JPH0648256Y2 - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルームInfo
- Publication number
- JPH0648256Y2 JPH0648256Y2 JP1988094640U JP9464088U JPH0648256Y2 JP H0648256 Y2 JPH0648256 Y2 JP H0648256Y2 JP 1988094640 U JP1988094640 U JP 1988094640U JP 9464088 U JP9464088 U JP 9464088U JP H0648256 Y2 JPH0648256 Y2 JP H0648256Y2
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- JP
- Japan
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- plenum
- air
- fan
- ceiling
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は省エネルギーおよび省スペースを図ったクリー
ンルームに関する。
ンルームに関する。
半導体製造，食品工業等で使用されるクリーンルームに
おいて，室内で熱を発生するクリーンルームでは，その
熱を処理して室内を設定温度に維持する方式として，代
表的には，第１図に示すように空調機（エアハンドリン
グユニット）１を用いる方式，或いは第２図に示すよう
に専用レターンダクト２に冷却コイル３を設置する方式
が採用されている。なお，両図において,4は天井面に張
り渡したHEPAフイルタ層,5は天井裏空間を利用したサプ
ライプレナム,6は床下空間を利用したレターンプレナ
ム,7は室８内の発熱源,9は外調機,11は生産排気口を示
している。
おいて，室内で熱を発生するクリーンルームでは，その
熱を処理して室内を設定温度に維持する方式として，代
表的には，第１図に示すように空調機（エアハンドリン
グユニット）１を用いる方式，或いは第２図に示すよう
に専用レターンダクト２に冷却コイル３を設置する方式
が採用されている。なお，両図において,4は天井面に張
り渡したHEPAフイルタ層,5は天井裏空間を利用したサプ
ライプレナム,6は床下空間を利用したレターンプレナ
ム,7は室８内の発熱源,9は外調機,11は生産排気口を示
している。
第１図の例では，レターン空気と処理済外気の実質上全
てを一たん空調機１に導き，ここで室内で発生した熱負
荷分を処理してサプライプレナムに供給するものであ
り，空気の循環は空調機１内の送風機で行なうものであ
る。
てを一たん空調機１に導き，ここで室内で発生した熱負
荷分を処理してサプライプレナムに供給するものであ
り，空気の循環は空調機１内の送風機で行なうものであ
る。
第２図の例では，空調機は特に使用せず，室内で発生し
た熱負荷分を専用レターンダクト２に配置した冷却コイ
ル３で処理するものであり，空気の循環は専用レターン
ダクト２に送風機12を別途設置することによって行な
う。
た熱負荷分を専用レターンダクト２に配置した冷却コイ
ル３で処理するものであり，空気の循環は専用レターン
ダクト２に送風機12を別途設置することによって行な
う。
室内で発生する熱負荷を処理するための前記の従来方式
では次のような問題があった。すなわち第１図の空調機
を用いる方式では，空気の循環を空調機の送風機で行な
うために過大な搬送動力を必要とし大型の空調機を用い
なければならず，設置費用並びに運転費用が嵩むという
問題がある。また，第２図の方式では，冷却コイル３と
送風機12を設置する専用のレターンスペースを必要とす
ることから，このスペースをユーザ側で自由に使用でき
ず，ユーザの使用可能空間が減少するという問題があ
る。
では次のような問題があった。すなわち第１図の空調機
を用いる方式では，空気の循環を空調機の送風機で行な
うために過大な搬送動力を必要とし大型の空調機を用い
なければならず，設置費用並びに運転費用が嵩むという
問題がある。また，第２図の方式では，冷却コイル３と
送風機12を設置する専用のレターンスペースを必要とす
ることから，このスペースをユーザ側で自由に使用でき
ず，ユーザの使用可能空間が減少するという問題があ
る。
本考案はこのような問題の解決を目的としたものであ
る。
る。
前記の問題を解決せんとしてなされた本考案の要旨とす
るところは，天井裏空間をサプライプレナム，床下空間
をレターンプレナムとして，天井面に張り渡したフイル
タ層を経て室内に清浄空気を給気するようにしたクリー
ンルームにおいて，ケーシング内にフアンとHEPAフイル
タを装着したフアンフイルタユニットの多数個を天井面
に配置し，レターンプレナムからサプライプレナムに通
ずる空気通路を室内空間の一部を利用して形成すること
によりサプライプレナム→フアンフイルタユニット→室
内→レターンプレナム→該空気通路→サプライプレナム
の順に通ずる空気の循環路を構成し，この空気の循環路
にフアンフイルタユニット以外の送風機を設けることな
く，ドライコイルを該空気通路の床下，該空気通路の天
井部，或いはレターンプレナム内に設置したことを特徴
とする。
るところは，天井裏空間をサプライプレナム，床下空間
をレターンプレナムとして，天井面に張り渡したフイル
タ層を経て室内に清浄空気を給気するようにしたクリー
ンルームにおいて，ケーシング内にフアンとHEPAフイル
タを装着したフアンフイルタユニットの多数個を天井面
に配置し，レターンプレナムからサプライプレナムに通
ずる空気通路を室内空間の一部を利用して形成すること
によりサプライプレナム→フアンフイルタユニット→室
内→レターンプレナム→該空気通路→サプライプレナム
の順に通ずる空気の循環路を構成し，この空気の循環路
にフアンフイルタユニット以外の送風機を設けることな
く，ドライコイルを該空気通路の床下，該空気通路の天
井部，或いはレターンプレナム内に設置したことを特徴
とする。
さらに本考案の別の態様として，天井裏空間をサプライ
プレナムとして，天井面に張り渡したフイルタ層を経て
室内に清浄空気を給気するようにしたクリーンルームに
おいて，ケーシング内にフアンとHEPAフイルタを装着し
たフアンフイルタユニットの多数個を天井面に配置し，
室内からサプライプレナムに通ずるレターン通路をクリ
ーンルーム空間の天井部に形成することによりサプライ
プレナム→フアンフイルタユニット→室内→該天井部の
レターン通路→サプライプレナムの順に通ずる空気の循
環路を構成し，この空気の循環路にフアンフイルタユニ
ット以外の送風機を設けることなく，ドライコイルを該
天井部のレターン通路に設置したことを特徴とする。
プレナムとして，天井面に張り渡したフイルタ層を経て
室内に清浄空気を給気するようにしたクリーンルームに
おいて，ケーシング内にフアンとHEPAフイルタを装着し
たフアンフイルタユニットの多数個を天井面に配置し，
室内からサプライプレナムに通ずるレターン通路をクリ
ーンルーム空間の天井部に形成することによりサプライ
プレナム→フアンフイルタユニット→室内→該天井部の
レターン通路→サプライプレナムの順に通ずる空気の循
環路を構成し，この空気の循環路にフアンフイルタユニ
ット以外の送風機を設けることなく，ドライコイルを該
天井部のレターン通路に設置したことを特徴とする。
ここで，ドライコイルとは，熱交換表面に結露が生じな
いような条件で空気を冷却する空気冷却器を意味する。
いような条件で空気を冷却する空気冷却器を意味する。
以下に図面の実施例について説明する。
第３図は本考案の一実施例を示したもので，天井裏空間
をサプライプレナム5,床下空間をレターンプレナム６と
して，ケーシング内にフアン14とHEPAフイルタ15を装着
したフアンフイルタユニット16の多数個を天井面に配置
し，これらユニット16のフアン動力だけでサプライプレ
ナム５→HEPAフイルタ15→室内８→レターンプレナム６
→サプライプレナム５の空気循環を行わせ，レターンプ
レナムからサプライプレナムへの空気通路17を室内空間
の一部を利用して形成すると共に，ドライコイル18を該
空気津路17の床下に設置した構成を示す。
をサプライプレナム5,床下空間をレターンプレナム６と
して，ケーシング内にフアン14とHEPAフイルタ15を装着
したフアンフイルタユニット16の多数個を天井面に配置
し，これらユニット16のフアン動力だけでサプライプレ
ナム５→HEPAフイルタ15→室内８→レターンプレナム６
→サプライプレナム５の空気循環を行わせ，レターンプ
レナムからサプライプレナムへの空気通路17を室内空間
の一部を利用して形成すると共に，ドライコイル18を該
空気津路17の床下に設置した構成を示す。
本考案においては，生産排気に対応する空気を系内に取
入れるが，その取入れ外気は外調機９によって温湿度調
整し，室内の熱発生源７によって発生する熱をドライコ
イル18で処理し，このドライコイル18は先述のように熱
交換表面で結露を生じないから空気の冷却だけを行い湿
度は変化させない。第４図にこの空気流れの系統図を示
す。空気の循環はフアンフイルタユニット16のフアン14
だけで行なうので空気循環路に送風機を別途設置するこ
ともない。空気通路17は空気処理のための機器は存在し
ないので，作業員の通路や生産機器のオペレータ機器類
を配置する空間として利用できる。この空気通路17を室
８の空間と特に区別する必要はないが，カーテンや仕切
り壁19を用いて室８と区分してもよい。第３図の例では
ドライコイル18は空気通路17の床下に設置されている。
すなわちレターンプレナム６から空気通路17に流れよう
とする空気を空気通路17の床下で冷却する。そのさい，
ドライコイル18の吐出側空気温度を温度センサー20で検
出し，この検出値が設定値となるようにドライコイル18
の冷媒圧調整弁21を制御する。これによって，室内で発
生した熱負荷分がドライコイル18で処理され，設定温度
の空気がサプライプレナム５に入り込み，各フアンフイ
ルタユニット16のHEPAフイルタ15で清浄化されて室内に
供給される。なお，循環風量はフアンフイルタユニット
16の稼働台数制御或いは可変風量制御を行なうことによ
ってクリーンルームの使用態様に応じた必要最小限のも
のとすることができる。
入れるが，その取入れ外気は外調機９によって温湿度調
整し，室内の熱発生源７によって発生する熱をドライコ
イル18で処理し，このドライコイル18は先述のように熱
交換表面で結露を生じないから空気の冷却だけを行い湿
度は変化させない。第４図にこの空気流れの系統図を示
す。空気の循環はフアンフイルタユニット16のフアン14
だけで行なうので空気循環路に送風機を別途設置するこ
ともない。空気通路17は空気処理のための機器は存在し
ないので，作業員の通路や生産機器のオペレータ機器類
を配置する空間として利用できる。この空気通路17を室
８の空間と特に区別する必要はないが，カーテンや仕切
り壁19を用いて室８と区分してもよい。第３図の例では
ドライコイル18は空気通路17の床下に設置されている。
すなわちレターンプレナム６から空気通路17に流れよう
とする空気を空気通路17の床下で冷却する。そのさい，
ドライコイル18の吐出側空気温度を温度センサー20で検
出し，この検出値が設定値となるようにドライコイル18
の冷媒圧調整弁21を制御する。これによって，室内で発
生した熱負荷分がドライコイル18で処理され，設定温度
の空気がサプライプレナム５に入り込み，各フアンフイ
ルタユニット16のHEPAフイルタ15で清浄化されて室内に
供給される。なお，循環風量はフアンフイルタユニット
16の稼働台数制御或いは可変風量制御を行なうことによ
ってクリーンルームの使用態様に応じた必要最小限のも
のとすることができる。
第５図は，ドライコイル18を空気通路17の天井部に設置
した以外は第３図と同じ構成を示し，第６図にその空気
流れの系統図を示した。第５図において第３図と同じ参
照数字の部材は第３図で説明したものと同じものを示し
ている（以下の第７図および第９図でも同じ）。第５図
の場合でも第３図と同様に空気通路17はユーザの使用空
間として利用でき，また空気の循環はフアンフイルタユ
ニットのフアン動力だけで行なうことがてきる。
した以外は第３図と同じ構成を示し，第６図にその空気
流れの系統図を示した。第５図において第３図と同じ参
照数字の部材は第３図で説明したものと同じものを示し
ている（以下の第７図および第９図でも同じ）。第５図
の場合でも第３図と同様に空気通路17はユーザの使用空
間として利用でき，また空気の循環はフアンフイルタユ
ニットのフアン動力だけで行なうことがてきる。
第７図は，ドライコイル18を室８の床下に配置した以外
は第３図と同じ構成を示し，第８図にその空気流れの系
統図を示した。この場合も空気通路17はユーザの使用空
間として利用でき，また空気の循環はフアンフイルタユ
ニットのフアン動力だけで行なわれる。
は第３図と同じ構成を示し，第８図にその空気流れの系
統図を示した。この場合も空気通路17はユーザの使用空
間として利用でき，また空気の循環はフアンフイルタユ
ニットのフアン動力だけで行なわれる。
第９図は，乱流式クリーンルームに本考案を適用した例
を示したものである。またその空気流れを第10図に示し
た。本例では室８の床下をレターンプレナムとして使用
することなく，室８からの還気は天井面を通じて直接行
なうようにしたものである。すなわち，天井面から室内
空気を吸い込んでもその吸込気流は吹出気流に比べて室
内の気流パターンに影響を与えることが格段に少ないこ
とから，室８の天井面のうち適当な位置にサプライプレ
ナム５に通ずるレターン通路23を設け，このレターン通
路23にドライコイル18を配置したものである。この例で
は室８内は還気のための通路は全く必要ではなくなるの
で，ユーザの室８の使用空間は最大限に広がることにな
る。
を示したものである。またその空気流れを第10図に示し
た。本例では室８の床下をレターンプレナムとして使用
することなく，室８からの還気は天井面を通じて直接行
なうようにしたものである。すなわち，天井面から室内
空気を吸い込んでもその吸込気流は吹出気流に比べて室
内の気流パターンに影響を与えることが格段に少ないこ
とから，室８の天井面のうち適当な位置にサプライプレ
ナム５に通ずるレターン通路23を設け，このレターン通
路23にドライコイル18を配置したものである。この例で
は室８内は還気のための通路は全く必要ではなくなるの
で，ユーザの室８の使用空間は最大限に広がることにな
る。
以上のようにして本考案によると，室内に熱発生源が存
在するクリーンルームにおいて，その熱の処理のための
空調機は不要となり，またその熱を処理するための専用
空間を採ることも不要となって既述の目的が達成される
と共に，クリーンルームの低コスト化，省エネルギー
化，省スペース化を図ることができる。
在するクリーンルームにおいて，その熱の処理のための
空調機は不要となり，またその熱を処理するための専用
空間を採ることも不要となって既述の目的が達成される
と共に，クリーンルームの低コスト化，省エネルギー
化，省スペース化を図ることができる。
第１図は室内発生熱を処理する場合の従来の代表的なク
リーンルームの例を示す略断面図，第２図は第１図と同
様の従来例を示す略断面図，第３図は本考案に従うクリ
ーンルームの略断面図，第４図は第３図のクリーンルー
ムの空気流れ系統図，第５図は本考案に従うクリーンル
ームの他の例を示す略断面図，第６図は第５図のクリー
ンルームの空気流れ系統図，第７図は本考案に従うクリ
ーンルームの他の例を示す略断面図，第８図は第７図の
クリーンルームの空気流れ系統図，第９図は本考案に従
うさらに他の例を示す略断面図，第10図は第９図のクリ
ーンルームの空気流れ系統図である。 ５……サプライプレナム,6……レターンプレナム,7……
熱発生源,8……クリーンルーム室内,9……外調機,11…
…生産排気口,14……フアン,15……HEPAフイルタ,16…
…フアンフイルタユニット,17……空気空路,18……ドラ
イコイル,20……温度センサー,23……天井面のレターン
通路。
リーンルームの例を示す略断面図，第２図は第１図と同
様の従来例を示す略断面図，第３図は本考案に従うクリ
ーンルームの略断面図，第４図は第３図のクリーンルー
ムの空気流れ系統図，第５図は本考案に従うクリーンル
ームの他の例を示す略断面図，第６図は第５図のクリー
ンルームの空気流れ系統図，第７図は本考案に従うクリ
ーンルームの他の例を示す略断面図，第８図は第７図の
クリーンルームの空気流れ系統図，第９図は本考案に従
うさらに他の例を示す略断面図，第10図は第９図のクリ
ーンルームの空気流れ系統図である。 ５……サプライプレナム,6……レターンプレナム,7……
熱発生源,8……クリーンルーム室内,9……外調機,11…
…生産排気口,14……フアン,15……HEPAフイルタ,16…
…フアンフイルタユニット,17……空気空路,18……ドラ
イコイル,20……温度センサー,23……天井面のレターン
通路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 池鯉鮒 悟 神奈川県相模原市相生３―５―13 相生マ ンションＢ棟203 (72)考案者 井上 正憲 東京都町田市木曽町1588 山根マンション 102 (56)参考文献 特開 昭64−75833（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−76837（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−91434（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−57449（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−130331（ＪＰ，Ｕ)
Claims (4)
- 【請求項１】天井裏空間をサプライプレナム，床下空間
をレターンプレナムとして，天井面に張り渡したフイル
タ層を経て室内に清浄空気を給気するようにしたクリー
ンルームにおいて，ケーシング内にフアンとHEPAフイル
タを装着したフアンフイルタユニットの多数個を天井面
に配置し，レターンプレナムからサプライプレナムに通
ずる空気通路を室内空間の一部を利用して形成すること
によりサプライプレナム→フアンフイルタユニット→室
内→レターンプレナム→該空気通路→サプライプレナム
の順に通ずる空気の循環路を構成し，この空気の循環路
にフアンフイルタユニット以外の送風機を設けることな
く該空気通路の床下にドライコイルを設置したことを特
徴とするクリーンルーム。 - 【請求項２】天井裏空間をサプライプレナム，床下空間
をレターンプレナムとして，天井面に張り渡したフイル
タ層を経て室内に清浄空気を給気するようにしたクリー
ンルームにおいて，ケーシング内にフアンとHEPAフイル
タを装着したフアンフイルタユニットの多数個を天井面
に配置し，レターンプレナムからサプライプレナムに通
ずる空気通路を室内空間の一部を利用して形成すること
によりサプライプレナム→フアンフイルタユニット→室
内→レターンプレナム→該空気通路→サプライプレナム
の順に通ずる空気の循環路を構成し，この空気の循環路
にフアンフイルタユニット以外の送風機を設けることな
く該空気通路の天井部にドライコイルを設置したことを
特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項３】天井裏空間をサプライプレナム，床下空間
をレターンプレナムとして，天井面に張り渡したフイル
タ層を経て室内に清浄空気を給気するようにしたクリー
ンルームにおいて，ケーシング内にフアンとHEPAフイル
タを装着したフアンフイルタユニットの多数個を天井面
に配置し，レターンプレナムからサプライプレナムに通
ずる空気通路を室内空間の一部を利用して形成すること
によりサプライプレナム→フアンフイルタユニット→室
内→レターンプレナム→該空気通路→サプライプレナム
の順に通ずる空気の循環路を構成し，この空気の循環路
にフアンフイルタユニット以外の送風機を設けることな
くレタンプレナム内にドライコイルを設置したことを特
徴とするクリーンルーム。 - 【請求項４】天井裏空間をサプライプレナムとして，天
井面に張り渡したフイルタ層を経て室内に清浄空気を給
気するようにしたクリーンルームにおいて，ケーシング
内にフアンとHEPAフイルタを装着したフアンフイルタユ
ニットの多数個を天井面に配置し，室内からサプライプ
レナムに通ずるレターン通路をクリーンルーム空間の天
井部に形成することによりサプライプレナム→フアンフ
イルタユニット→室内→該天井部のレターン通路→サプ
ライプレナムの順に通ずる空気の循環路を構成し，この
空気の循環路にフアンフイルタユニット以外の送風機を
設けることなく該レターン通路にドライコイルを設置し
たことを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988094640U JPH0648256Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988094640U JPH0648256Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | クリーンルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0216937U JPH0216937U (ja) | 1990-02-02 |
| JPH0648256Y2 true JPH0648256Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31319201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988094640U Expired - Lifetime JPH0648256Y2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648256Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0814389B2 (ja) * | 1990-09-03 | 1996-02-14 | 高砂熱学工業株式会社 | 直膨型熱交換器を用いたクリーンルーム |
| JP2649986B2 (ja) * | 1990-11-05 | 1997-09-03 | 高砂熱学工業株式会社 | 直膨型熱交換器を用いたクリーンルーム |
| JPH05196258A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-08-06 | Hitachi Metals Ltd | 空気調和設備 |
| JP3306641B2 (ja) * | 1994-11-28 | 2002-07-24 | 清水建設株式会社 | 全面床吹出し方式空調設備 |
| JPH08159515A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Advantest Corp | Ｉｃテスタ用冷却装置 |
| JP3516507B2 (ja) * | 1995-03-27 | 2004-04-05 | 東洋熱工業株式会社 | クリーンルームシステム |
| JP3491242B2 (ja) * | 1995-06-27 | 2004-01-26 | 清水建設株式会社 | クリーンルームにおける空気処理装置 |
| JP4406471B2 (ja) * | 1997-08-14 | 2010-01-27 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルーム用冷却装置 |
| JPH11304192A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Tokyo Gas Co Ltd | 換気・空調システム |
| JPH11344242A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Taisei Corp | クリーンルームにおける空調システム |
| JP4435898B2 (ja) * | 1999-03-26 | 2010-03-24 | 高砂熱学工業株式会社 | 空気浄化空調装置及び空気浄化空調方法 |
| JP4408164B2 (ja) * | 2000-03-21 | 2010-02-03 | 株式会社竹中工務店 | クリーンルーム |
| JP2002156137A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿設備 |
| JP2004293933A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Sanki Eng Co Ltd | ドライコイルおよびその設置方法 |
| JP6420565B2 (ja) * | 2014-04-18 | 2018-11-07 | 株式会社竹中工務店 | 空調システム |
| JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
| JP2526071B2 (ja) * | 1987-09-14 | 1996-08-21 | 株式会社竹中工務店 | 局所循環型クリ―ンル―ム |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP1988094640U patent/JPH0648256Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0216937U (ja) | 1990-02-02 |
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|---|---|---|
| JPH0648256Y2 (ja) | クリーンルーム | |
| JP3842631B2 (ja) | 通信・情報処理機器室等の空調システム | |
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