JPH06341686A - クリーンルームのクリーンシステム及び移動式クリーンユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルームの完成後であっても、大がか
りな改造工事を必要とすることなくクリーンルームの清
浄度を自由に可変させることができるクリーンシステム
を提供する。 【構成】 室内６０の空気を強制的に排出させ、この空
気を清浄化して再び室内６０に供給し、この循環操作を
連続的に繰返すことにより室内６０の空気の清浄度を向
上させるクリーンルーム６０において、必要に応じて必
要な位置に必要な台数の移動式クリーンユニット６５を
配置することにより室内６０の清浄度を自由に可変させ
る。 【効果】 既設のクリーンルームの必要な位置に必要な
台数の移動式クリーンユニットを配置することにより、
大がかりな改造工事を必要とすることなく清浄度を自由
に可変させることができ、特に給気と還気のバランスを
向上させて、室内のあらゆる位置の空気の清浄度を均一
に向上させることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造等に用い
られるクリーンルームのクリーンシステム及び移動式ク
リーンユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、天井の適当な位置に適当な数の
空気吹出しユニットを設けた乱流方式のクリーンルーム
は、天井の略全面にわたって多数のフィルタを設け、天
井の略全面から空気が吹出すようにした層流方式のクリ
ーンルームに対して、清浄度がそれほど高く要求されな
い分野に応用される。例えば半導体の製造には非常に高
い清浄度がクリーンルームに要求されるのに対し、食品
の製造、薬品の製造、病院、その他広範囲の分野におい
ては、それほど高くは必要ないがある程度の清浄度が要
求されており、そのような分野において前記乱流方式の
クリーンルームが応用されている。このため、それらの
分野によって種々の程度の清浄度が要求されるため、ク
リーンルームが完成して清浄度がその設備上から一定に
設定され、操業開始後に至ってから、種々の製造設備や
レイアウト等の変更の必要に迫られ、その結果クリーン
ルームの清浄度の変更の必要を迫られる場合が非常に多
い。

【０００３】以下に、従来の乱流方式のクリーンルーム
について、主なタイプのものについて説明する。従来の
乱流方式のクリーンルームとしては、例えば図３及び図
４に示すようなものがある（第１従来例）。同図に示す
クリーンルーム１０において、符号１１は天井、１２は
壁、１３は床である。クリーンルーム１０の天井１１に
は、フィルタ１４を内蔵した空気吹出しユニット１５が
図４に示すような位置に複数台、埋込まれて設けられて
いる。

【０００４】空気吹出しユニット１５には給気ダクト１
８が連結されており、壁１２の下方に設けられた吸込口
２０には還気ダクト２１が連結されていて、給気ダクト
１８と還気ダクト２１との間には送風機２３が連結され
ている。このようなクリーンルーム１０においては、送
風機２３の作動により、クリーンルーム１０内の空気を
吸込口２０から還気ダクト２１を通って強制的に排出さ
せ、給気ダクト１８を通ってフィルタ１４により空気を
清浄化して、空気吹出しユニット１５により再びクリー
ンルーム１０内に供給し、この循環操作を連続的に繰返
すことによりクリーンルーム１０内の空気の清浄度を向
上させることができる。このようなクリーンルーム１０
は、天井１１にフィルタ１４を有する空気吹出しユニッ
ト１５を複数埋込むため、クリーンルーム１０に清浄空
気を送り込むための特別の大規模な送風装置を収納する
機械室を、別に大きなスペースをとって設ける必要がな
いという長所を有している。

【０００５】他の従来の乱流方式のクリーンルームとし
ては、図５に示すようなものがある（第２従来例）。同
図に示すクリーンルーム３０において、その天井１１に
は、フィルタ３４と送風機３３を内蔵した空気吹出しユ
ニット３５が複数埋込まれている。空気吹出しユニット
３５と吸込口２０はダクト３８により連結されており、
送風機３３の動作によりクリーンルーム３０内の空気
を、ダクト３８を通って吸込口２０から空気吹出しユニ
ット３５に向かって循環させるようになっている。この
ようなクリーンルーム３０も、前記第１従来例のクリー
ンルーム１０と同様の長所を有している。

【０００６】また他の従来の乱流方式のクリーンルーム
としては、図６に示すようなものがある（第３従来
例）。同図に示すクリーンルーム４０においては、送風
機４３とフィルタ４４を内蔵した床置式の空気吹出しユ
ニット４５を、壁１２に近接して固定設置したものであ
る。空気吹出しユニット４５はクリーンルーム４０内の
下側の空気を吸い込んで、清浄化した空気をクリーンル
ーム４０の上方に吹出すようになっている。このような
クリーンルーム４０は、室内に空気吹出しユニット４５
を設置するだけで済むため、空気吹出しユニットを天井
１１に埋込んだりダクトを設けたりする場合に比べて、
工事費が安いという長所を有している。

【０００７】さらに他の従来の乱流方式のクリーンルー
ムとしては、図７に示すようなものがある（第４従来
例）。同図に示すクリーンルーム５０においては、送風
機５３とフィルタ５４を内蔵した空気吹出しユニット５
５を天井１１に埋込んで設置し、クリーンルーム５０の
上方から空気を吸い込んで、同じくクリーンルーム５０
の上方から清浄化した空気を吹き出すようになってい
る。このようなクリーンルーム５０は、給気用及び還気
用のダクトが不要なため工事費が安いという長所を有し
ている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記第
１従来例のクリーンルーム１０においては、工事完成後
にあっては風量や空気吹出しユニット１５の台数を増や
すことができないと共に、部屋の形状や広さにより吸込
口２０間の距離が長いと、図８に示すように、壁１２際
にかなりの風量が集中して気流の乱れが生じ、特に部屋
の中心部には乱流域Ｄが発生して、クリーンルーム１０
の清浄度を効果的に向上させることができないという問
題がある。

【０００９】また前記第２従来例のクリーンルーム３０
においては、送風機３３が天井１１に埋込まれているた
め、その補修作業は天井裏で行わなければならず作業が
やり難く、脚立等を用いて室内で作業するとしても、作
業により発生するゴミが室内に入って清浄度を著しく低
下させるおそれがあるという問題がある。この点におい
ては前記第４従来例のクリーンルーム５０においても同
様である。また前記第２従来例のクリーンルーム３０に
おいてはさらに、前記第１従来例のクリーンルーム１０
と同様の問題を有している。

【００１０】また前記第３従来例のクリーンルーム４０
においては、部屋の形状や大きさによっては吹き出した
空気が届きにくい所も出てくるので、複雑な形状の部屋
や大きな部屋には適さないという問題がある。

【００１１】さらに前記第４従来例のクリーンルーム５
０においては、空気吹出しユニット５５の吹出口と吸込
口が隣接しているため、吹出した空気がすぐに吸込まれ
てしまい、吹出した空気が室内の隅々迄均一に行き渡ら
ず、特に床１３側やその隅々の部分の清浄度を向上させ
ることが難しいという問題がある。また、吸込口が天井
１１にあるため塵埃の回収が行われ難いという問題があ
る。

【００１２】以上に述べたように、主として乱流方式の
クリーンルームにおいては給気と還気のバランスが難し
く、特に室内のあらゆる位置の空気の清浄度をいかに均
一に向上させるかが大きな問題となっている。理想的に
は図９に示すように、床１３の適当な位置に適当な数の
吸込口５８を設けて、これを還気ダクト２１に連結する
ことにより、部屋の中心部の空気の還気を効果的に行う
ことが可能となり、図８に示すような乱流域Ｄが発生す
ることを防止することができる。しかしながら、建家の
関係でこのような構造を採用することはごくまれにしか
実現することができない。そこで本発明は、大がかりな
改造工事を必要とすることなく上記問題点を解決するた
めの、クリーンルームのクリーンシステム及び移動式ク
リーンユニットを提供することを課題とするものであ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、クリーンルームのクリーンシステムとして
は、室内の空気を強制的に排出させ、この空気を清浄化
して再び室内に供給し、この循環操作を連続的に繰返す
ことにより室内の空気の清浄度を向上させるクリーンル
ームにおいて、必要に応じて必要な位置に必要な台数の
移動式クリーンユニットを配置することにより清浄度を
自由に可変させることを特徴とするものであり、移動式
クリーンユニットとしては、クリーンルーム内に移動可
能に配置され、室内の空気を吸入して再び室内に吹出す
ための送風装置と、吸入した空気を清浄化するためのフ
ィルタとを備え、室内の空気を下方から吸入して清浄化
された空気を上方から吹出すことにより室内の空気の清
浄度を補完的に向上させることを特徴とするものであ
る。

【００１４】

【作用】このような本発明によるクリーンシステム及び
移動式クリーンユニットを用いた場合には、既設のクリ
ーンルームの必要な位置に必要な台数の移動式クリーン
ユニットを配置することにより、大がかりな改造工事を
必要とすることなく清浄度を自由に可変させることがで
き、特に給気と還気のバランスを向上させて、室内のあ
らゆる位置の空気の清浄度を均一に向上させることが可
能となる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基づい
て説明する。図１および図２は、本発明によるクリーン
ルームのクリーンシステム及び移動式クリーンユニット
の一実施例を示す図である。同図において、前記図３に
示したクリーンルームの第１従来例と同じ部品には同じ
符号を付して説明する。図１に示すように、クリーンル
ーム６０は天井１１、壁１２及び床１３により形成され
ており、空気は室内の下部の吸込口２０から吸込まれ
て、図示してないダクトを循環してフィルタ１４により
清浄化され、天井１１に埋め込まれた空気吹出しユニッ
ト１５から吹出されて室内を清浄化するようになってい
る。

【００１６】図２に示すように、クリーンルーム６０内
には作業台６２が複数配置され、その作業台６２上でオ
ペレータ６３が所定の作業を行うようになっている。同
図においては、天井部（図示せず）に埋め込まれた空気
吹出しユニット１５が４つ配置されている他、それらの
間の適当な位置に移動式クリーンユニット６５が２つ配
置されている。

【００１７】移動式クリーンユニット６５は図１に示す
ように、脚部にキャスター６７が設けられていて、クリ
ーンルーム６０内を自由な方向や位置に移動可能となっ
ている。移動式クリーンユニット６５の底部には吸込口
６８が設けられていると共に、その頭頂部には空気の吹
出し口６９が設けられている。移動式クリーンユニット
６５の内部には、クリーンルーム６０内の空気を吸込口
６８から吸入して吹出し口６９から吹出すための送風機
７１が設けられていると共に、その吸入した空気を清浄
化するためのフィルタ７３が設けられている。

【００１８】このような移動式クリーンユニット６５
は、クリーンルーム６０内の空気を下方から吸入して上
方から清浄化された空気を吹出すことにより、クリーン
ルーム６０内の空気の清浄度を補完的に向上させること
ができる。このため、クリーンルーム６０の工事完成後
に、風量や空気吹出しユニット１５の台数を増やす必要
が生じた場合に、その必要に応じて移動式クリーンユニ
ット６５を必要な台数だけ必要な位置に配置することに
より、大がかりな改造工事を必要とすることなく容易に
その必要な目的を充足することが可能であり、そのため
にクリーンルーム６０の清浄度を自由に可変させること
ができる。特に給気と還気のバランスを向上させて、気
流の乱れを防止すると共に、クリーンルーム６０のあら
ゆる位置の空気の清浄度を均一に向上させることができ
る。

【００１９】以上のことから、本発明によるクリーンシ
ステムを用いたクリーンルーム６０は、既設のクリーン
ルームを短期間に安価な方向で清浄度を向上させたい場
合、既設のクリーンルームの、ある特定の部分だけ現在
より清浄度を向上させたい場合、現在クリーン対策は何
もしていないが簡単に安価に部屋をクリーンルームにし
たい場合、仮設間仕切等により一時的局部的にクリーン
ルームが必要になった場合、生産をしながら清浄度と製
品との関連を追及したい場合等においても容易に対応す
ることができる。従って、本発明によるクリーンシステ
ムを用いたクリーンルーム６０は、生産ラインを考慮
し、手軽にクリーンルーム化やそのグレードアップを進
める事の出来るものであるということができる。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、既
設のクリーンルームに必要に応じて必要な位置に必要な
台数の移動式クリーンユニットを配置することにより、
大がかりな改造工事を必要とすることなく清浄度を自由
に可変させることができ、特に給気と還気のバランスを
向上させて、クリーンルームのあらゆる位置の空気の清
浄度を均一に向上させることが可能となる。また、壁際
に風量が集中したり部屋の中心部に気流の乱れが生じる
のを防止して、さらに清浄度の向上に寄与することがで
きる。

【００２１】また、移動式クリーンユニットは床の上に
移動可能に置かれているため、その補修時にはクリーン
ルームの外に出して容易に行うことができ、その作業時
に発生するゴミもクリーンルーム内に容易に入ることは
なく、ゴミによりクリーンルーム内の清浄度を低下させ
るのを防止することができる。

【００２２】またクリーンルームの形状が複雑な場合で
も広さが広い場合でも、本発明による移動式クリーンユ
ニットは必要な位置に必要な台数だけ配置できるので、
クリーンルームの隅々迄清浄度の高い空気が行き届く。
また本発明による移動式クリーンユニットは吸込口と吹
出し口とが離れた位置となっているため、吹出した空気
がすぐに吸込まれてしまうということはなく、効果的に
清浄度の向上に寄与することができる。また、移動式ク
リーンユニットは吸込口が床に近接した位置にあるの
で、床上の塵埃の回収にも効果的に寄与することができ
る。

【００２３】さらに、本発明によるクリーンルームのク
リーンシステム及び移動式クリーンユニットは、既設の
クリーンルームを短期間に安価な方向で清浄度を向上さ
せたい場合、既設のクリーンルームの、ある特定の部分
だけ現在より清浄度を向上させたい場合、現在クリーン
対策は何もしていないが簡単に安価に部屋をクリーンル
ームにしたい場合、仮設間仕切等により一時的局部的に
クリーンルームが必要になった場合、生産をしながら清
浄度と製品との関連を追及したい場合等においても容易
に対応することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるクリーンルームのクリーンシステ
ム及び移動式クリーンユニットを説明するクリーンルー
ムの構成を示す側面図である。

【図２】図１に示すクリーンルームの平面図である。

【図３】従来の乱流方式のクリーンルーム（第１従来
例）の構成を示す側面図である。

【図４】図３に示すクリーンルームの構成を示す平面図
である。

【図５】他の従来の乱流方式のクリーンルーム（第２従
来例）の構成を示す側面図である。

【図６】また他の従来の乱流方式のクリーンルーム（第
３従来例）の構成を示す側面図である。

【図７】さらに他の従来の乱流方式のクリーンルーム
（第４従来例）の構成を示す側面図である。

【図８】図３に示すクリーンルームの問題点を説明する
クリーンルームの側面図である。

【図９】図３に示すクリーンルームの問題点を解決する
ための一例を示すクリーンルームの側面図である。

【符号の説明】

１１ 天井 １２ 壁 １３ 床 １４ フィルタ １５ 空気吹出しユニット ２０ 吸込口 ６０ クリーンルーム ６２ 作業台 ６３ オペレータ ６５ 移動式クリーンユニット ６７ キャスター ６８ 吸込口 ６９ 吹出し口 ７１ 送風機 ７３ フィルタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 室内の空気を強制的に排出させ、この空
   気を清浄化して再び室内に供給し、この循環操作を連続
   的に繰返すことにより室内の空気の清浄度を向上させる
   クリーンルームにおいて、 必要に応じて必要な位置に必要な台数の移動式クリーン
   ユニットを配置することにより清浄度を自由に可変させ
   ることを特徴とするクリーンルームのクリーンシステ
   ム。
2. 【請求項２】 クリーンルーム内に移動可能に配置さ
   れ、 室内の空気を吸入して再び室内に吹出すための送風装置
   と、吸入した空気を清浄化するためのフィルタとを備
   え、 室内の空気を下方から吸入して清浄化された空気を上方
   から吹出すことにより室内の空気の清浄度を補完的に向
   上させることを特徴とする移動式クリーンユニット。