JPS61186747A - クリ−ンル−ム - Google Patents

クリ−ンル−ム

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Publication number
JPS61186747A
JPS61186747A JP60025769A JP2576985A JPS61186747A JP S61186747 A JPS61186747 A JP S61186747A JP 60025769 A JP60025769 A JP 60025769A JP 2576985 A JP2576985 A JP 2576985A JP S61186747 A JPS61186747 A JP S61186747A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean room
duct
air
worker
suction hood
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP60025769A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0228776B2 (ja
Inventor
Toshito Takenami
敏人 竹浪
Toshihiko Yamazaki
俊彦 山崎
Masayuki Maeda
前田　眞之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Plant Technologies Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Plant Technologies Ltd filed Critical Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority to JP60025769A priority Critical patent/JPS61186747A/ja
Publication of JPS61186747A publication Critical patent/JPS61186747A/ja
Publication of JPH0228776B2 publication Critical patent/JPH0228776B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ・産業上の利用分野 この発明は天井面に吹出口を備え、床面に吸込口を備え
たクリーンルームに係り、特にクリーンルーム内の局所
的な清浄化を行う局所吸込フードを備えたクリーンルー
ムに関する。
口・従来の技術 工業用クリーンルームは、室内の塵埃を極力低減させる
ことにより、製品への塵埃の付着によって引きおこされ
る製造歩留りや製品の信頼性を向上させるため広く用い
られている。
第４図は従来のクリーンルームの断面図を示す。
従来のクリーンルーム１においては、天井２の上の送風
機３より送られた空気は、高性能フィルタ４を介して、
清浄空気となって吹き出されダウンフローとして室内を
清浄化したのち、格子板または多孔板などの通気板５よ
り成る床面より吸気室６に排出される。そのうち一部は
排気ダクト７より外へ排気されほとんどの空気は、壁の
内部などに設けられた循環ダクト８．空調機９を通って
天井裏部１０へ送られ、再び送風機３．高性能フィルタ
４を通ってクリーンルーム１に清浄空気として供給され
る。
このような構成において、室内の作業者から発生した塵
埃は、室内の気流によって運ばれ、最終的には通気板５
に吸込まれる。しかし従来のダウンフロー形式では９作
業者が作業台１１近くで作業すると９作業者に衝突した
気流が作業台１１の上で渦流となり９作業台１１に置か
れた製品に塵埃が付着してしまい、製品歩留りや製品の
信頼性を低下させる原因となる欠点があった。
・・０発明が解決しようとする問題点 この発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消し１作業
者から発生した塵埃が製品へ付着するのを極力防止して
局所的な清浄化を行うことができるクリーンルームな提
供するにある。
二０問題点を解決するための手段 この発明は９作業領域の通気板の下方に局所吸込フード
を設げ、吸込風速が局所的に大きくなるようにし、気流
は９作業台から作業領域の床下方向に流れるように構成
しｔこものである。
ホ、実施例 第１図はこの発明に係るクリーンルームの１実施例の断
面図、第２図および第３図は他の実施例の断面図を示す
。
従来のクリーンルームと異なる点は１作業領域の通気板
５の下面に接して局所吸込フード１２を設けてダク）１
３に接続し、さらにこの端部に排風機１４を設けたこと
である。これにより作業域の吸込風速は、他の床面での
吸込風速より１．５〜２倍速くする。
前記実施例は局所吸込フード１２を作業領域下に固定し
て設けた場合につき説明したが、第２図に示すように局
所吸込フード１２と排風機１４とをつなぐダクト１３を
フレキシブルな構造としてもよい。これにより１作業域
の任意の位置の床下へ移動することができる。
第３図に示すように床下空間６内にあらかじめ作業領域
となる位置にダクト１３を設置しておき局所吸込フード
１２取り付は用の接続口１５を複数個設け１作業者のい
る場所の床下へ移動できる構造としても良い。
この場合、接続口１５にダンパ１６を設け、任意に風量
を調節できるようにしておく。
このような構成においては１作業者に衝突した気流は、
そのまま真下に流れ込む。さらに１作業台１１の上の気
流は１作業者に向って流れるので作業者から発生した塵
埃は１作業台１１の上に置かれた製品に付着することな
（、すみやかに床下に排出され、製品への塵埃の付着を
防止することができる。
へ６発明の効果 この発明は１通気板の下方に局所吸込フードを付設して
ダクト、排風機に導いて局所的な流速を上昇させている
から９局所的な清浄化を達成して作業者から発生した塵
埃が製品に付着するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明に係るクリーンルームの１実施例の断
面図、第２図および第３図は他の実施例の断面図、第４
図は従来のクリーンルームの断面図を示す。 １・・・クリーンルーム　　２・・・天　井３・・・送
風機　　　　　　４・・・高性能フィルタ５・・・通気
板　　　　　　６・・・吸気室１１・・・作業台　　　
　　１２・・・局所吸込フード１３・・・ダクト　　　
　　１４・・・排風機１５・・・接続口　　　　　１６
・・・ダンパ。 第１図 １４−一一欅！ｊＬ檄 第２図 第３図 ■

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、循環式空気浄化装置を備え通気板によって区劃され
    た吸気室を有するクリーンルームにおいて、通気板の下
    方に接続する局所吸込フードと、この局所吸込フードと
    接続するダクトと、このダクトに接続する排風機とより
    成ることを特徴とするクリーンルーム。 ２、前記局所吸込フードと接続するダクトは長さを任意
    に調節できるフレキシブルダクトとしたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。 ３、前記局所吸込フードと接続するダクトに複数個の接
    続口を設け、この接続口に空気流量調整ダンパを設けた
    ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーン
    ルーム。
JP60025769A 1985-02-13 1985-02-13 クリ−ンル−ム Granted JPS61186747A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60025769A JPS61186747A (ja) 1985-02-13 1985-02-13 クリ−ンル−ム

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60025769A JPS61186747A (ja) 1985-02-13 1985-02-13 クリ−ンル−ム

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Publication Number Publication Date
JPS61186747A true JPS61186747A (ja) 1986-08-20
JPH0228776B2 JPH0228776B2 (ja) 1990-06-26

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ID=12175048

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JP60025769A Granted JPS61186747A (ja) 1985-02-13 1985-02-13 クリ−ンル−ム

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6399434A (ja) * 1986-10-15 1988-04-30 Shin Nippon Kucho Kk クリ−ンル−ムにおける天井構造
JPS63213736A (ja) * 1987-03-02 1988-09-06 Sanki Eng Co Ltd 清浄室装置
US5669814A (en) * 1996-04-11 1997-09-23 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Facility installation structure in clean room

Cited By (4)

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US5669814A (en) * 1996-04-11 1997-09-23 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Facility installation structure in clean room

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JPH0228776B2 (ja) 1990-06-26

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