JPS6346327A - 可変風量吹出し吸込みユニツトを有するクリ−ンル−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電子関係のイ褒械器具や部品あるいはその
他の機械器具や部品等を製作する場として用いられる可
変風量吹出し吸込みユニットを有する層流式のクリーン
ルームに関するものである。

〔従来技術〕

従来、クリーンルームとしては、（Ｉｌｍ　８図に示す
ように、建築物７の天井側に吹出し天井チャンバー８を
設けると共に、その建築物７の床側に床吸込みチャンバ
ー９を設け、前記吹出し天井チャンバー８から清浄空気
を室内に吹出すと共に、室内の空気を床吸込みチャンバ
ー９内に吸込んで排出するように構成したクリーンルー
ム、（２１１９図に示す′ように、建築物７における対
向する一方の壁側に壁吹出しチャンバー１０を設けると
共に。

他方の壁側に壁吸込みチャンバー１１を設け、前記壁吹
出しチャンバー１０から清浄空気を室内に吹込むと共に
、室内の空気を壁吸込みチャンバー１１内に吸込んで排
出するように構成したクリーンルーム等が知られている
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかるに、前記従来のクリーンルームの場合は。

清浄空気が天井全面または壁全面から吹出され。

室内の空気は床全面または壁全面から吸込まれるので、
室全体で１つの清浄空間しか得られず、また床吸込みチ
ャンバー９または壁吸込みチャンバー１１内に吸込まれ
た空気は、１ないし２方向に誘引されるので、床面また
は吸込側の壁面において、場所により吸込み風量に差が
生じ、室内全体の気流性状に斜流１２の傾向が現われて
いた。このため室内全体にわたって均一な気流性状を得
ることができず、微細粉塵排出の障害になっていた。

〔発明の目的、構成〕

この発明は前述の問題を有利に解決できる可変風量吹出
し吸込みユニットを有するクリーンルームを提供するこ
とを目的とするものであって、この発明の要旨とすると
ころは、空気浄化用フィルター１および吹出し風量調節
装置２を備えている多数の可変風量吹出しユニット３が
、同一平面上において並べて配置されて、吹出し天井ま
たは吹出し壁等の吹出部が構成され、多孔床材４および
吸込み風量調節装置５を備えている多数可変風量吸込み
ユニット６が、同一平面上において並べて配置されて、
吸込み床または吸込み壁等の吸込部が構成され、各可変
風量吹出しユニット６と各可変風量吸込みユニット６と
はそれぞれ対向するように配置されていることを特徴と
する可変風量吹出し吸込みユニットを有するクリーンル
ームにある。

〔実施例〕

次にこの発明を図示の例によって詳細に説明する。

第１図ないし第５図はこの発明を垂直層流式クリーンル
ームに実施した実施例を示すものであって、下部が開放
されている吹出し用チャンバーボックス１６の下端開口
部に空気中の浮遊微粒子を除去するための空気浄化用フ
ィルター（例えば公知のＨＥＰＡフィルター）１が嵌入
固定され、かつ前記吹出し用チャンバーボックス１６の
上部中央に設けられた吹込口１４内に、減速機付き電動
機６２により駆動される支軸６６とその支軸６６に固定
されたダン−４−３４とからなる吹出し風量調節装置２
が設けられて、可変風量吹出しユニット６が構成されて
いる。また上部が開放されている吸込み用チャンバーボ
ックス１５の上端開口部に・ぐンチングメタルからなる
多孔床材４が嵌合固定され、かつ前記吸込み用チャンバ
ーボックス１５の中央下部に設けられた吸込口１６内に
、減速機付き電動機３５により駆動される支軸６６とそ
の支軸６６に固定されたダンパー５７とからなる吸込み
風量調節装置５が設けられて、可変風量吹出しユニット
６が構成されている。

前述のように構成された多数の可変風量吹出しユニット
６は、建築物７の天井において同一平面上で前後方向お
よび左右方向に並べて配置され、かつ各可変風量吹出し
ユニット６における吹出し用チャンバーボックス１６の
開口縁部は格子状の天井支持フレーム１７に載置されて
固定され、さらに前述のように構成された多数の可変風
量吸込みユニット６は、建築物７の床側において同一平
面上で前後方向および左右方向に並べて配置され。

各可変風量吸込みユニット６における吸込み用チヤンバ
ーボックス１５の下面の周縁部は、床支持フレーム１８
に載置されて固定され、また可変風量吹出しユニット乙
における吹出し用チャンバーボックス１６の下端開口部
の平面形状と可変風量吸込みユニット６における吸込み
用チャンバーボックス１５の下端開口部の平面形状は同
じ大きさの正方形または矩形になっており、各可変風量
吹出しユニット６と各可変風量吸込みユニット６とは、
同一水平方向位置において上下方向に対向している。

前記各可変風量吹出しユニット６における吹込口１４は
、給気用ダクト１９およびレシーバ−タンク２０を介し
て給気用送風機２１の送風口に接続され、かつ前記各可
変風量吸込みユニソ）　６　Ｋおける吸込口１６は排気
用ダクト２２を介して排気用送風機２６の吸気口に接続
されている。

前記給気用送風機２１によりレシーバ−タンク２０およ
び給気用ダクト１９を経゛て各可変風量吹出しユニット
６の吹込口１４に供給された空気は５その吹込口１４内
の吹出し風量調節装備２により風量調節されたのち、空
気浄化用フィルター１を通って清浄空気となって室内に
供給され、次いで室内を垂直に下降・して、各可変風量
吸込みユニット乙の多孔床材４を通過し吸込口１６に吸
込まれる。

吹込口１６内に吸込まれた空気は、その吸込口１６内の
吸込み風量調節装置５により風量調節されたのち、排気
用ダクト２２を経て排気用送風機２６により吸引され、
その排気用送風機２３の排気は空調機等を経て前記給気
用送風機２１の吸気口に送られる。

第６図は吹出し風量調節装置２および吸込み風量調節装
置５が開放された状態を示し、第４図は吹出し風量調節
装置２および吸込み風量調節装置５が全閉された状態を
示している。

第６図はダクトの代りにチャンバーを使用して給排気を
行なうように構成した例を示すものであって、前後およ
び左右方向に並ぶ多数の可変風量吹出しユニット乙の上
部に、共通の給気チャンバー２４が設けられ、その給気
チャンバー２４に給気用送風機２１の送風口が接続され
、かつ前後および左右方向に並ぶ多数の町変風量吸込み
ユニット６の下部に、共通の排気チャンバー２５が設け
られ、その排気チャンバー２５に排気用送風機２６の吸
気口が接続されている。

第７図はダクトを使用して給排気を行なう場合における
運転方式の例を示すものであって、各可変風量吹出しユ
ニット６における吹出し風量調節装置２の減速機付き電
動機がそれぞれ別箇の開度設定器２６に接続されると共
に、上下方向に対向する可変風量吹出しユニット６にお
ける吹出し風量調節装置２と可変風量吸込みユニット乙
における吸込み風量調節装置５とが同−開度になるよう
に連動して制御されるように、それぞれの減速機付き電
動機が共通の開度設定器２６に接続され。

かつ給気用送風機２１の電源回路にインバータ２７が接
続されると共に、排気用送風機２６の電源回路にインパ
ーク２８が接続され、さらに各インバータ２７，２８と
給気用ダクト１９に接続された圧力検出器２９の電気信
号出力部とは自動制御盤６０に接続され、また排気用送
風機２６の送気口と給気用送風機２１の吸気口とは空気
の温度や湿度等を調整するための空調機６１を介して接
続されている。

第７図に示す運転方式において、各開度設定器２６によ
り上下方向に対向する各可変風量吹出しユニット６およ
び町変風量吸込みユニット６における吹出し風量調節装
置２および吸込み風量調節装置５の開度が連動して調節
されて、各可変風量吹出しユニット６の吹出し風量が設
定されるき共に、これに対向する各可変風量吸込みユニ
ット乙の吸込み風量が設定される。

前記圧力検出器２９により給気用ダクト１９内の圧力が
検出されると共に、その検出信号が自動制御盤６０に送
られ、給気用ダクト１９の内部圧力が自動制御盤により
設定されている圧力になるように、自動制御盤５０から
の信号により、インバータ２７．２８が制御されると共
に、そのインバータ２７．２８により給気用送風機２１
および排気用送風機２６の電源周波数が制御される。

この発明を実施する場合、吹出し風量調節装置２および
吸込み風量調節装置５としては図示以外の任意構造のも
のを使用してもよい。

〔発明の効果〕

この発明によれば、空気浄化用フィルター１および吹出
し風量調節装置２を備えている多数の可変風量吹出しユ
ニット６が、同一平面上において並べて配置されて、吹
出し天井または吹出し壁等の吹出部が構成され、多孔床
材４および吸込みＫｉｔ調節装置５を備えている多数可
変風量吸込みユニット６が、同一平面上において並べて
配置されて。

吸込み床または吸込み壁等の吸込部が構成され。

各可変風量吹出しユニット６と各可変風量吸込みユニッ
ト６とはそれぞれ対向するように配置されているので、
各可変風量吹出しユニット６における吹出し風量調節装
置２および各可変風量吸込みユニット６における吸込み
風量調節装置５を調節するこきにより、全面層流はもち
ろんのこと、室内のゾーンごとに換気風量を変化させる
ことができ、そのため同一室内で異なった清浄空間を容
易に得ることができ、かつ１つの可変風量吹出しユニッ
ト３に対し１つの可変風量吸込みユニット６が対向して
いるので、室内全体の気流性状に斜流の傾向が発生する
のを防止することができる等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図はこの発明の実施例を示すものであ
って、第１図は可変風量吹出しユニットを有するクリー
ンルームの縦断斜視図、第２図はその一部を示す縦断側
面図、第３図は風量調節装置が開放されている状態を示
す縦断側面図、第４図は風量調節装置が全閉した状態を
示す縦断側面図、第５図は給気用送風機および排気用送
風機と吹出しユニットおよび吸込みユニットとをダクト
を介して接続した状態を示す概略側面図、第６図は給気
用送風機および排気用送風機と吹出しユニットおよび吸
込みユニットとをチャンバーを介して接続した状態を示
す概略側面図、第７図は可変風１吹出し吸込みユニット
ヲ有するクリーンルームの運転方式を示す図である。第
８図および第９図は従来のクリーンルームにおける空気
供給および排気状態を示す概略縦断側面図である。 図において、１は空気浄化用フィルター、２は吹出し風
量調節装置、６は可変風量吹出しユニット、４は多孔床
材、５は吸込み風量調節装置、６は可変風量吸込みユニ
ット、１６は吹出し用チャンバーボックス、１４は吹込
口、１５は吸込み用チャンバーボックス、１６は吸込０
．１７は天井支持フレーム、　　１８ハ床支持フレーム
、１９は給気用ダクト、２１は給気用送風機、２２は排
気用ダクト、２５は排気用送風機、２４は給気チャンバ
ー、２５は排気チャンバー、２６は開度設定器、２７お
よび２８はインバータ、５１は空調機である。 第３図 １４．１６ 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 空気浄化用フィルター１および吹出し風量調節装置２を
   備えている多数の可変風量吹出しユニット３が、同一平
   面上において並べて配置されて、吹出し天井または吹出
   し壁等の吹出部が構成され、多孔床材４および吸込み風
   量調節装置５を備えている多数可変風量吸込みユニット
   ６が、同一平面上において並べて配置されて、吸込み床
   または吸込み壁等の吸込部が構成され、各可変風量吹出
   しユニット３と各可変風量吸込みユニット６とはそれぞ
   れ対向するように配置されていることを特徴とする可変
   風量吹出し吸込みユニットを有するクリーンルーム。