JPS61165539A - 空気調和システム - Google Patents
空気調和システムInfo
- Publication number
- JPS61165539A JPS61165539A JP60005422A JP542285A JPS61165539A JP S61165539 A JPS61165539 A JP S61165539A JP 60005422 A JP60005422 A JP 60005422A JP 542285 A JP542285 A JP 542285A JP S61165539 A JPS61165539 A JP S61165539A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- floor
- ultra
- room
- sec
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の目的
本発明に超清浄室の空気調和システムに関し、特に垂直
層流方式に関するものである。従来の垂直層流型超清浄
室に於ける気流の考え方は、超清浄室全域に於いて一定
速度の垂直層流を与える方式である。
層流方式に関するものである。従来の垂直層流型超清浄
室に於ける気流の考え方は、超清浄室全域に於いて一定
速度の垂直層流を与える方式である。
この従来方式によれば超清浄塵室内で発生した塵埃は、
気流Ｉ／ｃ工って直下へ押し流される。
気流Ｉ／ｃ工って直下へ押し流される。
一般に超清浄室内に於ける発塵要因の１つとして人から
の発塵がある。塵埃ｔ−嫌う製品を人が扱５場合にこの
方式では人から発生した塵埃を製品に付着させることが
ある。
の発塵がある。塵埃ｔ−嫌う製品を人が扱５場合にこの
方式では人から発生した塵埃を製品に付着させることが
ある。
本発明はこの塵埃の動きを制御出来る空気調和システム
を提供することにある。
を提供することにある。
（２） 発明のａ底
本発明は、超清浄空間を造り出す空気調和システムに於
りて、特に垂直層流方式の場合、天井から高性能フィル
タを通過して供給される超清浄気流の流速を同一超清浄
室で小区域ごとに変化させ、かつ、床下への気流通過量
全変化させることにエリ気流の流れを制御し、室内で発
生した塵埃を影響のないエリアへ収斂するように、塵埃
の動きを制御することを特徴としている。
りて、特に垂直層流方式の場合、天井から高性能フィル
タを通過して供給される超清浄気流の流速を同一超清浄
室で小区域ごとに変化させ、かつ、床下への気流通過量
全変化させることにエリ気流の流れを制御し、室内で発
生した塵埃を影響のないエリアへ収斂するように、塵埃
の動きを制御することを特徴としている。
（３）発明の効果
本発明によれば超清浄室にて発生した塵埃を、室内気流
を利用して制御出来る為、塵埃の影響の無いエリアへ収
斂させ、室内で取扱われる製品の汚染を防ぐことが出来
る。
を利用して制御出来る為、塵埃の影響の無いエリアへ収
斂させ、室内で取扱われる製品の汚染を防ぐことが出来
る。
（４）実施例
本発明に基ず〈実施例全図面を参照して説明する。
第１図は従来の垂直層流方式空気調和システムの構成断
面図である。超清浄室１１は天井の高性能フィルタ１２
と気Ｒを通過させる開口を持つ床１３とから成る。隣接
の機械室１４には空気調和機１５が設置されている。空
気調和機１５エリ送り出された空気はダクト１６ｔ−経
由して空気チャンバ１７に送りこまれる。この空気は高
性能フィルタ１２で清浄化され、垂直層流１８となり床
１３を経由して空気調和機１５へ戻る。
面図である。超清浄室１１は天井の高性能フィルタ１２
と気Ｒを通過させる開口を持つ床１３とから成る。隣接
の機械室１４には空気調和機１５が設置されている。空
気調和機１５エリ送り出された空気はダクト１６ｔ−経
由して空気チャンバ１７に送りこまれる。この空気は高
性能フィルタ１２で清浄化され、垂直層流１８となり床
１３を経由して空気調和機１５へ戻る。
一般にここでの室内垂直気流１８は、同一室内にて同じ
速度をもつ。
速度をもつ。
第２図は、従来システムの具体例を示すもので、超清浄
室の断面図である。超清浄室２１内で高性能フィルタ２
２を通過し次清浄空気２３・は床へ向って垂直に降下す
る。室内に設置され九設備２４で処理される製品２５は
人２６に工って取扱われる。このとき入２６ぶり発生し
た塵埃２７は垂直層流に−よって下降し、製品２５に付
着することがある。
室の断面図である。超清浄室２１内で高性能フィルタ２
２を通過し次清浄空気２３・は床へ向って垂直に降下す
る。室内に設置され九設備２４で処理される製品２５は
人２６に工って取扱われる。このとき入２６ぶり発生し
た塵埃２７は垂直層流に−よって下降し、製品２５に付
着することがある。
第３図は本発明に基ず〈実施例を説明するもので空気調
和システムの構成断面図である。超清浄室３１は、メイ
ン空気チャンバ３２、サブ空気チャンバ３３、高性能フ
ィルタ３５、空気の通過用開口を有する赤３７から成り
、機械室には空気調和機３８が設置されている。空気調
和機エリ送り出された空気は、ダクト３９ｉ経由してメ
イン空気チャンバ３２へ送りこまれる。
和システムの構成断面図である。超清浄室３１は、メイ
ン空気チャンバ３２、サブ空気チャンバ３３、高性能フ
ィルタ３５、空気の通過用開口を有する赤３７から成り
、機械室には空気調和機３８が設置されている。空気調
和機エリ送り出された空気は、ダクト３９ｉ経由してメ
イン空気チャンバ３２へ送りこまれる。
この空気はさらに空気導入口３４工りサブ空気チャンバ
３３に送られ高性能フィルタ３５ｔ−通って超清浄室へ
吹出される。この時の気流３６の速度は、サブ空気チャ
ンバ３３の空気導入口３４の開度調整にエリサブ空気チ
ャンバ単位で変えることが出来る。又床３７はその開度
調整にエリ気流を特定のエリアに収斂させることが出来
る。
３３に送られ高性能フィルタ３５ｔ−通って超清浄室へ
吹出される。この時の気流３６の速度は、サブ空気チャ
ンバ３３の空気導入口３４の開度調整にエリサブ空気チ
ャンバ単位で変えることが出来る。又床３７はその開度
調整にエリ気流を特定のエリアに収斂させることが出来
る。
第４図は本発明に基ずくエリ具体的な実施例を示すもの
で超清浄室内の気流の流れを示す断面図である。超清浄
室４１はサブ空気チャンバ４３にエリ３つのゾーンに分
割されている。空気導入口４４の開度調整にエリ高性能
フィルタ４５ｔ−通過し次清浄空気の吹出し速度はそれ
ぞれ０．３ｍ／ｓ ｅ ｃ、 ０．２ｍ／ｌ ｅ！ Ｃ
Ｉ ０．３ｍ／ｓ ｅ ｃに設定されている。この時床
４６の開度は中央で１００チとし両端へ向けて順次その
開度が低くなる工う設定されている。このときの気流は
図の如く、中央収斂型となる。
で超清浄室内の気流の流れを示す断面図である。超清浄
室４１はサブ空気チャンバ４３にエリ３つのゾーンに分
割されている。空気導入口４４の開度調整にエリ高性能
フィルタ４５ｔ−通過し次清浄空気の吹出し速度はそれ
ぞれ０．３ｍ／ｓ ｅ ｃ、 ０．２ｍ／ｌ ｅ！ Ｃ
Ｉ ０．３ｍ／ｓ ｅ ｃに設定されている。この時床
４６の開度は中央で１００チとし両端へ向けて順次その
開度が低くなる工う設定されている。このときの気流は
図の如く、中央収斂型となる。
第５図に第４図の気流条件での塵埃の動きを説明する為
の断面図である。超清浄室５１に設置された設備５２で
製品５３が処理されている。
の断面図である。超清浄室５１に設置された設備５２で
製品５３が処理されている。
この餐品５３ｔ−取扱う人５４からの発塵５５゜５６．
５７はいずれも第４図で示し几気流に沿って、中央の床
５８に収斂し、製品５３に影響を与えない。
５７はいずれも第４図で示し几気流に沿って、中央の床
５８に収斂し、製品５３に影響を与えない。
（５）発明の詳細な説明の「まとめ」
以上詳細に説明した如く本発明によれば超清浄室を小区
域に分け、それぞれの吹出風速を変化させ、かつ床の気
流通過率を変化させることに工り気流を制御し、これに
エリ室内で発生し九塵埃を影響の少ないエリアへ収斂さ
せることが出来る。又ここで用い几実施例は何ら特許請
求範囲を抱束するものではない。
域に分け、それぞれの吹出風速を変化させ、かつ床の気
流通過率を変化させることに工り気流を制御し、これに
エリ室内で発生し九塵埃を影響の少ないエリアへ収斂さ
せることが出来る。又ここで用い几実施例は何ら特許請
求範囲を抱束するものではない。
＠１図、第２図は従来の空気調和システムを説明する断
面図である。 １１．２１・・・・・・超清浄室、１２．２２・・・・
・・高性能フィルタ、１３・・・・・・開口床、１４・
・・・・・機械室、１５・・・・・・空気調和機、１６
・・・・・・ダクト、１７・・・・・・空気チャンバ、
１８．２３・・・・・・垂直層流、２４・・・・・・設
備、２５・・・・・・製品、２６・・・・・・人、２７
・・・・・・塵埃。 第３図、第４図、＠５図は本発明に基ず〈実施例を説明
する断面図である。 ３１．４１．５１・・・・・・超清浄室、３２．４２・
・・・・・メイン空気チャンバ、３３．４３・・・・・
・サブ空気チャンバ、３４．４４・・・・・・空気導入
口、３５．４５・・・・・・高性能フィルタ、３６・・
・・・・気流、３７．４６・・・・・・開口床、３８・
・・・・・空気調和機、３９・・・・・・ダクト、５２
・・・・・・設備、５３・・・・・・製品、５４・・・
・・・人、５５．５６．５７・・・・・・塵埃。 口 α） 殺
面図である。 １１．２１・・・・・・超清浄室、１２．２２・・・・
・・高性能フィルタ、１３・・・・・・開口床、１４・
・・・・・機械室、１５・・・・・・空気調和機、１６
・・・・・・ダクト、１７・・・・・・空気チャンバ、
１８．２３・・・・・・垂直層流、２４・・・・・・設
備、２５・・・・・・製品、２６・・・・・・人、２７
・・・・・・塵埃。 第３図、第４図、＠５図は本発明に基ず〈実施例を説明
する断面図である。 ３１．４１．５１・・・・・・超清浄室、３２．４２・
・・・・・メイン空気チャンバ、３３．４３・・・・・
・サブ空気チャンバ、３４．４４・・・・・・空気導入
口、３５．４５・・・・・・高性能フィルタ、３６・・
・・・・気流、３７．４６・・・・・・開口床、３８・
・・・・・空気調和機、３９・・・・・・ダクト、５２
・・・・・・設備、５３・・・・・・製品、５４・・・
・・・人、５５．５６．５７・・・・・・塵埃。 口 α） 殺
Claims (1)
- 垂直層流型の超清浄室を構成する空気調和システムに於
いて、該超清浄室に２種以上の異なる吹出速度を持つ気
流を生じせしめ、かつ床の気流通過率を変化させ、その
組合わせにより、気流を任意のエリアに収斂した偏流と
することを特徴とする空気調和システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005422A JPS61165539A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 空気調和システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005422A JPS61165539A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 空気調和システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61165539A true JPS61165539A (ja) | 1986-07-26 |
Family
ID=11610724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005422A Pending JPS61165539A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 空気調和システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61165539A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5090682A (en) * | 1989-06-28 | 1992-02-25 | Mita Industrial Co., Ltd. | Automatic document feeder comprising a guide member |
| JPH10141723A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Shin Nippon Kucho Kk | クリーンルーム構造 |
| JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55663A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Toshiba Corp | Frequency synthesizer |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP60005422A patent/JPS61165539A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55663A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Toshiba Corp | Frequency synthesizer |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5090682A (en) * | 1989-06-28 | 1992-02-25 | Mita Industrial Co., Ltd. | Automatic document feeder comprising a guide member |
| JPH10141723A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Shin Nippon Kucho Kk | クリーンルーム構造 |
| JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
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