JP2000329374A - 空調用加湿方法及び加湿装置 - Google Patents
空調用加湿方法及び加湿装置Info
- Publication number
- JP2000329374A JP2000329374A JP11134035A JP13403599A JP2000329374A JP 2000329374 A JP2000329374 A JP 2000329374A JP 11134035 A JP11134035 A JP 11134035A JP 13403599 A JP13403599 A JP 13403599A JP 2000329374 A JP2000329374 A JP 2000329374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- steam
- conditioned
- room
- humidification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 蒸気加湿をする外調機を付設した空調装置の
消費エネルギを減少する。 【解決手段】 蒸気加湿器１６による加湿を、蒸気弁１
６ａの全開度の５〜１０％で行ない、残りの加湿を純水
噴霧装置２０によって、純水を還気中に噴霧することに
より行なう。湿度センサ２６，２７で蒸気制御装置２５
で蒸気弁開度信号ａ1を発生させて蒸気弁１６ａを調節
するが、該信号ａ1を純水制御装置２９にも送って純水
噴霧量を制御する。
消費エネルギを減少する。 【解決手段】 蒸気加湿器１６による加湿を、蒸気弁１
６ａの全開度の５〜１０％で行ない、残りの加湿を純水
噴霧装置２０によって、純水を還気中に噴霧することに
より行なう。湿度センサ２６，２７で蒸気制御装置２５
で蒸気弁開度信号ａ1を発生させて蒸気弁１６ａを調節
するが、該信号ａ1を純水制御装置２９にも送って純水
噴霧量を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体その他の埃
を嫌う物品を製造する作業場（クリーンルーム）や環境
試験室などの被空調室にあって、換気のために導入され
る外気の湿度不足分を省エネルギ的に補うために利用さ
れる。
を嫌う物品を製造する作業場（クリーンルーム）や環境
試験室などの被空調室にあって、換気のために導入され
る外気の湿度不足分を省エネルギ的に補うために利用さ
れる。
【０００２】
【従来の技術】わが国においては、冬期や中間期におい
て、この季節に導入する換気用の外気の湿度不足を補う
必要があり、この導入外気に対し外気処理用空調機、す
なわち外調機を設けて加熱加湿処理を行ない、また高温
多湿の夏季はこの外調機で冷却除湿を行なっている。例
えば特開平９−７９６１１号公報の装置にあっては、外
調機内の上流側に水噴霧器、下流側に蒸気噴出器を配置
すると共に、該水噴霧器の前後に冬期に高温の媒体を通
すコイルが配置してあり、外気が低温低湿の季節は、該
コイルによって外気及び噴霧を加熱し、更に蒸気噴出に
より加湿している。
て、この季節に導入する換気用の外気の湿度不足を補う
必要があり、この導入外気に対し外気処理用空調機、す
なわち外調機を設けて加熱加湿処理を行ない、また高温
多湿の夏季はこの外調機で冷却除湿を行なっている。例
えば特開平９−７９６１１号公報の装置にあっては、外
調機内の上流側に水噴霧器、下流側に蒸気噴出器を配置
すると共に、該水噴霧器の前後に冬期に高温の媒体を通
すコイルが配置してあり、外気が低温低湿の季節は、該
コイルによって外気及び噴霧を加熱し、更に蒸気噴出に
より加湿している。
【０００３】しかし、蒸気加湿装置は、蒸気発生装置が
高価で、エネルギ消費量も大であるから、装置がなるべ
く小規模であると共に蒸気使用量が少ないことが望まし
い。
高価で、エネルギ消費量も大であるから、装置がなるべ
く小規模であると共に蒸気使用量が少ないことが望まし
い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、新設又は既
設の外調機を備える空調手段にあって、蒸気による加湿
量を少なくし、水による加湿の比率を高めて、装置コス
ト及び加湿コストを低下させることを課題とする。
設の外調機を備える空調手段にあって、蒸気による加湿
量を少なくし、水による加湿の比率を高めて、装置コス
ト及び加湿コストを低下させることを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の加湿方法は、請求項１に記載したとおり、被空調室を
出た空気を熱交換器によって調温し、さらに被空調室に
循環させ、この循環系の外に設けた外調機に吸入した外
気を外調機中で蒸気加湿して前記被空調室への循環空気
に混合する空調用加湿方法において、前記循環空気の流
通経路であって熱交換器側に水を噴霧して形成したミス
トと前記循環空気とを混合する加湿手段を設け、全加湿
量の大部分をこの水の噴霧による加湿量とし、その余を
外調機内で蒸気加湿することを特徴とする。この手段に
よれば、被空調室内からの還気の顕熱を水加湿によって
潜熱に置き換えることが可能であり、加湿の大部分を運
転費が安い水加湿とし、加湿の一部を精密な制御ができ
る蒸気加湿としたので、良好な制御性を維持しながら省
エネルギの加湿を達成できる。
の加湿方法は、請求項１に記載したとおり、被空調室を
出た空気を熱交換器によって調温し、さらに被空調室に
循環させ、この循環系の外に設けた外調機に吸入した外
気を外調機中で蒸気加湿して前記被空調室への循環空気
に混合する空調用加湿方法において、前記循環空気の流
通経路であって熱交換器側に水を噴霧して形成したミス
トと前記循環空気とを混合する加湿手段を設け、全加湿
量の大部分をこの水の噴霧による加湿量とし、その余を
外調機内で蒸気加湿することを特徴とする。この手段に
よれば、被空調室内からの還気の顕熱を水加湿によって
潜熱に置き換えることが可能であり、加湿の大部分を運
転費が安い水加湿とし、加湿の一部を精密な制御ができ
る蒸気加湿としたので、良好な制御性を維持しながら省
エネルギの加湿を達成できる。
【０００６】また加湿方法の第２の手段は、請求項２に
記載したとおり、請求項１において、湿度センサから発
生する湿度信号で外調機の蒸気加湿量を制御すると共
に、該湿度信号を水噴霧量の制御に兼用させることを特
徴とする。この手段によれば、一つの湿度制御装置を用
いて蒸気と純水の制御を行なわせることができる。
記載したとおり、請求項１において、湿度センサから発
生する湿度信号で外調機の蒸気加湿量を制御すると共
に、該湿度信号を水噴霧量の制御に兼用させることを特
徴とする。この手段によれば、一つの湿度制御装置を用
いて蒸気と純水の制御を行なわせることができる。
【０００７】また前記課題を解決するための加湿装置
は、請求項３に記載したおとり、熱交換器を被空調室へ
の循環空気路中に設置し、前記被空調室の外に蒸気加湿
器をもつ外調機を設け、熱交換器で調温された調和空気
を被空調室に送風機によって循環させ、換気用の外気を
外調機に導入して蒸気加湿したのち空調機に流入させる
べくした空調用加湿装置において、被空調室の吸込口の
下流側であって熱交換器の上流側に、水噴霧装置を設
け、該水噴霧装置と外調機内の蒸気加湿器のいずれかの
加湿量をもとに他方の加湿量を制御装置で調節すること
を特徴とする。この手段によれば、請求項１の効果を達
成する装置を提供することができ、水と蒸気のそれぞれ
を、室内の空気状態に応じて省エネルギ的に制御でき
る。
は、請求項３に記載したおとり、熱交換器を被空調室へ
の循環空気路中に設置し、前記被空調室の外に蒸気加湿
器をもつ外調機を設け、熱交換器で調温された調和空気
を被空調室に送風機によって循環させ、換気用の外気を
外調機に導入して蒸気加湿したのち空調機に流入させる
べくした空調用加湿装置において、被空調室の吸込口の
下流側であって熱交換器の上流側に、水噴霧装置を設
け、該水噴霧装置と外調機内の蒸気加湿器のいずれかの
加湿量をもとに他方の加湿量を制御装置で調節すること
を特徴とする。この手段によれば、請求項１の効果を達
成する装置を提供することができ、水と蒸気のそれぞれ
を、室内の空気状態に応じて省エネルギ的に制御でき
る。
【０００８】また加湿装置の第２の手段は、請求項４に
記載したとおり、請求項３において、被空調室の床下又
は隣室にリターンチャンバを設け、外調機からの調温調
湿空気の吐出口を前記リターンチャンバに設け、水噴霧
装置をリターンチャンバ内に設置したことを特徴とす
る。この手段によれば、広い床下空間又はリターンシャ
フトと称される隣室を水噴霧加湿のために有効に利用で
きる。
記載したとおり、請求項３において、被空調室の床下又
は隣室にリターンチャンバを設け、外調機からの調温調
湿空気の吐出口を前記リターンチャンバに設け、水噴霧
装置をリターンチャンバ内に設置したことを特徴とす
る。この手段によれば、広い床下空間又はリターンシャ
フトと称される隣室を水噴霧加湿のために有効に利用で
きる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１において、１は建物、２は被
空調室であるクリーンルームを示している。クリーンル
ーム２の床下はリターンチャンバ３とされ、該リターン
チャンバ３の横にリターンシャフト４が連設されてい
る。クリーンルーム２の天井部５には、超高性能（ＵＬ
ＰＡ）フィルタが張設され、その上部の分配室６がリタ
ーンシャフト４に連通しており、クリーンルーム２の床
７は、グレーチングからなる公知の構造で、通気性を有
し還気を流通させる。温調装置８は、乾式熱交換器８ａ
と送風機８ｂを備え、クリーンルーム２内の生産機器の
廃熱などの内部発熱に対して冷却作用を行なう。送風機
８ｂの下流側はダクト８ｃにより分配室６に連通してい
る。９は高性能（ＨＥＰＡ）フィルタである。なお、乾
式熱交換器８ａは、表面に結露が生じないように制御さ
れた顕熱交換器とするのが望ましい。
施の形態を説明する。図１において、１は建物、２は被
空調室であるクリーンルームを示している。クリーンル
ーム２の床下はリターンチャンバ３とされ、該リターン
チャンバ３の横にリターンシャフト４が連設されてい
る。クリーンルーム２の天井部５には、超高性能（ＵＬ
ＰＡ）フィルタが張設され、その上部の分配室６がリタ
ーンシャフト４に連通しており、クリーンルーム２の床
７は、グレーチングからなる公知の構造で、通気性を有
し還気を流通させる。温調装置８は、乾式熱交換器８ａ
と送風機８ｂを備え、クリーンルーム２内の生産機器の
廃熱などの内部発熱に対して冷却作用を行なう。送風機
８ｂの下流側はダクト８ｃにより分配室６に連通してい
る。９は高性能（ＨＥＰＡ）フィルタである。なお、乾
式熱交換器８ａは、表面に結露が生じないように制御さ
れた顕熱交換器とするのが望ましい。
【００１０】外調機１０は、換気のために補給する外気
ＯＡを処理するための空調機で、これも既設のものであ
り、建物１に付設された囲壁１１の端部に外気取入口１
２を有し、内部にプレヒータ１３、冷却コイル１４、加
熱コイル１５、蒸気加湿器１６、送気ファン１７を備
え、これに接続された外気ダクト１８の下流端１８ａ
は、リターンチャンバ３に開口し高性能（ＨＥＰＡ）フ
ィルタ１８ｂを備える。なお、図示はしないが、クリー
ンルーム２からは、生産装置その他で加熱された清浄空
気の一部が排気ダクトを介して建物外に排気される。
ＯＡを処理するための空調機で、これも既設のものであ
り、建物１に付設された囲壁１１の端部に外気取入口１
２を有し、内部にプレヒータ１３、冷却コイル１４、加
熱コイル１５、蒸気加湿器１６、送気ファン１７を備
え、これに接続された外気ダクト１８の下流端１８ａ
は、リターンチャンバ３に開口し高性能（ＨＥＰＡ）フ
ィルタ１８ｂを備える。なお、図示はしないが、クリー
ンルーム２からは、生産装置その他で加熱された清浄空
気の一部が排気ダクトを介して建物外に排気される。
【００１１】２０は、本発明の要部を形成する純水噴霧
装置で、３組の純水ミスト機２１，２２，２３を有す
る。
装置で、３組の純水ミスト機２１，２２，２３を有す
る。
【００１２】該純水ミスト機２１〜２３は、ダクト兼用
の中空の支柱２４に設置され、それぞれ噴霧器Ｓ1，
Ｓ2，Ｓ3と旋回気流ガイドＥを備える。
の中空の支柱２４に設置され、それぞれ噴霧器Ｓ1，
Ｓ2，Ｓ3と旋回気流ガイドＥを備える。
【００１３】支柱２４内の仕切り２４ａの上下に、第
１、第２のファンＦ1，Ｆ2が支柱２４内面のダクトに送
気できるように設置されている。噴霧器Ｓ1，Ｓ2，Ｓ3
には、圧縮空気源Ａからボール弁形式の圧空弁Ａ1，
Ａ2，Ａ3を介して圧縮空気が供給されると共に、純水源
Ｗからリニア特性が良い二方弁形式の純水弁Ｗ1，Ｗ2，
Ｗ 3を介して純水が供給され、二流体式の噴霧を発生さ
せる。３個の旋回気流ガイドＥは、ファンＦ1，Ｆ2から
送られる空気を各噴霧に対して旋回空気流として吹きつ
けて、噴霧を拡散すると共に水滴を微細化したミストＭ
を発生させる。該ミストＭは、クリーンルーム２から戻
る還気と混合して気化する。更に送風機８ｂによってＨ
ＥＰＡフィルタ９で再び清浄化され、乾式熱交換器８ａ
に至る。なお、第１のファンＦ1は、上部２個の旋回気
流ガイドＥに送気し、第２のファンＦ3は、下端の旋回
気流ガイドＥに送気する。
１、第２のファンＦ1，Ｆ2が支柱２４内面のダクトに送
気できるように設置されている。噴霧器Ｓ1，Ｓ2，Ｓ3
には、圧縮空気源Ａからボール弁形式の圧空弁Ａ1，
Ａ2，Ａ3を介して圧縮空気が供給されると共に、純水源
Ｗからリニア特性が良い二方弁形式の純水弁Ｗ1，Ｗ2，
Ｗ 3を介して純水が供給され、二流体式の噴霧を発生さ
せる。３個の旋回気流ガイドＥは、ファンＦ1，Ｆ2から
送られる空気を各噴霧に対して旋回空気流として吹きつ
けて、噴霧を拡散すると共に水滴を微細化したミストＭ
を発生させる。該ミストＭは、クリーンルーム２から戻
る還気と混合して気化する。更に送風機８ｂによってＨ
ＥＰＡフィルタ９で再び清浄化され、乾式熱交換器８ａ
に至る。なお、第１のファンＦ1は、上部２個の旋回気
流ガイドＥに送気し、第２のファンＦ3は、下端の旋回
気流ガイドＥに送気する。
【００１４】この建物の例では、クリーンルーム２の相
対湿度を５０％一定とすべく、給気露点温度をカスケー
ド制御している。すなわち前記蒸気加湿器１６に送る蒸
気量を制御するために、制御装置２５が設けられ、外気
ダクト１８に設けた湿度センサ２６とクリーンルーム２
に設けた湿度センサ２７の信号が該装置２５の指示調節
器２５ａに入力され、該指示調節器２５ａから出る信号
Ａをモータドライバ２８に伝え、モータドライバ２８は
信号Ａを弁開度信号ａ1に変換して蒸気弁１６ａの開度
を制御する。２５ｂは制御の遅れを防止するカスケード
設定器である。なお、モータドライバ２８からの信号ａ
1は、夏季など除湿を必要とする時期には、冷却コイル
１４の冷水入口近くに設けた二方弁の開度を制御するこ
とに用いられる。
対湿度を５０％一定とすべく、給気露点温度をカスケー
ド制御している。すなわち前記蒸気加湿器１６に送る蒸
気量を制御するために、制御装置２５が設けられ、外気
ダクト１８に設けた湿度センサ２６とクリーンルーム２
に設けた湿度センサ２７の信号が該装置２５の指示調節
器２５ａに入力され、該指示調節器２５ａから出る信号
Ａをモータドライバ２８に伝え、モータドライバ２８は
信号Ａを弁開度信号ａ1に変換して蒸気弁１６ａの開度
を制御する。２５ｂは制御の遅れを防止するカスケード
設定器である。なお、モータドライバ２８からの信号ａ
1は、夏季など除湿を必要とする時期には、冷却コイル
１４の冷水入口近くに設けた二方弁の開度を制御するこ
とに用いられる。
【００１５】純水ミスト機２１〜２３で発生させるミス
ト量を制御するために、リターンチャンバ３側に純水制
御装置２９の指示調節器３０とモータドライバ３１，３
２，３３が設けられ、純水ミスト機２１〜２３に設けた
圧空弁Ａ1〜Ａ3と純水弁Ｗ1〜Ｗ3の開度を制御し、且つ
ファンＦ1，Ｆ2の運転スイッチｆ1，ｆ2を制御する。前
記指示調節器３０は、モータドライバ２８から出力され
た蒸気弁の開度信号Ａ1を受け、モータドライバ３１，
３２，３３に圧空弁、純水弁の各開度信号に変換した信
号を送る。この信号値に応じて圧空弁と純水弁が制御さ
れる。
ト量を制御するために、リターンチャンバ３側に純水制
御装置２９の指示調節器３０とモータドライバ３１，３
２，３３が設けられ、純水ミスト機２１〜２３に設けた
圧空弁Ａ1〜Ａ3と純水弁Ｗ1〜Ｗ3の開度を制御し、且つ
ファンＦ1，Ｆ2の運転スイッチｆ1，ｆ2を制御する。前
記指示調節器３０は、モータドライバ２８から出力され
た蒸気弁の開度信号Ａ1を受け、モータドライバ３１，
３２，３３に圧空弁、純水弁の各開度信号に変換した信
号を送る。この信号値に応じて圧空弁と純水弁が制御さ
れる。
【００１６】なお、クリーンルーム２の天井５にファン
フィルタユニットを配置して空気を循環させるべくした
いわゆるＦＦＵ方式では、リターンシャフト４内の送風
機８ｂとダクト８ｃが不要になるから、このリターンシ
ャフト４内に水加湿器２０を設置してもよい。この際
に、乾式熱交換器８ａは、リターンシャフト４の出口す
なわちその天井部近くに立設することもできるし、該乾
式熱交換器８を各ファンフィルタユニットごとに分割し
たコイルとして、各ファンフィルタユニットに付設する
ことができる。
フィルタユニットを配置して空気を循環させるべくした
いわゆるＦＦＵ方式では、リターンシャフト４内の送風
機８ｂとダクト８ｃが不要になるから、このリターンシ
ャフト４内に水加湿器２０を設置してもよい。この際
に、乾式熱交換器８ａは、リターンシャフト４の出口す
なわちその天井部近くに立設することもできるし、該乾
式熱交換器８を各ファンフィルタユニットごとに分割し
たコイルとして、各ファンフィルタユニットに付設する
ことができる。
【００１７】図２は、純水ミスト機２０の各要素の動作
を示すもので、横軸に水加湿要求値、縦軸に前記動作及
び加湿量を示した。二方弁形式の純水弁Ｗ1〜Ｗ3は、開
弁スタート点Ｏ1，Ｏ2，Ｏ3で順次開弁すると共に、ス
タート点Ｏ2，Ｏ3では先行の純水弁Ｗ1，Ｗ2の流量は一
定値に保持し、全体の水量がリニアに調節される。この
ような特性が得られるのは、二方弁が良好なリニア特性
をもつことによる。また、蒸気弁の開度が結果として１
０％以内となるように、圧空弁、純水弁の開度を制御す
る。これによる加湿量制御はＰＩＤ制御とする。
を示すもので、横軸に水加湿要求値、縦軸に前記動作及
び加湿量を示した。二方弁形式の純水弁Ｗ1〜Ｗ3は、開
弁スタート点Ｏ1，Ｏ2，Ｏ3で順次開弁すると共に、ス
タート点Ｏ2，Ｏ3では先行の純水弁Ｗ1，Ｗ2の流量は一
定値に保持し、全体の水量がリニアに調節される。この
ような特性が得られるのは、二方弁が良好なリニア特性
をもつことによる。また、蒸気弁の開度が結果として１
０％以内となるように、圧空弁、純水弁の開度を制御す
る。これによる加湿量制御はＰＩＤ制御とする。
【００１８】圧空弁Ａ1〜Ａ3は、純水弁Ｗ1〜Ｗ3と同期
して開弁するが、第１のファンＦ1はスタート点Ｏ1で作
動し、スタート点Ｏ2を経過後も単独で作動を続けて第
１、第２の純水ミスト機２１，２２に送気し、スタート
点Ｏ3で第２のファンＦ2が作動し、第３の純水ミスト機
２３に送気する。
して開弁するが、第１のファンＦ1はスタート点Ｏ1で作
動し、スタート点Ｏ2を経過後も単独で作動を続けて第
１、第２の純水ミスト機２１，２２に送気し、スタート
点Ｏ3で第２のファンＦ2が作動し、第３の純水ミスト機
２３に送気する。
【００１９】図３は、前記の装置における蒸気と純水の
加湿量を示すもので、夏季以外は蒸気と純水の両方が使
用されるが、蒸気は純水に比べて僅かで、実質上微調節
分の加湿が蒸気によってなされており、既設の蒸気弁１
６ａは、開度１０％前後で制御される。そして一般に１
１月から４月までの冬期と中間期は、全加湿量の８０％
以上が純水による加湿とされ、寒冷地においては１０月
から５月まで同様の加湿が可能である。
加湿量を示すもので、夏季以外は蒸気と純水の両方が使
用されるが、蒸気は純水に比べて僅かで、実質上微調節
分の加湿が蒸気によってなされており、既設の蒸気弁１
６ａは、開度１０％前後で制御される。そして一般に１
１月から４月までの冬期と中間期は、全加湿量の８０％
以上が純水による加湿とされ、寒冷地においては１０月
から５月まで同様の加湿が可能である。
【００２０】図４は、外気を導入したときの空気線図
で、図４ａは従来採用されていた加湿方法、図４ｂは本
発明の加湿方法を示す。図４ａ，ｂにおいて、イは外調
機１０への外気導入点、ロは蒸気加湿器１６を通過する
点、ハはリターンチャンバ３内への給気点、ニはクリー
ンルーム２の状態点で２４℃、湿度４５％であり、ホは
混合後の状態である。図４ａの従来方法では、蒸気加湿
で過飽和が生じないように、冷却コイル１４を通る温水
による加熱Iと温水コイル１５による加熱IIをしたの
ち、蒸気加湿器１６で蒸気放出IIIによる加湿が行なわ
れるから、補給した外気のエンタルピーが増大し、結果
的に乾式熱交換機８ａの負荷を増大している。
で、図４ａは従来採用されていた加湿方法、図４ｂは本
発明の加湿方法を示す。図４ａ，ｂにおいて、イは外調
機１０への外気導入点、ロは蒸気加湿器１６を通過する
点、ハはリターンチャンバ３内への給気点、ニはクリー
ンルーム２の状態点で２４℃、湿度４５％であり、ホは
混合後の状態である。図４ａの従来方法では、蒸気加湿
で過飽和が生じないように、冷却コイル１４を通る温水
による加熱Iと温水コイル１５による加熱IIをしたの
ち、蒸気加湿器１６で蒸気放出IIIによる加湿が行なわ
れるから、補給した外気のエンタルピーが増大し、結果
的に乾式熱交換機８ａの負荷を増大している。
【００２１】これに対して図４ｂの方法では、冷却コイ
ル１４を通る温水による加熱Iは行なうが、温水コイル
１５による加熱はなるべく省略し、ロ点で少量の蒸気放
出III′が行なわれ、湿度が少し上昇する。一方、クリ
ーンルーム２からの還気は、純水ミスト加湿装置２０か
ら放出される純水によって、状態点ニが等エンタルピー
変化して点への状態になり、これと点ハの加湿外気が混
合することによりホの状態になる。この方法において、
蒸気量を少なくしたことにより過飽和を避けるための加
熱量を少なくすることができ、温水コイル１５による加
熱を実質上省略しエンタルピーの増大を防止し冷却用の
エネルギを少なくすることができる。また蒸気量が少な
いので蒸気発生用のエネルギが少なくてすむ。なお、本
実施の形態では１台の送風機８ｂにより空気を循環させ
る方式を例にとっているが、クリーンルーム２の天井の
ＵＬＰＡフィルタ５をファンフィルタユニットに変更す
れば、送風機８ｂは不要となる。
ル１４を通る温水による加熱Iは行なうが、温水コイル
１５による加熱はなるべく省略し、ロ点で少量の蒸気放
出III′が行なわれ、湿度が少し上昇する。一方、クリ
ーンルーム２からの還気は、純水ミスト加湿装置２０か
ら放出される純水によって、状態点ニが等エンタルピー
変化して点への状態になり、これと点ハの加湿外気が混
合することによりホの状態になる。この方法において、
蒸気量を少なくしたことにより過飽和を避けるための加
熱量を少なくすることができ、温水コイル１５による加
熱を実質上省略しエンタルピーの増大を防止し冷却用の
エネルギを少なくすることができる。また蒸気量が少な
いので蒸気発生用のエネルギが少なくてすむ。なお、本
実施の形態では１台の送風機８ｂにより空気を循環させ
る方式を例にとっているが、クリーンルーム２の天井の
ＵＬＰＡフィルタ５をファンフィルタユニットに変更す
れば、送風機８ｂは不要となる。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなとおり、請求項
１の手段によれば、加湿のための蒸気量を少なくしたの
で、蒸気発生のためのエネルギ及び過飽和予防のための
加熱エネルギを少なくでき、運転費を加湿精度を確保し
ながら節約できる効果がある。また請求項２の手段によ
れば、純水噴霧量の制御に蒸気制御手段の信号を利用す
るので、純水噴霧量の制御が容易にできる。請求項３の
手段によれば、蒸気制御装置で蒸気量及び純水量を制御
するから、装置が簡単になる利点がある。また請求項４
の手段によれば、リターンチャンバ内の空間を純水噴霧
装置の設置に利用するので、空間を増設する必要がない
利点がある。
１の手段によれば、加湿のための蒸気量を少なくしたの
で、蒸気発生のためのエネルギ及び過飽和予防のための
加熱エネルギを少なくでき、運転費を加湿精度を確保し
ながら節約できる効果がある。また請求項２の手段によ
れば、純水噴霧量の制御に蒸気制御手段の信号を利用す
るので、純水噴霧量の制御が容易にできる。請求項３の
手段によれば、蒸気制御装置で蒸気量及び純水量を制御
するから、装置が簡単になる利点がある。また請求項４
の手段によれば、リターンチャンバ内の空間を純水噴霧
装置の設置に利用するので、空間を増設する必要がない
利点がある。
【図１】 本発明の実施の形態の装置配置図
【図２】 純水噴霧装置の作動説明図
【図３】 加湿量説明図
【図４】 作用説明図
２ クリーンルーム ３ リターンチャ
ンバ ４ リターンシャフト ５ 天井部 ８ 空調機 ８ａ 乾式熱交換器 １０ 外調機 １６ 蒸気加湿器 ２０ 純水噴霧装置 ２５ 蒸気制御装
置 ２５ａ，３０ 指示調節器 ２６，２７ 湿
度センサ ２９ 純水制御装置
ンバ ４ リターンシャフト ５ 天井部 ８ 空調機 ８ａ 乾式熱交換器 １０ 外調機 １６ 蒸気加湿器 ２０ 純水噴霧装置 ２５ 蒸気制御装
置 ２５ａ，３０ 指示調節器 ２６，２７ 湿
度センサ ２９ 純水制御装置
Claims (4)
- 【請求項１】 被空調室を出た空気を熱交換器によって
調温し、さらに被空調室に循環させ、この循環系の外に
設けた外調機に吸入した外気を外調機中で蒸気加湿して
前記被空調室への循環空気に混合する空調用加湿方法に
おいて、前記循環空気の流通経路であって熱交換器側に
水を噴霧して形成したミストと前記循環空気とを混合す
る加湿手段を設け、全加湿量の大部分をこの水の噴霧に
よる加湿量とし、その余を外調機内で蒸気加湿すること
を特徴とする空調用加湿方法。 - 【請求項２】 請求項１において、湿度センサから発生
する湿度信号で外調機の蒸気加湿量を制御すると共に、
該湿度信号を水噴霧量の制御に兼用させることを特徴と
する空調用加湿方法。 - 【請求項３】 熱交換器を被空調室への循環空気路中に
設置し、前記被空調室の外に蒸気加湿器をもつ外調機を
設け、熱交換器で調温された調和空気を被空調室に送風
機によって循環させ、換気用の外気を外調機に導入して
蒸気加湿したのち空調機に流入させるべくした空調用加
湿装置において、被空調室の吸込口の下流側であって熱
交換器の上流側に水噴霧装置を設け、該水噴霧装置と外
調機内の蒸気加湿器のいずれかの加湿量をもとに他方の
加湿量を制御装置で調節することを特徴とする空調用加
湿装置。 - 【請求項４】 請求項３において、被空調室の床下又は
隣室にリターンチャンバを設け、外調機からの調温調湿
空気の吐出口を前記リターンチャンバに設け、水噴霧装
置をリターンチャンバ内に設置したことを特徴とする空
調用加湿装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13403599A JP3808237B2 (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 空調用加湿方法及び加湿装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13403599A JP3808237B2 (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 空調用加湿方法及び加湿装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000329374A true JP2000329374A (ja) | 2000-11-30 |
| JP2000329374A5 JP2000329374A5 (ja) | 2004-12-16 |
| JP3808237B2 JP3808237B2 (ja) | 2006-08-09 |
Family
ID=15118856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13403599A Expired - Lifetime JP3808237B2 (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 空調用加湿方法及び加湿装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3808237B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156137A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿設備 |
| WO2006064850A1 (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-22 | Wetmaster Co., Ltd. | 恒温・恒湿用空調システム |
| JP2007139403A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Sanki Eng Co Ltd | 二流体水噴霧ノズルの比例制御方法とその装置。 |
| WO2011145685A1 (ja) * | 2010-05-19 | 2011-11-24 | 株式会社 日立製作所 | 外気導入式データセンタ |
| JP5995337B1 (ja) * | 2015-05-15 | 2016-09-21 | 木村工機株式会社 | 加湿ユニット |
| JP2017053643A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | ダイキン工業株式会社 | エンジン試験室用空調システム |
| JP2018080886A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社竹中工務店 | 外気処理空調装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257844A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-27 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルームの湿度制御方法 |
| JPH03148541A (ja) * | 1990-06-20 | 1991-06-25 | Kanebo Ltd | 空調用水加湿方法及び装置 |
| JPH0882432A (ja) * | 1994-09-12 | 1996-03-26 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 加湿方法及び空気調和システム |
| JPH0886534A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Sanki Eng Co Ltd | 空調装置 |
| JPH0979611A (ja) * | 1995-09-13 | 1997-03-28 | Sony Corp | 空気調和装置 |
| JPH10103714A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-04-21 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体清浄室用の空気調和システム |
| JPH10318571A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Ohbayashi Corp | 外気冷房時の加湿方法 |
-
1999
- 1999-05-14 JP JP13403599A patent/JP3808237B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257844A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-27 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルームの湿度制御方法 |
| JPH03148541A (ja) * | 1990-06-20 | 1991-06-25 | Kanebo Ltd | 空調用水加湿方法及び装置 |
| JPH0882432A (ja) * | 1994-09-12 | 1996-03-26 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 加湿方法及び空気調和システム |
| JPH0886534A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Sanki Eng Co Ltd | 空調装置 |
| JPH0979611A (ja) * | 1995-09-13 | 1997-03-28 | Sony Corp | 空気調和装置 |
| JPH10103714A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-04-21 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体清浄室用の空気調和システム |
| JPH10318571A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Ohbayashi Corp | 外気冷房時の加湿方法 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156137A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿設備 |
| WO2006064850A1 (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-22 | Wetmaster Co., Ltd. | 恒温・恒湿用空調システム |
| JP2006170543A (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-29 | Techno Ryowa Ltd | 恒温・恒湿用空調システム |
| JP2007139403A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Sanki Eng Co Ltd | 二流体水噴霧ノズルの比例制御方法とその装置。 |
| WO2011145685A1 (ja) * | 2010-05-19 | 2011-11-24 | 株式会社 日立製作所 | 外気導入式データセンタ |
| JP5995337B1 (ja) * | 2015-05-15 | 2016-09-21 | 木村工機株式会社 | 加湿ユニット |
| JP2017053643A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | ダイキン工業株式会社 | エンジン試験室用空調システム |
| JP2018080886A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社竹中工務店 | 外気処理空調装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3808237B2 (ja) | 2006-08-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3310118B2 (ja) | 加湿方法及び空気調和システム | |
| JP3436898B2 (ja) | 空気調和装置 | |
| US4552303A (en) | Air-conditioning system | |
| JPH11101520A (ja) | エアサイクル式空気調和装置 | |
| JP3808237B2 (ja) | 空調用加湿方法及び加湿装置 | |
| JP2003294274A (ja) | 恒温恒湿空調システム | |
| JP2002156148A (ja) | 空調用加湿方法 | |
| JP2004245546A (ja) | 空調方法及び空調装置 | |
| KR101995121B1 (ko) | 데이터센터 공기조화시스템 제어방법 | |
| JP7058250B2 (ja) | 除湿機能付き空調機及びその制御方法 | |
| JPH0989350A (ja) | 空調装置の湿度制御装置及び湿度制御方法 | |
| JPS5816136A (ja) | 省エネルギ空気調和システム | |
| JP2697655B2 (ja) | 空気調和装置 | |
| JP3429141B2 (ja) | 空調装置 | |
| JPH04281142A (ja) | 空気調和装置 | |
| JPH05196258A (ja) | 空気調和設備 | |
| JP2000291994A (ja) | 空調方法 | |
| JP2001263724A (ja) | 空調方法及び空調機 | |
| JP7272723B1 (ja) | 通気式固体培養装置及び通気式固体培養方法 | |
| JPH05215366A (ja) | 空気調和設備 | |
| JP2712828B2 (ja) | 環境試験装置 | |
| WO2023089682A1 (ja) | 基板処理システム及び基板処理方法 | |
| KR200403658Y1 (ko) | 공기조화기 및 항온항습기용 가습장치 | |
| JP2578656B2 (ja) | 空気調和装置 | |
| JPH08334240A (ja) | 空調システム及び熱交換システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040108 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040108 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051019 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051101 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051228 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060418 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060517 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100526 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100526 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110526 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110526 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120526 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120526 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130526 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130526 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140526 Year of fee payment: 8 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |