JPS6127435A - 空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置 - Google Patents
空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置Info
- Publication number
- JPS6127435A JPS6127435A JP15083484A JP15083484A JPS6127435A JP S6127435 A JPS6127435 A JP S6127435A JP 15083484 A JP15083484 A JP 15083484A JP 15083484 A JP15083484 A JP 15083484A JP S6127435 A JPS6127435 A JP S6127435A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hood
- air
- clean
- filter
- contaminated air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は高精度無菌無塵装置及び電子部品の製造、その
他精密機器の製造に於る製造作業環境の清浄化を画るシ
ステムに関する。
他精密機器の製造に於る製造作業環境の清浄化を画るシ
ステムに関する。
（従来例）
精度を要する技術の加速度的な発達にともない作業環境
は極限に近い超清浄なことが不可欠になってきた。超清
浄な作業環境を作るため、従来は例えば、クリーンルー
ムと呼ばれる清浄空気室内に第４図に示すクリーンブー
ス（１）を配備して該フード（３）の下方の要清浄域（
８）をクリーンルーム（９）よりも更に清浄に保ってい
る。クリーンブース（１）は天井部にフィルター（２）
を配備し、両側周辺にフード＋３１ ＋３１を配備して
おり、ファン（図示せず）によってクリーンルーム（９
）内の空気又は外部から供給される空気をフィルター（
２）を通して取り込み、フード＋３１ ＋３１の下端面
から下方向に吹出し、該フードの下方の要清浄域（８）
に清浄気流を供給する。
は極限に近い超清浄なことが不可欠になってきた。超清
浄な作業環境を作るため、従来は例えば、クリーンルー
ムと呼ばれる清浄空気室内に第４図に示すクリーンブー
ス（１）を配備して該フード（３）の下方の要清浄域（
８）をクリーンルーム（９）よりも更に清浄に保ってい
る。クリーンブース（１）は天井部にフィルター（２）
を配備し、両側周辺にフード＋３１ ＋３１を配備して
おり、ファン（図示せず）によってクリーンルーム（９
）内の空気又は外部から供給される空気をフィルター（
２）を通して取り込み、フード＋３１ ＋３１の下端面
から下方向に吹出し、該フードの下方の要清浄域（８）
に清浄気流を供給する。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、上記クリーンブースのフード内の空気の清浄
度を調べるとフィルターの単独テスト性能数値よりも低
いことが判った。出願人はこの原因を究明すべくクリー
ンブース内での空気の流れを探究した結果フードの下端
で、フード内の動的気流に誘引されたフード外の清浄度
の悪い空気の一部がフード内面の境界面にそって上昇し
更にフィルター直下乱流域（７）まで達し、略フィルタ
ー直下全面に拡散して居る空気流のあることを突き止め
た。
度を調べるとフィルターの単独テスト性能数値よりも低
いことが判った。出願人はこの原因を究明すべくクリー
ンブース内での空気の流れを探究した結果フードの下端
で、フード内の動的気流に誘引されたフード外の清浄度
の悪い空気の一部がフード内面の境界面にそって上昇し
更にフィルター直下乱流域（７）まで達し、略フィルタ
ー直下全面に拡散して居る空気流のあることを突き止め
た。
この汚染空気がフード内を下向きに流れる清浄空気に混
入し清浄空気の清浄度を低下させ、従って要清浄域（８
）の清浄度を低下させて居る。
入し清浄空気の清浄度を低下させ、従って要清浄域（８
）の清浄度を低下させて居る。
（問題点を解決するための手段）
クリーンブースのフード内への汚染空気の混入を防止す
るため、クリーンブースのフード（３）の内面或は下端
にフード全長に亘って吸気口（４）を形成し該吸気口（
４）に吸引装置（６）を連繋した。
るため、クリーンブースのフード（３）の内面或は下端
にフード全長に亘って吸気口（４）を形成し該吸気口（
４）に吸引装置（６）を連繋した。
（作用及び効果）
フードの下端で誘引されてフード内面の境界層にそって
上昇する空気はフード内面に設けた吸気口（４）に吸引
され、従来の様に汚染空気がフード（３）の天井部まで
上昇してフード内の清浄空気と混じることはない。
上昇する空気はフード内面に設けた吸気口（４）に吸引
され、従来の様に汚染空気がフード（３）の天井部まで
上昇してフード内の清浄空気と混じることはない。
（実施例）
第１図に示すクリーンブース（１）は、天井部にフィル
ター（２）を設け、フィルターの周辺に下向きにフード
＋３１ ＋３１を垂下しフード下方を要清浄域（８）と
する。フード（３）の下部内面に全長に亘ってスリット
状の吸気口（４）を開設し、フード（３）の外面に吸気
口（４）に連繋する横長のダクト（５）を配備する。ダ
クト（５）は吸引ホース（６１）を介して吸引装置（６
）に連繋されクリーンブース（１）内よりも低圧に保た
れている。
ター（２）を設け、フィルターの周辺に下向きにフード
＋３１ ＋３１を垂下しフード下方を要清浄域（８）と
する。フード（３）の下部内面に全長に亘ってスリット
状の吸気口（４）を開設し、フード（３）の外面に吸気
口（４）に連繋する横長のダクト（５）を配備する。ダ
クト（５）は吸引ホース（６１）を介して吸引装置（６
）に連繋されクリーンブース（１）内よりも低圧に保た
れている。
第２図は吸気口（４）の他の実施例を示しており、第１
図のフード（３）の内面に横方向に延びる複数のスリッ
ト孔（４１） （４１１を上下及び横方向に位置をずら
して形成したものである。
図のフード（３）の内面に横方向に延びる複数のスリッ
ト孔（４１） （４１１を上下及び横方向に位置をずら
して形成したものである。
然してクリーンブース（１）の天井部に設けたファン（
図示せず）によってクリーンブース（１）の外部の空気
がフィルター（２）を通してフード＋３１ ＋３１内に
０．３〜０．５ ｍ／ｓｅｃの速さで送り込まれ、送り
込まれた清浄空気の大部分は下向き平行層流となってフ
ード（３）下方の要清浄域（８）へ供給される。
図示せず）によってクリーンブース（１）の外部の空気
がフィルター（２）を通してフード＋３１ ＋３１内に
０．３〜０．５ ｍ／ｓｅｃの速さで送り込まれ、送り
込まれた清浄空気の大部分は下向き平行層流となってフ
ード（３）下方の要清浄域（８）へ供給される。
上記空気の流れの外にも従来例で説明した様にフード（
３）の下端からフード内側に侵入しフード（３）の内面
に沿って上昇する空気流（矢印Ａ）も生ずるが、該空気
流Ａはフード（３）の吸気口（４）まで上昇すると、該
吸気口（４）からフード（３）の外部のダクト（５）に
導かれ、吸引ホース（６１）を通じて吸引装置（６）に
吸引される。
３）の下端からフード内側に侵入しフード（３）の内面
に沿って上昇する空気流（矢印Ａ）も生ずるが、該空気
流Ａはフード（３）の吸気口（４）まで上昇すると、該
吸気口（４）からフード（３）の外部のダクト（５）に
導かれ、吸引ホース（６１）を通じて吸引装置（６）に
吸引される。
従って従来の様にフード（３）の下端から侵入した汚染
空気流がフード（３１（３１内の天井部まで上昇し、フ
ィルター（２）からの清浄空気と混じることはなくフー
ド内の空気め清浄度を向上出来る。
空気流がフード（３１（３１内の天井部まで上昇し、フ
ィルター（２）からの清浄空気と混じることはなくフー
ド内の空気め清浄度を向上出来る。
第３図はフード（３）を２重壁構造とした他の実施例を
示している。フード（３）は内板ｃ（１）と外板（至）
とを間隔を存して配備して構成され、両板０１）□□□
の間に流通空間６１）を形成し、両板（３１）（至）の
下端間が吸気口（４）となっている。上記流通空間６１
）は吸引ホース（６１）を介して吸引装置（６）に連繋
されている。
示している。フード（３）は内板ｃ（１）と外板（至）
とを間隔を存して配備して構成され、両板０１）□□□
の間に流通空間６１）を形成し、両板（３１）（至）の
下端間が吸気口（４）となっている。上記流通空間６１
）は吸引ホース（６１）を介して吸引装置（６）に連繋
されている。
フード（３）の外板（至）から内側に流入しようとする
空気流Ａは吸気口（４）から負圧の流通空間（５１）内
に導かれ、吸込ホース（６１）を通じて吸引装置（６）
に吸引される。
空気流Ａは吸気口（４）から負圧の流通空間（５１）内
に導かれ、吸込ホース（６１）を通じて吸引装置（６）
に吸引される。
従ってフードの下端から侵入した外部空気がフード内面
にそって上昇し、フード（３）向上部で拡散し、フード
内気流に混入しフード（３）内の空気清浄度を低下させ
ることはなく従って、要清浄域（８）を汚染することも
ない。
にそって上昇し、フード（３）向上部で拡散し、フード
内気流に混入しフード（３）内の空気清浄度を低下させ
ることはなく従って、要清浄域（８）を汚染することも
ない。
第１図はクリーンブースの断面図、第２図はスリット状
吸込口の他の実施例の正面図、第３図はフードを２重壁
構造とした他の実施の断面図７第４・図は従来例の断面
図である。
吸込口の他の実施例の正面図、第３図はフードを２重壁
構造とした他の実施の断面図７第４・図は従来例の断面
図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ［１］天井部にフィルターを具え該フィルターを通して
下向きに清浄空気を吹出し且つ、吹出し側の領域を区画
するフードを備える清浄空気吹出しシステムに於て、フ
ード内面又は下端にフード全長に亘って吸気口を形成し
、該吸気口に吸引装置を連繋した空気清浄化システムに
於る汚染空気の誘引混入防止装置。 ［２］吸気口はフードの板面に横方向に延びる複数のス
リット孔（４１）（４１）を上下及び横方向に位置をず
らして開設したものである特許請求の範囲第１項に記載
の空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装
置。 ［３］各フード（３）は内板（３１）と外板（３２）を
間隔を存して配備して２重構造に形成され、内板（３１
）と外板（３２）の下端間が吸引口（４）となっている
特許請求の範囲第１項に記載の空気清浄化システムに於
る汚染空気の誘引混入防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15083484A JPS6127435A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15083484A JPS6127435A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6127435A true JPS6127435A (ja) | 1986-02-06 |
Family
ID=15505396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15083484A Pending JPS6127435A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6127435A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2824626A1 (fr) * | 2001-05-14 | 2002-11-15 | Pierre Bridenne | Procede et dispositif pour diffuser un flux de protection a l'egard d'une ambiance environnante |
| WO2008136369A1 (ja) | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Mitsubishi Heavy Industries Environment Engineering Co., Ltd. | バイオコークス製造装置及びその制御方法、並びに製造方法 |
| WO2008136475A1 (ja) | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Mitsubishi Heavy Industries Environment Engineering Co., Ltd. | バイオコークス製造装置及び方法 |
| WO2010113679A1 (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 学校法人近畿大学 | バイオコークス製造方法及び製造装置 |
| WO2013008610A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| WO2013018461A1 (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| US8454801B2 (en) | 2007-04-27 | 2013-06-04 | Naniwa Roki Co., Ltd. | Apparatus and process for producing biocoke |
| CN104903653A (zh) * | 2012-12-07 | 2015-09-09 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| RU2574995C2 (ru) * | 2011-07-29 | 2016-02-10 | Кокен Лтд. | Устройство локальной очистки воздуха |
| US9410710B2 (en) | 2011-10-03 | 2016-08-09 | Koken Ltd. | Purified air discharge device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58129125A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Hitachi Ltd | 清浄作業室 |
-
1984
- 1984-07-18 JP JP15083484A patent/JPS6127435A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58129125A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Hitachi Ltd | 清浄作業室 |
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| US7297050B2 (en) | 2001-05-14 | 2007-11-20 | Acanthe | Method and device for diffusing a protective flux with regard to a surrounding environment |
| FR2824626A1 (fr) * | 2001-05-14 | 2002-11-15 | Pierre Bridenne | Procede et dispositif pour diffuser un flux de protection a l'egard d'une ambiance environnante |
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| WO2008136475A1 (ja) | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Mitsubishi Heavy Industries Environment Engineering Co., Ltd. | バイオコークス製造装置及び方法 |
| US8460515B2 (en) | 2007-04-27 | 2013-06-11 | Naniwa Roki Co., Ltd. | Biocoke producing apparatus and process therefor |
| WO2010113679A1 (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 学校法人近畿大学 | バイオコークス製造方法及び製造装置 |
| CN103827592A (zh) * | 2011-07-08 | 2014-05-28 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| AU2012281804B2 (en) * | 2011-07-08 | 2015-10-01 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
| JP2013036729A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-02-21 | Koken Ltd | 局所空気清浄化装置 |
| US10161645B2 (en) | 2011-07-08 | 2018-12-25 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
| WO2013008610A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| RU2586050C2 (ru) * | 2011-07-08 | 2016-06-10 | Кокен Лтд. | Устройство локальной очистки воздуха |
| AU2012281804A8 (en) * | 2011-07-08 | 2015-11-19 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
| JP2013068396A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-04-18 | Koken Ltd | 局所空気清浄化装置 |
| AU2012291379B2 (en) * | 2011-07-29 | 2015-09-24 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
| RU2574995C2 (ru) * | 2011-07-29 | 2016-02-10 | Кокен Лтд. | Устройство локальной очистки воздуха |
| WO2013018461A1 (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| US10197302B2 (en) | 2011-07-29 | 2019-02-05 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
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| CN104903653A (zh) * | 2012-12-07 | 2015-09-09 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| CN104903653B (zh) * | 2012-12-07 | 2017-08-04 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| US10478874B2 (en) | 2012-12-07 | 2019-11-19 | Koken Ltd. | Local air cleaner |
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