JPH0347158Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、トンネル形状のクリーンルーム内に
その軸に沿う方向にプロセス域と作業域とを平行
に形成し、天井面にHEPAフイルタ層を設置す
ると共にその背後の天井裏に給気プレナムを形成
したトンネル状の清浄作業室の吹出気流の改善に
関する。

［従来の技術］ 第１図に従来のトンネル形状のクリーンルーム
の代表的な構造を示す。第１図は長手方向に延び
る軸とは直角方向の断面を示したものであり、図
示の断面形状が紙面の表裏方向に実質上同一寸法
をもつて長く延びている。すなわち、両壁面２と
３、第一天井４、床面５が紙面の表裏方向に互い
に平行に延びており、天井部には第一天井４から
所定の距離を離して第二天井が形成されている。
この第二天井はHEPAフイルタ層で形成され、
このHEPAフイルタ層の裏側では第一天井４と
の間で給気プレナムＰが形成されている。この給
気プレナムＰにはフアン６，７から空気が吐出さ
れ、天井面のHEPAフイルタ層を経て室内に清
浄空気が吹き出される。室内の空気は両壁面２，
３の裏側に排気され、その一部または全部がフア
ン６，７に還気として吸い込まれる。

室内においては、両壁面２，３に沿う壁近くに
プロセス域Ａが、そして中央部に作業域Ｂがそれ
ぞれ長手方向に形成され、プロセス域Ａには清浄
雰囲気下で作業を行なうことが必要な製造機器類
Ｍが配列され、作業域Ｂでは作業を行なう作業員
の通路または作業場所となる。プロセス域Ａは作
業域Ｂよりも高い清浄度に維持するために、プロ
セス域Ａに対応する天井面に配置するHEPAフ
イルタ８は作業域Ｂに対応する天井面に配置する
HEPAフイルタ９よりも一層高性能なものを使
用すると共に、プロセス域Ａで垂直層流が得られ
るように通常はアイリツド１０（垂れ壁）が両域
の境界において天井部より垂直に吊り下げられ
る。また、作業域Ｂで発生する塵埃がプロセス域
Ａにコンタミネートしないように例えばプロセス
域Ａでの吹出気流の速度を作業域Ｂのそれの約２
倍程度とするといつた吹出気流速度の調整も行わ
れている。以上が従来のトンネル状クリーンルー
ムの代表的な構造および気流パターンであつた。

［考案が解決しようとする問題点］ 従来のトンネル状のクリーンルームの天井面の
HEPAフイルタ層は水平に設けられていた。し
たがつて、吹出気流は垂直方向に下降することに
なるが、例えアイリツドがプロセス域Ａと作業域
Ｂとの境に設けられていても、そのアイリツドは
作業位置まで下げるわけにはゆかないので、アイ
リツドの下方では作業域Ｂとプロセス域Ａとの間
で交差汚染が生じていた。特にプロセス域Ａと作
業域Ｂとで吹出気流の速度が異なる場合に、プロ
セス域Ａに設置される機械の大きさや形状によつ
て気流に乱れが生じて長手軸方向およびこれと直
角方向にコンタミネーシヨンが起こり易かつた。
またアイリツドの存在は室内空間を区切るので室
を狭い感じにすると共に場合によつて作業の邪魔
になることもあり、さらに塵埃がこれに付着集積
した場合には汚染源にもなりかねなかつた。

本考案はこのような従来のクリーンルームの問
題点を気流の吹出方向の調整によつて解決するこ
とを目的としたものである。

［問題点を解決する手段］ 前記の目的を達成せんとする本考案の要旨とす
るところは、トンネル形状のクリーンルーム内に
その軸に沿う方向にプロセス域Ａと作業域Ｂとを
平行に形成し、両域ＡとＢの天井面にHEPAフ
イルタ層を設置すると共にこれらHEPAフイル
タ層の背後の天井裏に給気プレナムＰを形成した
クリーンルームにおいて、プロセス域Ａの天井面
に配置した水平方向のHEPAフイルタ層８と作
業域Ｂの天井面に配置した水平方向のHEPAフ
イルタ層１２との間にプロセス域Ａから作業域Ｂ
の方向に向けて上り傾斜をもつ傾斜HEPAフイ
ルタ層１を設置したことを特徴とするクリーンル
ームにある。

すなわち本考案は、従来は水平方向にしか配置
されていなかつた天井面のHEPAフイルタをプ
ロセス域と作業域との境界部分で作業域に向けて
上り傾斜をもつ配置とし、この部分から放射状に
作業域に向けて清浄空気を吹き出すようにした点
に特徴がある。本考案では従来のようなアイリツ
ドの設置は不要である。

以下に図面の実施例に従つて本考案の内容を具
体的に説明する。

［実施例］ 第２図は、本考案に従うクリーンルームの１実
施例を示したもので、天井面に傾斜HEPAフイ
ルタ層１を設けた以外は、先に説明した第１図の
従来のクリーンルームの図と同じ関係をもつて示
したものである。第２図中において第１図と同じ
符号を付した部位は第１図で説明したのと同じも
のである。すなわち第２図の本考案のクリーンル
ームは、プロセス域Ａと作業域Ｂとの境界部分で
作業域に向けて上り傾斜をもつ傾斜HEPAフイ
ルタ層１を配して、作業域Ｂにこの傾斜HEPA
フイルタ層１から放射状に清浄空気を吹き出すよ
うにしたものである。

作業域Ｂの中央天井面にはHEPAフイルタ１
２が水平方向に配置され、このフイルタ１２を経
て作業域Ｂの中央部にも垂直気流を吹き出すが、
このHEPAフイルタ１２は、プロセス域Ａの水
平方向のHEPAフイルタ８および傾斜HEPAフ
イルタ１よりも圧損が大きなもの（空気抵抗が大
きなもの）を使用して吹出気流の速度をそれらよ
りも遅くするのがよい。例えば、水平HEPAフ
イルタ８と傾斜HEPAフイルタ１からの吹出流
速をいずれも0.4m／sec、作業域Ｂの中央部の
HEPAフイルタ１２からの吹出流速を0.2m／sec
程度とするのがよい。

なお、プロセス域Ａに対応する天井面には水平
方向のHEPAフイルタ８を配置してプロセス域
Ａには垂直気流を吹き出すようにするのがよく、
この水平方向のHEPAフイルタ８と傾斜HEPA
フイルタ１とは実質上同じ圧損を有するもので構
成するのがよい。HEPAフイルタ８と傾斜
HEPAフイルタ１とは連続していてもよいし、
フイルタユニツトをつなぎ合わせてもよい。いず
れにしても、水平HEPAフイルタ８と傾斜
HEPAフイルタ１とがつながつているように配
置して、作業域Ｂに向けて放射状または傾斜状の
吹出気流が得られるようにする。

傾斜HEPAフイルタ１の上がり傾斜の角度は
第３図に示すように、この傾斜HEPAフイルタ
１が平板状のものである場合には、プロセス域Ａ
の天井面に対応する水平HEPAフイルタ８とな
す角度θが５〜20度の範囲とするのがよい。

第４図は、傾斜HEPAフイルタ１として曲面
フイルタを使用した本考案例を示しており、この
場合には、水平フイルタ８から所定の曲率半径を
もつて上に反り返つた曲面を形成することによつ
て、作業域Ｂに滑らかな放射状の吹出気流を形成
することができる。

［作用効果］ 本考案に従うクリーンルームでは、傾斜
HEPAフイルタ層の存在によりプロセス域Ａと
作業域Ｂとの境界部分で清浄空気の吹出し気流方
向が作業域Ｂ側にプロセス域Ａの側から離れる方
向に斜めになるので、作業域Ｂでの汚染空気がプ
ロセス域Ａに混入することが避けられる。そして
この効果は従来のようにアイリツドを設置しなく
とも達成できる。

したがつて、本考案によれば、傾斜HEPAフ
イルタ層を設けるという単純な構成によつて、ア
イリツド無しでもトンネル形状のクリーンルーム
の使命であるプロセス域Ａの清浄度の向上を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のトンネル形状のクリーンルーム
の代表例を示す長軸に直角方向の略断面図、第２
図は本考案のクリーンルームの例を示す長軸に直
角方向の略断面図、第３図は本考案に従う傾斜
HEPAフイルタ層の例を示す略断面図、第４図
は本考案に従う傾斜HEPAフイルタ層の他の例
を示す略断面図である。 １……傾斜HEPAフイルタ層、２，３……側
壁、４……第一天井、５……床面、６，７……フ
アン、８……プロセス域に対応する天井面の水平
方向のHEPAフイルタ、９……作業域に対応す
る天井面の水平方向のHEPAフイルタ、１０…
…アイリツド、１２……作業域中央部の天井面の
HEPAフイルタ、Ａ……プロセス域、Ｂ……作
業域、Ｐ……給気プレナム、Ｍ……製造機器類。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) トンネル形状のクリーンルーム内にその軸に
   沿う方向にプロセス域Ａと作業域Ｂとを平行に
   形成し、両域ＡとＢの天井面にHEPAフイル
   タ層を設置すると共にこれらHEPAフイルタ
   層の背後の天井裏に給気プレナムＰを形成した
   クリーンルームにおいて、プロセス域Ａの天井
   面に配置した水平方向のHEPAフイルタ層８
   と作業域Ｂの天井面に配置した水平方向の
   HEPAフイルタ層１２との間にプロセス域Ａ
   から作業域Ｂの方向に向けて上り傾斜をもつ傾
   斜HEPAフイルタ層１を設置したことを特徴
   とするクリーンルーム。 (2) 作業域ＢのHEPAフイルタ層１２は、プロ
   セス域ＡのHEPAフイルタ８および傾斜
   HEPAフイルタ層１よりも圧損が大きいもの
   である実用新案登録請求の範囲第１項記載のク
   リーンルーム。