JPH08261531A - クリーンルームシステム - Google Patents
クリーンルームシステムInfo
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- JPH08261531A JPH08261531A JP7067327A JP6732795A JPH08261531A JP H08261531 A JPH08261531 A JP H08261531A JP 7067327 A JP7067327 A JP 7067327A JP 6732795 A JP6732795 A JP 6732795A JP H08261531 A JPH08261531 A JP H08261531A
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- Japan
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- area
- air
- fan
- clean room
- unit
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 フアンモータ効率を改善、スペースの有効利
用によるフイルタの保守を容易にし、室内温度分布を均
一化し管理の容易なクリーンルームシステムの提供。 【構成】 清浄度の高い第１エリア３とそれ以外の第２
エリア４からなり、エリア３の天井に個別に交換可能な
複数フイルタユニツト６を配設し、ユニツト６の上側に
陽圧チヤンバー１６を形成し、エリア４の天井側に空調
気をチヤンバー１６内に供給するためのフアンユニツト
５を所定のフイルターユニツト毎に設け、エリア３，４
の床１４は空気の流通可能とし、この床下に相互に連通
する床下チヤンバ１５を形成し、エリア３と４の境界部
の床下チヤンバ内に冷水コイル１３を設け、エリア３の
フイルタユニツトを通過した清浄気はダウンフローを形
成し床下チヤンバに流入し冷水コイルを通りエリア４側
に流入しその床を通りアツプフローを形成し、フアンユ
ニツト５に吸引される空気流を形成するよう構成した。
用によるフイルタの保守を容易にし、室内温度分布を均
一化し管理の容易なクリーンルームシステムの提供。 【構成】 清浄度の高い第１エリア３とそれ以外の第２
エリア４からなり、エリア３の天井に個別に交換可能な
複数フイルタユニツト６を配設し、ユニツト６の上側に
陽圧チヤンバー１６を形成し、エリア４の天井側に空調
気をチヤンバー１６内に供給するためのフアンユニツト
５を所定のフイルターユニツト毎に設け、エリア３，４
の床１４は空気の流通可能とし、この床下に相互に連通
する床下チヤンバ１５を形成し、エリア３と４の境界部
の床下チヤンバ内に冷水コイル１３を設け、エリア３の
フイルタユニツトを通過した清浄気はダウンフローを形
成し床下チヤンバに流入し冷水コイルを通りエリア４側
に流入しその床を通りアツプフローを形成し、フアンユ
ニツト５に吸引される空気流を形成するよう構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、清浄空気を供給して循
環させるクリーンルームシステムに関するものである。
環させるクリーンルームシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】病院や半導体装置製造工場等において、
特に清浄度の高い環境を必要とする部屋や領域はクリー
ンルームとして構成される。このようなクリーンルーム
として、ＵＬＰＡフィルター等の超高性能フィルターと
ファンを組合せた複数台のファン−フィルターユニット
を天井内に設置し、これらのファン−フィルターユニッ
トから清浄空気を天井から床に向けて送風してダウンフ
ローを形成し、これを部屋の側壁あるいは床面を通過さ
せてファンあるいは空調機に戻して循環させる垂直層流
式クリーンルームシステムが開発されている。
特に清浄度の高い環境を必要とする部屋や領域はクリー
ンルームとして構成される。このようなクリーンルーム
として、ＵＬＰＡフィルター等の超高性能フィルターと
ファンを組合せた複数台のファン−フィルターユニット
を天井内に設置し、これらのファン−フィルターユニッ
トから清浄空気を天井から床に向けて送風してダウンフ
ローを形成し、これを部屋の側壁あるいは床面を通過さ
せてファンあるいは空調機に戻して循環させる垂直層流
式クリーンルームシステムが開発されている。
【０００３】従来の垂直層流式クリーンルームシステム
においては、交換可能な個々のフィルターごとに小型フ
ァンを一体的に設けてファン−フィルターユニットを構
成し、このファン−フィルターユニットをクリーンルー
ムの天井面全体に配設していた。
においては、交換可能な個々のフィルターごとに小型フ
ァンを一体的に設けてファン−フィルターユニットを構
成し、このファン−フィルターユニットをクリーンルー
ムの天井面全体に配設していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームシステムにおいては次のような問題点が
あった。
クリーンルームシステムにおいては次のような問題点が
あった。
【０００５】小型ファンを多数用いるため、ファン効
率やモータ効率が悪く大きな消費電力を必要としランニ
ングコストが上昇する。
率やモータ効率が悪く大きな消費電力を必要としランニ
ングコストが上昇する。
【０００６】ファンのメンテナンスを天井裏から行う
ため天井面を構成するフィルターの上側に広いスペース
を必要とする。
ため天井面を構成するフィルターの上側に広いスペース
を必要とする。
【０００７】一様に温度調整された空調エアーとそれ
に比べ大量の循環エアーがファン−フィルターユニット
を介してクリーンルーム全体に吹出されるため、クリー
ンルーム内の各種装置の配置によってその発熱量に応じ
て温度分布のムラが生じ易い。
に比べ大量の循環エアーがファン−フィルターユニット
を介してクリーンルーム全体に吹出されるため、クリー
ンルーム内の各種装置の配置によってその発熱量に応じ
て温度分布のムラが生じ易い。
【０００８】フィルターごとにファンを一体化するた
めファンの台数が多くなり、その管理やメンテナンスが
面倒となり、また駆動制御システムが複雑で高価となり
イニシャルコストを増加させる。
めファンの台数が多くなり、その管理やメンテナンスが
面倒となり、また駆動制御システムが複雑で高価となり
イニシャルコストを増加させる。
【０００９】本発明は上記従来技術の問題点に鑑みなさ
れたものであって、ファンのモータ効率を改善し、スペ
ースを有効に利用してフィルターのメンテナンスを容易
にし、室内の温度分布を均一化し、駆動制御や管理が容
易なクリーンルームシステムの提供を目的とする。
れたものであって、ファンのモータ効率を改善し、スペ
ースを有効に利用してフィルターのメンテナンスを容易
にし、室内の温度分布を均一化し、駆動制御や管理が容
易なクリーンルームシステムの提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、清浄度の高い第１エリアとそれ以外の
第２エリアをパーティションにて区画し、第１エリアの
天井側に個別に交換可能な複数のフィルターユニットを
配設し、これらのフィルターユニットの上側に陽圧チャ
ンバーを形成し、第２エリアの天井側に、空調された空
気を上記陽圧チャンバー内に供給するためのファンユニ
ットを所定数のフィルターユニットごとに設置し、上記
第１および第２エリアの床は空気が流通可能とし、この
床下に相互に連通する床下チャンバーを形成し、上記第
１および第２エリアの境界部の床下チャンバー内に冷水
コイルを設け、上記第１エリアのフィルターユニットを
通過した清浄空気は、ダウンフローを形成して床下チャ
ンバー内に流入し、ここで上記冷水コイルを通過して第
２エリア側に流入しその床を通過してアップフローを形
成して上記ファンユニットに吸引される空気流を形成す
るように構成したことを特徴とするクリーンルームシス
テムを提供する。
め、本発明では、清浄度の高い第１エリアとそれ以外の
第２エリアをパーティションにて区画し、第１エリアの
天井側に個別に交換可能な複数のフィルターユニットを
配設し、これらのフィルターユニットの上側に陽圧チャ
ンバーを形成し、第２エリアの天井側に、空調された空
気を上記陽圧チャンバー内に供給するためのファンユニ
ットを所定数のフィルターユニットごとに設置し、上記
第１および第２エリアの床は空気が流通可能とし、この
床下に相互に連通する床下チャンバーを形成し、上記第
１および第２エリアの境界部の床下チャンバー内に冷水
コイルを設け、上記第１エリアのフィルターユニットを
通過した清浄空気は、ダウンフローを形成して床下チャ
ンバー内に流入し、ここで上記冷水コイルを通過して第
２エリア側に流入しその床を通過してアップフローを形
成して上記ファンユニットに吸引される空気流を形成す
るように構成したことを特徴とするクリーンルームシス
テムを提供する。
【００１１】好ましい実施例においては、前記フィルタ
ーユニットを保持する枠材の外周部分に前記陽圧チャン
バーと気密的に分離した陰圧部を形成し、この陰圧部を
前記ファンユニットの吸込側に連結したことを特徴とし
ている。
ーユニットを保持する枠材の外周部分に前記陽圧チャン
バーと気密的に分離した陰圧部を形成し、この陰圧部を
前記ファンユニットの吸込側に連結したことを特徴とし
ている。
【００１２】別の好ましい実施例においては、前記ファ
ンユニットは、筐体と、この筐体内に設けたファンと、
ファン吸込側の筐体内に設けた加湿器と、ファン吸込側
の筐体に設けた循環空気吸込口と、ファン吸込側の筐体
に接続する空調エアーダクトおよび前記陰圧部に連結す
る負圧吸込ダクトと、前記陽圧チャンバーに接続する吹
出し口とからなることを特徴としている。
ンユニットは、筐体と、この筐体内に設けたファンと、
ファン吸込側の筐体内に設けた加湿器と、ファン吸込側
の筐体に設けた循環空気吸込口と、ファン吸込側の筐体
に接続する空調エアーダクトおよび前記陰圧部に連結す
る負圧吸込ダクトと、前記陽圧チャンバーに接続する吹
出し口とからなることを特徴としている。
【００１３】
【作用】第１エリアの天井に複数のフィルターユニット
が設けられ、所定数のフィルターユニットごとに第２エ
リアの天井側にファンユニットが設けられる。フィルタ
ーユニットの上面側には他の機器は設置されず陽圧チャ
ンバーが形成される。この陽圧チャンバーは、その中に
作業員が入りフィルタ−ユニットの保守点検や交換を行
う作業空間となり、小スペースでメンテナンスが容易に
できる。ファンユニットの送風作用により第１エリア天
井内のフィルターユニット上面側は陽圧となり、フィル
ターユニットを通して清浄空気がダウンフローを形成し
て室内に流れる。清浄空気は床を通過して床下チャンバ
ーに流入し、第１エリアと第２エリアの境界部に設けた
冷水コイルを通過して温度調整される。温度調整された
空気は、第２エリアの床を通過してアップフローを形成
しファンユニットに吸引され加湿器にて所定の湿度まで
加湿される。
が設けられ、所定数のフィルターユニットごとに第２エ
リアの天井側にファンユニットが設けられる。フィルタ
ーユニットの上面側には他の機器は設置されず陽圧チャ
ンバーが形成される。この陽圧チャンバーは、その中に
作業員が入りフィルタ−ユニットの保守点検や交換を行
う作業空間となり、小スペースでメンテナンスが容易に
できる。ファンユニットの送風作用により第１エリア天
井内のフィルターユニット上面側は陽圧となり、フィル
ターユニットを通して清浄空気がダウンフローを形成し
て室内に流れる。清浄空気は床を通過して床下チャンバ
ーに流入し、第１エリアと第２エリアの境界部に設けた
冷水コイルを通過して温度調整される。温度調整された
空気は、第２エリアの床を通過してアップフローを形成
しファンユニットに吸引され加湿器にて所定の湿度まで
加湿される。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の実施例に係るクリーンルーム
の平面図であり、図２はその立面図である。空調すべき
領域は、複数のワーキングエリア２および３と各ワーキ
ングエリア３に隣接するメンテナンスエリア４により構
成される。ワーキングエリア３には、例えば医療設備あ
るいは半導体装置製造ライン等における極めて清浄度の
高い空気環境を必要とする各種装置（図示しない）が設
置される。各ワーキングエリア３、３間にはワーキング
エリア３に比べ清浄度の低いメンテナンスエリア４が設
けられる。このメンテナンスエリア４は、例えばワーキ
ングエリア３内の装置を作業員が操作したり保守点検を
行ったり、あるいはさほど清浄度を必要としない各種医
療機器や製造ラインを設置して比較的多数の作業員が各
種操作を行うために出入りする場所である。ワーキング
エリア３とメンテナンスエリア４との間にはパーティシ
ョン１２が設けられる。このパーティション１２は必要
に応じて設置し、場合によってはなくてもよい。ワーキ
ングエリア３とメンテナンスエリア４は交互に並列して
設けられ、その側縁（図１では上側）に沿って例えば側
壁（図示しない）で隔てられた別のワーキングエリア２
が設けられる。このワーキングエリア２は例えば通路と
して使用してもよい。
の平面図であり、図２はその立面図である。空調すべき
領域は、複数のワーキングエリア２および３と各ワーキ
ングエリア３に隣接するメンテナンスエリア４により構
成される。ワーキングエリア３には、例えば医療設備あ
るいは半導体装置製造ライン等における極めて清浄度の
高い空気環境を必要とする各種装置（図示しない）が設
置される。各ワーキングエリア３、３間にはワーキング
エリア３に比べ清浄度の低いメンテナンスエリア４が設
けられる。このメンテナンスエリア４は、例えばワーキ
ングエリア３内の装置を作業員が操作したり保守点検を
行ったり、あるいはさほど清浄度を必要としない各種医
療機器や製造ラインを設置して比較的多数の作業員が各
種操作を行うために出入りする場所である。ワーキング
エリア３とメンテナンスエリア４との間にはパーティシ
ョン１２が設けられる。このパーティション１２は必要
に応じて設置し、場合によってはなくてもよい。ワーキ
ングエリア３とメンテナンスエリア４は交互に並列して
設けられ、その側縁（図１では上側）に沿って例えば側
壁（図示しない）で隔てられた別のワーキングエリア２
が設けられる。このワーキングエリア２は例えば通路と
して使用してもよい。
【００１５】各ワーキングエリア２、３の天井側にはＵ
ＬＰＡフィルター等の超高性能フィルターからなる多数
のフィルターユニット６が個別に着脱交換可能に設けら
れる。フィルターユニット６として用いるフィルターは
クリーンルームの用途や必要とする清浄度に応じて各種
選択可能である。これらのフィルターユニット６の上面
側には他の機器（後述のファンユニット等）は設置され
ず陽圧チャンバー１６を構成する空間が形成される。従
って、ワーキングエリアの天井裏でのメンテナンス作業
はフィルターユニットの保守点検や交換作業のみであ
り、天井裏での作業が容易にできる。また、この陽圧チ
ャンバー１６内には他の機器が設置されないため、作業
員が入ってフィルターユニット６の保守点検や交換等の
作業ができる程度の空間が容易に確保できる。
ＬＰＡフィルター等の超高性能フィルターからなる多数
のフィルターユニット６が個別に着脱交換可能に設けら
れる。フィルターユニット６として用いるフィルターは
クリーンルームの用途や必要とする清浄度に応じて各種
選択可能である。これらのフィルターユニット６の上面
側には他の機器（後述のファンユニット等）は設置され
ず陽圧チャンバー１６を構成する空間が形成される。従
って、ワーキングエリアの天井裏でのメンテナンス作業
はフィルターユニットの保守点検や交換作業のみであ
り、天井裏での作業が容易にできる。また、この陽圧チ
ャンバー１６内には他の機器が設置されないため、作業
員が入ってフィルターユニット６の保守点検や交換等の
作業ができる程度の空間が容易に確保できる。
【００１６】ワーキングエリア３に清浄空気を送り込む
ための複数台のファンユニット５がメンテナンスエリア
４の天井側に設けられる。１台のファンユニット５が所
定の複数のフィルターユニット６に対応して設置され
る。同様に、ワーキングエリア２に清浄空気を送り込む
ための複数台のファンユニット５’がメンテナンスエリ
ア４の天井側に設けられる。
ための複数台のファンユニット５がメンテナンスエリア
４の天井側に設けられる。１台のファンユニット５が所
定の複数のフィルターユニット６に対応して設置され
る。同様に、ワーキングエリア２に清浄空気を送り込む
ための複数台のファンユニット５’がメンテナンスエリ
ア４の天井側に設けられる。
【００１７】各メンテナンスエリア４の天井側には、各
ワーキングエリア３に対応して、図示しない空調機より
延長された外気供給ダクト９およびクリーンルーム内の
空気を外部に排出するための排気ダクト１１が設けられ
る。この外気供給ダクト９は、空調エアーダクト１０を
介して各ファンユニット５に接続される。また、各ファ
ンユニット５は、吐出ダクト７を介してワーキングエリ
ア３上の陽圧チャンバー１６に接続されるとともに、負
圧吸引ダクト８を介して各フィルターユニット６の側面
に形成された陰圧チャンバー（後述）に接続される。ワ
ーキングエリア２に対するファンユニット５’について
も実質上これと同様の構成である。
ワーキングエリア３に対応して、図示しない空調機より
延長された外気供給ダクト９およびクリーンルーム内の
空気を外部に排出するための排気ダクト１１が設けられ
る。この外気供給ダクト９は、空調エアーダクト１０を
介して各ファンユニット５に接続される。また、各ファ
ンユニット５は、吐出ダクト７を介してワーキングエリ
ア３上の陽圧チャンバー１６に接続されるとともに、負
圧吸引ダクト８を介して各フィルターユニット６の側面
に形成された陰圧チャンバー（後述）に接続される。ワ
ーキングエリア２に対するファンユニット５’について
も実質上これと同様の構成である。
【００１８】各ワーキングエリア３およびメンテナンス
エリア４の床は空気が流通するアクセスフロア１４とし
て構成されその下面側に床下チャンバー１５が形成され
る。ワーキングエリア３とメンテナンスエリア４との境
界部の床下チャンバー１５に冷水コイル１３が設置され
る。
エリア４の床は空気が流通するアクセスフロア１４とし
て構成されその下面側に床下チャンバー１５が形成され
る。ワーキングエリア３とメンテナンスエリア４との境
界部の床下チャンバー１５に冷水コイル１３が設置され
る。
【００１９】給気ダクト９を介して矢印Ａ（図１）のよ
うに送られた空調された外気は、給気連結用の空調エア
ーダクト１０を介して各ファンユニット５、５’に導入
され、吐出ダクト７を介して矢印Ｂ（図２）のように陽
圧チャンバー１６内に吹出される。陽圧チャンバー１６
に送られた空調された空気は、フィルターユニット６を
通過して極めて清浄度の高いクリーンエアーのダウンフ
ローＣを形成してワーキングエリア３内を上から下に向
けてほぼ垂直に流れる。なお、このとき陽圧チャンバー
１６に送り込まれた空調空気の一部はフィルターユニッ
ト６の側面の陰圧部から負圧吸引ダクト８を介してファ
ンユニット５に戻される。このようにフィルターユニッ
ト６の側面に陰圧部を形成して、この陰圧部をファンユ
ニット５の吸込み側に接続することにより、フィルター
ユニット６を通さずにワーキングエリア３内に空気が送
り込まれることを防止して、ワーキングエリア内の空気
を所定の清浄度に保つことができる。
うに送られた空調された外気は、給気連結用の空調エア
ーダクト１０を介して各ファンユニット５、５’に導入
され、吐出ダクト７を介して矢印Ｂ（図２）のように陽
圧チャンバー１６内に吹出される。陽圧チャンバー１６
に送られた空調された空気は、フィルターユニット６を
通過して極めて清浄度の高いクリーンエアーのダウンフ
ローＣを形成してワーキングエリア３内を上から下に向
けてほぼ垂直に流れる。なお、このとき陽圧チャンバー
１６に送り込まれた空調空気の一部はフィルターユニッ
ト６の側面の陰圧部から負圧吸引ダクト８を介してファ
ンユニット５に戻される。このようにフィルターユニッ
ト６の側面に陰圧部を形成して、この陰圧部をファンユ
ニット５の吸込み側に接続することにより、フィルター
ユニット６を通さずにワーキングエリア３内に空気が送
り込まれることを防止して、ワーキングエリア内の空気
を所定の清浄度に保つことができる。
【００２０】ワーキングエリア３内にダウンフローＣを
形成して流れる清浄空気は、アクセスフロアー１４を通
過して床下チャンバー１５内に流入する。ワーキングエ
リア３の床下に流入した空気は冷水コイル１３を通過し
て隣のメンテナンスエリア４側の床下チャンバー１５内
に流入する。この冷水コイル１３を通過することによ
り、空気が所定の温度に冷却され温度調整されるととも
に除湿されて、適度に温湿度制御された空気が形成され
る。この冷水コイル１３を通過した空気は、メンテナン
スエリア４のアクセスフロア１４を通過してアップフロ
ーＤを形成して天井側のファンユニット５に戻される。
ワーキングエリア３内に供給された清浄空気の一部は、
ワーキングエリア３の下部あるいは床下チャンバー１５
内その他適当な位置に設けた排気口（図示しない）を介
して排気ダクト１１に導入され外部に排出される。
形成して流れる清浄空気は、アクセスフロアー１４を通
過して床下チャンバー１５内に流入する。ワーキングエ
リア３の床下に流入した空気は冷水コイル１３を通過し
て隣のメンテナンスエリア４側の床下チャンバー１５内
に流入する。この冷水コイル１３を通過することによ
り、空気が所定の温度に冷却され温度調整されるととも
に除湿されて、適度に温湿度制御された空気が形成され
る。この冷水コイル１３を通過した空気は、メンテナン
スエリア４のアクセスフロア１４を通過してアップフロ
ーＤを形成して天井側のファンユニット５に戻される。
ワーキングエリア３内に供給された清浄空気の一部は、
ワーキングエリア３の下部あるいは床下チャンバー１５
内その他適当な位置に設けた排気口（図示しない）を介
して排気ダクト１１に導入され外部に排出される。
【００２１】図３は、ファンユニット５の詳細図であ
り、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図
である。このファンユニット５は、外側ケーシングを構
成する筐体１６と、この筐体１６内に設けたファン１７
と、ファン１７の吸込み側に設けた蒸気加湿器１８と、
プレフィルター１９とを具備している。プレフィルター
１９の前面側の筐体１６には循環エアの吸込み口２０が
設けられる。２１は点検口である。筐体１６の、ファン
１７の吸込み側の側面部には、前述のフィルターユニッ
ト６の側面陰圧部に接続する負圧吸引ダクト８および給
気ダクト９に接続する空調エアーダクト１０が設けられ
る。また、筐体１６の、ファン１７の吐出側には吐出ダ
クト７が設けられる。ファン１７の容量や風量は、１台
のファンユニットでまかなうフィルターユニット６の数
に応じて定められる。
り、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図
である。このファンユニット５は、外側ケーシングを構
成する筐体１６と、この筐体１６内に設けたファン１７
と、ファン１７の吸込み側に設けた蒸気加湿器１８と、
プレフィルター１９とを具備している。プレフィルター
１９の前面側の筐体１６には循環エアの吸込み口２０が
設けられる。２１は点検口である。筐体１６の、ファン
１７の吸込み側の側面部には、前述のフィルターユニッ
ト６の側面陰圧部に接続する負圧吸引ダクト８および給
気ダクト９に接続する空調エアーダクト１０が設けられ
る。また、筐体１６の、ファン１７の吐出側には吐出ダ
クト７が設けられる。ファン１７の容量や風量は、１台
のファンユニットでまかなうフィルターユニット６の数
に応じて定められる。
【００２２】図４は、フィルターユニット６の周辺部の
構成説明図である。ＵＬＰＡフィルターからなるフィル
ターユニット６は、フィルター材６ａと鉄板等からなる
外枠２６とを一体的に組合せた構成であり、外枠２６の
上縁にはシール材２７が設けられる。このフィルターユ
ニット６はその側面部でアルミの押出し成型体等からな
る支持枠材２３に取付けられる。この支持枠材２３には
シール材２７を介して封止金具２５が固定される。この
封止金具２５の下縁はフィルターユニット６の外周部上
縁のシール材２７内に圧入され、フィルターユニット６
の側面部を気密的にシールする。支持枠材２３の外側に
はチャンネル材等からなるフレーム２４が設けられ、そ
の上部にパーティション１２が固定される。支持枠材２
３の下側にも、前述のワーキングエリア３とメンテナン
スエリア４を分離するパーティション１２が固定され
る。
構成説明図である。ＵＬＰＡフィルターからなるフィル
ターユニット６は、フィルター材６ａと鉄板等からなる
外枠２６とを一体的に組合せた構成であり、外枠２６の
上縁にはシール材２７が設けられる。このフィルターユ
ニット６はその側面部でアルミの押出し成型体等からな
る支持枠材２３に取付けられる。この支持枠材２３には
シール材２７を介して封止金具２５が固定される。この
封止金具２５の下縁はフィルターユニット６の外周部上
縁のシール材２７内に圧入され、フィルターユニット６
の側面部を気密的にシールする。支持枠材２３の外側に
はチャンネル材等からなるフレーム２４が設けられ、そ
の上部にパーティション１２が固定される。支持枠材２
３の下側にも、前述のワーキングエリア３とメンテナン
スエリア４を分離するパーティション１２が固定され
る。
【００２３】フィルターユニット６の外枠２６の側面部
には陰圧空間４０が形成される。支持枠材２４の適当な
位置には、陰圧導孔２８が形成され、フィルターユニッ
ト６の外枠２６側の陰圧空間４０とフレーム２４の内部
の陰圧空間４０とを連通させる。このフレーム２４の適
当な位置に前述のファンユニットに対応して負圧吸込み
ダクト８が取付けられる。
には陰圧空間４０が形成される。支持枠材２４の適当な
位置には、陰圧導孔２８が形成され、フィルターユニッ
ト６の外枠２６側の陰圧空間４０とフレーム２４の内部
の陰圧空間４０とを連通させる。このフレーム２４の適
当な位置に前述のファンユニットに対応して負圧吸込み
ダクト８が取付けられる。
【００２４】図５は本発明に係るクリーンルームシステ
ムの全体構成図であり、図６はその制御系統図である。
なお、上記実施例と同じまたは対応する部材には同じ番
号を付して説明を省略する。
ムの全体構成図であり、図６はその制御系統図である。
なお、上記実施例と同じまたは対応する部材には同じ番
号を付して説明を省略する。
【００２５】外気処理用空調機２９は、ＨＥＰＡフィル
ター等の高性能フィルター３０を介してクリーンルーム
内の給気ダクト９に接続される。排気ダクト１１は排気
ファン３１に接続されクリーンルーム内の空気を一部排
気する。空調機２９は、外気（矢印Ｅ）を所定の温湿度
に制御し、これを各ファンユニット５に送風する。各フ
ァンユニット５では、ワーキングエリア３での湿度条件
を満たす補正加湿を蒸気加湿器１８により行う。また、
床下チャンバー１５内の冷水コイル１３により、ワーキ
ングエリア３内の発熱を処理するとともにフィルターユ
ニット６を通過してワーキングエリア３に吹出される清
浄空気の温湿度を制御する。このような温湿度制御のた
めに空調機２９の吐出口およびフィルターユニット６の
吹出し面側に温度センサーＴおよび湿度センサーＨが設
けられる。このような制御により、ファンユニット５ご
とにワーキングエリア３内が温湿度制御され発熱量の大
小に応じた領域ごとに最適な温湿度制御が行われる。ま
た、冷水コイル１３を床下に設けることにより、長い空
調サプライダクトやレタンダクトが不要になり、ファン
ユニット５の構成が簡素化し天井内の小スペース内にコ
ンパクトに収めることができる。
ター等の高性能フィルター３０を介してクリーンルーム
内の給気ダクト９に接続される。排気ダクト１１は排気
ファン３１に接続されクリーンルーム内の空気を一部排
気する。空調機２９は、外気（矢印Ｅ）を所定の温湿度
に制御し、これを各ファンユニット５に送風する。各フ
ァンユニット５では、ワーキングエリア３での湿度条件
を満たす補正加湿を蒸気加湿器１８により行う。また、
床下チャンバー１５内の冷水コイル１３により、ワーキ
ングエリア３内の発熱を処理するとともにフィルターユ
ニット６を通過してワーキングエリア３に吹出される清
浄空気の温湿度を制御する。このような温湿度制御のた
めに空調機２９の吐出口およびフィルターユニット６の
吹出し面側に温度センサーＴおよび湿度センサーＨが設
けられる。このような制御により、ファンユニット５ご
とにワーキングエリア３内が温湿度制御され発熱量の大
小に応じた領域ごとに最適な温湿度制御が行われる。ま
た、冷水コイル１３を床下に設けることにより、長い空
調サプライダクトやレタンダクトが不要になり、ファン
ユニット５の構成が簡素化し天井内の小スペース内にコ
ンパクトに収めることができる。
【００２６】制御装置３３は、図６に示すように、各々
のファンユニット５や空調機２９および冷水コイル１３
に対応して設けられた制御器３４にモジュラーケーブル
３５を介して連結される。各制御器３４は、温度センサ
ーＴや湿度センサーＨの検出信号およびワーキングエリ
ア３と外部との差圧を検出する圧力センサーＰからの差
圧信号、および各ファンユニット５の吐出口における風
速を検出する風速センサーＦの検出信号をＡ／Ｄ変換器
（図示しない）等を介して制御装置３３に送る。制御装
置３３は予め作成されたプログラムに従って各検出デー
タに基づいて各機器の駆動制御を行う。即ち、温度デー
タおよび湿度データに基づいて空調機２９の冷水および
温水コイルや加湿器等を開閉するための電磁弁３６およ
び床下チャンバー内の冷水コイル１３の電磁弁３６の開
閉制御を行う。また、圧力センサーＰからの差圧信号に
基づいて空調機２９のインバータ制御を行いこれにより
ファンの回転数を制御する。制御装置３３は、中央監視
装置３２に連結され、制御条件の入力や運転状態のデー
タ出力の画面表示あるいはプリントを行うことができ
る。
のファンユニット５や空調機２９および冷水コイル１３
に対応して設けられた制御器３４にモジュラーケーブル
３５を介して連結される。各制御器３４は、温度センサ
ーＴや湿度センサーＨの検出信号およびワーキングエリ
ア３と外部との差圧を検出する圧力センサーＰからの差
圧信号、および各ファンユニット５の吐出口における風
速を検出する風速センサーＦの検出信号をＡ／Ｄ変換器
（図示しない）等を介して制御装置３３に送る。制御装
置３３は予め作成されたプログラムに従って各検出デー
タに基づいて各機器の駆動制御を行う。即ち、温度デー
タおよび湿度データに基づいて空調機２９の冷水および
温水コイルや加湿器等を開閉するための電磁弁３６およ
び床下チャンバー内の冷水コイル１３の電磁弁３６の開
閉制御を行う。また、圧力センサーＰからの差圧信号に
基づいて空調機２９のインバータ制御を行いこれにより
ファンの回転数を制御する。制御装置３３は、中央監視
装置３２に連結され、制御条件の入力や運転状態のデー
タ出力の画面表示あるいはプリントを行うことができ
る。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、クリーンエリアの天井面に交換可能な複数のフィル
ターユニットを設け、所定数のフィルターユニットごと
に別のエリアの天井内にファンユニットを設け、かつ床
下に温湿度制御用の冷水コイルを設けているため、従来
のファンとフィルターとを一体的に組合せた構成に比
べ、能力の大きいファンを用いることができ、ファン動
力の効率を高め消費電力を低減させることができる。ま
た、ファンの台数が少なくなるため、制御や管理が容易
にできコストの低減が図られる。また、ファンユニット
ごとに温湿度制御ができるため、室内機器の発熱分布に
応じて発熱に対処することができクリーンルーム内を均
一な温度分布にすることができる。また、フィルターユ
ニットの上面には機器が設置されないため天井裏からの
機器のメンテナンスは不要となりフィルターユニット交
換に伴う作業のみとなるため、天井裏に広いスペースを
必要とすることなく充分やりやすい状態でフィルターユ
ニットのメンテナンス作業を行うことができる。また、
温湿度制御用の冷水コイルを床下に設けることにより、
長い空調サプライダクトやレタンダクトが不要になり、
ファンユニットの構成が簡素化し天井内の小スペース内
にコンパクトに収めることができる。
は、クリーンエリアの天井面に交換可能な複数のフィル
ターユニットを設け、所定数のフィルターユニットごと
に別のエリアの天井内にファンユニットを設け、かつ床
下に温湿度制御用の冷水コイルを設けているため、従来
のファンとフィルターとを一体的に組合せた構成に比
べ、能力の大きいファンを用いることができ、ファン動
力の効率を高め消費電力を低減させることができる。ま
た、ファンの台数が少なくなるため、制御や管理が容易
にできコストの低減が図られる。また、ファンユニット
ごとに温湿度制御ができるため、室内機器の発熱分布に
応じて発熱に対処することができクリーンルーム内を均
一な温度分布にすることができる。また、フィルターユ
ニットの上面には機器が設置されないため天井裏からの
機器のメンテナンスは不要となりフィルターユニット交
換に伴う作業のみとなるため、天井裏に広いスペースを
必要とすることなく充分やりやすい状態でフィルターユ
ニットのメンテナンス作業を行うことができる。また、
温湿度制御用の冷水コイルを床下に設けることにより、
長い空調サプライダクトやレタンダクトが不要になり、
ファンユニットの構成が簡素化し天井内の小スペース内
にコンパクトに収めることができる。
【図１】 本発明の実施例の平面図である。
【図２】 本発明の実施例の立面図である。
【図３】 本発明の実施例で用いるファンユニットの構
成図である。
成図である。
【図４】 本発明の実施例のフィルターユニット周辺の
構成図である。
構成図である。
【図５】 本発明の実施例のシステム全体構成図であ
る。
る。
【図６】 本発明の実施例の制御系統図である。
３：ワーキングエリア（第１エリア） ４：メンテナンスエリア（第２エリア） ５：ファンユニット ６：フィルターユニット １３：冷水コイル １４：アクセスフロア １５：床下チャンバー １６：陽圧チャンバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内山 憲一 東京都中央区京橋二丁目５番12号 東洋熱 工業株式会社内 (72)発明者 岩宮 正治 東京都中央区京橋二丁目５番12号 東洋熱 工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 清浄度の高い第１エリアとそれ以外の第
２エリアをパーティションにて区画し、 第１エリアの天井側に個別に交換可能な複数のフィルタ
ーユニットを配設し、これらのフィルターユニットの上
側に陽圧チャンバーを形成し、 第２エリアの天井側に、空調された空気を上記陽圧チャ
ンバー内に供給するためのファンユニットを所定数のフ
ィルターユニットごとに設置し、 上記第１および第２エリアの床は空気が流通可能とし、
この床下に相互に連通する床下チャンバーを形成し、 上記第１および第２エリアの境界部の床下チャンバー内
に冷水コイルを設け、 上記第１エリアのフィルターユニットを通過した清浄空
気は、ダウンフローを形成して床下チャンバー内に流入
し、ここで上記冷水コイルを通過して第２エリア側に流
入しその床を通過してアップフローを形成して上記ファ
ンユニットに吸引される空気流を形成するように構成し
たことを特徴とするクリーンルームシステム。 - 【請求項２】 前記フィルターユニットを保持する枠材
の外周部分に前記陽圧チャンバーと気密的に分離した陰
圧部を形成し、 この陰圧部を前記ファンユニットの吸込側に連結したこ
とを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームシステ
ム。 - 【請求項３】 前記ファンユニットは、筐体と、この筐
体内に設けたファンと、ファン吸込側の筐体内に設けた
加湿器と、ファン吸込側の筐体に設けた循環空気吸込口
と、ファン吸込側の筐体に接続する空調エアーダクトお
よび前記陰圧部に連結する負圧吸込ダクトと、前記陽圧
チャンバーに接続する吹出し口とからなることを特徴と
する請求項１に記載のクリーンルームシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06732795A JP3516507B2 (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | クリーンルームシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06732795A JP3516507B2 (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | クリーンルームシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08261531A true JPH08261531A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3516507B2 JP3516507B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
ID=13341826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06732795A Expired - Fee Related JP3516507B2 (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | クリーンルームシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3516507B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7527468B2 (en) | 2003-03-20 | 2009-05-05 | Huntair, Inc. | Fan array fan section in air-handling systems |
| JP2011247492A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
| US10495094B2 (en) | 2003-03-20 | 2019-12-03 | Nortek Air Solutions, Llc | Modular fan housing with multiple modular units having sound attenuation for a fan array for an air-handling system |
| WO2020187229A1 (zh) * | 2019-03-21 | 2020-09-24 | 青岛海尔空调器有限总公司 | 空调器自清洁控制方法和空调器 |
| JP2021156519A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 三機工業株式会社 | クリーンルームの空調システム |
| JP2021156524A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 三機工業株式会社 | クリーンルームの空調システム |
| CN113757797A (zh) * | 2020-06-05 | 2021-12-07 | 株式会社希力卡·装备Nq | 空气调节装置及空气调节管理方法 |
| US11255332B2 (en) | 2003-03-20 | 2022-02-22 | Nortek Air Solutions, Llc | Modular fan housing with multiple modular units having sound attenuation for a fan array for an air-handling system |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0216937U (ja) * | 1988-07-19 | 1990-02-02 | ||
| JPH02178547A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-11 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空気調和装置 |
| JPH0453138U (ja) * | 1990-09-06 | 1992-05-07 | ||
| JPH06205919A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Hitachi Ltd | フィルタユニット |
-
1995
- 1995-03-27 JP JP06732795A patent/JP3516507B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0216937U (ja) * | 1988-07-19 | 1990-02-02 | ||
| JPH02178547A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-11 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空気調和装置 |
| JPH0453138U (ja) * | 1990-09-06 | 1992-05-07 | ||
| JPH06205919A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Hitachi Ltd | フィルタユニット |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7527468B2 (en) | 2003-03-20 | 2009-05-05 | Huntair, Inc. | Fan array fan section in air-handling systems |
| US10495094B2 (en) | 2003-03-20 | 2019-12-03 | Nortek Air Solutions, Llc | Modular fan housing with multiple modular units having sound attenuation for a fan array for an air-handling system |
| US10641271B2 (en) | 2003-03-20 | 2020-05-05 | Nortek Air Solutions, Llc | Fan array fan section in air-handling systems |
| US11255332B2 (en) | 2003-03-20 | 2022-02-22 | Nortek Air Solutions, Llc | Modular fan housing with multiple modular units having sound attenuation for a fan array for an air-handling system |
| JP2011247492A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
| WO2020187229A1 (zh) * | 2019-03-21 | 2020-09-24 | 青岛海尔空调器有限总公司 | 空调器自清洁控制方法和空调器 |
| JP2021156519A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 三機工業株式会社 | クリーンルームの空調システム |
| JP2021156524A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 三機工業株式会社 | クリーンルームの空調システム |
| CN113757797A (zh) * | 2020-06-05 | 2021-12-07 | 株式会社希力卡·装备Nq | 空气调节装置及空气调节管理方法 |
| KR20210151652A (ko) * | 2020-06-05 | 2021-12-14 | 가부시키가이샤 싱카아웃핏Nq | 공조 장치 및 공조 관리 방법 |
| CN113757797B (zh) * | 2020-06-05 | 2023-04-18 | 株式会社新科集团 | 空气调节装置及空气调节管理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3516507B2 (ja) | 2004-04-05 |
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