JPH0327535U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0327535U JPH0327535U JP8564689U JP8564689U JPH0327535U JP H0327535 U JPH0327535 U JP H0327535U JP 8564689 U JP8564689 U JP 8564689U JP 8564689 U JP8564689 U JP 8564689U JP H0327535 U JPH0327535 U JP H0327535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- filter unit
- fan filter
- air
- booth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第1図は
クリーンルームの截断側面図、第2図はフアンフ
イルタユニツトの截断側面図、第3図は同平面図
、第4図はドライクーラの截断側面図、第5図は
同一部を截叙した平面図である。 A……クリーンルーム、1……クリーンブース
、2……フアンフイルタユニツト、2a……フア
ンフイルタユニツトの吸気口、3……ドライクー
ラ、3a……ドライクーラの吸気吹出口、5……
冷水循環管路。
クリーンルームの截断側面図、第2図はフアンフ
イルタユニツトの截断側面図、第3図は同平面図
、第4図はドライクーラの截断側面図、第5図は
同一部を截叙した平面図である。 A……クリーンルーム、1……クリーンブース
、2……フアンフイルタユニツト、2a……フア
ンフイルタユニツトの吸気口、3……ドライクー
ラ、3a……ドライクーラの吸気吹出口、5……
冷水循環管路。
Claims (1)
- クリーンルームA内に局部的に設営したクリー
ンブース1に対しクリーンエアの吹込み用として
フアンフイルタユニツト2を設けたものにおいて
、該フアンフイルタユニツト2の給気口2aに、
冷水循環管路5に接続するフインコイル4から成
るドライクーラ3の冷気吹出口3aを接続させて
成るクリーンブース内の調温装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8564689U JPH0327535U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8564689U JPH0327535U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0327535U true JPH0327535U (ja) | 1991-03-19 |
Family
ID=31634886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8564689U Pending JPH0327535U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0327535U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014169816A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
JP2019138201A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社神戸製鋼所 | バイナリー発電システム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5633191B2 (ja) * | 1976-02-14 | 1981-08-01 |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP8564689U patent/JPH0327535U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5633191B2 (ja) * | 1976-02-14 | 1981-08-01 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014169816A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
JP2019138201A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社神戸製鋼所 | バイナリー発電システム |