JPH0136009B2 - - Google Patents

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JPH0136009B2
JPH0136009B2 JP58181345A JP18134583A JPH0136009B2 JP H0136009 B2 JPH0136009 B2 JP H0136009B2 JP 58181345 A JP58181345 A JP 58181345A JP 18134583 A JP18134583 A JP 18134583A JP H0136009 B2 JPH0136009 B2 JP H0136009B2
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Japan
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air
grid
control room
lattice
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JP58181345A
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Mitsushi Endo
Toshiaki Taniguchi
Terumi Sawara
Noryuki Hayakawa
Tatsuo Yoshitomi
Kozo Takahashi
Yoshiteru Nagatani
Hidenao Kawai
Shuichi Umigami
Yoichi Nakagawa
Kazuo Yamagami
Teruo Takizawa
To Suzuki
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Hitachi Plant Construction Co Ltd
Hitachi Ltd
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Hitachi Plant Construction Co Ltd
Hitachi Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
    • F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
    • F24F7/10—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit with air supply, or exhaust, through perforated wall, floor or ceiling
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Duct Arrangements (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、組替式局所環境制御室に係り、特に
半導体製造工場、薬品製造工場、食品製造工場、
病院等の空調防塵室に適した組替式局所環境制御
室に関する。
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造が示
され、第１図はダクトレス式空調防塵室、第２図
はダクト式空調防塵室が示されている。
図に於いて送風機１０で吸気された外気は、空
気調和機１２で温湿度制御され、プレフイルタ１
４を通り、一旦給気ダクト１６から吸気室１８に
供給した後（第１図）又は給気ダクト１６から直
後に（第２図）送気ユニツト２０に供給される。
通常送気ユニツト２０は、エアの清浄度及び温湿
度の制御を要する作業エリア、生産設備、製品等
の真上に設けられる。従つて空調防塵室内にレイ
アウトしてある作業エリアの変更、生産設備の位
置変更時には、前述の送気ユニツト２０の位置変
更を伴う。このため、給気ダクト１６、天井２１
等の解体と再取付工事が発生し、莫大な費用と日
程を要する。また、工事期間中は長い間生産が中
断することは勿論のこと、隣接する他の生産設
備、ラインにも影響を及ぼし、更に塵埃による不
良を発生せしめる。又工事終了後も、清浄度を安
定化させるに長い日数を要すること等種々の問題
があり、工場生産上大きな問題となる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもの
で、空調防塵室内の生産設備、作業エリア等の変
更に応じて簡単に送気ユニツトの取付け取外し、
並びに移動ができる組替式局所環境制御室を提案
することを目的とする。
本発明は前記目的を達成する為に、部屋の一方
の側から対向する他方の側に向けて部屋がサプラ
イチヤンバ、ミキシングチヤンバ、環境制御室、
リターンチヤンバの順序で区分され、サプライチ
ヤンバとミキシングチヤンバとの境界面には連通
口を備えた隔壁を形成すると共にミキシングチヤ
ンバと環境制御室との境界面には第１の格子を配
設し、環境制御室とリターンチヤンバとの境界面
には第２の格子を配設し、第１の格子の格子面に
は送気ユニツト又は蓋板が着脱自在に設けられ、
第２の格子の格子面には環境制御室のエアをリタ
ーンチヤンバに吸込む吸込板又は蓋板が着脱自在
に設けられ、環境制御室の所定の場所に送気ユニ
ツトからのエアを流動させることを特徴とする。
以下添付図面に従つて本発明に係る組替式局所
環境制御室の好ましい実施例を詳説する。第３図
は縦型の局所環境制御室の構成が示され、部屋２
２は上方から順にサプライチヤンバ２４、ミキシ
ングチヤンバ２６、環境制御室２８、リターンチ
ヤンバ３０が形成されている。空調機３２はダク
ト３４を介してリターンチヤンバ３０のエアの一
部を吸込むと共に外気を一部取入れ、空調した後
ダクト３６を介してサプライチヤンバ２４にエア
を供給する。また環境制御室２８の側面は二重壁
構造として構成され、通路３８が形成され、リタ
ーンチヤンバ３０の大部分のエアはこの通路３８
を介してミキシングチヤンバ２６に送られる。
サプライチヤンバ２４とミキシングチヤンバ２
６との境界面には第４図で示すように構成された
格子４０が配置され、ミキシングチヤンバ２６と
環境制御室２８との境界面には格子４２が配置さ
れる。格子４２は、格子４０の２倍ピツチの大き
さの格子面を有し、格子４２の枠体は上方の格子
４０の枠体と対応するように配置される。格子４
０は第５図に示す吊り金具４６を介して天井４８
から吊り下げられ、格子４２は同様の吊り金具５
０を介して格子４０に吊り下げられている。尚、
第５図の符号５２で示す部材は格子の高さ調節金
具である。格子４０の格子面にはダンパ４３が設
けられた連通口４４が形成され、残りの格子面は
蓋板４５で閉じられる。
格子４２の格子面には必要箇所に第６図乃至第
８図に示す送気ユニツト５４が配置される。送気
ユニツト５４は、短形（第７図）又は円形（第８
図）の送風機ケース５６、送風機ケース５６の下
側（出口側）に設けられた整流室５８、整流室５
８の下側（出口側）に設けられたフイルタケース
６０から構成される。送気ユニツト５４は第７
図、第８図に示すようにミキシングチヤンバ２６
内のエアの流れに直交する方向に幅狭に形成され
ている。即ち、整流室５８はフイルタケース６０
より幅狭に形成され、送風機ケース５６は整流室
５８より幅狭に形成され、これによりミキシング
チヤンバ２６内のエアの通過抵抗を減少させてい
る。送風機ケース５６には、その上面並びに側面
にエア取入口６２が形成され、送風機ケース５６
内には送風機６４が配設されている。整流室５８
内には送風機６４の出口に対向して整流板６６が
配置され、送風機６４からのエアを高性能フイル
タ６８の全面に均等に供給する。送気ユニツト５
４の取付板６９は下方からボルト７０を格子４２
に固着することによつて格子４２に取付けられ
る。送気ユニツト５４は、生産設備、製品等の位
置に応じてその真上に設けられ、従つて空調防塵
ゾーンは第９図の斜線７１で示すように形成され
る。格子４２に於いて、送気ユニツト５４の設け
られていない格子面は蓋板７２によつて閉じられ
る。送気ユニツト５４、蓋板７２は格子４２にボ
ルト等により着脱自在に取付けることができ、必
要に応じて送気ユニツト５４の位置を変えること
ができる。
環境制御室２８に於いて、送気ユニツト５４の
下方には検出器７６が配置され、エア清浄度、温
度、湿度、ガス濃度、細菌数等を検出する。検出
器７６からの検出信号は制御装置７８に送られ、
制御装置７８はダンパ４３の開度を制御する。ま
た必要により送風機６４の風量を調整・制御す
る。
環境制御室２８とリターンチヤンバ３０とは格
子８４で区分され、格子８４は床面として利用さ
れる。格子８４の格子面に於いては、送気ユニツ
ト５４に対応する位置にエア吸込板としての着脱
自在なグリル８６等が設けられるが、その他の格
子面は着脱自在な蓋板等で塞がれる。
前記の如く構成された本実施例の作用は次の通
りである。先ず空調機３２からダクト３６を介し
てサプライチヤンバ２４に空調エアが供給され
る。また、ミキシングチヤンバ２６の送風機６４
が稼動すると、ミキシングチヤンバ２６内の圧力
はリターンチヤンバ３０より低くなる。この為リ
ターンチヤンバ３０内のエアはエア通路３８を通
つてミキシングチヤンバ３０に吸引され、ここで
空調エアと混合される。格子４２には生産設備等
に応じて予め所定位置に送気ユニツト５４が配置
されている。送気ユニツト５４は生産設備の要求
に応じて空調無塵ゾーンを形成することができ
る。空調無塵ゾーンに於いては、ダンパ４３の開
度を変えることにより、サプライチヤンバ２４並
びにミキシングチヤンバ２６からのエアの吸気比
率を変え、必要に応じてエア清浄度、温湿度条件
を変えることができる。
前記実施例によれば、送気ユニツト５４は格子
４２に着脱自在に設けられているので、大規模な
工事をすることなく生産設備に応じて簡単に移動
設置することができる。また、本実施例によれ
ば、環境制御室２８に於いて局所的空調処理が可
能であるので、電気炉等の発熱源が存在するよう
な場合にも、環境制御室２８全体の空調のバラン
スをくずすことなく最適空調処理が可能である。
また、空調機３２からの空調エアが供給されるサ
プライチヤンバ２４と環境制御室２８との間にミ
キシングチヤンバ２６が形成されているので、空
調機３２からの騒音は環境制御室２８に伝達され
にくい効果がある。また、ミキシングチヤンバ２
６のエアはサプライチヤンバ２４と隣接している
ので、サプライチヤンバ２４のエアから熱伝達が
行われ、空調処理に於いて省エネ効果がある。
また、ミキシングチヤンバ２６には送風機６４
が位置している為、ミキシングチヤンバ２６内の
圧力は環境制御室２８内の圧力と比較して負圧と
なり、従つてミキシングチヤンバ２６から環境制
御室２８内に塵埃が落下しにくい効果がある。
第１０図では本発明に係る他の実施例の構造が
示されている。第１０図では横型の組替式局所環
境制御室が示され、第１０図の実施例に於いて第
３図で示した実施例中の同一の部材若しくは類似
の部材には同一の符号を付しその説明は省略す
る。第１０図に示す実施例においても環境制御室
２８内の局所制御が可能であり、また送気ユニツ
トの移動も簡単に行うことができる。第１０図に
示す実施例では横型のため、設置にあたり第３図
に示す実施例と比較して天井等の改造作業を必要
としない為、既存の建物に設置する場合に有利で
ある。
以上説明したように本発明に係る組替式局所環
境制御室によれば、部屋の一方の側から対向する
他方の側に向けて部屋がサプライチヤンバ、ミキ
シングチヤンバ、環境制御室、リターンチヤンバ
の順序で区分され、サプライチヤンバとミキシン
グチヤンバとの境界面には連通口を備えた隔壁を
形成すると共にミキシングチヤンバと環境制御室
との境界面には第１の格子を配設し、環境制御室
とリターンチヤンバとの境界面には第２の格子を
配設し、送気ユニツトは第１の格子の任意の位置
に着脱自在に設けることができるので環境制御室
の局所制御が可能となる。また、送気ユニツトは
第１の格子に簡単に取付け、取外しができるの
で、従来必要であつた天井等の解体、改造工事等
無しに送気ユニツトの移動が可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造を示
す説明図、第３図は本実施例の構造を示す説明
図、第４図は格子の平面図、第５図は第４図上Ｖ
−Ｖ線に沿う断面図、第６図は本実施例の送気ユ
ニツト付近の拡大断面図、第７図並びに第８図は
送気ユニツトの外観形状を示す斜視図、第９図は
本実施例による局所制御ゾーンを示す説明図、第
１０図は本発明に係る他の実施例を示す概略斜視
図である。 ２２……部屋、２４……サプライチヤンバ、２
６……ミキシングチヤンバ、２８……環境制御
室、３０……リターンチヤンバ、４０……格子、
４２……格子、４４……格子、５４……送気ユニ
ツト、８４……格子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 部屋の一方の側から対向する他方の側に向け
    て部屋がサプライチヤンバ、ミキシングチヤン
    バ、環境制御室、リターンチヤンバの順序で区分
    され、サプライチヤンバとミキシングチヤンバと
    の境界面には連通口を備えた隔壁を形成すると共
    にミキシングチヤンバと環境制御室との境界面に
    は第１の格子を配設し、環境制御室とリターンチ
    ヤンバとの境界面には第２の格子を配設し、第１
    の格子面には送気ユニツト又は蓋板が着脱自在に
    設けられ、第２の格子の格子面には環境制御室の
    エアをリターンチヤンバに吸込む吸込板又は蓋板
    が着脱自在に設けられ、サプライチヤンバからの
    空調エアとリターンチヤンバからの循環エアを混
    合して環境制御室の所定の場所に送気ユニツトか
    らのエアを流動させることを特徴とする組替式局
    所環境制御室。 ２ 送気ユニツトは、フイルタケース、フイルタ
    ケースのエア入口側に設けられフイルタケースよ
    り幅狭に形成された整流室と、整流室のエア入口
    側に設けられ整流室より幅狭に形成された送風機
    ケースを備えていることを特徴とする特許請求の
    範囲第１項の組替式局所環境制御室。 ３ 隔壁は格子で形成され、該格子の格子面は連
    通口が形成されるか若しくは蓋板で閉じられ、連
    通口にはダンパが設けられていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項の組替式局所環境制御
    室。
JP58181345A 1983-09-29 1983-09-29 組替式局所環境制御室 Granted JPS6071830A (ja)

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JP58181345A JPS6071830A (ja) 1983-09-29 1983-09-29 組替式局所環境制御室
US06/580,387 US4549472A (en) 1983-09-29 1984-02-15 Rearrangeable partial environmental control device
GB08403972A GB2147409B (en) 1983-09-29 1984-02-15 Environmental control device

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JPS6071830A JPS6071830A (ja) 1985-04-23
JPH0136009B2 true JPH0136009B2 (ja) 1989-07-28

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GB (1) GB2147409B (ja)

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