻込みを防
止するため、作業部と通路部の境界に垂壁などを設置し
ている。

しかしながら、かかる従来の空気清浄装置では、Ｉ（Ｅ
ＰＡ　（あるいはＵＬＰＡ）フィルタ等の高性能エアフ
ィルタを天井面の作業部と通路部の両方【こ配置しなけ
ればならないのでフィルタの数が多くなること、作業部
へ供給される清浄空気が垂直層流のみであるため横方向
からの影響を受は易く、作業者が通路部を歩行する際に
通路部の汚染空気が作業部に侵入しがちであること、垂
壁の下端が通常作業者の背丈より低いので作業性を阻害
すること、フィルタ取付スペースが大きくなるため天井
高さがかなり大きな建物でなければ実用化できないこと
等の問題点があった。

発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、従来技術の問題点を克服できるように
、軽量で汚染が少なく作業性に優れ、既存の建物にも適
用できるような空気清浄装置を提供することにある。

問題点を解決するための手段とその作用本発明の前述し
た目的は、壁面の前方に取付けた高性能フィルタと、前
記壁面の後方又は前方に取付けられ前記高性能フィルタ
を通して清浄空気を吹き出す送風ファンと、前記高性能
フィルタを支持する側板とを備え、前記高性能フィルタ
は前記壁面から概ね水平方向又はわずかに傾斜して前方
に延伸する直線部分と該直線部分に滑らかに接続され上
方へと反転する略半円状の円弧部分とを有しており、前
記送風ファンにより前記高性能フィルタを通って吹き出
す空気は前記直線部分を通過する空気が概ね垂直層流を
形成する一方前記円弧部分を通過する空気が概ね放射状
の気流を形成するようになっている放射気流型空気清浄
装置によって達成される。

かかる構成に基づき、本発明によれば１列に並んだ複数
個の、あるいは通路部をはさんで対称に配置した複数個
の高性能フィルタを用いることにより、作業部では垂直
層流、作業部と通路部の境界付近では斜め気流、通路部
では斜め気流あるいは垂直気流となる。従って高性能フ
ィルタの数が減少して軽量な構造となり、天井高さが低
い既存の建物にも適用することが出来る。作業部と通路
部の境界付近では斜め気流になっているので、横方向か
らの影響を受けにくく汚染空気が作業部に侵入しにくい
構造になる。従って垂壁が不必要になり作業性が大幅に
向上するなどの利点が得られる。

本発明の空気清浄装置は、送風ファンにより吹き出す空
気を吸込むための通気可能な多孔性床（例えばグレーチ
ング床）または下部に開口を有する壁面と組合せ、当該
装置を１列あるいは対向させて連続配置することにより
、クリーントンネルを構成することが出来る。

さらに本発明の空気清浄装置は、壁面を作業台のバック
パネルとし、単体で用いることにより、クリーンベンチ
〔あるいはクリーンブース〕を構成することも出来る。

本発明の他の特徴及び利点は、添付図面の実施例を参照
した以下の記載により明らかとなろう。

実施例 ？ｔｒ、１図は本発明による空気清浄装置の基本的な構
成を表わしており、鉛直壁面１０の前方に高性能フィル
タ１２が取付けられ、鉛直壁面１０の後方に取付けられ
た送風ファン１４から矢印方向に送られた風が多孔板１
６を通って偏向及び分散させられた後、高性能フィルタ
１２を通り清浄空気となって室内に吹き出す。なおフィ
ルタ保護用のパンチング板１７を設けてもよい。フィル
タ１２は側板１８（第３図）によって支持され、鉛直壁
面１０及び天井面２０に包囲されて形成されるフィルタ
チャンバ内に位置している。鉛直壁面と天井面にはそれ
ぞれ照明器具２２．２４が配置されて室内を照射してい
る。室内には壁面１０に隣接して作業台２６が置かれ、
その床面は空気が流通できるグレーチング床２８で構成
されている。床下部空間３０は、鉛直壁面１０の下側を
通って鉛直壁面後方の保守部３２の床下部空間まで延び
ている。保守部３２内の上方にある送風ファン１４の空
気取入口１５は、新鮮な空気を取入れると共に保守部へ
戻ってきた空気の還気口としても作用する。

高性能フィルタ１２は、Ｆ布を波状に形成し濾過面接を
増大した構造に作られており、本発明に従い、壁面１０
から概ね水平方向前方に延伸する直線部分４０と、この
直線部分に滑らかに接続され上方へと反転する略半円状
の円弧部分４２とを有している。

本発明の装置は上記のように構成されているので、高性
能フィルタを通って吹き出す空気は、直線部分４０を通
過する空気の部分が概ね垂直層流を形成し、一方円弦部
分４２を通過する空気の部分が概ね放射状の気流を形成
する。かくして前述したような作用効果が得られること
になる。本発明による装置の一例をあげれば、作業部の
幅に概ね対応するフィルタ部分及びフィルタチャンバの
水平長さＡを９００　ｔｎｒｔｔ、フィルタ部分及びフ
ィルタチャンバの垂直高さＦを５００ｍｍ１フイルタ下
面から床面までの高さＢを１９００ｍ１室内の天井高さ
■を２４００　ｘｔｘ、床下高さＧを３００ｚｍに設定
することが出来る。従って、建物の床スラブ面からの全
高は２７００ｚｍ程度で良いことになり・既存の建物に
も十分適用することが可能である・第２図はフィルタ１
２の変形例を表わしており、このフィルタ１２は壁面１
０かられずかに水平方向上方に傾斜して前方に延伸する
直線部分４１と、この直線部分に滑らかに接続され上方
へと反転する略半円状の円弧部分４２とを有している。

この例では、直線部分４１から吹き出す空気の部分がや
や前方に向って傾斜した層流となるので、生産機器等の
形状や作業状態に応じた良好な気流が得られることにな
り、より一層汚染から保護される構造になる。

第３図は、室内に本発明による空気清浄装置を対称配置
していわゆるトンネル方式のクリーンルーム（クリーン
トンネル）を構成した例であり、各部における空気の流
れは図の矢印のようになる。

この図から理解されるように、中央の通路部分上方では
左右のフィルタから天井面２ｏに沿って吹き出す空気が
合流し、垂直気流となって落下するので、従来のように
通路面上方にフィルタを配置する必要がない。

第４図は第３図の装置を室内中央側から見た図であり、
クリーンルーム５０が２個並列された状態を表わしてい
る。クリーンルーム５０の奥行き長さＷは例えば１３０
０ｍｍに設定することが出来る。

第５図は、本発明による空気清浄装置をフィルタ１２が
隣接するようにして多数並列し、クリーントンネルを構
成した例を表わしている。前述したように、本発明を利
用すれば、天井高さが低い既存の建物であっても第５図
のようなりリーントンネルに改造することが容易に出来
る。

第６図は、本発明における壁面を作業台７００バツクパ
ネル６０で構成し、作業台７０に高性能フィルタ１２と
送風ファン１４及びフィルタ１２を支持する側板１８と
天板６２を取付けて、作業台一体型のクリーンベンチを
構成した例を表わしている。送風ファン１４から送られ
た空気は、高性能フィルタ１２を通って清浄空気にされ
、矢印の方向へと流れる。クリーンベンチは自由に移動
できるので、建物を改造することなく簡便な空気清浄装
置が得られることになる。

発明の効果 以上詳細に説明した如く、本発明によれば次のような利
点が得られる。

１）高性能フィルタの数が少なくて済むので軽量な構造
となり、コストが低下する。

２）天井高さが低い建物に対しても適用できる。

３）作業部に通路部の塵埃を誘引することが無い。

４）垂壁が不必要になり作業性が大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による空気清浄装置の基本的な構成を表
わす縦断面図、第２図はフィルタの変形例を表わす縦断
面図−第３図は室内に１対のフィルタを対称配置した例
を表わす縦断面図、第４図は第３図の中央位置に沿う側
断面図、第５図はクリーントンネルを構成した例を表わ
す斜視図、第６図はクリーンベンチを構成した例を表わ
す斜視図である。 １０・・・壁面　　　　　１２・・・フィルタ１４・・
−送風ファン　　１８・・・側板４０．４１・・・直線
部分 ４２・・・円弧部分 特許出願人　　　新菱冷熱工業株式会社代理人　弁理士
　　二　宮　正　孝 第３図 第４図 第５図 第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、壁面の前方に取付けた高性能フィルタと、前記壁面
   の後方又は前方に取付けられ前記高性能フィルタを通し
   て清浄空気を吹き出す送風ファンと、前記高性能フィル
   タを支持する側板とを備え、前記高性能フィルタは前記
   壁面から概ね水平方向又はわずかに傾斜して前方に延伸
   する直線部分と該直線部分に滑らかに接続され上方へと
   反転する略半円状の円弧部分とを有しており、 前記送風ファンにより前記高性能フィルタを通つて吹き
   出す空気は前記直線部分を通過する空気が概ね垂直層流
   を形成する一方前記円弧部分を通過する空気が概ね放射
   状の気流を形成するようになつていることを特徴とする
   放射気流型空気清浄装置。 ２、前記送風ファンにより吹き出す空気を吸込むための
   通気可能な多孔性床または壁面下部に開口が設けられ、
   該空気清浄装置がクリーントンネルを形成している特許
   請求の範囲第１項記載の装置。 ３、前記壁面が作業台のバックパネルで構成され、該空
   気清浄装置がクリーンベンチを形成している特許請求の
   範囲第１項記載の装置。