JPS62268941A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS62268941A JPS62268941A JP61113293A JP11329386A JPS62268941A JP S62268941 A JPS62268941 A JP S62268941A JP 61113293 A JP61113293 A JP 61113293A JP 11329386 A JP11329386 A JP 11329386A JP S62268941 A JPS62268941 A JP S62268941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- air
- floor
- lower floor
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 3
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 abstract description 11
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 5
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はクリーンルームに係り、特に建物の構造を多層
階としたクリーンルームに関する。
階としたクリーンルームに関する。
半導体産業をはじめ各種産業において、クリーンルーム
の需要は年々高まっており清浄度やコスト面での要求も
厳しくなっている。また、クリーンルームの大型化に伴
い平屋建てのクリーンルームが主であったものが二階性
て、二階性て等の多層階としたものも見られる。これは
、工場の敷地不足の問題解決や容積率を高めるという点
では有効な手段であると思われる。
の需要は年々高まっており清浄度やコスト面での要求も
厳しくなっている。また、クリーンルームの大型化に伴
い平屋建てのクリーンルームが主であったものが二階性
て、二階性て等の多層階としたものも見られる。これは
、工場の敷地不足の問題解決や容積率を高めるという点
では有効な手段であると思われる。
第２図に多層階性てのクリーンルームの例として二階性
てのクリーンルームを示し、従来技術について説明する
。
てのクリーンルームを示し、従来技術について説明する
。
従来の二階性てのクリーンルームは第２図に示すように
−階と二階の構成が同じであり、各階ごとに空調機１０
と送風機１２が設置され、それぞれ独立して運転されて
いた。
−階と二階の構成が同じであり、各階ごとに空調機１０
と送風機１２が設置され、それぞれ独立して運転されて
いた。
すなわち、送風機１２から送られた空気は、天井裏ダク
ト１４から高性能フィルタ１６を介してクリーンルーム
室内１８に清浄空気として吹き出される。そして、この
清浄空気は作業者２ｏ、作業台、製造機器２２等から発
生した塵埃とともに、開口を有する床面２４を通過して
床下ダクト２６へ送られる。一部の空気を排気用ダンパ
２８ａより排気し、その排気相当分の外気を外気取入れ
用ダンパ２８ｂより取入れる。この調整は空調リターン
ダンパ２８Ｃでも行う。戻った空気は、空調機１０によ
り空調したのち再び送風機１２により、天井裏ダクト１
４からクリーンルーム１８へ送り出される。これを繰り
返すことによって常にある一定の清浄度を維持している
。
ト１４から高性能フィルタ１６を介してクリーンルーム
室内１８に清浄空気として吹き出される。そして、この
清浄空気は作業者２ｏ、作業台、製造機器２２等から発
生した塵埃とともに、開口を有する床面２４を通過して
床下ダクト２６へ送られる。一部の空気を排気用ダンパ
２８ａより排気し、その排気相当分の外気を外気取入れ
用ダンパ２８ｂより取入れる。この調整は空調リターン
ダンパ２８Ｃでも行う。戻った空気は、空調機１０によ
り空調したのち再び送風機１２により、天井裏ダクト１
４からクリーンルーム１８へ送り出される。これを繰り
返すことによって常にある一定の清浄度を維持している
。
このように、従来の多層階のクリーンルームは、上記構
成を各階ごとに有し、各階を独立して運転しているため
、使っていない階を停止させておくことにより省エネの
効果が考えられる。しかし、はとんどの半導体工場等の
電子部品工場では、クリーンルーム自体の運転を停止さ
せることがなく、生−産ラインをほとんど２４時間昼夜
を通して稼動させている。したがって空調を各階ごとに
行なっても省エネの効果はほとんど考えられない。
成を各階ごとに有し、各階を独立して運転しているため
、使っていない階を停止させておくことにより省エネの
効果が考えられる。しかし、はとんどの半導体工場等の
電子部品工場では、クリーンルーム自体の運転を停止さ
せることがなく、生−産ラインをほとんど２４時間昼夜
を通して稼動させている。したがって空調を各階ごとに
行なっても省エネの効果はほとんど考えられない。
むしろ各階ごとに空調機、フィルタユニット等を設置す
ることにより設備コストが増え換気回数も実質的に増加
するため運転コストが増加する。
ることにより設備コストが増え換気回数も実質的に増加
するため運転コストが増加する。
また、各階ごとに天井裏ダクトと床下ダクトが設けられ
ているため、建物全体の高さが高くなり建設コストが増
加するという欠点があった。
ているため、建物全体の高さが高くなり建設コストが増
加するという欠点があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、建設
・設備コストを低減し、さらに運転コストの低減をも図
ったクリーンルームを提供することを目的とする。
・設備コストを低減し、さらに運転コストの低減をも図
ったクリーンルームを提供することを目的とする。
本発明は前記目的を達成するために、天井裏ダクトから
清浄空気を室内に吹き出し、この清浄空気を室内より発
生した塵埃とともに床下ダクトに吸い込むようにしたク
リーンルームにおいて、上階と下階との間に、上階の床
下ダクトと下階の天井裏ダクトとを共有する中層ダクト
を設け、上階から前記中層ダクトを介して下階に清浄空
気を吹き出すようにしたことを特徴としている。
清浄空気を室内に吹き出し、この清浄空気を室内より発
生した塵埃とともに床下ダクトに吸い込むようにしたク
リーンルームにおいて、上階と下階との間に、上階の床
下ダクトと下階の天井裏ダクトとを共有する中層ダクト
を設け、上階から前記中層ダクトを介して下階に清浄空
気を吹き出すようにしたことを特徴としている。
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルームの好
ましい実施例を詳説する。
ましい実施例を詳説する。
第１図は本発明の一実施例を示す概略図であり、従来の
クリーンルームである第２図と同一箇所には同符号が付
しである。従来のクリーンルームと異なる点は、従来の
クリーンルームが各階ごとに空調機及び送風段を有する
のに対し、本発明に係るクリーンルームは階数にかかわ
らず空調機３０、送風機３２及び中性能フィルタ３４を
１箇所にまとめたセントラル方式で、空気の主な循環径
路は１つである。
クリーンルームである第２図と同一箇所には同符号が付
しである。従来のクリーンルームと異なる点は、従来の
クリーンルームが各階ごとに空調機及び送風段を有する
のに対し、本発明に係るクリーンルームは階数にかかわ
らず空調機３０、送風機３２及び中性能フィルタ３４を
１箇所にまとめたセントラル方式で、空気の主な循環径
路は１つである。
送風機３２から中性能フィルタ３４を介して天井裏タリ
ト１４に供給された清浄空気は、高性能フィルタ１６を
介して吹出口３６よりクリーンルーム１８に吹き出され
、室内の作業者２０や作業台、製造機器２２等から発生
した塵埃とともに開口を有する床面２４を通って中層ダ
クト３８に送られる。
ト１４に供給された清浄空気は、高性能フィルタ１６を
介して吹出口３６よりクリーンルーム１８に吹き出され
、室内の作業者２０や作業台、製造機器２２等から発生
した塵埃とともに開口を有する床面２４を通って中層ダ
クト３８に送られる。
この中層ダクト３８は上階の床下ダクトと下階の天井裏
ダクトとを兼用するもので、この中層ダクト３８内には
低圧損型高性能フィルタ４０が配置されている。
ダクトとを兼用するもので、この中層ダクト３８内には
低圧損型高性能フィルタ４０が配置されている。
上階から中層ダクト３８に送られた空気の大部分は、中
層吸気口４２から上記低圧損型高性能フィルタ４０を介
して吹出口４４より下階へ吹き出される。この際、下階
の空調を考慮して、中層ダクト３８に送られた空気の一
部は中層ダクト戻りダンパ４６ａの調節によりリターン
ダクト４８に戻され、一方空調された空気の一部を下階
空調用ダンパ４６ｂにより風量を調節して下階の高性能
フィルタ付空調用吹出口５０より供給するようにしてい
る。
層吸気口４２から上記低圧損型高性能フィルタ４０を介
して吹出口４４より下階へ吹き出される。この際、下階
の空調を考慮して、中層ダクト３８に送られた空気の一
部は中層ダクト戻りダンパ４６ａの調節によりリターン
ダクト４８に戻され、一方空調された空気の一部を下階
空調用ダンパ４６ｂにより風量を調節して下階の高性能
フィルタ付空調用吹出口５０より供給するようにしてい
る。
このようにして下階クリーンルーム１８に吹き出された
清浄空気は、上階と同様に下階を清浄した後、開口を有
する床面２４を通って床下ダクト２６に流れる。ここか
ら、リターンダクト４８に戻るが一部は排気用ダンパ４
６Ｃから排気され、新たに外気取入れ用ダンパ４６ｄよ
り外気を取り入れている。この調整は空調リターンダン
パ４６ｅでも行なう。そして空調機３０、送風機３２を
通って再びクリーンルーム１８内へ戻され循環している
。
清浄空気は、上階と同様に下階を清浄した後、開口を有
する床面２４を通って床下ダクト２６に流れる。ここか
ら、リターンダクト４８に戻るが一部は排気用ダンパ４
６Ｃから排気され、新たに外気取入れ用ダンパ４６ｄよ
り外気を取り入れている。この調整は空調リターンダン
パ４６ｅでも行なう。そして空調機３０、送風機３２を
通って再びクリーンルーム１８内へ戻され循環している
。
クリーンルーム室内の圧力バランスは上階・下階とも陽
圧ではあるが、エアフィルタの圧損の関係上、上階に比
べ下階の室内圧が低くなる。しかし下階へ吹き出すフィ
ルタを低圧損型高性能フィルタを使用することにより特
に問題はなくなる。
圧ではあるが、エアフィルタの圧損の関係上、上階に比
べ下階の室内圧が低くなる。しかし下階へ吹き出すフィ
ルタを低圧損型高性能フィルタを使用することにより特
に問題はなくなる。
前記実施例に於いて、中層ダクト３８を設けたが、中層
ダクト３８を設けずに開口を有する床面２４と下階の天
井とを共有にして、直接上階の清浄空気を下階に送風し
てもよい。
ダクト３８を設けずに開口を有する床面２４と下階の天
井とを共有にして、直接上階の清浄空気を下階に送風し
てもよい。
なお、本実施例では二階性てについて説明したが、三階
性て、四階性て等の多層階とした構造にしてもよい。こ
れにより、クリーンルーム面積当たりの建設コスト、運
転コスト等をさらに低減することができる。また、中層
ダクトに補助的な送風機を設置して下階に清浄空気を送
り込んでもよい。これにより、下階にも十分な風量が得
られ清浄度も向上する。
性て、四階性て等の多層階とした構造にしてもよい。こ
れにより、クリーンルーム面積当たりの建設コスト、運
転コスト等をさらに低減することができる。また、中層
ダクトに補助的な送風機を設置して下階に清浄空気を送
り込んでもよい。これにより、下階にも十分な風量が得
られ清浄度も向上する。
以上説明したように本発明に係るクリーンルームによれ
ば、全体の風量が従来に比べて約半分ですむことから省
エネ運転が可能である。また、空調も各階ごとで行なう
従来の方法に比べ空調機１台で行なうため、大幅に省エ
ネの効果がある。更に、床面積が等しい平屋建てのクリ
ーンルームと比較しても空調に必要な空気の量が半分で
すみ、それに付随して空調用ダクトも小規模ですむため
省エネの効果と設備コストを下げる利点がある。
ば、全体の風量が従来に比べて約半分ですむことから省
エネ運転が可能である。また、空調も各階ごとで行なう
従来の方法に比べ空調機１台で行なうため、大幅に省エ
ネの効果がある。更に、床面積が等しい平屋建てのクリ
ーンルームと比較しても空調に必要な空気の量が半分で
すみ、それに付随して空調用ダクトも小規模ですむため
省エネの効果と設備コストを下げる利点がある。
建築面では、上階の床下ダクトと下階の天井裏ダクトを
共有しているため、建築コストを低減することができ、
かつ建物全体の高さを低くすることができる。
共有しているため、建築コストを低減することができ、
かつ建物全体の高さを低くすることができる。
さらに気流の方向でみると、上階は床下ダクトの影響で
一般に横流れが起きやすくなるが、本発明の場合には下
階へ流れていくため、垂直層流型となり高清浄度を維持
することが可能である。
一般に横流れが起きやすくなるが、本発明の場合には下
階へ流れていくため、垂直層流型となり高清浄度を維持
することが可能である。
第１図は本発明に係るクリーンルームの一実施例を示す
概略図、第２図は従来のクリーンルームを示す概略図で
ある。 １４・・・天井裏ダクト、 １６・・・高性能フィル
タ、 １８・・・クリーンルーム、 ２６・・・床下
ダクト、 ３０・・・空調機、 ３２・・・送風機、
３４・・・中性能フィルタ、 ３８・・・中層ダクト
、 ４０・・・低圧損型高性能フィルタ。 出願人 日立プラント建設株式会社 第１図 ｔ
概略図、第２図は従来のクリーンルームを示す概略図で
ある。 １４・・・天井裏ダクト、 １６・・・高性能フィル
タ、 １８・・・クリーンルーム、 ２６・・・床下
ダクト、 ３０・・・空調機、 ３２・・・送風機、
３４・・・中性能フィルタ、 ３８・・・中層ダクト
、 ４０・・・低圧損型高性能フィルタ。 出願人 日立プラント建設株式会社 第１図 ｔ
Claims (4)
- （１）天井裏ダクトから清浄空気を室内に吹き出し、こ
の清浄空気を室内より発生した塵埃とともに床下ダクト
に吸込むようにしたクリーンルームにおいて、 前記クリーンルームを多層階に形成し、通気性を有する
上階の床と下階の天井とを配し、上階から下階に清浄空
気を吹き出すようにしたことを特徴とするクリーンルー
ム。 - （２）前記上階の床と下階の天井とを共有して形成する
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のクリ
ーンルーム。 - （３）前記上階の床と下階の天井との間に中層ダクトを
設け、中層ダクト内に低圧損型高性能フィルタを配置し
たことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のク
リーンルーム。 - （４）前記中層ダクト内に補助的な送風機を設置したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（３）項記載のクリー
ンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61113293A JPS62268941A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61113293A JPS62268941A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62268941A true JPS62268941A (ja) | 1987-11-21 |
Family
ID=14608516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61113293A Pending JPS62268941A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62268941A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0676672A2 (en) * | 1994-04-08 | 1995-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system |
| US6146266A (en) * | 1996-10-09 | 2000-11-14 | Ch2Mhill Industrial Design Corporation | Method and apparatus for providing a purified resource in a manufacturing facility |
| JP2003240290A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-27 | Taisei Corp | 多層クリーンルームの空調システム |
| US6966364B1 (en) * | 1999-02-12 | 2005-11-22 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
| WO2013127979A1 (de) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | Abn N.V. | Anlage zur belüftung von reinräumen |
| TWI659184B (zh) * | 2016-09-02 | 2019-05-11 | 伸和控制工業股份有限公司 | Air conditioning system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6118441B2 (ja) * | 1981-09-28 | 1986-05-13 | Achilles Corp | |
| JPS6196344A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Toshiba Corp | クリ−ンル−ム |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP61113293A patent/JPS62268941A/ja active Pending
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| US5871587A (en) * | 1994-04-08 | 1999-02-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system for semiconductor device manufacture of otherwise |
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| EP1026549A3 (en) * | 1994-04-08 | 2000-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system |
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