JPH0467094B2 - - Google Patents
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- JPH0467094B2 JPH0467094B2 JP61139792A JP13979286A JPH0467094B2 JP H0467094 B2 JPH0467094 B2 JP H0467094B2 JP 61139792 A JP61139792 A JP 61139792A JP 13979286 A JP13979286 A JP 13979286A JP H0467094 B2 JPH0467094 B2 JP H0467094B2
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- Japan
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- clean room
- air outlet
- main
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 13
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
この発明は、空気中の浮遊塵埃、微粒子を排除
して室内空気を清浄化するようにしたコンベンシ
ヨナルフロー形クリーンルームに関する。
して室内空気を清浄化するようにしたコンベンシ
ヨナルフロー形クリーンルームに関する。
昨今では半導体を中心とする電子工業、食品、
医療分野、さらにはフアインケミカル、バイオテ
クノロジーを扱う研究、生産分野での生産環境の
清浄維持を図るために頭記したクリーンルームが
広範囲な分野で適用されるようになつている。 かかるクリーンルームは大別して層流形クリー
ンルームとコンベンシヨナルフロー形クリーンル
ームとに分けられる。ここで層流形クリーンルー
ムは室内の天井全面域に粒子捕集性能の高い
HEPAフイルタ（高性能フイルタ）を布設する
とともに床面側にはフリーアクセスフロア等を配
備してその全面域を空気吸込口と成し、HEPA
フイルタから床面側へ向けて清浄空気を吹き出す
ことにより室内全域に垂直層流クリーンゾーンを
形成するようにしたものであり、この方式は清浄
度レベルを高くすることができる反面、設備費、
送風機の動力運転に要するランニングコスト等が
嵩む。 これに対してコンベンシヨナルフロー形クリー
ンルームの従来構成は、第３図に示すように作業
室となるクリーンルーム１に対し、該室内の天井
面にHEPAフイルタを装備した主空気吹出口２
を複数箇所に分散配備するとともに、床面側には
室の周域複数箇所に分散して空気吸込口３を設け
て構成されている。なお４は空気調和機、５は前
記した空気吸込口３、空気調和機４、および主空
気吹出口２との間を結んで配管した室外側の給気
循環ライン、６は送風機である。 上記の構成で清浄運転時には空気調和機４で給
気温度、湿度をコントロールし、さらにHEPA
フイルタで除塵濾過した清浄空気を主空気吹出口
２を通じてクリーンルーム１の室内に送り込み、
室内に発生した塵埃、微粒子等を気流とともに床
面側に配備のクリーンルーム吸込口３より回収排
気して室内空気を換気する。これにより室内空気
の清浄維持が図るようになる。 かかるコンベンシヨナルフロー形クリーンルー
ムは先記の層流形クリーンルームに比べて設備
費、ランニングコストが安価で済む他に、設備の
増設、拡張が比較的容易である等の利点がある反
面、清浄性能の面で次記のような難点がある。す
なわち、 (1) クリーンルーム室内の場所によつて空気清浄
度のバラツキが大となる。 (2) クリーンルーム室内でのプロセス活動に伴う
作業員の歩行、物品の移動、機械の運転等によ
りクリーンゾーンの清浄度変動が大となる。 (3) 室内でのプロセス活動停止、つまり発塵停止
からクリーンルーム室内の塵埃濃度が充分に低
下するまでの回復特性が低い。 一方、コンベンシヨナルフロー形クリーンルー
ムに付いて本発明者が実機試験、シユミレーシヨ
ン等を通じて得た知見から、前記した清浄性低下
の要因に関して次記のような点が確認されてい
る。次にこのことを第４図、第５図に付いて説明
する。まずHEPAフイルタを装備の主空気吹出
口２から室内に吹出した状態で定常気流分布を求
めたところ、主空気吹出口２から床面側の空気吸
込口３に向けて流れる矢印Ａの主気流に対し、該
主気流の支配域から外れた領域、特に天井に近い
側の室内隅部、主空気吹出口相互間の中間部など
斜線で表した主空気吹出口２の周域部分、つまり
主気流Ａの死角となる部分には主気流に誘引され
る形でローカルな渦等が発生した滞流域Ｐの生成
が見られる。このために滞流域Ｐに浮遊する塵埃
はこの滞流域内に閉じ込められたまま室内に滞留
するので室外に排除することが困難であり、かつ
このことが室内の平均的な清浄度を低下させる大
きな原因となる。しかもクリーンルーム室内での
作業プロセス活動等により室内気流が乱れるよう
になると、前記した滞流域中の塵埃が床面側に近
い作業領域に拡散してプロセス上での欠陥要因が
生じることになる。
医療分野、さらにはフアインケミカル、バイオテ
クノロジーを扱う研究、生産分野での生産環境の
清浄維持を図るために頭記したクリーンルームが
広範囲な分野で適用されるようになつている。 かかるクリーンルームは大別して層流形クリー
ンルームとコンベンシヨナルフロー形クリーンル
ームとに分けられる。ここで層流形クリーンルー
ムは室内の天井全面域に粒子捕集性能の高い
HEPAフイルタ（高性能フイルタ）を布設する
とともに床面側にはフリーアクセスフロア等を配
備してその全面域を空気吸込口と成し、HEPA
フイルタから床面側へ向けて清浄空気を吹き出す
ことにより室内全域に垂直層流クリーンゾーンを
形成するようにしたものであり、この方式は清浄
度レベルを高くすることができる反面、設備費、
送風機の動力運転に要するランニングコスト等が
嵩む。 これに対してコンベンシヨナルフロー形クリー
ンルームの従来構成は、第３図に示すように作業
室となるクリーンルーム１に対し、該室内の天井
面にHEPAフイルタを装備した主空気吹出口２
を複数箇所に分散配備するとともに、床面側には
室の周域複数箇所に分散して空気吸込口３を設け
て構成されている。なお４は空気調和機、５は前
記した空気吸込口３、空気調和機４、および主空
気吹出口２との間を結んで配管した室外側の給気
循環ライン、６は送風機である。 上記の構成で清浄運転時には空気調和機４で給
気温度、湿度をコントロールし、さらにHEPA
フイルタで除塵濾過した清浄空気を主空気吹出口
２を通じてクリーンルーム１の室内に送り込み、
室内に発生した塵埃、微粒子等を気流とともに床
面側に配備のクリーンルーム吸込口３より回収排
気して室内空気を換気する。これにより室内空気
の清浄維持が図るようになる。 かかるコンベンシヨナルフロー形クリーンルー
ムは先記の層流形クリーンルームに比べて設備
費、ランニングコストが安価で済む他に、設備の
増設、拡張が比較的容易である等の利点がある反
面、清浄性能の面で次記のような難点がある。す
なわち、 (1) クリーンルーム室内の場所によつて空気清浄
度のバラツキが大となる。 (2) クリーンルーム室内でのプロセス活動に伴う
作業員の歩行、物品の移動、機械の運転等によ
りクリーンゾーンの清浄度変動が大となる。 (3) 室内でのプロセス活動停止、つまり発塵停止
からクリーンルーム室内の塵埃濃度が充分に低
下するまでの回復特性が低い。 一方、コンベンシヨナルフロー形クリーンルー
ムに付いて本発明者が実機試験、シユミレーシヨ
ン等を通じて得た知見から、前記した清浄性低下
の要因に関して次記のような点が確認されてい
る。次にこのことを第４図、第５図に付いて説明
する。まずHEPAフイルタを装備の主空気吹出
口２から室内に吹出した状態で定常気流分布を求
めたところ、主空気吹出口２から床面側の空気吸
込口３に向けて流れる矢印Ａの主気流に対し、該
主気流の支配域から外れた領域、特に天井に近い
側の室内隅部、主空気吹出口相互間の中間部など
斜線で表した主空気吹出口２の周域部分、つまり
主気流Ａの死角となる部分には主気流に誘引され
る形でローカルな渦等が発生した滞流域Ｐの生成
が見られる。このために滞流域Ｐに浮遊する塵埃
はこの滞流域内に閉じ込められたまま室内に滞留
するので室外に排除することが困難であり、かつ
このことが室内の平均的な清浄度を低下させる大
きな原因となる。しかもクリーンルーム室内での
作業プロセス活動等により室内気流が乱れるよう
になると、前記した滞流域中の塵埃が床面側に近
い作業領域に拡散してプロセス上での欠陥要因が
生じることになる。
この発明は上記の点にかんがみなされたもので
あり、前記した従来の難点を解消し、室内でのプ
ロセス活動に支障を与えることなく滞流域の浮遊
塵埃を主気流に移動させた上で速やかに室外に排
除できるようにした高清浄度の得られるコンベン
シヨナルフロー形クリーンルームを提供すること
を目的とする。
あり、前記した従来の難点を解消し、室内でのプ
ロセス活動に支障を与えることなく滞流域の浮遊
塵埃を主気流に移動させた上で速やかに室外に排
除できるようにした高清浄度の得られるコンベン
シヨナルフロー形クリーンルームを提供すること
を目的とする。
上記目的を達成するために、この発明は
HEPAフイルタを備えた主空気吹出口吹出す主
気流の支配域外に生成する塵埃滞流域に向けて補
助空気吹出口を開口配備し、該補助空気吹出口を
通じて間欠的に補助気流を吹出すことにより、定
常運転時に生じた滞流域に浮遊している塵埃を前
記補助気流により滞流域から主空気吹出口側の主
気流へ移動させ、この主気流に乗せた上で空気吸
込口を通じて室外へ素早く排出できるようにした
ものである。 なおこの場合には補助空気吹出口より吹出す補
助気流の風速は主気流の風速よりも大に選定する
のがよく、かつ補助気流の吹出しを行うタイミン
グはクリーンルーム内でのプロセス活動に影響を
及ぼさないタンミングを選んで手動ないし所定の
時間周期で自動的に行われる。
HEPAフイルタを備えた主空気吹出口吹出す主
気流の支配域外に生成する塵埃滞流域に向けて補
助空気吹出口を開口配備し、該補助空気吹出口を
通じて間欠的に補助気流を吹出すことにより、定
常運転時に生じた滞流域に浮遊している塵埃を前
記補助気流により滞流域から主空気吹出口側の主
気流へ移動させ、この主気流に乗せた上で空気吸
込口を通じて室外へ素早く排出できるようにした
ものである。 なおこの場合には補助空気吹出口より吹出す補
助気流の風速は主気流の風速よりも大に選定する
のがよく、かつ補助気流の吹出しを行うタイミン
グはクリーンルーム内でのプロセス活動に影響を
及ぼさないタンミングを選んで手動ないし所定の
時間周期で自動的に行われる。
第１図、第２図はこの発明の実施例によるクリ
ーンルームの構成配置図を示すものであり、第３
図に対応する同一部材には同じ符号が付してあ
る。すなわちこの発明により、クリーンルーム１
の天井面にHEPAフイルタを備えた主空気吹出
口２の周域、つまりクリーンルーム１の室内隅
部、主空気吹出口相互間の中間部等の位置に分散
して符号７で示す補助空気吹出口が室内に向けて
開口するように配備されている。この補助空気吹
出口７は固定式ノズルあるいは吹出方向を様々な
向きに変える回転式ノズルとして成り、第１図の
ように空気吸込口３と主空気吹出口２との間に配
管された給気循環ライン５の途中から引出した分
岐ライン８に接続されている。また分岐ライン８
には分岐送風機９、およびその吐出側にHEPA
フイルタを装備の中間フイルタ１０が介装されて
いる。またこの場合に補助空気吹出口７からの吹
出風速が給気循環ライン５の主空気吹出口２より
吹出す主気流Ａの吹出風速よりも大きな吹出風速
となるように前記した補助空気吹出口７の口径、
分岐送風機９の送風能力等が選定されている。な
お１１は分岐ライン８に介装した止め弁、１２は
給気循環ライン５に通じる補給外気の取入口であ
る。 次に上記構成によるクリーンルームの運転動作
に付いて説明する。まず定常運転時には分岐ライ
ン８の止め弁１１を閉、分岐送風機９を停止した
状態で、空気調和機４、送風機６の運転によりク
リーンルーム１の室内へ給気循環ライン５より
HEPAフイルタを装備の主空気吹出口２を通じ
て清浄化した主気流Ａを吹出し、室内に発塵した
塵埃、微粒子等を主気流Ａとともに空気吸込口３
より回収して室外へ排除する。 一方、前記の室内清浄運転を継続したまま、所
定の時間周期、ないしクリーンルーム内での作業
活動の休止時間等に合わせたタイミングで間欠的
に前記した分岐ライン７の止め弁１１を開放、分
岐送風機８を運転し、補助空気吹出口６を通じて
清浄空気９補助気流Ｂを室内に吹出す。ここで補
助空気吹出口７は先記のように主空気吹出口２の
周域、つまり主気流Ａの支配域から外れた滞流域
Ｐに向けて開口しており、したがつて補助気流Ｂ
により滞流域Ｐが擾乱されるようになる。この結
果として先記の定常運転時に滞流域Ｐ内に閉じ込
められた高濃度の浮遊塵埃は補助気流Ｂにより滞
流域Ｐから拡散して主気流Ａに移り、この主気流
Ａに乗つて速やかに室外へ排除されるようにな
り、かくしてクリーンルーム１の室内清浄度が大
幅に向上する。なお補助気流Ｂの吹出しにより一
時的に主気流Ａの清浄度が低下することになの
で、補助気流Ｂの吹出しタイミングは先記のよう
にクリーンルーム内でのプロセス活動に支障のな
いタイミングを選んで間欠的に行われる。
ーンルームの構成配置図を示すものであり、第３
図に対応する同一部材には同じ符号が付してあ
る。すなわちこの発明により、クリーンルーム１
の天井面にHEPAフイルタを備えた主空気吹出
口２の周域、つまりクリーンルーム１の室内隅
部、主空気吹出口相互間の中間部等の位置に分散
して符号７で示す補助空気吹出口が室内に向けて
開口するように配備されている。この補助空気吹
出口７は固定式ノズルあるいは吹出方向を様々な
向きに変える回転式ノズルとして成り、第１図の
ように空気吸込口３と主空気吹出口２との間に配
管された給気循環ライン５の途中から引出した分
岐ライン８に接続されている。また分岐ライン８
には分岐送風機９、およびその吐出側にHEPA
フイルタを装備の中間フイルタ１０が介装されて
いる。またこの場合に補助空気吹出口７からの吹
出風速が給気循環ライン５の主空気吹出口２より
吹出す主気流Ａの吹出風速よりも大きな吹出風速
となるように前記した補助空気吹出口７の口径、
分岐送風機９の送風能力等が選定されている。な
お１１は分岐ライン８に介装した止め弁、１２は
給気循環ライン５に通じる補給外気の取入口であ
る。 次に上記構成によるクリーンルームの運転動作
に付いて説明する。まず定常運転時には分岐ライ
ン８の止め弁１１を閉、分岐送風機９を停止した
状態で、空気調和機４、送風機６の運転によりク
リーンルーム１の室内へ給気循環ライン５より
HEPAフイルタを装備の主空気吹出口２を通じ
て清浄化した主気流Ａを吹出し、室内に発塵した
塵埃、微粒子等を主気流Ａとともに空気吸込口３
より回収して室外へ排除する。 一方、前記の室内清浄運転を継続したまま、所
定の時間周期、ないしクリーンルーム内での作業
活動の休止時間等に合わせたタイミングで間欠的
に前記した分岐ライン７の止め弁１１を開放、分
岐送風機８を運転し、補助空気吹出口６を通じて
清浄空気９補助気流Ｂを室内に吹出す。ここで補
助空気吹出口７は先記のように主空気吹出口２の
周域、つまり主気流Ａの支配域から外れた滞流域
Ｐに向けて開口しており、したがつて補助気流Ｂ
により滞流域Ｐが擾乱されるようになる。この結
果として先記の定常運転時に滞流域Ｐ内に閉じ込
められた高濃度の浮遊塵埃は補助気流Ｂにより滞
流域Ｐから拡散して主気流Ａに移り、この主気流
Ａに乗つて速やかに室外へ排除されるようにな
り、かくしてクリーンルーム１の室内清浄度が大
幅に向上する。なお補助気流Ｂの吹出しにより一
時的に主気流Ａの清浄度が低下することになの
で、補助気流Ｂの吹出しタイミングは先記のよう
にクリーンルーム内でのプロセス活動に支障のな
いタイミングを選んで間欠的に行われる。
以上述べたようにこの発明によれば、クリーン
ルームに対し、HEPAフイルタを装備の主空気
吹出口より吹出す主気流の支配域外に生成する室
内の滞流域へ向けて補助空気吹出口を開口配備
し、該補助空気吹出口を通じて間欠的に補助気流
を吹出すようにしたことにより、定常運転時に室
内の滞流域に閉じ込められて滞留する浮遊塵埃を
補助気流の吹出しにより主気流に移して素早く室
外へ排除させて高い清浄度を得ることができ、従
来のコンベンシヨナルフロー形クリーンルームで
問題となつていたプロセス活動による室内での不
測な汚染拡散、およびそれに伴うプロセス欠陥の
発生を未然に防止できる。しかも既設のコンベン
シヨナルフロー形クリーンルームに対し、僅かに
補助空気吹出口、およびその給気系を追加装備す
るだけで層流形クリーンルームの性能にも匹敵す
る作業環境の清浄維持が図れる等、簡単な構成で
性能の高いコンベンシヨナルフロー形クリーンル
ームを提供することができる。
ルームに対し、HEPAフイルタを装備の主空気
吹出口より吹出す主気流の支配域外に生成する室
内の滞流域へ向けて補助空気吹出口を開口配備
し、該補助空気吹出口を通じて間欠的に補助気流
を吹出すようにしたことにより、定常運転時に室
内の滞流域に閉じ込められて滞留する浮遊塵埃を
補助気流の吹出しにより主気流に移して素早く室
外へ排除させて高い清浄度を得ることができ、従
来のコンベンシヨナルフロー形クリーンルームで
問題となつていたプロセス活動による室内での不
測な汚染拡散、およびそれに伴うプロセス欠陥の
発生を未然に防止できる。しかも既設のコンベン
シヨナルフロー形クリーンルームに対し、僅かに
補助空気吹出口、およびその給気系を追加装備す
るだけで層流形クリーンルームの性能にも匹敵す
る作業環境の清浄維持が図れる等、簡単な構成で
性能の高いコンベンシヨナルフロー形クリーンル
ームを提供することができる。
第１図はこの発明の実施例の構成配置図、第２
図は第１図におけるクリーンルームの平面展開
図、第３図は従来におけるコンベンシヨナルフロ
ー形クリーンルームの構成斜視図、第４図、第５
図はそれぞれ第３図におけるクリーンルームの側
面図および平面展開図である。各図において、 １……クリーンルーム、２……HEPAフイル
タ装備の主空気吹出口、３……空気吸込口、５…
…給気循環ライン、６……送風機、７……補助空
気吹出口、８……分岐ライン、９……分岐送風
機、１０……中間フイルタ、Ａ……主気流、Ｂ…
…補助気流、Ｐ……滞流域。
図は第１図におけるクリーンルームの平面展開
図、第３図は従来におけるコンベンシヨナルフロ
ー形クリーンルームの構成斜視図、第４図、第５
図はそれぞれ第３図におけるクリーンルームの側
面図および平面展開図である。各図において、 １……クリーンルーム、２……HEPAフイル
タ装備の主空気吹出口、３……空気吸込口、５…
…給気循環ライン、６……送風機、７……補助空
気吹出口、８……分岐ライン、９……分岐送風
機、１０……中間フイルタ、Ａ……主気流、Ｂ…
…補助気流、Ｐ……滞流域。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 室内天井面の複数箇所にHEPAフイルタを
備えた主空気吹出口を分散して配備し、該主空気
吹出口を通じて清浄空気を室内へ吹出すととも
に、床面側に配備の空気吸込口より排気して室内
空気を換気するようにしたコンベンシヨナルフロ
ー形クリーンルームにおいて、主空気吹出口より
吹出す主気流の支配域外に生成する室内の滞流域
へ向けて補助空気吹出口を配備し、該補助空気吹
出口を通じて間欠的に補助気流を吹出すようにし
たことを特徴とするコンベンシヨナルフロー形ク
リーンルーム。 ２ 特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム
において、補助空気吹出口が室内天井面における
各主空気吹出口の周域に分散位置して配備されて
いることを特徴とするコンベンシヨナルフロー形
クリーンルーム。 ３ 特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム
において、補助空気吹出口から吹出す補助気流の
吹出風速が主空気吹出口から吹出す主気流の吹出
風速よりも大に選定されていることを特徴とする
コンベンシヨナルフロー形クリーンルーム。 ４ 特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム
において、補助空気吹出口が空気吸込口と主空気
吹出口との間を結ぶ室外側の給気循環ラインから
引出した分岐ラインに接続されていることを特徴
とするコンベンシヨナルフロー形クリーンルー
ム。 ５ 特許請求の範囲第４項記載のクリーンルーム
において、分岐ラインに分岐送風機および中間フ
イルタが介装されていることを特徴とするコンベ
ンシヨナルフロー形クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61139792A JPS62297650A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61139792A JPS62297650A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62297650A JPS62297650A (ja) | 1987-12-24 |
| JPH0467094B2 true JPH0467094B2 (ja) | 1992-10-27 |
Family
ID=15253531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61139792A Granted JPS62297650A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62297650A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3932334B1 (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-20 | 国立大学法人 北海道大学 | クリーンユニットの運転方法 |
| JP2007187436A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-07-26 | Hokkaido Univ | クリーンユニット、連結クリーンユニット、クリーンユニットの運転方法およびクリーン作業室 |
| CN111536649B (zh) * | 2020-05-19 | 2021-06-22 | 江西吉泰建筑工程有限公司 | 一种建筑内部配套的节能式通风换气设备 |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP61139792A patent/JPS62297650A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62297650A (ja) | 1987-12-24 |
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