JPH11344242A - クリーンルームにおける空調システム - Google Patents
クリーンルームにおける空調システムInfo
- Publication number
- JPH11344242A JPH11344242A JP10152579A JP15257998A JPH11344242A JP H11344242 A JPH11344242 A JP H11344242A JP 10152579 A JP10152579 A JP 10152579A JP 15257998 A JP15257998 A JP 15257998A JP H11344242 A JPH11344242 A JP H11344242A
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- Japan
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- air
- space
- conditioning system
- air conditioning
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Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルームの室内空間を、空調能力におい
て複数のゾーンに区分する場合、従来は、単に天井内空
間から室内空間を通り床下空間まで仕切壁を設置して構
成しているので、ａ：施設の簡素化や建設費の低減を計
り難い、大きな室内空間を維持しつつ、複数のゾーンを
構成するという要望を実現することができない、各ゾー
ンの広さを変更することが困難である、というような課
題がある。 【解決手段】そこで本発明では、クリーンルームの室内
空間４を空調能力において異なる複数のゾーンＡ，Ｂに
区分する際、夫々のゾーンに対応して天井内空間３と床
下空間７を仕切り９により区分し、夫々のゾーンに対応
する天井内空間と床下空間の区分毎に空調系統を構成す
るクリーンルームにおける空調システムを提案する。
て複数のゾーンに区分する場合、従来は、単に天井内空
間から室内空間を通り床下空間まで仕切壁を設置して構
成しているので、ａ：施設の簡素化や建設費の低減を計
り難い、大きな室内空間を維持しつつ、複数のゾーンを
構成するという要望を実現することができない、各ゾー
ンの広さを変更することが困難である、というような課
題がある。 【解決手段】そこで本発明では、クリーンルームの室内
空間４を空調能力において異なる複数のゾーンＡ，Ｂに
区分する際、夫々のゾーンに対応して天井内空間３と床
下空間７を仕切り９により区分し、夫々のゾーンに対応
する天井内空間と床下空間の区分毎に空調系統を構成す
るクリーンルームにおける空調システムを提案する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
おける空調システムに関するものである。
おける空調システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６はクリーンルームにおける空調シス
テムの一例を模式的に示すものであり、この空調システ
ムでは、空調機ａからの空調空気は給気ダクトｂを通っ
て天井内空間ｃに流入し、天井ｄに設けたフィルターｅ
を通して室内空間ｆに下向きに流出して空調に供された
後、床ｇに形成した還気口ｈから床下空間ｉ内に吸引さ
れ、床下空間ｉから還気ダクトｊを通って空調機ａに還
流する。
テムの一例を模式的に示すものであり、この空調システ
ムでは、空調機ａからの空調空気は給気ダクトｂを通っ
て天井内空間ｃに流入し、天井ｄに設けたフィルターｅ
を通して室内空間ｆに下向きに流出して空調に供された
後、床ｇに形成した還気口ｈから床下空間ｉ内に吸引さ
れ、床下空間ｉから還気ダクトｊを通って空調機ａに還
流する。
【０００３】このようなクリーンルームにおける空調シ
ステムにおいて、室内空間ｃを空調能力において複数の
ゾーンＡ，Ｂに区分する場合、従来は図７に示すよう
に、天井内空間ｃから室内空間ｆを通り床下空間ｉまで
仕切壁ｋを設置している。即ち、複数のゾーンＡ，Ｂ
は、天井内空間ｃ、床下空間ｉ、室内空間ｆ及びフィル
ターｅ等を含めて、夫々独立した構成としており、夫々
の独立したゾーンＡ，Ｂ毎に空調系統を構成している。
ステムにおいて、室内空間ｃを空調能力において複数の
ゾーンＡ，Ｂに区分する場合、従来は図７に示すよう
に、天井内空間ｃから室内空間ｆを通り床下空間ｉまで
仕切壁ｋを設置している。即ち、複数のゾーンＡ，Ｂ
は、天井内空間ｃ、床下空間ｉ、室内空間ｆ及びフィル
ターｅ等を含めて、夫々独立した構成としており、夫々
の独立したゾーンＡ，Ｂ毎に空調系統を構成している。
【０００４】尚、クリーンルームにおける空調システム
は、上述した空調機ａ、給気ダクトｂ、還気ダクトｊ及
びフィルターｅを構成要素とするものの他、これらに代
えて、後述するように、室内空間の外側に構成した還気
シャフトと、還気シャフト内に設置した温度調節コイル
と、天井に設けたファン付きフィルターとを構成要素と
するものもある。
は、上述した空調機ａ、給気ダクトｂ、還気ダクトｊ及
びフィルターｅを構成要素とするものの他、これらに代
えて、後述するように、室内空間の外側に構成した還気
シャフトと、還気シャフト内に設置した温度調節コイル
と、天井に設けたファン付きフィルターとを構成要素と
するものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の空
調システムでは、次のような課題がある。 ａ：複数のゾーンは、夫々独立した構成とするため、施
設の簡素化や建設費の低減を計り難い。 ｂ：大きな室内空間を維持しつつ、複数のゾーンを構成
するという要望を実現することができない。 ｃ：各ゾーンの広さを変更することが困難である。 本発明はこのような課題を解決することを目的とするも
のである。
調システムでは、次のような課題がある。 ａ：複数のゾーンは、夫々独立した構成とするため、施
設の簡素化や建設費の低減を計り難い。 ｂ：大きな室内空間を維持しつつ、複数のゾーンを構成
するという要望を実現することができない。 ｃ：各ゾーンの広さを変更することが困難である。 本発明はこのような課題を解決することを目的とするも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために本発明では、クリーンルームの室内空間を空調能
力において異なる複数のゾーンに区分する際、夫々のゾ
ーンに対応して天井内空間と床下空間を仕切りにより区
分し、夫々のゾーンに対応する天井内空間と床下空間の
区分毎に空調系統を構成した空調システムを提案する。
ために本発明では、クリーンルームの室内空間を空調能
力において異なる複数のゾーンに区分する際、夫々のゾ
ーンに対応して天井内空間と床下空間を仕切りにより区
分し、夫々のゾーンに対応する天井内空間と床下空間の
区分毎に空調系統を構成した空調システムを提案する。
【０００７】また本発明では、上記の構成において、天
井内空間と床下空間の仕切りを移設することにより、複
数のゾーンの広さを可変とすることを提案する。
井内空間と床下空間の仕切りを移設することにより、複
数のゾーンの広さを可変とすることを提案する。
【０００８】以上の構成の本発明では、空調系統は、空
調機と、天井内空間に接続した給気ダクトと、床下空間
に接続した還気ダクト及び天井に設けたフィルターを構
成要素とする他、室内空間の外側に構成した還気シャフ
トと、還気シャフト内に設置した温度調節コイルと、天
井に設けたファン付きフィルターとを構成要素とするこ
とができる。
調機と、天井内空間に接続した給気ダクトと、床下空間
に接続した還気ダクト及び天井に設けたフィルターを構
成要素とする他、室内空間の外側に構成した還気シャフ
トと、還気シャフト内に設置した温度調節コイルと、天
井に設けたファン付きフィルターとを構成要素とするこ
とができる。
【０００９】また本発明では、前者の空調系統の場合に
おいて、隣接する２つのゾーンの一方側の空調系統の空
調機の還気側に吸気ファンを設けると共に、他方側の空
調系統の空調機の還気側に排気ファンを設けることを提
案する。
おいて、隣接する２つのゾーンの一方側の空調系統の空
調機の還気側に吸気ファンを設けると共に、他方側の空
調系統の空調機の還気側に排気ファンを設けることを提
案する。
【００１０】以上の本発明によれば、夫々の空調系統に
おいて、室内空間の各ゾーンに供給される空調空気は、
天井内空間及び床下空間において他のゾーンのものと混
ざらないため、夫々のゾーンに必要とされる空調能力で
空調を行うことができる。
おいて、室内空間の各ゾーンに供給される空調空気は、
天井内空間及び床下空間において他のゾーンのものと混
ざらないため、夫々のゾーンに必要とされる空調能力で
空調を行うことができる。
【００１１】また隣接する２つのゾーンにおいて、夫々
の側の空調系統の空調能力に差がある場合には、空調能
力の高い側の一方側の空調系統に給気し、他方側の空調
系統で排気することにより、一方側のゾーンから他方側
のゾーンに空調空気を流すことができ、 この一方側の
ゾーンの高い空調能力の確保が容易である。
の側の空調系統の空調能力に差がある場合には、空調能
力の高い側の一方側の空調系統に給気し、他方側の空調
系統で排気することにより、一方側のゾーンから他方側
のゾーンに空調空気を流すことができ、 この一方側の
ゾーンの高い空調能力の確保が容易である。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図を参
照して説明する。図１は本発明を適用したクリーンルー
ムの第１の実施の形態を示す断面図である。符号１はク
リーンルームの１つの部屋を示すもので、天井２には、
空調空気の通路となる天井内空間３と室内空間４との間
にフィルター５を設けており、床６には、空調空気の通
路となる床下空間７と室内空間４との間に還気口８を設
けている。以上の構成において、上記室内空間４を、空
調能力において異なる２つのゾーンＡ，Ｂに区分する場
合には、図に示すように、天井内空間３と床下空間７の
夫々に仕切り９ｃ，９ｆを設置することにより、天井内
空間３と床下空間７の夫々を、上記ゾーンＡ，Ｂに対応
して区分する。即ち、天井内空間３と床下空間７を、夫
々仕切り９ｃ，９ｆにより、３ａ，３ｂ；７ａ，７ｂに
区分する。そして天井内空間３と床下空間７のこれらの
区分３ａ，３ｂ；７ａ，７ｂ毎に空調系統１０ａ，１０
ｂを構成する。この実施の形態における空調系統１０
ａ，１０ｂは、上述した従来のものと同様に、空調機１
１ａ，１１ｂから天井内空間３の各区分３ａ，３ｂに給
気ダクト１２ａ，１２ｂを設けると共に、床下空間７の
各区分７ａ，７ｂから空調機１１ａ，１１ｂに還気ダク
ト１３ａ，１３ｂを設けて適宜構成される。尚、空調系
統の他の例は、後述する。
照して説明する。図１は本発明を適用したクリーンルー
ムの第１の実施の形態を示す断面図である。符号１はク
リーンルームの１つの部屋を示すもので、天井２には、
空調空気の通路となる天井内空間３と室内空間４との間
にフィルター５を設けており、床６には、空調空気の通
路となる床下空間７と室内空間４との間に還気口８を設
けている。以上の構成において、上記室内空間４を、空
調能力において異なる２つのゾーンＡ，Ｂに区分する場
合には、図に示すように、天井内空間３と床下空間７の
夫々に仕切り９ｃ，９ｆを設置することにより、天井内
空間３と床下空間７の夫々を、上記ゾーンＡ，Ｂに対応
して区分する。即ち、天井内空間３と床下空間７を、夫
々仕切り９ｃ，９ｆにより、３ａ，３ｂ；７ａ，７ｂに
区分する。そして天井内空間３と床下空間７のこれらの
区分３ａ，３ｂ；７ａ，７ｂ毎に空調系統１０ａ，１０
ｂを構成する。この実施の形態における空調系統１０
ａ，１０ｂは、上述した従来のものと同様に、空調機１
１ａ，１１ｂから天井内空間３の各区分３ａ，３ｂに給
気ダクト１２ａ，１２ｂを設けると共に、床下空間７の
各区分７ａ，７ｂから空調機１１ａ，１１ｂに還気ダク
ト１３ａ，１３ｂを設けて適宜構成される。尚、空調系
統の他の例は、後述する。
【００１３】以上の構成において、空調機１１ａ，１１
ｂから給気ダクト１２ａ，１２ｂを通して天井内空間３
の夫々の区分３ａ，３ｂに供給された空調空気は、夫々
他の区分のものと混ざることがなく、夫々の区分３ａ，
３ｂに対応するフィルター５の部分を通って室内空間４
の夫々のゾーンＡ，Ｂに下向きに吹き出し、下降して還
気口８から床下空間７の各区分７ａ，７ｂ内に吸い込ま
れた後、還気ダクト１３ａ，１３ｂを通って空調機１１
ａ，１１ｂに還流する。このように室内空間４の各ゾー
ンＡ，Ｂは仕切りで区分されてはいないが、各ゾーン
Ａ，Ｂにおける空調空気の吹出側と吸込側は独立してい
るので、室内空間４においては各ゾーンＡ，Ｂの空調空
気が部分的には混ざっても、概ね、各ゾーンＡ，Ｂ毎
に、夫々の空調系統１０ａ，１０ｂの空調能力で空調を
行うことができる。換言すると、夫々必要とされる空調
能力で空調を行うことができる複数のゾーンＡ，Ｂを、
一つの部屋の室内空間４に仕切壁を設置せずに構成する
ことができる。尚、ここで空調能力とは、空気循環量、
室内温湿度、空気清浄度、空気中ガス成分等に関する能
力である。
ｂから給気ダクト１２ａ，１２ｂを通して天井内空間３
の夫々の区分３ａ，３ｂに供給された空調空気は、夫々
他の区分のものと混ざることがなく、夫々の区分３ａ，
３ｂに対応するフィルター５の部分を通って室内空間４
の夫々のゾーンＡ，Ｂに下向きに吹き出し、下降して還
気口８から床下空間７の各区分７ａ，７ｂ内に吸い込ま
れた後、還気ダクト１３ａ，１３ｂを通って空調機１１
ａ，１１ｂに還流する。このように室内空間４の各ゾー
ンＡ，Ｂは仕切りで区分されてはいないが、各ゾーン
Ａ，Ｂにおける空調空気の吹出側と吸込側は独立してい
るので、室内空間４においては各ゾーンＡ，Ｂの空調空
気が部分的には混ざっても、概ね、各ゾーンＡ，Ｂ毎
に、夫々の空調系統１０ａ，１０ｂの空調能力で空調を
行うことができる。換言すると、夫々必要とされる空調
能力で空調を行うことができる複数のゾーンＡ，Ｂを、
一つの部屋の室内空間４に仕切壁を設置せずに構成する
ことができる。尚、ここで空調能力とは、空気循環量、
室内温湿度、空気清浄度、空気中ガス成分等に関する能
力である。
【００１４】図２は本発明の第２の実施の形態を示すも
ので、この実施の形態では、天井内空間３及び床下空間
７の各仕切り９ｃ，９ｆを移設可能とした点が、第１の
実施の形態と異なっている。その他の構成は第１の実施
の形態と同様であるので、相当する構成要素には同一の
符号を付して重複する説明は省略する。この実施の形態
では、図２に示すように、仕切り９ｃ，９ｆを移設する
ことにより、各ゾーンＡ，Ｂの広さを変えることができ
る。
ので、この実施の形態では、天井内空間３及び床下空間
７の各仕切り９ｃ，９ｆを移設可能とした点が、第１の
実施の形態と異なっている。その他の構成は第１の実施
の形態と同様であるので、相当する構成要素には同一の
符号を付して重複する説明は省略する。この実施の形態
では、図２に示すように、仕切り９ｃ，９ｆを移設する
ことにより、各ゾーンＡ，Ｂの広さを変えることができ
る。
【００１５】図３は本発明の第３の実施の形態を示すも
ので、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様な
構成において、隣接する２つのゾーンＡ，Ｂの空調系統
１０ａ，１０ｂの空調能力に差があり、ゾーンＡの空調
系統１０ａの空調能力がゾーンＢのものよりも優れてい
る場合に、ゾーンＡの空調系統１０ａの空調機１１ａの
還気側に吸気ファン１４ａを設けると共に、ゾーンＢの
空調系統１０ｂの空調機１１ｂの還気側に排気ファン１
４ｂを設けたものである。この構成では、空調能力の高
いゾーンＡの空調系統１０ａに給気すると共に、ゾーン
Ｂの空調系統１０ｂから排気することにより、ゾーンＡ
からゾーンＢに空調空気を流すことができ、ゾーンＡの
高い空調能力の確保が容易である。
ので、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様な
構成において、隣接する２つのゾーンＡ，Ｂの空調系統
１０ａ，１０ｂの空調能力に差があり、ゾーンＡの空調
系統１０ａの空調能力がゾーンＢのものよりも優れてい
る場合に、ゾーンＡの空調系統１０ａの空調機１１ａの
還気側に吸気ファン１４ａを設けると共に、ゾーンＢの
空調系統１０ｂの空調機１１ｂの還気側に排気ファン１
４ｂを設けたものである。この構成では、空調能力の高
いゾーンＡの空調系統１０ａに給気すると共に、ゾーン
Ｂの空調系統１０ｂから排気することにより、ゾーンＡ
からゾーンＢに空調空気を流すことができ、ゾーンＡの
高い空調能力の確保が容易である。
【００１６】次に図４は本発明の第４の実施の形態を示
すもので、この実施の形態は、空調系統１０ａ，１０ｂ
の構成が第１の実施の形態と異なっている。その他の構
成は第１の実施の形態と同様であるので、相当する構成
要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
即ち、この実施の形態では、室内空間４の外側におい
て、天井内空間３ａ，３ｂと床下空間７ａ，７ｂを連通
させるように還気シャフト１５ａ，１５ｂを設け、この
還気シャフト１５ａ，１５ｂ内に温度調節コイル１６
ａ，１６ｂを設置しており、また、天井２に設けるフィ
ルターは、ファン付きフィルター１７ａ，１７ｂであ
る。この実施の形態では、ファン付きフィルター１７
ａ，１７ｂのファンで空気を循環させ、循環路としての
還気シャフト１５ａ，１５ｂ内に設けた温度調節コイル
１６ａ，１６ｂで各ゾーンＡ，Ｂの温度を調節してい
る。
すもので、この実施の形態は、空調系統１０ａ，１０ｂ
の構成が第１の実施の形態と異なっている。その他の構
成は第１の実施の形態と同様であるので、相当する構成
要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
即ち、この実施の形態では、室内空間４の外側におい
て、天井内空間３ａ，３ｂと床下空間７ａ，７ｂを連通
させるように還気シャフト１５ａ，１５ｂを設け、この
還気シャフト１５ａ，１５ｂ内に温度調節コイル１６
ａ，１６ｂを設置しており、また、天井２に設けるフィ
ルターは、ファン付きフィルター１７ａ，１７ｂであ
る。この実施の形態では、ファン付きフィルター１７
ａ，１７ｂのファンで空気を循環させ、循環路としての
還気シャフト１５ａ，１５ｂ内に設けた温度調節コイル
１６ａ，１６ｂで各ゾーンＡ，Ｂの温度を調節してい
る。
【００１７】図５は本発明の第５の実施の形態を示すも
ので、この実施の形態では、一つの部屋の室内空間４に
構成するゾーンの数を３つ以上（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，
…）としている。図５に示すように、それらの各ゾーン
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，…の広さは等しくする必要はな
い。また一つの部屋の平面形状も方形状に限られるもの
ではない。尚、この図においても上記第１の実施の形態
と同様な構成要素には、同一の符号を付し、これらに各
ゾーンを示す添字（ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ）を付してい
る。
ので、この実施の形態では、一つの部屋の室内空間４に
構成するゾーンの数を３つ以上（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，
…）としている。図５に示すように、それらの各ゾーン
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，…の広さは等しくする必要はな
い。また一つの部屋の平面形状も方形状に限られるもの
ではない。尚、この図においても上記第１の実施の形態
と同様な構成要素には、同一の符号を付し、これらに各
ゾーンを示す添字（ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ）を付してい
る。
【００１８】
【発明の効果】本発明は以上のとおりであるので、次の
ような効果がある。 ａ．夫々必要とされる空調能力で空調を行うことができ
る複数のゾーンを、一つの部屋の室内空間に仕切壁を設
置せずに構成することができる。従って広いクリーンル
ームを構成することができる。 ｂ．施設の簡素化が可能であり、建設費が低減される。 ｃ．複数のゾーンの広さを可変とすることができる。
ような効果がある。 ａ．夫々必要とされる空調能力で空調を行うことができ
る複数のゾーンを、一つの部屋の室内空間に仕切壁を設
置せずに構成することができる。従って広いクリーンル
ームを構成することができる。 ｂ．施設の簡素化が可能であり、建設費が低減される。 ｃ．複数のゾーンの広さを可変とすることができる。
【図１】 本発明を適用したクリーンルームの第１の実
施の形態を示す模式的断面図である。
施の形態を示す模式的断面図である。
【図２】 本発明を適用したクリーンルームの第２の実
施の形態を示す模式的断面図である。
施の形態を示す模式的断面図である。
【図３】 本発明を適用したクリーンルームの第３の実
施の形態を示す模式的平面図である。
施の形態を示す模式的平面図である。
【図４】 本発明を適用したクリーンルームの第４の実
施の形態を示す模式的断面図である。
施の形態を示す模式的断面図である。
【図５】 本発明を適用したクリーンルームの第５の実
施の形態を示す模式的平面図である。
施の形態を示す模式的平面図である。
【図６】 クリーンルームにおける従来の空調システム
の一例を示す模式的断面図である。
の一例を示す模式的断面図である。
【図７】 複数のゾーンを有する従来の空調システムの
一例を示す模式的断面図である。
一例を示す模式的断面図である。
１ クリーンルーム ２ 天井 ３ 天井内空間 ３ａ，３ｂ 区分 ４ 室内空間 ５ フィルター ６ 床 ７ 床下空間 ７ａ，７ｂ 区分 ８ 還気口 ９ｃ，９ｆ 仕切り １０ａ，１０ｂ 空調系統 １１ａ，１１ｂ 空調機 １１ｃ，１１ｄ，１１ｅ 空調機 １２ａ，１２ｂ 給気ダクト １２ｃ，１２ｄ，１２ｅ 給気ダクト １３ａ，１３ｂ 還気ダクト １３ｃ，１３ｄ，１３ｅ 還気ダクト １４ａ 吸気ファン １４ｂ 排気ファン １５ａ，１５ｂ 還気シャフト １６ａ，１６ｂ 温度調節コイル １７ａ，１７ｂ ファン付きフィルター Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ… ゾーン
Claims (5)
- 【請求項１】 クリーンルームの室内空間を空調能力に
おいて異なる複数のゾーンに区分する際、夫々のゾーン
に対応して天井内空間と床下空間を仕切りにより区分
し、夫々のゾーンに対応する天井内空間と床下空間の区
分毎に空調系統を構成することを特徴とするクリーンル
ームにおける空調システム - 【請求項２】 天井内空間と床下空間の仕切りを移設す
ることにより、複数のゾーンの広さを可変とすることを
特徴とする請求項１記載のクリーンルームにおける空調
システム - 【請求項３】 空調系統は、空調機と、天井内空間に接
続した給気ダクトと、床下空間に接続した還気ダクト及
び天井に設けたフィルターを構成要素としたことを特徴
とする請求項１又は２記載のクリーンルームにおける空
調システム - 【請求項４】 隣接する２つのゾーンの、一方側の空調
系統の空調機の還気側に吸気ファンを設けると共に、他
方側の空調系統の空調機の還気側に排気ファンを設けた
ことを特徴とする請求項３記載のクリーンルームにおけ
る空調システム - 【請求項５】 空調系統は、室内空間の外側に構成した
還気シャフトと、還気シャフト内に設置した温度調節コ
イルと、天井に設けたファン付きフィルターとを構成要
素とすることを特徴とする請求項１又は２記載のクリー
ンルームにおける空調システム
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10152579A JPH11344242A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | クリーンルームにおける空調システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10152579A JPH11344242A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | クリーンルームにおける空調システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11344242A true JPH11344242A (ja) | 1999-12-14 |
Family
ID=15543560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10152579A Pending JPH11344242A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | クリーンルームにおける空調システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11344242A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009293864A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6346327A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | Kumagai Gumi Ltd | 可変風量吹出し吸込みユニツトを有するクリ−ンル−ム |
| JPS6475833A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-22 | Takenaka Komuten Co | Locally circulated type clean room |
| JPH0216937U (ja) * | 1988-07-19 | 1990-02-02 |
-
1998
- 1998-06-02 JP JP10152579A patent/JPH11344242A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009293864A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
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