JPS59185923A - クリーンルームの形成方法 - Google Patents
クリーンルームの形成方法Info
- Publication number
- JPS59185923A JPS59185923A JP58060026A JP6002683A JPS59185923A JP S59185923 A JPS59185923 A JP S59185923A JP 58060026 A JP58060026 A JP 58060026A JP 6002683 A JP6002683 A JP 6002683A JP S59185923 A JPS59185923 A JP S59185923A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- compartment
- area
- floor
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、画室を浄化してクリーンルームを形成する
にさいし、その画室に自由に位置が変えられるトンネル
型クリーンルームを形成する方法に関するものである。
にさいし、その画室に自由に位置が変えられるトンネル
型クリーンルームを形成する方法に関するものである。
まず第１図と第２図によって従来の画室を浄化してクリ
ーンルームを形成する方法を説明する。
ーンルームを形成する方法を説明する。
第１図は、トンネル形のクリーンルームの一例を示した
もので、Ｋは建築物の隔壁９間を形成する構造躯体、Ｇ
はグレーテング床、Ｄはダクト、ＦはダクトＤの空気吹
出口に取り付けたエアフィルター、Ｃは空気吹出孔を設
けた天井パネル、Ｓは間仕切り壁、Ｒは上記構造躯体に
で形成される隔壁空間内にグレーテング床ＧとダクトＤ
と天井パネルＣと間仕切り壁Ｓとで囲んで形成した画室
、Ａは生産ラインを構成する装置である。
もので、Ｋは建築物の隔壁９間を形成する構造躯体、Ｇ
はグレーテング床、Ｄはダクト、ＦはダクトＤの空気吹
出口に取り付けたエアフィルター、Ｃは空気吹出孔を設
けた天井パネル、Ｓは間仕切り壁、Ｒは上記構造躯体に
で形成される隔壁空間内にグレーテング床ＧとダクトＤ
と天井パネルＣと間仕切り壁Ｓとで囲んで形成した画室
、Ａは生産ラインを構成する装置である。
このような構成になっているので、ダクトＤの空気吹出
口から下方へ吹き出された空気は、エアフィルターＦで
浄化されて画室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵
埃等で汚れた空気はグレーチング床Ｆから図外の吸引ポ
ンプで吸い出される。
口から下方へ吹き出された空気は、エアフィルターＦで
浄化されて画室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵
埃等で汚れた空気はグレーチング床Ｆから図外の吸引ポ
ンプで吸い出される。
このようにして画室Ｒは浄化され、そこに常にクリーン
ルームが形成されるわけであるが、この方法にはそれ相
応の利点はあるが、次のような問題点がある。
ルームが形成されるわけであるが、この方法にはそれ相
応の利点はあるが、次のような問題点がある。
すなわち、間仕切り壁Ｓによって生産ラインに必要な空
間、つまりトンネルを形成する方法であるから、空気の
送給量を必要最小限に抑えることができ、省エネルギー
の面で有利である。しかし、間仕切り壁Ｓは通常隔壁空
間を形成する構造躯体Ｋに固定して取り付けられるので
、生産ラインを例えば半導体産業におけるようにたびた
び組み換える必要がある場合には、その都度多くの時間
と労力をかけて位置換えをしなければならず、生産ライ
ンの変更に即応できないという問題がある。
間、つまりトンネルを形成する方法であるから、空気の
送給量を必要最小限に抑えることができ、省エネルギー
の面で有利である。しかし、間仕切り壁Ｓは通常隔壁空
間を形成する構造躯体Ｋに固定して取り付けられるので
、生産ラインを例えば半導体産業におけるようにたびた
び組み換える必要がある場合には、その都度多くの時間
と労力をかけて位置換えをしなければならず、生産ライ
ンの変更に即応できないという問題がある。
第２図は、ダウンフロー形（全面ラミナーフロー形）の
クリーンルームの一例を示したもので、同図（イ）ｔｉ
ｔ縦断面図、同図（ロ）は天井裏の平面図である。第１
図と同一ないし均等部分には同符号が付しである。図中
、Ｈは一定の間隔をおいて天井全面に配設した空気吹出
口、Ｍは送風機であって、１はそのファン、２はそのエ
アフィルター、３は送風管である。ダクトＤは天井裏全
体がダクトを形成し、エアフィルターＦは空気吹出口Ｈ
に敗り付けである。
クリーンルームの一例を示したもので、同図（イ）ｔｉ
ｔ縦断面図、同図（ロ）は天井裏の平面図である。第１
図と同一ないし均等部分には同符号が付しである。図中
、Ｈは一定の間隔をおいて天井全面に配設した空気吹出
口、Ｍは送風機であって、１はそのファン、２はそのエ
アフィルター、３は送風管である。ダクトＤは天井裏全
体がダクトを形成し、エアフィルターＦは空気吹出口Ｈ
に敗り付けである。
このような構成になっているので、ダクトＤから下方へ
吹き出された空気は、エアフィルターＦで浄化されて画
室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵埃等で汚れた
空気は送風機Ｍによってグレーチング床Ｇの下へ吸い出
され、そのエアフィルターＦで浄化されて再びダンＮ）
へ送られていく。このようにして、画室Ｒは常に浄化さ
れて、そこにクリーンルームが形成される。
吹き出された空気は、エアフィルターＦで浄化されて画
室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵埃等で汚れた
空気は送風機Ｍによってグレーチング床Ｇの下へ吸い出
され、そのエアフィルターＦで浄化されて再びダンＮ）
へ送られていく。このようにして、画室Ｒは常に浄化さ
れて、そこにクリーンルームが形成される。
このクリーンルームの形成法によれば、天井全面に配設
した空気吹出口からの空気は通常０．３〜０．５ Ｌ／
８ の範囲内の一定のパ吹・出速度で吹き出されるので
、画室Ｒ全体は一様に浄化される。したがって、生産ラ
インの組み換えは画室Ｒ内で自由に行なうことができ、
トンネル形のクリーンルームのように、生産ラインの変
更に即応できないという問題はその限りにおいて解決さ
れることになる。しかし、このクリーンルームにおいて
は生産ラインの各種装置Ａ上、特にその段部等に吹きお
ろす気流によって温気流ｆが生じ、これが生産によって
生ずる塵埃等を巻き込んで、剥離されないま＼帯溜して
しまう。クリーンルームでは、この温気流ｆをできるだ
け早く剥離して流し、装置上をクリーンに保つことが最
も要求されることであり、かつ不可欠の条件であるから
、このように温気流ｆを剥離できないことは、クリーン
ルームの致命的欠点となる。
した空気吹出口からの空気は通常０．３〜０．５ Ｌ／
８ の範囲内の一定のパ吹・出速度で吹き出されるので
、画室Ｒ全体は一様に浄化される。したがって、生産ラ
インの組み換えは画室Ｒ内で自由に行なうことができ、
トンネル形のクリーンルームのように、生産ラインの変
更に即応できないという問題はその限りにおいて解決さ
れることになる。しかし、このクリーンルームにおいて
は生産ラインの各種装置Ａ上、特にその段部等に吹きお
ろす気流によって温気流ｆが生じ、これが生産によって
生ずる塵埃等を巻き込んで、剥離されないま＼帯溜して
しまう。クリーンルームでは、この温気流ｆをできるだ
け早く剥離して流し、装置上をクリーンに保つことが最
も要求されることであり、かつ不可欠の条件であるから
、このように温気流ｆを剥離できないことは、クリーン
ルームの致命的欠点となる。
このような欠点は、空気の１吹出速度が上述のように０
．３〜ｏ、５ＷＬ／／ｓ 程度で、温気流ｆを流し去
るにはや＼遅いために生ずるものである。これは過去の
実績に基づく測定結果からも知られていることである。
．３〜ｏ、５ＷＬ／／ｓ 程度で、温気流ｆを流し去
るにはや＼遅いために生ずるものである。これは過去の
実績に基づく測定結果からも知られていることである。
したがって、上記吹出速度を早くして、例えば０．６〜
０．７ ７／ｓ とすれば、この点は一応解決できる
ことになる。ところが、このようにすると、この全面ラ
ミナーフロー形のクリーンルームでは、その全ての空気
・吹出口から一様に０．６〜０．７ ｍ／ の′吹、
出速度で空気が吹き出すこと＼なるので、グレーチング
床Ｇ上で生産ラインが占有する領域をカバーする空気吹
、出口１以外の・吹出口から出る空気は過剰となって、
少なくともその過剰分は全く無駄なものとなり、省エネ
ルギー上問題がある。
０．７ ７／ｓ とすれば、この点は一応解決できる
ことになる。ところが、このようにすると、この全面ラ
ミナーフロー形のクリーンルームでは、その全ての空気
・吹出口から一様に０．６〜０．７ ｍ／ の′吹、
出速度で空気が吹き出すこと＼なるので、グレーチング
床Ｇ上で生産ラインが占有する領域をカバーする空気吹
、出口１以外の・吹出口から出る空気は過剰となって、
少なくともその過剰分は全く無駄なものとなり、省エネ
ルギー上問題がある。
この発明は、どのような問題点に着目してなされたもの
で、画室を浄化してクリーンルームを形成するにさいし
、一定の間隔をおいて画室の天井全面に配設した空気・
吹出口ｉからの空気・吹出速度を各吹出口ごとに可変可
能とすることによって、（１）生産ラインの変更に即応
し易く、かつ（２）生産ラインの各種装置上に生じ易い
温気流を効果的に剥離して、そのライン上のクリーン度
を一層向上させることができ、しかも（３）エネルギー
の節減を図ることのできる画室に自由に位置が変えられ
るクリーンルームを形成する方法を提供することを目的
とするものである。
で、画室を浄化してクリーンルームを形成するにさいし
、一定の間隔をおいて画室の天井全面に配設した空気・
吹出口ｉからの空気・吹出速度を各吹出口ごとに可変可
能とすることによって、（１）生産ラインの変更に即応
し易く、かつ（２）生産ラインの各種装置上に生じ易い
温気流を効果的に剥離して、そのライン上のクリーン度
を一層向上させることができ、しかも（３）エネルギー
の節減を図ることのできる画室に自由に位置が変えられ
るクリーンルームを形成する方法を提供することを目的
とするものである。
この発明は、一定の間隔゛をおいて天井全面に配設した
空気吹出口から下方へ吹き出す空気をエアフィルターで
浄化して画室に供給し、その画室で発生する塵埃等で汚
れた前記空気をグレーチング床等の通気孔を有する床か
ら吸い出して画室を浄化するにさいし、前記空気吹出口
からの空気吹出速度を、各吹出口ごとに可変可能とし、
これによって床の一定領域をカバーする空気吹田口から
の空気吹出速度のみを、その他の空気吹出口からのそれ
より相対的に早くし、前記床の一定領域に空気流による
クリーンルームを形成することを特徴とする画室に自由
に位置が変えられるクリーンルームを形成する方法であ
る。
空気吹出口から下方へ吹き出す空気をエアフィルターで
浄化して画室に供給し、その画室で発生する塵埃等で汚
れた前記空気をグレーチング床等の通気孔を有する床か
ら吸い出して画室を浄化するにさいし、前記空気吹出口
からの空気吹出速度を、各吹出口ごとに可変可能とし、
これによって床の一定領域をカバーする空気吹田口から
の空気吹出速度のみを、その他の空気吹出口からのそれ
より相対的に早くし、前記床の一定領域に空気流による
クリーンルームを形成することを特徴とする画室に自由
に位置が変えられるクリーンルームを形成する方法であ
る。
以下この発明の実施例を第３図と第４図によって説明す
る。第２図と同一ないし均等部分には同一符号を付し、
説明は省略する。なお、第３図は第２図に相当する図で
ある。
る。第２図と同一ないし均等部分には同一符号を付し、
説明は省略する。なお、第３図は第２図に相当する図で
ある。
図中、Ｕはファンユニットで、生産ラインを構成する装
置Ａが占有する床とその周辺のライン領域Ｗをカバーす
る空気吹出口Ｈに、後述のようにエアフィルターＦに取
り付けて天井裏のダン）Ｄに配設しである。３はエアフ
ィルターＦの取付は枠テ、ハンガー４で構造躯体Ｋに吊
しである。したがって、エアフィルターＦはこの取付は
枠３に着脱できるようになっている。そして、ファンユ
ニットＵは、エアフィルターＦに着脱できる構成にして
、必要に応じ、取り付け、取り外しができるようにしで
ある。
置Ａが占有する床とその周辺のライン領域Ｗをカバーす
る空気吹出口Ｈに、後述のようにエアフィルターＦに取
り付けて天井裏のダン）Ｄに配設しである。３はエアフ
ィルターＦの取付は枠テ、ハンガー４で構造躯体Ｋに吊
しである。したがって、エアフィルターＦはこの取付は
枠３に着脱できるようになっている。そして、ファンユ
ニットＵは、エアフィルターＦに着脱できる構成にして
、必要に応じ、取り付け、取り外しができるようにしで
ある。
ｍは送風機Ｍから送られる空気が画室Ｒに送給されると
きの空気吹出速度Ｖｌ、Ｖ２．Ｖ３のモードを示したも
のである。ｖｌ は、ファンユニットＵのライン領域Ｗ
周縁における空気吹田速度で０．６〜０．７ ”／、
、、 Ｖ２ｕ同領域Ｗにおける装置Ａ上の空気吹出速
度で０．３〜０．５−１■３は同領域以外の空気吹出速
度で０〜０．１５７に である。空気吹出速度ｖ１のモ
ードは、ファンユニットＵのダンパー４で風向を変える
ことによって形成しである。ファンユニットＵば、その
７１ンの回転速度を可変できる構造になっているが、こ
の実施例では同一回転速度に設定し、上述のようにダン
パー４で空気吹出速度■１を比較的早くしである。空気
吹出速度■３は送風機Ｍからの送風量とファンユニット
Ｕの送風量との関係で規制しである。
きの空気吹出速度Ｖｌ、Ｖ２．Ｖ３のモードを示したも
のである。ｖｌ は、ファンユニットＵのライン領域Ｗ
周縁における空気吹田速度で０．６〜０．７ ”／、
、、 Ｖ２ｕ同領域Ｗにおける装置Ａ上の空気吹出速
度で０．３〜０．５−１■３は同領域以外の空気吹出速
度で０〜０．１５７に である。空気吹出速度ｖ１のモ
ードは、ファンユニットＵのダンパー４で風向を変える
ことによって形成しである。ファンユニットＵば、その
７１ンの回転速度を可変できる構造になっているが、こ
の実施例では同一回転速度に設定し、上述のようにダン
パー４で空気吹出速度■１を比較的早くしである。空気
吹出速度■３は送風機Ｍからの送風量とファンユニット
Ｕの送風量との関係で規制しである。
送風機ＭによってダクトＤに送給された空気は、空気吹
出口ＨからエアフィルターＦに浄化されて画室Ｒに送給
され、その画室で発生する塵埃等で汚れた空気はグレー
チング床Ｇから送風機Ｍによって床下へ吸い出され、そ
のエアフィルター２で浄化されて再びダン）Ｄへ送給さ
れていく。
出口ＨからエアフィルターＦに浄化されて画室Ｒに送給
され、その画室で発生する塵埃等で汚れた空気はグレー
チング床Ｇから送風機Ｍによって床下へ吸い出され、そ
のエアフィルター２で浄化されて再びダン）Ｄへ送給さ
れていく。
このとき、ファンユニットＵによって、加速されて吹き
出される空気は、ライン領域Ｗの周縁で０．６〜０．７
ｒ／Ｓ’ｓその中央部で０．３〜０．５″／Ｓであり
、それ以外の領域ではＯ〜０．１５”／ｓ となる。
出される空気は、ライン領域Ｗの周縁で０．６〜０．７
ｒ／Ｓ’ｓその中央部で０．３〜０．５″／Ｓであり
、それ以外の領域ではＯ〜０．１５”／ｓ となる。
このような速度で空気が吹き出されると、ライン領域Ｗ
内の気流Ｖａは、同領域Ｗ外の気流ｖｂによるスクリー
ン効果によって遮ぎられ、そのスクリーンとの摩擦抵抗
を受ける形となるが、気流ｖｂの吹出速度ｖ３が可成り
遅いので、屋根減速されることなく、気流Ｖａの裾を拡
げるようにしてグレーチング床Ｇに吸い込まれていく。
内の気流Ｖａは、同領域Ｗ外の気流ｖｂによるスクリー
ン効果によって遮ぎられ、そのスクリーンとの摩擦抵抗
を受ける形となるが、気流ｖｂの吹出速度ｖ３が可成り
遅いので、屋根減速されることなく、気流Ｖａの裾を拡
げるようにしてグレーチング床Ｇに吸い込まれていく。
その結果、第４図の鎖線で示すように、ライン領域Ｗ上
に、■３に近い空気吹出速度をもった気流Ｖａによるク
リーンルームが形成されるとと＼なる−８なお、気流Ｖ
ａの速度は、装置Ａ上をクリーンにするため、或いは渦
気流をできるだけ早く剥離するため、気流ｖｂよりでき
るだけ早い方が望ましい。しかし、通常の場合、ライン
領域Ｗ外もクリーンに保つ必要があるので、気流ｖｂを
零にすることは可能ではあるが実用的でない。
に、■３に近い空気吹出速度をもった気流Ｖａによるク
リーンルームが形成されるとと＼なる−８なお、気流Ｖ
ａの速度は、装置Ａ上をクリーンにするため、或いは渦
気流をできるだけ早く剥離するため、気流ｖｂよりでき
るだけ早い方が望ましい。しかし、通常の場合、ライン
領域Ｗ外もクリーンに保つ必要があるので、気流ｖｂを
零にすることは可能ではあるが実用的でない。
（１） ファンユニットＵは、生産ラインに変更が生
じた場合は、変更後のライン領域に合わせて、これをカ
バーする空気吹出口Ｈにつけ換えればよいし、ライン領
域Ｗが長くなれば、その分断たに取り付けるようにする
とよいから、この実施例によれば、生産ラインの変更に
即応し得る。
じた場合は、変更後のライン領域に合わせて、これをカ
バーする空気吹出口Ｈにつけ換えればよいし、ライン領
域Ｗが長くなれば、その分断たに取り付けるようにする
とよいから、この実施例によれば、生産ラインの変更に
即応し得る。
（２） クリーンルーム内では気流Ｖａの速度は充分
に早くなるので、この実施例によれば、装置Ａ上に帯溜
する渦気流を効果的に速かに剥離することができる。
に早くなるので、この実施例によれば、装置Ａ上に帯溜
する渦気流を効果的に速かに剥離することができる。
（３）クリーンルームは必要な一定領域のみに形成し、
不要な領域には最低限の空気を送給すればよいから、こ
の実施例によれば、画室Ｂ全体としてみた場合、送給す
る空気量を必要最小限に抑えることができ、送風機Ｍ等
に要するエネルギーを節減することができる。
不要な領域には最低限の空気を送給すればよいから、こ
の実施例によれば、画室Ｂ全体としてみた場合、送給す
る空気量を必要最小限に抑えることができ、送風機Ｍ等
に要するエネルギーを節減することができる。
なお、上記実施例では、ファンユニットＵを所要の空気
吹出口Ｈに取り付けるようにしたが、あらかじめすべて
の吹出口Ｈに装着しておいて、吹出速度、吹出方向を個
別に可変する構成としてもよい。
吹出口Ｈに取り付けるようにしたが、あらかじめすべて
の吹出口Ｈに装着しておいて、吹出速度、吹出方向を個
別に可変する構成としてもよい。
以上説明したように、この発明は、画室を浄化してクリ
ーンルームを形成するにさいし、一定の間隔をおいて天
井全面に配設した空気吹出口からの空気吹田速度を、各
吹出口ごとに可変可能とし、これによって床の一定領域
をカバーする空気吹出口からの空気吹出速度のみを、そ
の他の空気吹出口からのそれより早くシ、前記−距領域
に空気流によるクリーンルームを形成できるようにした
から、次の効果を得ることができる。
ーンルームを形成するにさいし、一定の間隔をおいて天
井全面に配設した空気吹出口からの空気吹田速度を、各
吹出口ごとに可変可能とし、これによって床の一定領域
をカバーする空気吹出口からの空気吹出速度のみを、そ
の他の空気吹出口からのそれより早くシ、前記−距領域
に空気流によるクリーンルームを形成できるようにした
から、次の効果を得ることができる。
すなわち、（１）生産ラインの変更があっても、これに
即応して、その生産ラインを包むクリーンルームを形成
することがで！、（２）かつ生産ラインの各種装置上に
生ずる渦気流を効果的に剥離して、ライン上のクリーン
床を一層向上させることができるとともに、（３）必要
なところに必要なりリーンルームを形成して不必要なエ
ネルギーの浪費を避け、エネルギーの節減を図ることが
できる。
即応して、その生産ラインを包むクリーンルームを形成
することがで！、（２）かつ生産ラインの各種装置上に
生ずる渦気流を効果的に剥離して、ライン上のクリーン
床を一層向上させることができるとともに、（３）必要
なところに必要なりリーンルームを形成して不必要なエ
ネルギーの浪費を避け、エネルギーの節減を図ることが
できる。
第１図は従来のトンネル形クリーンルームの概要を示す
縦断面図、第２図は全面ラミナーフロー形のクリーンル
ームの概要を示し、同図（イ）はその縦断面図、同図（
ロ）はその平面図、第３図はこの発明を説明するだめの
クリーンルームの概要を示し、同図（イ）はその縦断面
、同図（ロ）はその平面図、第４図は第３図（イ）の拡
大図である。 Ｈ・・・・・・・・・空気吹出口 Ｆ・・・・・・・・−エアフィルター Ｇ・・・・・・・・・グレーテング床 Ｒ・・・・・・・・・画室 ■１ 、ｖ２ 、■３・・・・・・・・・空気吹出速度
Ｗ・・−・・・・・・ライン領域
縦断面図、第２図は全面ラミナーフロー形のクリーンル
ームの概要を示し、同図（イ）はその縦断面図、同図（
ロ）はその平面図、第３図はこの発明を説明するだめの
クリーンルームの概要を示し、同図（イ）はその縦断面
、同図（ロ）はその平面図、第４図は第３図（イ）の拡
大図である。 Ｈ・・・・・・・・・空気吹出口 Ｆ・・・・・・・・−エアフィルター Ｇ・・・・・・・・・グレーテング床 Ｒ・・・・・・・・・画室 ■１ 、ｖ２ 、■３・・・・・・・・・空気吹出速度
Ｗ・・−・・・・・・ライン領域
Claims (1)
- 一定の間隔をおいて天井全面に配設した空気吹出口から
下方へ吹き出す空気をエアフィルターで浄化して画室に
供給し、その画室で発生する塵埃等で汚れた前記空気を
グレーテング床等の通気孔を有する床から吸い出して画
室を浄化するにさいし、前記空気吹出口からの空気吹出
速度を、各吹出口ごとに可変可能とし、これによって床
の一定領域をカバーする空気吹出口からの空気吹出速度
のみを、その他の空気吹出口からのそれより相対的に早
くシ、前記床の一定領域に空気流によるクリーンルーム
を形成することを特徴とする画室に自由に位置が変えら
れるトンネル型クリーンルームを形成する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58060026A JPS59185923A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | クリーンルームの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58060026A JPS59185923A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | クリーンルームの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59185923A true JPS59185923A (ja) | 1984-10-22 |
| JPH0239696B2 JPH0239696B2 (ja) | 1990-09-06 |
Family
ID=13130140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58060026A Granted JPS59185923A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | クリーンルームの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59185923A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61141644U (ja) * | 1985-02-21 | 1986-09-02 | ||
| JPS625031A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-12 | Kajima Corp | 部分的に清浄度の異なるクリ−ンル−ム |
| JPS62130331U (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-18 | ||
| JPH03284730A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 電気泳動表示装置用表示パネルの製造法 |
| JPH0443750U (ja) * | 1990-08-13 | 1992-04-14 |
Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5237174U (ja) * | 1975-09-08 | 1977-03-16 | ||
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
| JPS58129124A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Hitachi Ltd | 清浄作業室 |
-
1983
- 1983-04-07 JP JP58060026A patent/JPS59185923A/ja active Granted
Patent Citations (3)
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| JPS5237174U (ja) * | 1975-09-08 | 1977-03-16 | ||
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|---|---|---|---|---|
| JPS61141644U (ja) * | 1985-02-21 | 1986-09-02 | ||
| JPS625031A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-12 | Kajima Corp | 部分的に清浄度の異なるクリ−ンル−ム |
| JPS62130331U (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-18 | ||
| JPH0410504Y2 (ja) * | 1986-02-08 | 1992-03-16 | ||
| JPH03284730A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 電気泳動表示装置用表示パネルの製造法 |
| JPH0443750U (ja) * | 1990-08-13 | 1992-04-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0239696B2 (ja) | 1990-09-06 |
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