JPH0311647Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、天井が高い室をクリーンルームに構
成する技術に関する。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルームは、天井高さが高々3m
程度であり、５〜20mもしくはそれ以上の天井高
さのクリーンルームはあまり例を見ない。これは
床面に作業用設備を設置する関係上、必要以上の
天井高さは不要であることと、天井が高ければ高
いほど気流の制御が困難になり、また空調負荷が
必要以上に過大になることによる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

高い天井の室をクリーンルームに構成すること
が要求されることがある。これは、大型作業機械
が設置される場合や、製造ラインが上下に組まれ
て物流が室内を昇降するような設備、さらには既
存の高天井室（普通の工場空間などの非クリーン
ルーム）を大きな改変をすることなくそのままク
リーンルームに利用したい場合などである。しか
し、このような高天井室全体を層流式クリーンル
ームに構成するには極めて多大の設備費用と運転
費用を必要とする。そして、多大の費用をかけて
も必ずしも室内全体を高い清浄域に維持すること
は困難であるし、また室内の作業域が限られた空
間だけである場合には多大の無駄が生ずる。

本考案はこのような問題の解決を目的としてな
されたものである。

〔問題点を解決する手段〕

本考案は、天井が高い室内に給気する少なくと
も一個の給気吹出口と該室内の空気を排出する少
なくとも一個の空気吸込口を設け、該空気吸込口
から空調機およびHEPAフイルタを経て該給気
吹出口に通ずる空気循環路を形成し、少なくとも
一個の空気噴射ノズルを該室内に設置すると共に
この空気噴射ノズルに前記空気吸込口から吸い込
まれた空気の一部をHEPAフイルタを経て圧送
する空気路を形成し、そして、前記空気吸込口の
少なくとも一個を高天井室の天井面または天井近
くの側面に設置し、前記の空気噴射ノズルからの
噴流によつて室内空気が搬送される一方向性の搬
送気流の流れを室内に形成し、この搬送気流のな
かに作業域を存在させると共にこの作業域を通過
した空気流れの少なくとも一部を天井部に導くよ
うにしたこと、を特徴とする高天井クリーンルー
ムを提供するものである。

本考案の基本的な原理は、空気噴射ノズルから
清浄空気の噴流を噴射することによつてその噴流
の量よりもはるかに多量の清浄な周囲空気を方向
性をもつて誘引搬送すること、作業域で発生した
汚染空気をこの誘引搬送手段によつて作業域から
排出すること、さらには汚染空気を高天井室の大
空間に希釈するようにした点にある。すなわち本
考案におていは、室内への清浄な調和空気の供給
および排気の排出と、室内での気流の制御とは独
立したものとして高天井室の前記の問題の解決を
図つたところに基本的な特微があり、また空気吸
込口の少なくとも一個を高天井室の天井部または
天井近くに設置することによつて、天井部に汚染
空気を導くような気流制御を行なうようにした点
に特徴がある。従来のクリーンルームは層流式或
いは乱流式のいずれにしても給気の吹き出し流の
制御さらには吸込口の配置によつて室内空気の気
流制御を行うことによつて所要の清浄度を維持し
ようとするものであつたが、本考案が対象とする
ような高天井室ではかような従来方式をそのまま
取り入れると既述のような問題が付随することに
なる。本考案では、空気噴射ノズルから別系統の
清浄空気の高速のジエツト流を噴出することによ
つてジエツト流に周囲空気が誘引されるエジエク
ター作用を利用し、このジエツト流の風量よりは
るかに多量の周囲空気を方向性をもつて搬送し、
高天井室内において一方向性の気流の流れを形成
する。そして、この方向性をもつ搬送気流のなか
に作業域を存在させることによつて作業域の清浄
度を確保すると共にここで発生する汚染空気は該
搬送気流によつて直ちにその場所から排出すると
共に、高天井を利用して汚染空気を高天井部に搬
送し、ここから室外に排出するようにしたもので
ある。また、高天井室という大空間を本考案では
対象とするので、汚染物質は搬送気流に乗つてこ
の大空間に希釈されることになり、大空間内の小
さな作業域を一定の清浄度に維持することができ
るという付加的な効果もある。そして、本考案に
よるとジエツト流を形成するための風量は層流式
の吹き出し風量による気流制御の場合に比べて著
しく少量でよく、また給気吹出口から吹き出し量
についても空間負荷をまかなうに必要十分なだけ
でよいので、設備的には極めて簡易なものとな
る。

以下に図面の実施例に従つて本考案の内容を具
体的に説明する。

第１図は、高天井室１に本考案を適用した場合
の一縦断面を示したものである。高天井室１は実
際には紙面の表裏方向に実質上同じ縦断面積をも
つて延びており方形の平断面を有する室である。
高天井室１の天井部中央には給気吹出口２が、そ
して天井部の両隅に空気吸込口３が設けられてい
る。４は空調機である。この空調機４に空気吸込
口３からの還気と外気が取入れられ、ここで空気
調和された空気が給気ダクト５を経て給気吹出口
２に送気される。給気ダクト５にはHEPAフイ
ルタ６が介装されており、ここで調和空気が浄化
される。図示の例ではHEPAフイルタ６と給気
吹出口２が一体となつてユニツト化されており、
このユニツトが高天井室１の天井部の中央に設置
されている。

一方、高天井室１内の対向する両側壁中腹部に
それぞれ短ダクト７が図示の紙面表裏方向に設置
される。この短ダクト７には方向の異なるノズル
８とノズル９が取付けられている。ノズル８とノ
ズル９は実際には短ダクト７に所定の間隔を紙面
表裏方向にあけて複数個取付けられている。ノズ
ル８はそのノズル口の方向が床部中央の方向に向
けてあり、ノズル９のノズル口は天井部の空気吸
込口３の方向に向けてある。各短ダクト７には空
気吸込口３からの還気の一部が圧送ダクト１０を
経て供給される。この圧送ダクト１０は、送風機
１１およびHEPAフイルタ１２を介装したダク
トであり、空調機４に通ずる還気の一部を送風機
１１によつて各短ダクト７に圧送する。そのさい
HEPAフイルタ１２を通すことにより浄化する。
この圧送ダクト１０を経て短ダクト７に送気され
る浄化された圧縮空気の実質上全てはノズル８お
よびノズル９より噴流として室内に噴射される。
こ噴射空気の全体の流量は給気吹出口２から供給
される給気の量よりも少なくてもよい。

第１図に示す給気吹出口、空気吸込口および空
気噴射ノズルの配置では図示の矢印のような一方
向性の気流の流れが得られ、床面並びに床上中央
部を作業域とする場合にその作業域を高い清浄度
に維持することができる。すなわち、ノズル８か
ら床上中央部に向けて噴射されるジエツト流によ
つてそのジエツト流近傍の周囲空気が誘引搬送さ
れると共に天井部の給気吹出口２から清浄な空気
が下降するので床上中央部において清浄域が形成
される。そして、この床上中央部を作業域とする
場合にはここで発生した汚染空気は図の左右位置
の壁面近くに回流し、壁面に沿つて上昇する。そ
して上向きのノズル９からのジエツト流に誘引搬
送され天井部の空気吸込口３に向かつて流れる。
したがつて、空気吸込口３の存在する天井隅が汚
染空気の溜まり場のようになり、高天井室の高い
天井を逆に利用して効果的な汚染空気の排出がで
きることになる。

第２図の実施例は、空気吸込口３を天井部の両
隅の壁面に取付けた点は第１図の実施例と実質的
に変わりはないが、給気吹出口２と短ダクト７の
設置位置を第１図の場合とは逆にすると共に床部
両隅の側壁にも空気吸込口１３を設置した態様を
示している。第２図において第１図と同じ符号を
付した部材は第１図のものと同一のものであ。

第２図の例においても、高天井室１の天井部両
隅部が汚染空気の溜まり場となつてこの汚染空気
は空気吸込口３から室外に排出されることにな
り、室中央部の床面から天井近くまで清浄な作業
域を形成することができる。この場合、床部近く
で発生する塵埃は床部両隅の空気吸込口１３によ
つて室外に排出されることになる。

このようにして、本考案によると、高天井室を
クリーンルームに構成する場合の既述の問題点が
効果的に解決され、高天井室の高い空間を逆に汚
染空気の溜まり場として利用しながら必要な清浄
度の作業域を効果的に形成することができ、また
大空間であるにも係わらず空調機の容量は比較的
小さなものでも十分に対応することができるとい
う優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す高天井クリーン
ルームの縦断面図、第２図は本考案の他の例を示
す高天井室クリーンルームの縦断面図である。 １……高天井室、２……給気吹出口、３……空
気吸込口、４……空調機、５……給気ダクト、
６，６′……HEPAフイルタ、７……短ダクト、
８……空気噴射ノズル、９……放射給気吹出口、
１０……圧送ダクト、１１……送風機、１２……
HEPAフイルタ、１３……補助空気吸込口。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 天井が高い室内に給気する少なくとも一個の給
   気吹出口と該室内の空気を排出する少なくとも一
   個の空気吸込口を設け、 該空気吸込口から空調機およびHEPAフイル
   タを経て該給気吹出口に通ずる空気循環路を形成
   し、 少なくとも一個の空気噴射ノズルを該室内に設
   置すると共にこの空気噴射ノズルに前記空気吸込
   口から吸い込まれた空気の一部をHEPAフイル
   タを経て圧送する空気路を形成し、 前記空気吸込口の少なくとも一個を高天井室の
   天井面または天井近くの側壁に設置し、 前記の空気噴射ノズルからの噴流によつて室内
   空気が搬送される一方向性の搬送気流の流れを室
   内に形成し、この搬送気流のなかに作業域を存在
   させると共にこの作業域を通過した空気流れの少
   なくとも一部を天井部に導くようにしたこと、 を特徴とする高天井クリーンルーム。