JP2002195620A - クリーン作業モジュール及びクリーントンネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易な構造で、クリーン空間内のクリーン度
を低コストにて容易に高めることを可能とする。 【解決手段】 作業ユニット１５を、クリーン空間１２
を画成している奥行方向後方側の本体壁部１３ｂからク
リーン空間１２の内方側に向かって突出するように取り
付けることによって、作業ユニット１４を通過したダウ
ンフローのクリーンエア１１を均一な層流状態で下方に
向けて良好に流動させ、クリーン空間１２の下部側に設
けられたエア排気部１２ａを通してモジュール外方側Ｓ
に円滑に排出させるように構成するとともに、作業者用
ブース１５を覆うシート体１４ａの空間的仕切作用によ
って、前記作業者用ブース１４内の圧力を、モジュール
外方側の圧力よりも高く、かつクリーン空間内の圧力よ
りも低い圧力に維持されるように構成して、クリーン空
間内における清浄度を高いレベルで達成するようにした
もの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダウンフローのク
リーンエアが供給されるクリーン空間内において、ワー
クに対する各種作業を可能とした構成を有するクリーン
作業モジュール及びクリーントンネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ワークの加工、組立、検査等を
クリーンルームで行う場合には、クリーンエアを天井側
から吹き下ろして、部屋の床面、天井及び壁面から吸い
込むようにした乱流式のボールルーム（大部屋式）が用
いられることが多いが、そのようなクリーンルームでク
リーン度を高めようとすると、初期投資費用、及びラン
ニングコストが極めて高くなってしまう。そこで、最近
では、ワークを支持している作業ユニットの周囲のみを
局所的にクリーン環境とするようにしたクリーンベンチ
が採用されつつある。

【０００３】クリーンベンチは、例えば図４に示されて
いるように、支持台１上に載置された作業ユニット２の
周囲のみにクリーンエア３をダウンフローさせるように
構成されたものであり、このような構成のクリーンベン
チを複数並べて連結することによってクリーントンネル
を形成しておけば、そのクリーントンネル内でワークを
搬送させながら、加工等の各種作業を順次連続して行う
ことができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来構造のクリーンベンチには、以下のような
問題がある。 寸法的制約によってコンベアを通しにくく、作業ユ
ニットの取付にも制約が大きい。 計器類がクリーンベンチ内に配置されていることか
ら、それら計器類からの発熱によって温度上昇を招来し
易い。 作業ユニットを下から順次積み上げていく構造にな
されていることから、下部側が塞がれた状態となってし
まい、そこにダウンフローエアが滞留することによっ
て、浮遊微粒子（パーティクル）がワークに付着し易
い。 作業ユニットの補修時には、クリーントンネル（ベ
ンチステーション）の全ての作業ユニットを停止させな
ければならない。 高い清浄度を必要とする場合には、清浄度の高いク
リーンルームの中にクリーンベンチやトンネルを設置し
なければならないため、設備費が非常に高くなってしま
う。

【０００５】そこで本発明は、クリーン度を容易に高め
ることができるとともに、ワークに対する各種作業を効
率的に行わせることができるようにしたクリーン作業モ
ジュール及びクリーントンネルを提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の請求項１にかかるクリーン作業モジュール
では、作業ユニットが、クリーン空間を画成している奥
行方向後方側の本体壁部からクリーン空間の内方側に向
かって突出するように取り付けられており、それによっ
て、作業ユニットの直下部分が空間状態に画成されてい
る。従って、上記作業ユニットを通過したダウンフロー
のクリーンエアは、均一な層流状態で下方に向けて良好
に流動していき、その後、クリーン空間の下部側に設け
られたエア排気部を通してモジュール外方側に円滑に排
出されていく。また、作業者用ブースは、当該作業者用
ブースを覆うシート体によってモジュール外方側と空間
的に仕切られるようにして形成されており、そのシート
体の空間的仕切作用によって、前記作業者用ブース内の
圧力が、モジュール外方側の圧力よりも高く、かつクリ
ーン空間内の圧力よりも低い圧力に維持されている。従
って、ダウンフローのクリーンエアの流れは、クリーン
空間の内部側から作業者用ブースを通してモジュール外
方側に向かって定常的に流出していく方向となり、その
結果、クリーン空間内における清浄度が高いレベルで達
成されるとともに、その高清浄度状態が良好に維持され
るようになっている。

【０００７】また、請求項２にかかるクリーン作業モジ
ュールでは、作業者用ブースの上部側に、該作業者用ブ
ース内の空気を吸い込むエア吸気部が設けられていて、
淀みを生じ易い作業者用ブースの上部側の空気が、上記
エア吸気部を通してブース外に排出されていき、それに
よって、作業者用ブース内の汚染空気が、クリーン空間
内に侵入する事態が良好に防止されるようになってい
る。

【０００８】さらに、請求項３にかかるクリーン作業モ
ジュールでは、エア吸気部からの空気吸い込み量が、作
業者用ブース内の圧力をモジュール外方側の圧力よりも
高い状態に維持する程度に設定されており、それによっ
て、モジュール外方側の汚染空気が、作業者用ブース内
に流入することがなくなるようにしている。

【０００９】さらにまた、請求項４にかかるクリーン作
業モジュールでは、クリーン空間と作業者用ブースとの
間に位置する奥行方向前方側の本体壁部に、作業者がク
リーン空間内のワークを目視するための作業用口が設け
られているとともに、その作業用口には、クリーン空間
の内部側に向かって張り出す曲面状の窓板が取り付けら
れていることから、作業者からの視野が、上記曲面状の
窓板を通して拡大されて作業性が向上されるとともに、
作業者から発せられる塵埃が、窓板の空間的遮断作用に
よって、クリーン空間内に流入しないようになってい
る。

【００１０】一方、請求項５にかかるクリーン作業モジ
ュールでは、曲面状をなす窓板の直下位置に、ダウンフ
ローのクリーンエアの一部を作業者用ブース側に案内す
るエア取出穴が設けられているとともに、曲面状の窓板
の下半側の曲面が、該窓板の曲面の張出し頂部から上記
エア取出穴に向かって湾曲する形状になされていること
から、クリーン空間内の作業ユニット近傍の空気の一部
が、上記窓板の下半側の曲面に沿ってエア取出穴側に案
内されていき、そのエア取出穴を通して作業者用ブース
内に流出されることとなって、浮遊微粒子（パーティク
ル）がワークに付着することが確実に防止されるように
なっている。

【００１１】また、請求項６にかかるクリーン作業モジ
ュールでは、曲面状の窓板を挟んで作業者と反対側の位
置であって、クリーン空間の外方側には、上記窓板とほ
ぼ同じ高さに計器類が配置されていて、計器類によって
ダウンフローのクリーンエアが乱流化されることがな
く、しかも、当該計器類からの発熱によってクリーン空
間内が加熱されて昇温されたり、計器類から発生する塵
埃がクリーン空間内に侵入することのないようになって
いる。

【００１２】さらに、請求項７にかかるクリーン作業モ
ジュールでは、クリーン空間の天井側に位置する本体壁
部に、ダウンフローのクリーンエアを供給するエア送出
部が設けられ、そのエア送出部には、下方に向かって凸
状に張り出す湾曲表面を備えた曲面フィルターが配置さ
れ、当該曲面フィルターを通して上記エア送出部から送
給されるダウンフローのクリーンエアが、少なくとも奥
行方向と直交する幅方向に向かって略放射状に拡大され
て送出されるようになっている。従って、上記ダウンフ
ローのクリーンエアは、クリーン空間における少なくと
も幅方向の全幅にわたって良好に送給される。

【００１３】さらにまた、請求項８にかかるクリーン作
業モジュールでは、クリーン空間を画成している本体壁
部の下端部、及び作業者用ブースを仕切るシート体の下
端部に、エア排出口がそれぞれ設けられていることか
ら、ダウンフローのクリーンエアの流れが良好に形成さ
れるようになっている。

【００１４】また、請求項９にかかるクリーントンネル
では、上述した請求項１乃至８のいずれかに記載のクリ
ーン作業モジュールが、複数並べられて列状に連結され
て構成されていることから、当該クリーントンネルにお
いても、上述した作用が同様に得られることとなる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１及び図２に示された本発
明の一実施形態にかかるクリーン作業モジュール１０で
は、ダウンフローのクリーンエア１１が供給されるクリ
ーン空間１２が、枠体状に形成された本体部１３の各壁
部によって空間的に仕切られるように画成されていると
ともに、そのクリーン空間１２の奥行方向（図１左右方
向）の前方側（図１の左方側）に位置する本体前壁部１
３ａを介して、作業者Ｐが位置する作業者用ブース１４
が上記クリーン空間１２に隣接するように設けられてい
る。そして、その作業者用ブース１４内に位置する作業
者Ｐが、前記クリーン空間１２内に配置された作業ユニ
ット１５に向かって奥側に手を延ばすことにより、上記
作業ユニット１５上に支持されたワークＷに対して各種
作業を行う構成になされている。

【００１６】より詳細には、まず上記本体部１３は、角
パイプ等により形成された枠体フレーム状の構造体の必
要部位に対して本体壁部を適宜に装着したものであり、
上述したように、奥行方向前方側に配置された本体前壁
部１３ａによって、上記クリーン空間１２と作業者用ブ
ース１４との間が遮蔽されているとともに、上記本体前
壁部１３ａと反対側の奥行方向後方側に配置された本体
後壁部１３ｂによって、上記クリーン空間１２とモジュ
ール外方側の空間Ｓとの間が遮蔽されている。

【００１７】そして、図３にも示されているように、上
記本体部１３の天井部分に相当する壁部の上部側には、
フィルターユニット１６が取り付けられていて、当該フ
ィルターユニット１６内に設けられたファンモータ１６
ａの回転駆動力によって、モジュール外方側の空間Ｓに
おける空気が、上記フィルターユニット１６の上面側に
設けられたプレフィルター１６ｂを通して内部に取り込
まれ、さらに、このフィルターユニット１６の下面側に
設けられたエア送出部１６ｃのヘパ（ＨＥＰＡ）フィル
ター１６ｄを通して清浄化された空気が、上記クリーン
空間１２の上部側から下方側に向かって、ダウンフロー
のクリーンエア１１として送給されるようになってい
る。

【００１８】このとき、上記エア送出部１６ｃに設けら
れたヘパフィルター１６ｄは、下方に向かって凸状をな
す湾曲表面を備えた曲面フィルターから構成されてお
り、当該曲面フィルターからなるヘパフィルター１６ｄ
を通して、前述したダウンフローのクリーンエアが、奥
行方向と直交する幅方向（図２の左右方向）に向かって
略放射状に拡大されつつ送給されるようになっている。

【００１９】また、上述した作業ユニット１５は、前記
クリーン空間１２の奥行方向に移動可能に設けられた移
動ユニット１５ａに支持されており、その移動ユニット
１５ａが、上述した本体部１３の本体後壁部１３ｂに形
成された開口部に組み合わせられたときに、前述したク
リーン空間１２が形成される構成になされている。すな
わち、上記作業ユニット１５は、前記クリーン空間１２
を画成している本体後壁部１３ｂから、前記クリーン空
間１２の内方側に向かって突出する構造、すなわち壁掛
け式に支持された構造になされている。この作業ユニッ
ト１５上に配置されたワークＷは、図示を省略した供給
コンベア又は適宜のユニットにより送給されている。

【００２０】さらに、前述した作業者用ブース１４は、
当該作業者用ブース１４の周囲を覆う透明のビニールシ
ート体１４ａによって、モジュール外方側の空間Ｓと空
間的に仕切られるように形成されている。このビニール
シート体１４ａの空間的仕切作用によって、前記作業者
用ブース１４内の圧力ＢＰは、上記モジュール外方側の
空間Ｓの圧力ＯＰよりもやや高くなるように設定されて
いるとともに（ＢＰ＞ＯＰ）、前記クリーン空間１２内
の空気が作業者用ブース１４に流れ込むようにクリーン
空間１２内の圧力ＣＰよりもやや低い圧力に維持されて
いる（ＢＰ＜ＣＰ）。

【００２１】一方、上記作業者用ブース１４の最上の位
置には、該作業者用ブース１４内の空気を吸い込むエア
吸気部１４ｂが設けられている。このエア吸気部１４ｂ
の前面には、図示を省略した多数の吸引孔が貫通形成さ
れているとともに、上述したフィルターユニット１６側
に連通するように管連結されていて、上記作業者用ブー
ス１４内上方側に滞留していた空気を吸引する構成にな
されている。すなわち、上記作業者用ブース１４内上方
側の滞留空気は、上記エア吸気部１４ｂを通してフィル
ターユニット１６内に吸引されていき、そのフィルター
ユニット１６内のヘパフィルター１６ｄを通して清浄化
された後に、ダウンフローのクリーンエア１１としてク
リーン空間１２内に送給されるようになっている。な
お、このときの前記エア吸気部１４ｂからの空気吸い込
み量は、上記作業者用ブース１４内の圧力ＢＰを、モジ
ュール外方側の圧力ＯＰよりも高い状態に維持する程度
となるように設定されている。

【００２２】また、前記クリーン空間１２と作業者用ブ
ース１４との間に位置する本体前壁部１３ａには、作業
者Ｐがクリーン空間１２内のワークＷを目視しつつ作業
を行うための作業用口１３ｃが貫通形成されているとと
もに、その作業用口１３ｃには、上記クリーン空間１２
側に向かって横断面略半円曲面状に張り出す透明窓板１
４ｃが取り付けられている。さらに、その透明窓板１４
ｃの直下位置に相当する作業用口１３ｃには、前記クリ
ーン空間１２と作業者用ブース１４との圧力差によって
上述したダウンフローのクリーンエアー１１の一部を作
業者用ブース１４側に案内するエア取出穴１４ｄとして
も作用するように上記作業用口１３ｃが貫通形成されて
いる。そして、上記半円曲面状の透明窓板１４ｃの下半
側の曲面が、該透明窓板１４ｃの曲面の張出し頂部Ａか
ら上記エア取出穴１４ｄに向かって湾曲する形状になさ
れている。

【００２３】さらに、上記透明窓板１４ｃを挟んで前記
作業者Ｐと反対側の位置であって、前記クリーン空間１
２の外側には、各種の計器類１７が、上記透明窓板１４
ｃとほぼ同じ高さに配置されている。この計器類１７
は、上記クリーン空間１２内には配置せずに、本体部１
３の枠体フレーム上に載置されていて、作業者Ｐが、透
明窓板１４ｃを通して計器類１７を目視可能となるよう
に配置されている。

【００２４】さらに、前記クリーン空間１２を画成して
いる各本体壁部下端部、及び作業者用ブース１４を仕切
っているビニールシート体１４ａの下端部には、エア排
出口１２ａ，１４ｅがそれぞれ設けられており、上述し
たダウンフローのクリーンエア１１は、最終的にそれら
の各エア排出口１２ａ，１４ｅを通してモジュール外方
側の空間Ｓに排出されるようになっている。

【００２５】このような構成を有するクリーン作業モジ
ュール１０は、幅方向に沿って複数並べられてられてお
り、これら複数のクリーン作業モジュール１０が互いに
連結されていることによってクリーントンネルが形成さ
れている。

【００２６】このように本実施形態にかかるクリーン作
業モジュール１０では、作業ユニット１５が、クリーン
空間１２を画成している奥行方向後方側の本体壁部１３
ｂからクリーン空間１２の内方側に向かって突出するよ
うに取り付けられており、それによって、作業ユニット
１５の直下部分が空間状態に画成されている。従って、
上記作業ユニット１５を通過したダウンフローのクリー
ンエア１１は、均一な層流状態で下方に向けて良好に流
動していき、その後、クリーン空間１２の下部側に設け
られたエア排出口１２ａを通してモジュール外方側の空
間Ｓに向かって円滑に排出されていくようになってい
る。

【００２７】また、作業者用ブース１４は、当該作業者
用ブース１４を覆うビニールシート体１４ａによってモ
ジュール外方側の空間Ｓと空間的に仕切られるようにし
て形成されており、そのビニールシート体１４ａの空間
的仕切作用によって、前記作業者用ブース１４内の圧力
ＢＰが、モジュール外方側の空間Ｓの圧力ＯＰよりも高
く、かつクリーン空間１２内の圧力ＣＰよりも低い圧力
に維持されている。従って、ダウンフローのクリーンエ
ア１１の流れは、クリーン空間１２の内部側から作業者
用ブース１４を通してモジュール外方側の空間Ｓに向か
って定常的に流出していく方向となり、その結果、クリ
ーン空間１２内における清浄度が高いレベルで達成され
るとともに、その高清浄度状態が良好に維持されるよう
になっている。

【００２８】また、本実施形態にかかるクリーン作業モ
ジュール１０では、作業者用ブース１４の上部側に、該
作業者用ブース１４内の空気を吸い込むエア吸気部１４
ｂが設けられていて、淀みを生じ易い作業者用ブース１
４の上部側の空気が、上記エア吸気部１４ｂを通してブ
ース外に排出されていき、それによって、作業者用ブー
ス１４内の汚染空気が、クリーン空間１２内に侵入する
事態が良好に防止されるようになっている。このとき、
上記エア吸気部１４ｂからの空気吸い込み量が、作業者
用ブース１４内の圧力ＢＰをモジュール外方側の空間Ｓ
の圧力ＯＰよりも高い状態に維持する程度に設定されて
おり、それによって、モジュール外方側の汚染空気が、
作業者用ブース１４内に流入することがなくなるように
している。

【００２９】さらに、本実施形態にかかるクリーン作業
モジュール１０では、クリーン空間１２と作業者用ブー
ス１４との間に位置する奥行方向前方側の本体壁部１３
ａに、作業者Ｐがクリーン空間１２内のワークＷを目視
するための作業用口１３ｃが設けられているとともに、
その作業用口１３ｃには、クリーン空間１２の内部側に
向かって張り出す曲面状の窓板１４ｃが取り付けられて
いることから、作業者Ｐからの視野が、上記曲面状の窓
板１４ｃを通して拡大されて作業性が向上されるととも
に、作業者Ｐから発せられる塵埃が、窓板１４ｃの空間
的遮断作用によって、クリーン空間１２内に流入しない
ようになっている。

【００３０】さらにまた、上記曲面状をなす窓板１４ｃ
の直下位置に、ダウンフローのクリーンエア１１の一部
を作業者用ブース１４側に案内するエア取出穴１４ｄが
設けられているとともに、曲面状の窓板１４ｃの下半側
の曲面が、該窓板１４ｃの曲面の張出し頂部Ａから上記
エア取出穴１４ｄに向かって湾曲する形状になされてい
ることから、クリーン空間１２内の作業ユニット１５近
傍の空気の一部が、上記窓板１４ｃの下半側の曲面に沿
ってエア取出穴１４ｄ側に案内されていき、そのエア取
出穴１４ｄを通して作業者用ブース１４内に流出され
る。その結果として、浮遊微粒子（パーティクル）がワ
ークＷに付着することが確実に防止される。

【００３１】このとき、上記曲面状の窓板１４ｃを挟ん
で作業者Ｐと反対側の位置であって、クリーン空間１２
の外方側に、上記窓板１４ｃとほぼ同じ高さに計器類１
７を配置していることから、上記計器類１７によってダ
ウンフローのクリーンエア１１が乱流化されることがな
く、しかも、当該計器類１７からの発熱によってクリー
ン空間１２内が加熱されて昇温されたり、計器類１７か
ら発生する塵埃がクリーン空間１２内に侵入することの
ないようになっている。

【００３２】また、本実施形態にかかるクリーン作業モ
ジュール１０では、クリーン空間１２の天井側に位置す
る本体壁部に、ダウンフローのクリーンエア１１を供給
するエア送出部１６ｃが設けられ、そのエア送出部１６
ｃには、下方に向かって凸状に張り出す湾曲表面を備え
た曲面フィルター１６ｄが配置され、当該曲面フィルタ
ー１６ｄを通して上記エア送出部１６ｃから送給される
ダウンフローのクリーンエア１１が、少なくとも奥行方
向と直交する幅方向に向かって略放射状に拡大されて送
出されるようになっている。従って、上記ダウンフロー
のクリーンエア１１は、クリーン空間１２における少な
くとも幅方向の全幅にわたって良好に送給される。

【００３３】さらに、本実施形態にかかるクリーン作業
モジュール１０では、クリーン空間１２を画成している
本体壁部の下端部、及び作業者用ブース１４を空間的に
仕切るビニールシート体１４ａの下端部に、エア排出口
１２ａ，１４ｅがそれぞれ設けられていることから、ダ
ウンフローのクリーンエア１１の流れが良好に形成され
るようになっている。

【００３４】さらにまた、本実施形態にかかるクリーン
トンネルは、上述したようなクリーン作業モジュール１
０を複数並べて列状に連結して構成されているものであ
るから、このようなクリーントンネルにおいても、上述
した作用・効果が同様に得られる。

【００３５】以上、本発明者によってなされた発明の実
施形態を具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変形可能であるというのはいうまでもない。

【００３６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１に
かかるクリーン作業モジュールは、作業ユニットが、ク
リーン空間を画成している奥行方向後方側の本体壁部か
らクリーン空間の内方側に向かって突出するように取り
付けられていることによって、作業ユニットを通過した
ダウンフローのクリーンエアを、均一な層流状態で下方
に向けて良好に流動させ、クリーン空間の下部側に設け
られたエア排気部を通してモジュール外方側に円滑に排
出させるように構成するとともに、作業者用ブースを覆
うシート体によってモジュール外方側と空間的に仕切ら
れるようにして当該作業者用ブースが形成され、そのシ
ート体の空間的仕切作用によって、前記作業者用ブース
内の圧力が、モジュール外方側の圧力よりも高く、かつ
クリーン空間内の圧力よりも低い圧力に維持されるよう
に構成され、それによって、クリーン空間内における清
浄度が高いレベルで達成されるとともに、その高清浄度
状態が良好に維持されるようにしたものであるから、ク
リーン空間内のクリーン度を低コストにて容易に高める
ことができる。

【００３７】また、本発明の請求項２にかかるクリーン
作業モジュールは、作業者用ブースの上部側に、該作業
者用ブース内の空気を吸い込むエア吸気部が設けられて
いて、淀みを生じ易い作業者用ブースの上部側の空気
が、上記エア吸気部を通してブース外に排出されてい
き、それによって、作業者用ブース内の汚染空気が、ク
リーン空間内に侵入する事態が良好に防止されるように
したものであるから、上述した効果を更に高めることが
できる。

【００３８】さらに、請求項３にかかるクリーン作業モ
ジュールは、エア吸気部からの空気吸い込み量が、作業
者用ブース内の圧力をモジュール外方側の圧力よりも高
い状態に維持する程度に設定されており、それによっ
て、モジュール外方側の汚染空気が、作業者用ブース内
に流入することがなくなるようにしたものであるから、
上述した効果を一層高めることができる。

【００３９】さらにまた、請求項４にかかるクリーン作
業モジュールは、クリーン空間と作業者用ブースとの間
に位置する奥行方向前方側の本体壁部に、作業者がクリ
ーン空間内のワークを目視するための作業用口が設けら
れているとともに、その作業用口には、クリーン空間の
内部側に向かって張り出す曲面状の窓板が取り付けられ
ていることから、作業者からの視野が、上記曲面状の窓
板を通して拡大されて作業性が向上されるとともに、作
業者から発せられる塵埃が、窓板の空間的遮断作用によ
って、クリーン空間内に流入しないようにしたものであ
るから、上述した効果を更に向上させることができる。

【００４０】一方、請求項５にかかるクリーン作業モジ
ュールは、曲面状をなす窓板の直下位置に、ダウンフロ
ーのクリーンエアの一部を作業者用ブース側に案内する
エア取出穴が設けられているとともに、曲面状の窓板の
下半側の曲面が、該窓板の曲面の張出し頂部から上記エ
ア取出穴に向かって湾曲する形状になされていることか
ら、クリーン空間内の作業ユニット近傍の空気の一部
が、上記窓板の下半側の曲面に沿ってエア取出穴側に案
内されていき、そのエア取出穴を通して作業者用ブース
内に流出されることとなって、浮遊微粒子（パーティク
ル）がワークに付着することが確実に防止されるように
したものであるから、上述した効果に加えて、ワークの
作業性を高めることができる。

【００４１】また、請求項６にかかるクリーン作業モジ
ュールは、曲面状の窓板を挟んで作業者と反対側の位置
であって、クリーン空間の外方側に、上記窓板とほぼ同
じ高さに計器類を配置して、計器類によってダウンフロ
ーのクリーンエアが乱流化されることがなく、しかも、
当該計器類からの発熱によってクリーン空間内が加熱さ
れて昇温されたり、計器類から発生する塵埃がクリーン
空間内に侵入することのないようにしていることから、
上述した効果を一層向上させつつ、ワークの作業品質を
高めることができる。

【００４２】さらに、請求項７にかかるクリーン作業モ
ジュールは、クリーン空間の天井側に位置する本体壁部
に、ダウンフローのクリーンエアを供給するエア送出部
が設けられ、そのエア送出部には、下方に向かって凸状
に張り出す湾曲表面を備えた曲面フィルターが配置さ
れ、当該曲面フィルターを通して上記エア送出部から送
給されるダウンフローのクリーンエアが、少なくとも奥
行方向と直交する幅方向に向かって略放射状に拡大され
て送出されるようになっている。従って、上記ダウンフ
ローのクリーンエアは、クリーン空間における少なくと
も幅方向の全幅にわたって良好に送給されるようにした
ものであるから、上述した効果を一層向上させることが
できる。

【００４３】さらにまた、請求項８にかかるクリーン作
業モジュールは、クリーン空間を画成している本体壁部
の下端部、及び作業者用ブースを仕切るシート体の下端
部に、エア排出口がそれぞれ設けられていることから、
ダウンフローのクリーンエアの流れが良好に形成される
ようにしたものであるから、上述した効果を更に高める
ことができる。

【００４４】また、請求項９にかかるクリーントンネル
は、上述した請求項１乃至８のいずれかに記載のクリー
ン作業モジュールが、複数並べられて列状に連結されて
構成されたものであるから、当該クリーントンネルにお
いても、上述した効果を同様に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態におけるクリーン作業モジ
ュールの構造を表した横断面説明図である。

【図２】図１に示されたクリーン作業モジュールを、作
業者用ブースから見たときの正面説明図である。

【図３】図１に示されたクリーン作業モジュールにおけ
るクリーン空間内を表した正面説明図である。

【図４】一般に用いられているクリーンベンチの構造を
表した側面説明図である。

【符号の説明】

１０ クリーン作業モジュール １１ ダウンフローのクリーンエア １２ クリーン空間 １２ａ エア排出口 １３ 本体部 １３ａ 本体前壁部 １３ｂ 本体後壁部 １３ｃ 作業用口 １４ 作業者用ブース １４ａ 透明のビニールシート体 １４ｂ エア吸気部 １４ｃ 透明窓板 １４ｄ エア取出穴 １４ｅ エア排出口 １５ 作業ユニット １６ フィルターユニット １６ａ ファンモータ １６ｂ プレフィルター １６ｃ エア送出部 １６ｄ のヘパフィルター Ｗ ワーク Ｐ 作業者 Ｓ モジュール外方側空間 ＢＰ 作業者用ブース内圧力 ＯＰ モジュール外方側圧力 ＣＰ クリーン空間圧力

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉山 佳之 東京都江東区有明１−２−25 東洋熱工業 株式会社内 (72)発明者 石野 智明 東京都江東区有明１−２−25 東洋熱工業 株式会社内 Ｆターム(参考） 3L058 BE02 BF01 BF03 BF05 BF07 BG01 BG03 BG04 4G057 AA11

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 枠体状に形成された本体部の壁部によ
   り、ダウンフローのクリーンエアが供給されるクリーン
   空間が画成されているとともに、そのクリーン空間内
   に、ワークを支持する作業ユニット配置され、上記クリ
   ーン空間の奥行方向前方側に位置する本体壁部を介して
   作業者用ブースが隣接するように配置されたものであっ
   て、 上記作業者用ブース内に位置する作業者が、前記クリー
   ン空間内に向かって奥側に手を延ばしながら上記作業ユ
   ニット上のワークに対して各種作業を行う構成になされ
   たクリーン作業モジュールにおいて、 上記作業ユニットは、前記クリーン空間を画成している
   奥行方向後方側の本体壁部から、前記クリーン空間の内
   部側に向かって突出するように取り付けられているとと
   もに、 上記クリーン空間の下部側には、前記ダウンフローのク
   リーンエアをモジュール外方側に排出するエア排気部が
   設けられ、 前記作業者用ブースは、当該作業者用ブースを覆うシー
   ト体によってモジュール外方側と空間的に仕切られるよ
   うに形成され、 上記シート体の空間的仕切作用によって、前記作業者用
   ブース内の圧力が、モジュール外方側の圧力よりも高
   く、かつ前記クリーン空間内の圧力よりも低い圧力に維
   持されていることを特徴とするクリーン作業モジュー
   ル。
2. 【請求項２】 前記作業者用ブースの上部側には、該作
   業者用ブース内の空気を吸い込むエア吸気部が設けられ
   ていることを特徴とする請求項１記載のクリーン作業モ
   ジュール。
3. 【請求項３】 前記エア吸気部からの空気吸い込み量
   が、上記作業者用ブース内の圧力をモジュール外方側の
   圧力よりも高い状態に維持する程度に設定されていると
   ことを特徴とする請求項２記載のクリーン作業モジュー
   ル。
4. 【請求項４】 前記クリーン空間と作業者用ブースとの
   間に位置する奥行方向前方側の本体壁部には、作業者が
   クリーン空間内のワークを目視するための作業用口が設
   けられているとともに、 その作業用口には、上記クリーン空間の内部側に向かっ
   て張り出す曲面状の窓板が取り付けられていることを特
   徴とする請求項１記載のクリーン作業モジュール。
5. 【請求項５】 前記曲面状をなす窓板の直下位置には、
   前記ダウンフローのクリーンエアの一部を作業者用ブー
   ス側に向かって案内するエア取出穴が設けられていると
   ともに、 上記曲面状の窓板の下半側の曲面が、該曲面状の窓板の
   張出し頂部から、上記エア取出穴に向かって湾曲する形
   状に形成されていることを特徴とする請求項４記載のク
   リーン作業モジュール。
6. 【請求項６】 前記曲面状の窓板を挟んで前記作業者と
   反対側の位置であって、前記クリーン空間の外方側に
   は、上記窓板とほぼ同じ高さに計器類が配置されている
   ことを特徴とすることを特徴とする請求項５記載のクリ
   ーン作業モジュール。
7. 【請求項７】 前記クリーン空間の天井側に位置する本
   体壁部には、前記ダウンフローのクリーンエアを供給す
   るエア送出部が設けられ、 そのエア送出部には、下方に向かって凸状に張り出す湾
   曲表面を備えた曲面フィルターが配置され、 当該曲面フィルターを通して上記エア送出部から送給さ
   れるダウンフローのクリーンエアが、少なくとも前記奥
   行方向と直交する幅方向に向かって略放射状に拡大され
   るように構成されていることを特徴とする請求項１記載
   のクリーン作業モジュール。
8. 【請求項８】 前記クリーン空間を画成している本体壁
   部の下端部、及び作業者用ブースを空間的に仕切ってい
   るシート体の下端部には、エア排出口がそれぞれ設けら
   れていることを特徴とする請求項１記載のクリーン作業
   モジュール。
9. 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれかに記載のクリ
   ーン作業モジュールが、複数並べられて列状に連結され
   ていることを特徴とするクリーントンネル。