JPS61186747A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS61186747A JPS61186747A JP60025769A JP2576985A JPS61186747A JP S61186747 A JPS61186747 A JP S61186747A JP 60025769 A JP60025769 A JP 60025769A JP 2576985 A JP2576985 A JP 2576985A JP S61186747 A JPS61186747 A JP S61186747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- duct
- air
- worker
- suction hood
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ・産業上の利用分野
この発明は天井面に吹出口を備え、床面に吸込口を備え
たクリーンルームに係り、特にクリーンルーム内の局所
的な清浄化を行う局所吸込フードを備えたクリーンルー
ムに関する。
たクリーンルームに係り、特にクリーンルーム内の局所
的な清浄化を行う局所吸込フードを備えたクリーンルー
ムに関する。
口・従来の技術
工業用クリーンルームは、室内の塵埃を極力低減させる
ことにより、製品への塵埃の付着によって引きおこされ
る製造歩留りや製品の信頼性を向上させるため広く用い
られている。
ことにより、製品への塵埃の付着によって引きおこされ
る製造歩留りや製品の信頼性を向上させるため広く用い
られている。
第4図は従来のクリーンルームの断面図を示す。
従来のクリーンルーム1においては、天井2の上の送風
機3より送られた空気は、高性能フィルタ4を介して、
清浄空気となって吹き出されダウンフローとして室内を
清浄化したのち、格子板または多孔板などの通気板5よ
り成る床面より吸気室6に排出される。そのうち一部は
排気ダクト7より外へ排気されほとんどの空気は、壁の
内部などに設けられた循環ダクト8.空調機9を通って
天井裏部10へ送られ、再び送風機3.高性能フィルタ
4を通ってクリーンルーム1に清浄空気として供給され
る。
機3より送られた空気は、高性能フィルタ4を介して、
清浄空気となって吹き出されダウンフローとして室内を
清浄化したのち、格子板または多孔板などの通気板5よ
り成る床面より吸気室6に排出される。そのうち一部は
排気ダクト7より外へ排気されほとんどの空気は、壁の
内部などに設けられた循環ダクト8.空調機9を通って
天井裏部10へ送られ、再び送風機3.高性能フィルタ
4を通ってクリーンルーム1に清浄空気として供給され
る。
このような構成において、室内の作業者から発生した塵
埃は、室内の気流によって運ばれ、最終的には通気板5
に吸込まれる。しかし従来のダウンフロー形式では9作
業者が作業台11近くで作業すると9作業者に衝突した
気流が作業台11の上で渦流となり9作業台11に置か
れた製品に塵埃が付着してしまい、製品歩留りや製品の
信頼性を低下させる原因となる欠点があった。
埃は、室内の気流によって運ばれ、最終的には通気板5
に吸込まれる。しかし従来のダウンフロー形式では9作
業者が作業台11近くで作業すると9作業者に衝突した
気流が作業台11の上で渦流となり9作業台11に置か
れた製品に塵埃が付着してしまい、製品歩留りや製品の
信頼性を低下させる原因となる欠点があった。
・・0発明が解決しようとする問題点
この発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消し1作業
者から発生した塵埃が製品へ付着するのを極力防止して
局所的な清浄化を行うことができるクリーンルームな提
供するにある。
者から発生した塵埃が製品へ付着するのを極力防止して
局所的な清浄化を行うことができるクリーンルームな提
供するにある。
二0問題点を解決するための手段
この発明は9作業領域の通気板の下方に局所吸込フード
を設げ、吸込風速が局所的に大きくなるようにし、気流
は9作業台から作業領域の床下方向に流れるように構成
しtこものである。
を設げ、吸込風速が局所的に大きくなるようにし、気流
は9作業台から作業領域の床下方向に流れるように構成
しtこものである。
ホ、実施例
第1図はこの発明に係るクリーンルームの1実施例の断
面図、第2図および第3図は他の実施例の断面図を示す
。
面図、第2図および第3図は他の実施例の断面図を示す
。
従来のクリーンルームと異なる点は1作業領域の通気板
5の下面に接して局所吸込フード12を設けてダク)1
3に接続し、さらにこの端部に排風機14を設けたこと
である。これにより作業域の吸込風速は、他の床面での
吸込風速より1.5〜2倍速くする。
5の下面に接して局所吸込フード12を設けてダク)1
3に接続し、さらにこの端部に排風機14を設けたこと
である。これにより作業域の吸込風速は、他の床面での
吸込風速より1.5〜2倍速くする。
前記実施例は局所吸込フード12を作業領域下に固定し
て設けた場合につき説明したが、第2図に示すように局
所吸込フード12と排風機14とをつなぐダクト13を
フレキシブルな構造としてもよい。これにより1作業域
の任意の位置の床下へ移動することができる。
て設けた場合につき説明したが、第2図に示すように局
所吸込フード12と排風機14とをつなぐダクト13を
フレキシブルな構造としてもよい。これにより1作業域
の任意の位置の床下へ移動することができる。
第3図に示すように床下空間6内にあらかじめ作業領域
となる位置にダクト13を設置しておき局所吸込フード
12取り付は用の接続口15を複数個設け1作業者のい
る場所の床下へ移動できる構造としても良い。
となる位置にダクト13を設置しておき局所吸込フード
12取り付は用の接続口15を複数個設け1作業者のい
る場所の床下へ移動できる構造としても良い。
この場合、接続口15にダンパ16を設け、任意に風量
を調節できるようにしておく。
を調節できるようにしておく。
このような構成においては1作業者に衝突した気流は、
そのまま真下に流れ込む。さらに1作業台11の上の気
流は1作業者に向って流れるので作業者から発生した塵
埃は1作業台11の上に置かれた製品に付着することな
(、すみやかに床下に排出され、製品への塵埃の付着を
防止することができる。
そのまま真下に流れ込む。さらに1作業台11の上の気
流は1作業者に向って流れるので作業者から発生した塵
埃は1作業台11の上に置かれた製品に付着することな
(、すみやかに床下に排出され、製品への塵埃の付着を
防止することができる。
へ6発明の効果
この発明は1通気板の下方に局所吸込フードを付設して
ダクト、排風機に導いて局所的な流速を上昇させている
から9局所的な清浄化を達成して作業者から発生した塵
埃が製品に付着するのを防ぐことができる。
ダクト、排風機に導いて局所的な流速を上昇させている
から9局所的な清浄化を達成して作業者から発生した塵
埃が製品に付着するのを防ぐことができる。
第1図はこの発明に係るクリーンルームの1実施例の断
面図、第2図および第3図は他の実施例の断面図、第4
図は従来のクリーンルームの断面図を示す。 1・・・クリーンルーム 2・・・天 井3・・・送
風機 4・・・高性能フィルタ5・・・通気
板 6・・・吸気室11・・・作業台
12・・・局所吸込フード13・・・ダクト
14・・・排風機15・・・接続口 16
・・・ダンパ。 第1図 14−一一欅!jL檄 第2図 第3図 ■
面図、第2図および第3図は他の実施例の断面図、第4
図は従来のクリーンルームの断面図を示す。 1・・・クリーンルーム 2・・・天 井3・・・送
風機 4・・・高性能フィルタ5・・・通気
板 6・・・吸気室11・・・作業台
12・・・局所吸込フード13・・・ダクト
14・・・排風機15・・・接続口 16
・・・ダンパ。 第1図 14−一一欅!jL檄 第2図 第3図 ■
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、循環式空気浄化装置を備え通気板によって区劃され
た吸気室を有するクリーンルームにおいて、通気板の下
方に接続する局所吸込フードと、この局所吸込フードと
接続するダクトと、このダクトに接続する排風機とより
成ることを特徴とするクリーンルーム。 2、前記局所吸込フードと接続するダクトは長さを任意
に調節できるフレキシブルダクトとしたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載のクリーンルーム。 3、前記局所吸込フードと接続するダクトに複数個の接
続口を設け、この接続口に空気流量調整ダンパを設けた
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のクリーン
ルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60025769A JPS61186747A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60025769A JPS61186747A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61186747A true JPS61186747A (ja) | 1986-08-20 |
JPH0228776B2 JPH0228776B2 (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=12175048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60025769A Granted JPS61186747A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61186747A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6399434A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Shin Nippon Kucho Kk | クリ−ンル−ムにおける天井構造 |
JPS63213736A (ja) * | 1987-03-02 | 1988-09-06 | Sanki Eng Co Ltd | 清浄室装置 |
US5669814A (en) * | 1996-04-11 | 1997-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Facility installation structure in clean room |
-
1985
- 1985-02-13 JP JP60025769A patent/JPS61186747A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6399434A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Shin Nippon Kucho Kk | クリ−ンル−ムにおける天井構造 |
JPS63213736A (ja) * | 1987-03-02 | 1988-09-06 | Sanki Eng Co Ltd | 清浄室装置 |
JPH0820091B2 (ja) * | 1987-03-02 | 1996-03-04 | 三機工業株式会社 | 清浄室装置 |
US5669814A (en) * | 1996-04-11 | 1997-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Facility installation structure in clean room |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0228776B2 (ja) | 1990-06-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |