JPH0327535U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0327535U JPH0327535U JP8564689U JP8564689U JPH0327535U JP H0327535 U JPH0327535 U JP H0327535U JP 8564689 U JP8564689 U JP 8564689U JP 8564689 U JP8564689 U JP 8564689U JP H0327535 U JPH0327535 U JP H0327535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- filter unit
- fan filter
- air
- booth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
クリーンルームの截断側面図、第２図はフアンフ
イルタユニツトの截断側面図、第３図は同平面図
、第４図はドライクーラの截断側面図、第５図は
同一部を截叙した平面図である。 Ａ……クリーンルーム、１……クリーンブース
、２……フアンフイルタユニツト、２ａ……フア
ンフイルタユニツトの吸気口、３……ドライクー
ラ、３ａ……ドライクーラの吸気吹出口、５……
冷水循環管路。
クリーンルームの截断側面図、第２図はフアンフ
イルタユニツトの截断側面図、第３図は同平面図
、第４図はドライクーラの截断側面図、第５図は
同一部を截叙した平面図である。 Ａ……クリーンルーム、１……クリーンブース
、２……フアンフイルタユニツト、２ａ……フア
ンフイルタユニツトの吸気口、３……ドライクー
ラ、３ａ……ドライクーラの吸気吹出口、５……
冷水循環管路。
Claims (1)
- クリーンルームＡ内に局部的に設営したクリー
ンブース１に対しクリーンエアの吹込み用として
フアンフイルタユニツト２を設けたものにおいて
、該フアンフイルタユニツト２の給気口２ａに、
冷水循環管路５に接続するフインコイル４から成
るドライクーラ３の冷気吹出口３ａを接続させて
成るクリーンブース内の調温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8564689U JPH0327535U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8564689U JPH0327535U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0327535U true JPH0327535U (ja) | 1991-03-19 |
Family
ID=31634886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8564689U Pending JPH0327535U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0327535U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014169816A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
| JP2019138201A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社神戸製鋼所 | バイナリー発電システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633191B2 (ja) * | 1976-02-14 | 1981-08-01 |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP8564689U patent/JPH0327535U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633191B2 (ja) * | 1976-02-14 | 1981-08-01 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014169816A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
| JP2019138201A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社神戸製鋼所 | バイナリー発電システム |