JPH0216937U - - Google Patents

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JPH0216937U
JPH0216937U JP9464088U JP9464088U JPH0216937U JP H0216937 U JPH0216937 U JP H0216937U JP 9464088 U JP9464088 U JP 9464088U JP 9464088 U JP9464088 U JP 9464088U JP H0216937 U JPH0216937 U JP H0216937U
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plenum
ceiling
room
supply plenum
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は室内発生熱を処理する場合の従来の代
表的なクリーンルームの例を示す略断面図、第２
図は第１図と同様の従来例を示す略断面図、第３
図は本考案に従うクリーンルームの略断面図、第
４図は第３図のクリーンルームの空気流れ系統図
、第５図は本考案に従うクリーンルームの他の例
を示す略断面図、第６図は第５図のクリーンルー
ムの空気流れ系統図、第７図は本考案に従うクリ
ーンルームの他の例を示す略断面図、第８図は第
７図のクリーンルームの空気流れ系統図、第９図
は本考案に従うさらに他の例を示す略断面図、第
１０図は第９図のクリーンルームの空気流れ系統
図である。 ５……サプライプレナム、６……レターンプレ
ナム、７……熱発生源、８……クリーンルーム室
内、９……外調機、１１……生産排気口、１４…
…フアン、１５……ＨＥＰＡフイルタ、１６……
フアンフイルタユニツト、１７……空気空路、１
８……ドライコイル、２０……温度センサー、２
３……天井面のレターン通路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 天井裏空間をサプライプレナム、床下空間
    をレターンプレナムとして、天井面に張り渡した
    フイルタ層を経て室内に清浄空気を給気するよう
    にしたクリーンルームにおいて、ケーシング内に
    フアンとＨＥＰＡフイルタを装着したフアンフイ
    ルタユニツトの多数個を天井面に配置し、これら
    ユニツトのフアン動力だけでサプライプレナム→
    ＨＥＰＡフイルタ→室内→レターンプレナム→サ
    プライプレナムの空気循環を行わせ、レターンプ
    レナムからサプライプレナムへの空気通路を室内
    空間の一部を利用して形成すると共に、ドライコ
    イルを該空気通路の床下に設置したことを特徴と
    するクリーンルーム。 (2) 天井裏空間をサプライプレナム、床下空間
    をレターンプレナムとして、天井面に張り渡した
    フイルタ層を経て室内に清浄空気を給気するよう
    にしたクリーンルームにおいて、ケーシング内に
    フアンとＨＥＰＡフイルタを装着したフアンフイ
    ルタユニツトの多数個を天井面に配置し、これら
    ユニツトのフアン動力だけでサプライプレナム→
    ＨＥＰＡフイルタ→室内→レターンプレナム→サ
    プライプレナムの空気循環を行わせ、レターンプ
    レナムからサプライプレナムへの空気通路を室内
    空間の一部を利用して形成すると共に、ドライコ
    イルを該空気通路の天井部に設置したことを特徴
    とするクリーンルーム。 (3) 天井裏空間をサプライプレナム、床下空間
    をレターンプレナムとして、天井面に張り渡した
    フイルタ層を経て室内に清浄空気を給気するよう
    にしたクリーンルームにおいて、ケーシング内に
    フアンとＨＥＰＡフイルタを装着したフアンフイ
    ルタユニツトの多数個を天井面に配置し、これら
    ユニツトのフアン動力だけでサプライプレナム→
    ＨＥＰＡフイルタ→室内→レターンプレナム→サ
    プライプレナムの空気循環を行わせ、レターンプ
    レナムからサプライプレナムへの空気通路を室内
    空間の一部を利用して形成すると共に、ドライコ
    イルをレターンプレナム内に設置したことを特徴
    とするクリーンルーム。 (4) 天井裏空間をサプライプレナムとして、天
    井面に張り渡したフイルタ層を経て室内に清浄空
    気を給気するようにしたクリーンルームにおいて
    、ケーシング内にフアンとＨＥＰＡフイルタを装
    着したフアンフイルタユニツトの多数個を天井面
    に配置し、これらユニツトのフアン動力だけでサ
    プライプレナム→ＨＥＰＡフイルタ→室内→サプ
    ライプレナムの空気循環を行わせ、室内からサプ
    ライプレナムへのレターン通路をクリーンルーム
    空間の天井部に形成すると共に、ドライコイルを
    該天井部のレターン通路に設置したことを特徴と
    するクリーンルーム。
JP1988094640U 1988-07-19 1988-07-19 クリーンルーム Expired - Lifetime JPH0648256Y2 (ja)

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JPH0216937U true JPH0216937U (ja) 1990-02-02
JPH0648256Y2 JPH0648256Y2 (ja) 1994-12-12

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