JPH0311645Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、天井が高い室をクリーンルームに構
成する技術に関する。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルームは、天井高さが高々3m
程度であり、５〜20mもしくはそれ以上の天井高
さのクリーンルームはあまり例を見ない。これは
床面に作業用設備を設置する関係上、必要以上の
天井高さは不要であることと、天井が高ければ高
いほど気流の制御が困難になにり、また空調負荷
が必要以上に過大になることによる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

高い天井の室をクリーンルームに構成すること
が要求されることがある。これは、大型作業機械
が設置される場合や、製造ラインが上下に組まれ
て物流が室内を昇降するような設備、さらには既
存の高天井室（普通の工場空間などの非クリーン
ルーム）を大きな改変をすることなくそのままク
リーンルームに利用した場合などである。しか
し、このような高天井室全体を層流式クリーンル
ームに構成するには極めて多大の設備費用と運転
費用を必要とする。そして、多大の費用をかけて
も必ずしも室内全体を高い清浄域に維持すること
は困難であるし、また室内の作業域自身は限られ
た空間だけであるから多大の無駄が生ずる。

本考案はこのような問題の解決を目的としてな
されたものである。

〔問題点を解決する手段〕 本考案は、天井が高い室をクリーンルームに構
成するにさいし、天井部または天井部近くに給気
吹出口を、そして床部または床部近くに空気吸込
口を設置し、この空気吸込口から吸い込まれた環
気を空調機およびHEPAフイルタを経て前記の
給気吹出口に循環する空気循環路を形成し、天井
部または天井部近くにノズル口を下方に向けた空
気噴射ノズルを設置し、そして、この空気噴射ノ
ズルに前記空気吸込口から吸い込まれた空気の一
部をHEPAフイルタを経て圧送する空気路を形
成したこと、を特徴とする高天井クリーンルーム
を提供するものである。本考案の基本的な原理
は、給気吹出口から天井部に吹き出された給気を
作業域に搬送する手段として清浄空気の噴流を利
用する点にある。すなわち、天井が高い室の天井
部もしくはその近傍さらには中間位置に設置した
空気噴射ノズルから、全体としての吹き出し流量
は少ないが高速の清浄空気の噴流を噴射し、この
噴射流によつてその噴射流量よりも遥かに多量の
周囲空気を作業域まで誘引搬送することにある。
なお、通常のクリーンルームのように天井高さ
が々3m程度の場合には、清浄空気自身の吹出し
気流を床面まで到達させることができるので、本
考案のような噴流による空気搬送をわざわざ適用
しなくてもよい。したがつて、本考案は、天井高
さが通常のクリーンルームより高い場合、すなわ
ち少なくとも3mを越える天井高さをもつ空間を
クリーンルームに構成する場合、を対象とするも
のである。

以下に図面の実施例に従つて本考案の内容を具
体的に説明する。

第１図は、高天井室１に本考案を適用した場合
の一縦断面を示したものである。高天井室１は実
際には紙面の表裏方向に実質上同じ縦断面積をも
つて延びており方形の平断面を有する室である。
高天井室１の天井部中央には給気吹出口２が、そ
して床部近傍の巾木近くに空気吸込口３が設けら
れている。４は空調機である。この空調機４に空
気吸込口３からの還気と外気が取入れられ、ここ
で空気調和された空気が給気ダクト５を経て給気
吹出口２に送気される。給気ダクト５には
HEPAフイルタ６が介装されており、ここで調
和空気が浄化される。図示の例ではHEPAフイ
ルタ６と給気吹出口２が一体となつてユニツト化
されており、このユニツトが高天井室１の天井部
中央に設置されている。

一方、高天井室１内の天井部近傍に短ダクト７
が図示の紙面表裏方向に複数本設置される。各短
ダクト７にはノズル８がノズル口を下方に向けて
取付けられている。このノズル８は実際には各短
ダクト７に所定の関隔を紙面表裏方向にあけて複
数個取付けられている。また、第１図の例では高
天井室１の壁面中腹近くにも紙面表裏方向に短ダ
クト９が設置され、この短ダクト７にもノズル８
が取付けられている。各短ダクト７および９には
空気吸込口３からの還気の一部が圧送ダクト１０
を経て供給される。この圧送ダクト１０は、送風
機１１およびHEPAフイルタ１２を介装したダ
クトであり、空調機４に通ずる還気の一部を送風
機１１によつて各短ダクト７および９に圧送す
る。そのさいHEPAフイルタ１２を通すことに
より浄化する。この圧送ダクト１０を経て短ダク
ト７および９に送風される浄化された圧縮空気の
実質上全てはノズル８より噴流として室内に噴射
される。この噴射空気の全体の流量は給気吹出口
２から供給される給気の量に比べてはるかに少な
い。

第１図に示すノズル８の配置では図示の矢印の
ような気流分布が得られる。すなわち、高天井室
１の天井部に滞留する空気は、天井部のノズル８
から下方に向けて噴射されるジエツト流によつて
誘引されて下方に搬送される。つまり各ノズル８
は周囲空気を誘引搬送するエジエクターとして作
用する。また中腹壁面近くに滞留する空気も中腹
部の各ノズル８によつて斜め下方の床面中央部に
向けて誘引搬送される。そして床面に達した空気
は空気吸込口３に吸い込まれ、更び給気および噴
流として循環される。したがつて、給気吹出口２
から室内に吹き出される浄化空気はその到達距離
が短くてもまた給気吹出口２は天井部一杯に取り
付けられていなくても、床部の作業域に効率よく
搬送され、床部の作業域を高い清浄度に維持する
ことができる。

第２図の実施例は、短ダクト７および９に方向
の異なるノズル８を取付け、天井部の短ダクト７
は天井隅にだけ配置した以外は第１図の実施例と
実質上同一の構造を示しており、第２図において
第１図と同じ番号を付した部材は第１図で説明し
たのと同じものである。第２図では第１図の場合
よりも若干乱流が生じるが室内の全域にわたつて
清浄域に維持するのに効果がある。すなわち、第
１図の例では床部近傍に特に高い清浄域に維持す
るのに有効であるが、第２図の例では第１図の床
部の清浄度よりも低いグレードの清浄度を高天井
室１の全域に維持することができる。

このようにして、本考案によると、高天井室で
あつても、天井部一杯にHEPAフイルタを張り
渡さなくても、また天井部一杯から給気する場合
に比べて空調機の容量を格段に低くしても必要な
清浄度の作業域を効率よく形成することができる
という優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す高天井クリーン
ルームの縦断面図、第２図は本考案の他の例を示
す高天井室クリーンルームの縦断面図である。 １……高天井室、２……給気吹出口、３……空
気吸込口、４……空調機、５……給気ダクト、６
……HEPAフイルタ、７，９……短ダクト、８
……空気噴射ノズル、１０……圧送ダクト、１１
……送風機、１２……HEPAフイルタ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 少なくとも3mを越える天井高さを有する高天
   井室をクリーンルームに構成するにさいし、 天井部または天井部近くに給気吹出口を、そし
   て床部または床部近くに空気吸込口を設置し、 該空気吸込口から吸い込まれた還気を空調機お
   よびHEPAフイルタを経て該給気吹出口に循環
   する空気循環路を形成し、 天井部または天井部近くにノズル口を下方に向
   けた空気噴射ノズルを設置し、 この空気噴射ノズルに前記空気吸込口から吸い
   込まれた空気の一部をHEPAフイルタを経て圧
   送する空気路を形成し、 該給気吹出口から天井部に給気された空気を該
   空気噴射ノズルから噴射される噴流によつて下方
   の作業域に搬送するようにした高天井クリーンル
   ーム。