JPH0216937U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0216937U JPH0216937U JP9464088U JP9464088U JPH0216937U JP H0216937 U JPH0216937 U JP H0216937U JP 9464088 U JP9464088 U JP 9464088U JP 9464088 U JP9464088 U JP 9464088U JP H0216937 U JPH0216937 U JP H0216937U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plenum
- ceiling
- room
- supply plenum
- return
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
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- Ventilation (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
Description
第1図は室内発生熱を処理する場合の従来の代
表的なクリーンルームの例を示す略断面図、第2
図は第1図と同様の従来例を示す略断面図、第3
図は本考案に従うクリーンルームの略断面図、第
4図は第3図のクリーンルームの空気流れ系統図
、第5図は本考案に従うクリーンルームの他の例
を示す略断面図、第6図は第5図のクリーンルー
ムの空気流れ系統図、第7図は本考案に従うクリ
ーンルームの他の例を示す略断面図、第8図は第
7図のクリーンルームの空気流れ系統図、第9図
は本考案に従うさらに他の例を示す略断面図、第
10図は第9図のクリーンルームの空気流れ系統
図である。 5……サプライプレナム、6……レターンプレ
ナム、7……熱発生源、8……クリーンルーム室
内、9……外調機、11……生産排気口、14…
…フアン、15……HEPAフイルタ、16……
フアンフイルタユニツト、17……空気空路、1
8……ドライコイル、20……温度センサー、2
3……天井面のレターン通路。
表的なクリーンルームの例を示す略断面図、第2
図は第1図と同様の従来例を示す略断面図、第3
図は本考案に従うクリーンルームの略断面図、第
4図は第3図のクリーンルームの空気流れ系統図
、第5図は本考案に従うクリーンルームの他の例
を示す略断面図、第6図は第5図のクリーンルー
ムの空気流れ系統図、第7図は本考案に従うクリ
ーンルームの他の例を示す略断面図、第8図は第
7図のクリーンルームの空気流れ系統図、第9図
は本考案に従うさらに他の例を示す略断面図、第
10図は第9図のクリーンルームの空気流れ系統
図である。 5……サプライプレナム、6……レターンプレ
ナム、7……熱発生源、8……クリーンルーム室
内、9……外調機、11……生産排気口、14…
…フアン、15……HEPAフイルタ、16……
フアンフイルタユニツト、17……空気空路、1
8……ドライコイル、20……温度センサー、2
3……天井面のレターン通路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 天井裏空間をサプライプレナム、床下空間
をレターンプレナムとして、天井面に張り渡した
フイルタ層を経て室内に清浄空気を給気するよう
にしたクリーンルームにおいて、ケーシング内に
フアンとHEPAフイルタを装着したフアンフイ
ルタユニツトの多数個を天井面に配置し、これら
ユニツトのフアン動力だけでサプライプレナム→
HEPAフイルタ→室内→レターンプレナム→サ
プライプレナムの空気循環を行わせ、レターンプ
レナムからサプライプレナムへの空気通路を室内
空間の一部を利用して形成すると共に、ドライコ
イルを該空気通路の床下に設置したことを特徴と
するクリーンルーム。 (2) 天井裏空間をサプライプレナム、床下空間
をレターンプレナムとして、天井面に張り渡した
フイルタ層を経て室内に清浄空気を給気するよう
にしたクリーンルームにおいて、ケーシング内に
フアンとHEPAフイルタを装着したフアンフイ
ルタユニツトの多数個を天井面に配置し、これら
ユニツトのフアン動力だけでサプライプレナム→
HEPAフイルタ→室内→レターンプレナム→サ
プライプレナムの空気循環を行わせ、レターンプ
レナムからサプライプレナムへの空気通路を室内
空間の一部を利用して形成すると共に、ドライコ
イルを該空気通路の天井部に設置したことを特徴
とするクリーンルーム。 (3) 天井裏空間をサプライプレナム、床下空間
をレターンプレナムとして、天井面に張り渡した
フイルタ層を経て室内に清浄空気を給気するよう
にしたクリーンルームにおいて、ケーシング内に
フアンとHEPAフイルタを装着したフアンフイ
ルタユニツトの多数個を天井面に配置し、これら
ユニツトのフアン動力だけでサプライプレナム→
HEPAフイルタ→室内→レターンプレナム→サ
プライプレナムの空気循環を行わせ、レターンプ
レナムからサプライプレナムへの空気通路を室内
空間の一部を利用して形成すると共に、ドライコ
イルをレターンプレナム内に設置したことを特徴
とするクリーンルーム。 (4) 天井裏空間をサプライプレナムとして、天
井面に張り渡したフイルタ層を経て室内に清浄空
気を給気するようにしたクリーンルームにおいて
、ケーシング内にフアンとHEPAフイルタを装
着したフアンフイルタユニツトの多数個を天井面
に配置し、これらユニツトのフアン動力だけでサ
プライプレナム→HEPAフイルタ→室内→サプ
ライプレナムの空気循環を行わせ、室内からサプ
ライプレナムへのレターン通路をクリーンルーム
空間の天井部に形成すると共に、ドライコイルを
該天井部のレターン通路に設置したことを特徴と
するクリーンルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988094640U JPH0648256Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988094640U JPH0648256Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | クリーンルーム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0216937U true JPH0216937U (ja) | 1990-02-02 |
JPH0648256Y2 JPH0648256Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31319201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988094640U Expired - Lifetime JPH0648256Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | クリーンルーム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0648256Y2 (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04113136A (ja) * | 1990-09-03 | 1992-04-14 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 直膨型熱交換器を用いたクリーンルーム |
JPH04174235A (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 直膨型熱交換器を用いたクリーンルーム |
JPH05196258A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-08-06 | Hitachi Metals Ltd | 空気調和設備 |
JPH08152159A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Shimizu Corp | 全面床吹出し方式空調設備 |
JPH08159515A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Advantest Corp | Icテスタ用冷却装置 |
JPH08261531A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Toyo Netsu Kogyo Kk | クリーンルームシステム |
JPH0914713A (ja) * | 1995-06-27 | 1997-01-17 | Shimizu Corp | クリーンルームにおける空気処理装置 |
JPH1163577A (ja) * | 1997-08-14 | 1999-03-05 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルーム用局所冷却装置 |
JPH11304192A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Tokyo Gas Co Ltd | 換気・空調システム |
JPH11344242A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Taisei Corp | クリーンルームにおける空調システム |
JP2000279741A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-10 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空気浄化空調装置及び空気浄化空調方法 |
JP2001263747A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
JP2002156137A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿設備 |
JP2004293933A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Sanki Eng Co Ltd | ドライコイルおよびその設置方法 |
JP2015206519A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社竹中工務店 | 空調システム |
JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
JPS6475833A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-22 | Takenaka Komuten Co | Locally circulated type clean room |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP1988094640U patent/JPH0648256Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
JPS6475833A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-22 | Takenaka Komuten Co | Locally circulated type clean room |
Cited By (16)
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JPH08159515A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Advantest Corp | Icテスタ用冷却装置 |
JPH08261531A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Toyo Netsu Kogyo Kk | クリーンルームシステム |
JPH0914713A (ja) * | 1995-06-27 | 1997-01-17 | Shimizu Corp | クリーンルームにおける空気処理装置 |
JPH1163577A (ja) * | 1997-08-14 | 1999-03-05 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルーム用局所冷却装置 |
JPH11304192A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Tokyo Gas Co Ltd | 換気・空調システム |
JPH11344242A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Taisei Corp | クリーンルームにおける空調システム |
JP2000279741A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-10 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空気浄化空調装置及び空気浄化空調方法 |
JP2001263747A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
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JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0648256Y2 (ja) | 1994-12-12 |
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