JPH0311646Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、天井が高い室をクリーンルームに構
成する技術に関する。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルームは、天井高さが高々3m
程度であり、５〜20mもしくはそれ以上の天井高
さのクリーンルームはあまり例を見ない。これは
床面に作業用設備を設置する関係上、必要以上の
天井高さは不要であることと、天井が高ければ高
いほど気流の制御が困難になにり、また空調負荷
が必要以上に過大になることによる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

高い天井の室をクリーンルームに構成すること
が要求されることがある。これは、大型作業機械
が設置される場合や、製造ラインが上下に組まれ
て物流が室内を昇降するような設備、さらには既
存の高天井室（普通の工場空間などの非クリーン
ルーム）を大きな改変をすることなくそのままク
リーンルームに利用したり場合などである。しか
し、このような高天井室全体を層流式クリーンル
ームに構成するには極めて多大の設備費用と運転
費用を必要とする。そして、多大の費用をかけて
も必ずしも室内全体を高い清浄域に維持すること
は困難であるし、また室内の作業域が限られた空
間だけである場合には多大の無駄が生ずる。

本考案はこのような問題の解決を目的としてな
されたものである。

〔問題点を解決する手段〕

本考案は、天井が高い室内に給気する少なくと
も一個の給気吹出口と該室内の空気を排出する少
なくとも一個の空気吸込口を設け、該空気吸込口
から空調機およびHEPAフイルタを経て該給気
吹出口に通ずる空気循環路を形成し、少なくとも
一個の空気噴射ノズルを該室内に設置すると共に
そのノズル口の方向を室内に一方向性の循環流が
生成する方向に設定し、前記空気吸込口から吸い
込まれた空気の一部をHEPAフイルタを経て該
空気噴射ノズルに圧送する空気路を形成し室内の
前記一方向性の循環流のなかに作業域を位置せし
め、この作業域を通過した循環流中の空気の少な
くとも一部が排出される位置に前記の空気吸込口
を設けたこと、を特徴とする高天井クリーンルー
ムを提供するものである。

本考案の基本的な原理は、空気噴射ノズルから
清浄空気の噴流を噴射することによつてその噴流
の量よりもはるかに多量の周囲空気を方向性をも
つて誘引搬送し、汚染された空気をこの誘引搬送
手段によつて作業域から排出する点にある。すな
わち、室内への清浄な調和空気の供給および排気
の排出と、室内での気流の制御とは独立したもの
として高天井室の前記の問題の解決を図つたとこ
ろに基本的な特徴がある。従来のクリーンルーム
は層流式或いは乱流式のいずれにしても給気の吹
き出し流の制御さらには吸込口の配置によつて室
内空気の気流制御を行うことによつて所要の清浄
度を維持しようとするものであつたが、本考案が
対象とするような高天井室ではかような従来方式
をそのまま取り入れると既述のような問題が付随
することになる。本考案では、空気噴射ノズルか
ら別系統の清浄空気の高速のジエツト流を噴出す
ることによつてジエツト流に周囲空気が誘引され
るエジエクター作用を利用し、このジエツト流の
風量よりはるかに多量の周囲空気を方向性をもつ
て搬送し、高天井室内において一方向性の循環気
流の流れを形成する。したがつて、この循環気流
のなかに作業域が存在する場合には、作業域で発
生した塵埃はこの循環流に乗つて直ちにその場所
から排出される。したがつて、本考案の最も好ま
しい態様では、この循環流の中に作業域と空気排
出口（実際には室内空気を排出する空気吸込口）
が存在するような循環流を形成することである。
また、高天井室という大空間を本考案では対象と
するので、汚染物質は循環流に乗つてこの大空間
に希釈されるので、作業域を一定の清浄度に維持
することができるという付加的な効果もある。そ
して、ジエツト流を形成するための風量は層流式
の吹き出し風量などに比べて著しく少量でよく、
また給気吹出口から吹き出し量についても空調負
荷をまかなうに必要十分なだけでよいので、設備
的には極めて簡易なものとなる。

以下に図面の実施例に従つて本考案の内容を具
体的に説明する。

第１図は、高天井室１に本考案を適用した場合
の一縦断面を示したものである。高天井室１は実
際には紙面の表裏方向に実質上同じ縦断面積をも
つて延びており方形の平断面を有する室である。
高天井室１の天井部中央には給気吹出口２が、そ
して床部近傍の巾木近くに空気吸込口３が設けら
れている。４は空調機である。この空調機４に空
気吸込口３からの還気と外気が取入れられ、ここ
で空気調和された空気が給気ダクト５を経て給気
吹出口２に送気される。給気ダクト５には
HEPAフイルタ６が介装されており、ここで調
和空気が浄気される。図示の例ではHEPAフイ
ルタ６と給気吹出口２が一体となつてユニツト化
されており、このユニツトが高天井室１の天井部
中央に設置されている。

一方、高天井室１内の天井部片隅に短ダクト７
が図示の紙面表裏方向に設置される。この短ダク
ト７にはノズル８がノズル口を室の中央側に向け
ほぼ水平に取付けられている。このノズル８は実
際には短ダクト７に所定の関隔を紙面表裏方向に
あけて複数個取付けられている。短ダクト７には
空気吸込口３からの還気の一部が圧送ダクト１０
を経て供給される。こ圧送ダクト１０は、送風機
１１およびHEPAフイルタ１２を介装したダク
トであり、空調機４に通ずる還気の一部を送風機
１１によつて各短ダクト７に圧送する。そのさい
HEPAフイルタ１２を通すことにより浄化する。
この圧送ダクト１０を経て短ダクト７に送風され
る浄化された圧縮空気の実質上全てはノズル８よ
り噴流として室内に噴射される。この噴射空気の
全体の流量は給気吹出口２から供給される給気の
量よりも少なくてもよい。

第１図に示すノズル８の配置では図示の矢印の
ような時計回り方向の回転循環気流が得られる。
すなわち、天井部片隅のノズル８から水平方向に
室中央部に向けて噴射されるジエツト流によつて
そのジエツト流近傍の周囲空気が誘引されて水平
方向に搬送される。つまりノズル８は周囲空気を
誘引搬送するエジエクターとして作用する。そし
て壁面および床面に達した気流は方向を変えて回
転流となり循環される。したがつて、給気吹出口
２から室内に吹き出される浄化空気はその到達距
離が短くてもまた給気吹出口２は天井部一杯に取
り付けられていなくてもよい。空気吸込口３は図
示のように回転循環流が巡る位置（床部近傍の片
隅）に取付けられることによつて、この循環流の
一部が室外に排出され、作業域がこの回転循環気
流のなかにあれば、この作業域から発生する塵埃
は回転流によつて作業域からただちに取り除かれ
て循環流に乗つて希釈されると共に空気吸込口３
から排出され、HEPAフイルタ６や１２によつ
て捕捉される。

第２図の実施例は、第１図と同様の給気吹出口
２およびHEPAフイルタ６からなるユニツトを
床部近傍の側壁（空気吸込口３を設けた側壁に対
向する側壁）に移動し、第１図と同様の短ダクト
７を第１図より室中腹近くにまで下方に下げて設
置するとと共にそのノズル８を上方に向け、そし
て、室の中央に放射給気吹出口９を吊すと共にこ
の放射給気吹出口９に通ずる空気路にHEPAフ
イルタ６′を介装した以外は、第１図と同様の高
天井クリーンルームを示している。この第２図の
実施例の場合には、第１図で説明したのと同じ作
用を奏するうえ、さらに側部の給気吹出口２から
吹き出し空気流が循環流の方向に吹き出されるの
で循環流を加速すると共に床部に作業域が存在す
る場合には、その作業域を高い清浄度に維持でき
且つ発生する塵埃は空気吸込口３から排出し易く
なる。そして回転循環気流のほぼ中央から放射給
気吹出口２から清浄空気が吹き出されるので、そ
の吹き出し気流によつて回転循環流を乱すことは
なく、しかも回転循環流の清浄度を全体的に高め
ることができる。

このようにして、本考案によると、高天井室を
クリーンルームに構成する場合の既述の問題点が
効果的に解決され、空調機の容量を格段に低くし
ても必要な清浄度の作業域を効率よく形成するこ
とができるという優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す高天井クリーン
ルームの縦断面図、第２図は本考案の他の例を示
す高天井室クリーンルームの縦断面図である。 １……高天井室、２……給気吹出口、３……空
気吸込口、４……空調機、５……給気ダクト、
６，６′……HEPAフイルタ、７，……短ダク
ト、８……空気噴射ノズル、９……放射給気吹出
口、１０……圧送ダクト、１１……送風機、１２
……HEPAフイルタ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 天井が高い室内に給気する少なくとも一個の給
   気吹出口と該室内の空気を排出する少なくとも一
   個の空気吸込口を設け、 該空気吸込口から空調機およびHEPAフイル
   タを経て該給気吹出口に通ずる空気循環路を形成
   し、 少なくとも一個の空気噴射ノズルを該室内に設
   置すると共にそのノズル口の方向を室内に一方向
   性の循環流が生成する方向に設定し、 前記空気吸込口から吸い込まれた空気の一部を
   HEPAフイルタを経て該空気噴射ノズルに圧送
   する空気路を形成し、 室内の前記一方向性の循環流のなかに作業域を
   位置せしめ、この作業域を通過した循環流中の空
   気の少なくとも一部が排出される位置に前記の空
   気吸込口を設けたこと、 を特徴とする高天井クリーンルーム。