JP2578656B2 - 空気調和装置 - Google Patents
空気調和装置Info
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- JP2578656B2 JP2578656B2 JP63335080A JP33508088A JP2578656B2 JP 2578656 B2 JP2578656 B2 JP 2578656B2 JP 63335080 A JP63335080 A JP 63335080A JP 33508088 A JP33508088 A JP 33508088A JP 2578656 B2 JP2578656 B2 JP 2578656B2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
- F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
- F24F6/14—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air using nozzles
- F24F2006/146—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air using nozzles using pressurised water for spraying
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- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造等に使用される作業室を最適
な空気清浄度及び空気調和度に管理できる空気調和装置
に係り、特に自然環境の変化に伴う屋外空気の物理的変
化が、空調空気の制御に影響を与えないように処理する
空気調和機を備える空気調和装置に関する。
な空気清浄度及び空気調和度に管理できる空気調和装置
に係り、特に自然環境の変化に伴う屋外空気の物理的変
化が、空調空気の制御に影響を与えないように処理する
空気調和機を備える空気調和装置に関する。
半導体装置等の製造においては、塵埃の混入や温度、
湿度の変化を極端に嫌う。特に、製品の高集積化に伴っ
てこれまで以上に室内環境の高清浄度が要求されるよう
になってきた。このためクリーンルームと呼ばれている
作業室は建屋内に設置される空気調和装置として構成さ
れている。
湿度の変化を極端に嫌う。特に、製品の高集積化に伴っ
てこれまで以上に室内環境の高清浄度が要求されるよう
になってきた。このためクリーンルームと呼ばれている
作業室は建屋内に設置される空気調和装置として構成さ
れている。
一般に、クリーンルームは、トンネル構造と全面垂直
層流構造に大別され、使用目的によって選択される。
層流構造に大別され、使用目的によって選択される。
近時、省エネルギーの観点から設備される装置の特長
や稼働状況に応じた特定の装置域ごとの空気制御ができ
るトンネル構造のものが注目されている。この種のクリ
ーンルームとしては、例えば、特公昭62−31258号公報
に開示されたのが挙げられる。
や稼働状況に応じた特定の装置域ごとの空気制御ができ
るトンネル構造のものが注目されている。この種のクリ
ーンルームとしては、例えば、特公昭62−31258号公報
に開示されたのが挙げられる。
空気調和装置は、各種の処理装置を配置する装置配置
領域と、作業者が移動する通路となると共に処理装置を
操作する作業領域と、前記両領域と隔壁を介して設けら
れ、処理装置のメンテナンスを行う保全領域とに区画さ
れている。
領域と、作業者が移動する通路となると共に処理装置を
操作する作業領域と、前記両領域と隔壁を介して設けら
れ、処理装置のメンテナンスを行う保全領域とに区画さ
れている。
装置配置領域及び作業領域の各室の上部には超高性能
フィルタ（以下フィルタと称す）とファンとから構成さ
れる空気清浄化装置が夫々独立して設けられ、ファンで
加圧した空気をフィルタにより清浄化した後、吹出口を
通して各室内に吹出すようになっている。
フィルタ（以下フィルタと称す）とファンとから構成さ
れる空気清浄化装置が夫々独立して設けられ、ファンで
加圧した空気をフィルタにより清浄化した後、吹出口を
通して各室内に吹出すようになっている。
また、各空気清浄化装置は、建屋外又は保全領域に設
置される空気調和機にダクトを介して接続されている。
置される空気調和機にダクトを介して接続されている。
空気調和機において、屋外空気は、加湿した後、冷却
して飽和状態にし、そして加熱して湿度、湿度の調整操
作が行われる。
して飽和状態にし、そして加熱して湿度、湿度の調整操
作が行われる。
室内環境を所定レベルに維持するためには、常に室内
に通流する空気に新鮮な外気を取り入れる必要がある。
ところが、屋外空気の湿度は季節によって大きく変動
し、この外気と目標とする空調空気との間に温度・湿度
などの物性量に大きな差が生じて、精密な制御が困難と
なり、全体の性能に影響がでてくる。例えば冬季の外気
をそのまま取り入れると、処理すべき空気温度が低下し
て加湿性能が悪化する。これを改善するため、従来方式
では多量の水が使われている。その結果、温度、湿度調
整後の空気は、過飽和になり易く、その除塵に影響が現
れる。即ち、過飽和状態の空気がフィルターを通ると、
フィルターに水分が捕捉されて水滴となってフィルター
の水漏れ状態を引起こし、フィルター性能を低下させる
という問題があった。
に通流する空気に新鮮な外気を取り入れる必要がある。
ところが、屋外空気の湿度は季節によって大きく変動
し、この外気と目標とする空調空気との間に温度・湿度
などの物性量に大きな差が生じて、精密な制御が困難と
なり、全体の性能に影響がでてくる。例えば冬季の外気
をそのまま取り入れると、処理すべき空気温度が低下し
て加湿性能が悪化する。これを改善するため、従来方式
では多量の水が使われている。その結果、温度、湿度調
整後の空気は、過飽和になり易く、その除塵に影響が現
れる。即ち、過飽和状態の空気がフィルターを通ると、
フィルターに水分が捕捉されて水滴となってフィルター
の水漏れ状態を引起こし、フィルター性能を低下させる
という問題があった。
この発明の目的は、屋外空気の温度、湿度および塵埃
を前処理した後、所望の空調空気に制御する空気調和機
を備えた空気調和装置を提供することにある。
を前処理した後、所望の空調空気に制御する空気調和機
を備えた空気調和装置を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明は、装置配置領域
の上部に設置された空気清浄浄化装置に空調空気を供給
する空気調和機を備え、該空気調和機に屋外空気の温
度、湿度調整および除塵を行う前置処理装置を設け、前
記前置処理装置が屋外空気の温度を所定値に制御する冷
却・加熱部と、所定温度に制御された空気を適度に湿ら
せる前段加湿部と、湿った空気から塵埃を除去するフィ
ルタとを有し、前処理された屋外空気を前記空気調和機
の主加湿部に導入するよう構成されている。
の上部に設置された空気清浄浄化装置に空調空気を供給
する空気調和機を備え、該空気調和機に屋外空気の温
度、湿度調整および除塵を行う前置処理装置を設け、前
記前置処理装置が屋外空気の温度を所定値に制御する冷
却・加熱部と、所定温度に制御された空気を適度に湿ら
せる前段加湿部と、湿った空気から塵埃を除去するフィ
ルタとを有し、前処理された屋外空気を前記空気調和機
の主加湿部に導入するよう構成されている。
室内環境は、装置類からの発熱や作業者の発汗によっ
て温度、湿度が共に上昇するので、空調空気が空気清浄
化装置を介して取り入れられる。空調空気は、空気調和
機において、屋外空気を処理して作られるが、屋外空気
は季節によって温度、湿度共に大幅な変動があるので、
屋外空気をそのまま用いると、処理すべき空気温度が変
化して加湿性能に影響がでてくる。そこで、前置処理装
置において、屋外空気を処理した後に、空気調和処理が
行われる。この前処理は、先ず冷却器・加熱器によって
所定値の温度に調整され、その後前段加湿部において低
い加湿を行ってからフィルタに送られる。即ち、上記加
湿処理はフィルタ性能を低下させることなく、空気調和
機の加湿処理を容易にするという２つの条件を満足させ
るために必要最小限の加湿が行われる。
て温度、湿度が共に上昇するので、空調空気が空気清浄
化装置を介して取り入れられる。空調空気は、空気調和
機において、屋外空気を処理して作られるが、屋外空気
は季節によって温度、湿度共に大幅な変動があるので、
屋外空気をそのまま用いると、処理すべき空気温度が変
化して加湿性能に影響がでてくる。そこで、前置処理装
置において、屋外空気を処理した後に、空気調和処理が
行われる。この前処理は、先ず冷却器・加熱器によって
所定値の温度に調整され、その後前段加湿部において低
い加湿を行ってからフィルタに送られる。即ち、上記加
湿処理はフィルタ性能を低下させることなく、空気調和
機の加湿処理を容易にするという２つの条件を満足させ
るために必要最小限の加湿が行われる。
このように、外気は２度の加湿が行われるため、外気
温度が、季節によって大きく変化しても空気調和機の最
終段のフィルタ性能を低下させることがなく、年間を通
じて均質な空調空気が得られる。
温度が、季節によって大きく変化しても空気調和機の最
終段のフィルタ性能を低下させることがなく、年間を通
じて均質な空調空気が得られる。
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明の空気調和装置を半導体製造に応用し
た模式的な断面図である。図において、建屋１内に構成
した作業室、即ち空気調和装置２は、フォトリングラフ
ィ装置、拡散炉、熱酸化炉等の各種の処理装置４を配置
する装置配置領域６と、作業者８が移動する通路となる
と共に処理装置４を操作する作業領域10と、処理装置４
のメンテナンスを行う保全領域12とに区間されており、
装置配置領域６との間は隔壁14によって２室に区分さ
れ、一方装置配置領域６と作業領域10とは連続した室と
して構成される。前記室の上部には、空気清浄化装置16
が設けられている。
第１図は、本発明の空気調和装置を半導体製造に応用し
た模式的な断面図である。図において、建屋１内に構成
した作業室、即ち空気調和装置２は、フォトリングラフ
ィ装置、拡散炉、熱酸化炉等の各種の処理装置４を配置
する装置配置領域６と、作業者８が移動する通路となる
と共に処理装置４を操作する作業領域10と、処理装置４
のメンテナンスを行う保全領域12とに区間されており、
装置配置領域６との間は隔壁14によって２室に区分さ
れ、一方装置配置領域６と作業領域10とは連続した室と
して構成される。前記室の上部には、空気清浄化装置16
が設けられている。
一方、前記各領域6,10の下部には、床下排気室18を構
成し、この床下排気室はダンパ20を介して保全領域12の
床下に連通されている。
成し、この床下排気室はダンパ20を介して保全領域12の
床下に連通されている。
空気調和機24は、吸入口24aから吸い込んだ屋外空気
を制御された温度、湿度の空気に調整して、送出口24b
からダクト44を通して後述の分散室46に送る。
を制御された温度、湿度の空気に調整して、送出口24b
からダクト44を通して後述の分散室46に送る。
空気調和機24は、空気の温度、湿度を制御するための
加湿部、冷却部、加熱部からなる既知の空気調和処理装
置26と、屋外空気の前処理を行う前置処理装置28とによ
り構成されている。
加湿部、冷却部、加熱部からなる既知の空気調和処理装
置26と、屋外空気の前処理を行う前置処理装置28とによ
り構成されている。
前置処理装置28は、第２図に示すように、屋外空気を
取り入れる外気吸込部28Aと、屋外空気を吸引する送風
機部28Bと、屋外空気の温度を調節する冷却・加熱部28C
と、適度の加湿を行う前段加湿部28Dと、中性能フィル
タ（イ）および高性能フィルタ（ロ）からフィルタ部28
Eとより構成されている。
取り入れる外気吸込部28Aと、屋外空気を吸引する送風
機部28Bと、屋外空気の温度を調節する冷却・加熱部28C
と、適度の加湿を行う前段加湿部28Dと、中性能フィル
タ（イ）および高性能フィルタ（ロ）からフィルタ部28
Eとより構成されている。
空気清浄化装置16は、ケーシング内部に装置配置領域
６と作業領域10の真上に位置するフィルタ30,32が配設
された第１区画34,第２区画36を有し、両区画の隔壁に
はダンパ38が設けられている。第１区画34のケーシング
側面にはファン40と、空調空気と循環空気を混合調整し
た空気を上記ファン40に導くための空気混合調整装置42
が設けられている。第２区画36のケーシング上面側に
は、空気調和機24からの空調空気が流入する分散室46が
設けられている。そして、ケーシング底部には、装置配
置領域６と作業領域10に清浄化された空気を吹出す吹出
口48,50が夫々設けられている。
６と作業領域10の真上に位置するフィルタ30,32が配設
された第１区画34,第２区画36を有し、両区画の隔壁に
はダンパ38が設けられている。第１区画34のケーシング
側面にはファン40と、空調空気と循環空気を混合調整し
た空気を上記ファン40に導くための空気混合調整装置42
が設けられている。第２区画36のケーシング上面側に
は、空気調和機24からの空調空気が流入する分散室46が
設けられている。そして、ケーシング底部には、装置配
置領域６と作業領域10に清浄化された空気を吹出す吹出
口48,50が夫々設けられている。
空気混合調整装置42は各領域の床下排気室18を通して
保全領域に導かれた空気（循環空気）と、天井裏に形成
された流路52を通して送られる空調空気とを所定の割合
に混合調整する。ここでは空調空気入口に空調空気取入
ダンパ54を設けて空調空気の取入れ量を調整するように
構成されている。
保全領域に導かれた空気（循環空気）と、天井裏に形成
された流路52を通して送られる空調空気とを所定の割合
に混合調整する。ここでは空調空気入口に空調空気取入
ダンパ54を設けて空調空気の取入れ量を調整するように
構成されている。
次に、上記構成の空気調和装置の作用を説明する。
空調空気は、分散室から建屋１の天井と空気清浄化装
置16の上面との間に形成される空間（流路）52を流れて
空気混合調整装置42の空調空気取入ダンパ54を介して取
り込まれる。一方循環空気は保全領域の室上部に開口す
る循環空気取込口56から取り込まれる。この装置におい
て空調空気と循環空気を混合調整した後、ファン40に吸
い込まれる。ファン40は加圧空気を第１区画34に吐き出
し、この第１区画からダンパ38を通して第２区画36へと
送られる。各区画ではフィルタ30,32によって塵埃を除
去し、清浄化された空気が吹出口48,50から装置配置領
域６と作業領域10の室内に吹出される。両領域は床58が
すのこ状をしているため、室内を通流する空気は適正な
風速で天井から床に向かってダウンフロー式に縦の層流
となって流れ、室内を清浄化する。
置16の上面との間に形成される空間（流路）52を流れて
空気混合調整装置42の空調空気取入ダンパ54を介して取
り込まれる。一方循環空気は保全領域の室上部に開口す
る循環空気取込口56から取り込まれる。この装置におい
て空調空気と循環空気を混合調整した後、ファン40に吸
い込まれる。ファン40は加圧空気を第１区画34に吐き出
し、この第１区画からダンパ38を通して第２区画36へと
送られる。各区画ではフィルタ30,32によって塵埃を除
去し、清浄化された空気が吹出口48,50から装置配置領
域６と作業領域10の室内に吹出される。両領域は床58が
すのこ状をしているため、室内を通流する空気は適正な
風速で天井から床に向かってダウンフロー式に縦の層流
となって流れ、室内を清浄化する。
次に、屋外空気の前処理について説明する。
第２図において、屋外空気はファンにより外気吸込部
から取り入れられ、冷却・加熱部に送られる。この冷却
・加熱部は、屋外空気を所定温度、例えば、20℃付近に
調整するものである。調整後の外気は、前段加湿部にて
加湿される。この加湿は、続くフィルタを濡らさない程
度に外気を湿らす処理である。そして、フイルタによっ
て外気中の塵埃と共に加湿水に含まれている異物も一緒
に除去される。フイルタは中性能フィルタ、高性能フィ
ルタの組み合わせによって構成されており、上流側に中
性能フィルタ、下流側に高性能フィルタが配置されてい
る。
から取り入れられ、冷却・加熱部に送られる。この冷却
・加熱部は、屋外空気を所定温度、例えば、20℃付近に
調整するものである。調整後の外気は、前段加湿部にて
加湿される。この加湿は、続くフィルタを濡らさない程
度に外気を湿らす処理である。そして、フイルタによっ
て外気中の塵埃と共に加湿水に含まれている異物も一緒
に除去される。フイルタは中性能フィルタ、高性能フィ
ルタの組み合わせによって構成されており、上流側に中
性能フィルタ、下流側に高性能フィルタが配置されてい
る。
この実施例では、ダンパ20,38による流量を調節した
り、ファンの加圧力を大にすることにより、装置配置領
域６の室内を流れる空気の空気圧を、作業領域10や保全
領域12の空気圧よりも陽圧（高い）状態にすることがで
きる。したがって、装置配置領域の空気が、差圧によっ
て作業領域や保全領域に流れることはあっても、作業領
域の空気が装置配置領域に流入することはない。また装
置配置領域には、空気清浄化装置16によって清浄化され
た空気が循環されて通流されるので、循環回数の増大に
伴ってフィルタ30,32を通る回数も増え、その分清浄化
が促進されて高清浄空気が通流されることになる。
り、ファンの加圧力を大にすることにより、装置配置領
域６の室内を流れる空気の空気圧を、作業領域10や保全
領域12の空気圧よりも陽圧（高い）状態にすることがで
きる。したがって、装置配置領域の空気が、差圧によっ
て作業領域や保全領域に流れることはあっても、作業領
域の空気が装置配置領域に流入することはない。また装
置配置領域には、空気清浄化装置16によって清浄化され
た空気が循環されて通流されるので、循環回数の増大に
伴ってフィルタ30,32を通る回数も増え、その分清浄化
が促進されて高清浄空気が通流されることになる。
上述のとおり、本発明によれば、屋外空気の前処理を
行う前置処理装置が設けられているので、空気調和処理
操作を年間を通じて安定に行うことができると共に、屋
外空気は一次加湿処理されているため、空気調和機の主
処理部における制御が容易となり、精密な調整ができ
る。
行う前置処理装置が設けられているので、空気調和処理
操作を年間を通じて安定に行うことができると共に、屋
外空気は一次加湿処理されているため、空気調和機の主
処理部における制御が容易となり、精密な調整ができ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す空気調和装置の模式的
な断面図、第２図は屋外空気の前処理を行う前置処理装
置の構成図である。 ２…空気調和装置、16…空気清浄化装置 24…空気調和機、28…前置処理装置
な断面図、第２図は屋外空気の前処理を行う前置処理装
置の構成図である。 ２…空気調和装置、16…空気清浄化装置 24…空気調和機、28…前置処理装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 海上 修一 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日立プラント建設株式会社内 (72)発明者 松本 繁幸 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】装置配置領域の上部に設置された空気清浄
浄化装置に空調空気を供給する空気調和機を備え、該空
気調和機に屋外空気の温度、湿度調整および除塵を行う
前置処理装置を設け、前記前置処理装置が屋外空気の温
度を所定値に制御する冷却・加熱部と、所定温度に制御
された空気を適度の湿らせる前段加湿部と、湿った空気
から塵埃を除去するフィルタとを有し、前処理された屋
外空気を前記空気調和機の主加湿部に導入することを特
徴とする空気調和装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63335080A JP2578656B2 (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 空気調和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63335080A JP2578656B2 (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 空気調和装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02178541A JPH02178541A (ja) | 1990-07-11 |
| JP2578656B2 true JP2578656B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=18284542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63335080A Expired - Fee Related JP2578656B2 (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 空気調和装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2578656B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109812876A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-05-28 | 珠海格力电器股份有限公司 | 安装于室内的外机的散热装置的控制方法、空调 |
-
1988
- 1988-12-29 JP JP63335080A patent/JP2578656B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02178541A (ja) | 1990-07-11 |
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