JPH0543938B2 - - Google Patents
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- JPH0543938B2 JPH0543938B2 JP59223468A JP22346884A JPH0543938B2 JP H0543938 B2 JPH0543938 B2 JP H0543938B2 JP 59223468 A JP59223468 A JP 59223468A JP 22346884 A JP22346884 A JP 22346884A JP H0543938 B2 JPH0543938 B2 JP H0543938B2
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Classifications
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E04—BUILDING
- E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
- E04B1/00—Constructions in general; Structures which are not restricted either to walls, e.g. partitions, or floors or ceilings or roofs
- E04B1/343—Structures characterised by movable, separable, or collapsible parts, e.g. for transport
- E04B1/34315—Structures characterised by movable, separable, or collapsible parts, e.g. for transport characterised by separable parts
- E04B1/34331—Structures characterised by movable, separable, or collapsible parts, e.g. for transport characterised by separable parts mainly constituted by three-dimensional elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、門形の構造グリツドと設備グリツト
とを単位グリツドとしてこれらを交互に配置接合
して構成することにより、既存の建屋の中に適宜
配置することができるユニツト型クリーンルーム
に関するものである。
とを単位グリツドとしてこれらを交互に配置接合
して構成することにより、既存の建屋の中に適宜
配置することができるユニツト型クリーンルーム
に関するものである。
クリーンルームは、高い清浄度の作業環境を提
供するものであり、例えばLSI（半導体製造工程）
や精密機械等の工業用クリーンルーム、手術室や
食品加工等のバイオクリーンルームその他さまざ
まな産業分野、研究分野で用いられている。従来
のクリーンルームとしては、高性能フイルタで処
理された清浄空気を天井より室内に吹き出し、室
内空気を床下を通して排出することによつて作業
室全体をほぼ一様に高清浄度に維持する全面ダウ
ンフロー式クリーンルームや、製造ラインに沿つ
て区域毎にトンネル状のクリーンルームを形成
し、そのクリーンルームに天井面から清浄空気を
吹き出すようにすることによつて、トンネル状の
クリーンルームを一様に高清浄度に維持するクリ
ーン・トンネル・システムなどがある。
供するものであり、例えばLSI（半導体製造工程）
や精密機械等の工業用クリーンルーム、手術室や
食品加工等のバイオクリーンルームその他さまざ
まな産業分野、研究分野で用いられている。従来
のクリーンルームとしては、高性能フイルタで処
理された清浄空気を天井より室内に吹き出し、室
内空気を床下を通して排出することによつて作業
室全体をほぼ一様に高清浄度に維持する全面ダウ
ンフロー式クリーンルームや、製造ラインに沿つ
て区域毎にトンネル状のクリーンルームを形成
し、そのクリーンルームに天井面から清浄空気を
吹き出すようにすることによつて、トンネル状の
クリーンルームを一様に高清浄度に維持するクリ
ーン・トンネル・システムなどがある。
しかしながら、従来のシステムには種々の問題
点がある。例えば全面ダウンフロー式クリーンル
ームでは、次のような欠点がある。
点がある。例えば全面ダウンフロー式クリーンル
ームでは、次のような欠点がある。
清浄化区域及び空調対象区域が広く、高価な
高性能フイルタを多量に使用しているため、設
備費が非常に高い。
高性能フイルタを多量に使用しているため、設
備費が非常に高い。
空調維持費、フイルタ交換費用などのランニ
ング・コストが高い。
ング・コストが高い。
室全体の空調を行うため、製造ライン別（工
程別）の空調温度制御ができない。
程別）の空調温度制御ができない。
製造ライン用機器や配管類の補修をクリーン
ルーム内で行うため、それによる発塵が他の製
造ライン（工程）に及ぼす影響が大きい。
ルーム内で行うため、それによる発塵が他の製
造ライン（工程）に及ぼす影響が大きい。
また、クリーン・トンネル・システムでは、次
のような欠点がある。
のような欠点がある。
既存の建屋内に長いダクトを配設することが
必要であり、そのため配設作業上、建屋の構造
上で種々の問題が生じる。
必要であり、そのため配設作業上、建屋の構造
上で種々の問題が生じる。
クリーン・トンネルの下部からの空気の噴出
によつて建屋内に塵埃が浮遊する。
によつて建屋内に塵埃が浮遊する。
大容量のフイルタとポンプを建屋外に別置す
ることが必要になる。
ることが必要になる。
本発明は、上述の問題点を解決するとともに、
要求品質に的確に対応できる安価なユニツト型ク
リーンルームの提供を目的とするものである。
要求品質に的確に対応できる安価なユニツト型ク
リーンルームの提供を目的とするものである。
そのために本発明のユニツト型クリーンルーム
は、門形のフレームを骨組みとし仕上げ材を取り
付けた構造グリツド及び空気清浄装置や空気盤等
の設備パネルを装備すると共に天井に構造材と仕
上げ材を有し、構造グリツトと同形状の門形の設
備グリツドを複数配置し接合することによつてク
リーンルームを構成することを特徴とし、また、
該構造グリツドの間に空気清浄装置や空気盤等の
設備パネルを配置して両側の構造グリツドに接合
すると共に、設備パネルを配置した天井は、両側
の構造グリツド間に跨がる天井仕上げ材により覆
うことによつてクリーンルームを構成することを
特徴とするものである。
は、門形のフレームを骨組みとし仕上げ材を取り
付けた構造グリツド及び空気清浄装置や空気盤等
の設備パネルを装備すると共に天井に構造材と仕
上げ材を有し、構造グリツトと同形状の門形の設
備グリツドを複数配置し接合することによつてク
リーンルームを構成することを特徴とし、また、
該構造グリツドの間に空気清浄装置や空気盤等の
設備パネルを配置して両側の構造グリツドに接合
すると共に、設備パネルを配置した天井は、両側
の構造グリツド間に跨がる天井仕上げ材により覆
うことによつてクリーンルームを構成することを
特徴とするものである。
本発明のユニツト型クリーンルームは、門形の
フレームを骨組みとする構造グリツドを基本にし
て、この間に適宜必要な設備パネルを配列接合す
る。従つて、清浄度の要求、クリーンルームの大
きさの要求に応じて構造グリツドの数、設備パネ
ルを内容やその数などを選定してクリーンルーム
を構成することができるので、クリーンルームの
そのときどきの要求に柔軟に対応することが可能
となる。
フレームを骨組みとする構造グリツドを基本にし
て、この間に適宜必要な設備パネルを配列接合す
る。従つて、清浄度の要求、クリーンルームの大
きさの要求に応じて構造グリツドの数、設備パネ
ルを内容やその数などを選定してクリーンルーム
を構成することができるので、クリーンルームの
そのときどきの要求に柔軟に対応することが可能
となる。
〔実施例〕
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第１図は本発明のユニツト型クリーンルームの
全体の外観を示す図、第２図は構造グリツドのフ
レーム構成の例を示す図、第３図は設備グリツド
のフレーム構成の例を示す図、第４図は他の設備
グリツドのフレーム構成を例を示す図、第５図は
第２図に示す構造グリツトのフレームに内装及び
外装パーツを装備した例を示す図である。図にお
いて、１ないし３は構造グリツド、４と５は設備
グリツド、６は入口扉、７は覗き窓、８はエア
ー・シヤワー・ルーム、９は天井パネル、１０は
設備パツケージ、１１は外装パネル、１２と１３
は構造材、１４は空調パツケージ・ユニツト内蔵
パネル、１５は高性能フイルタ吹出口、１６は空
調用吸込口、１７は空気盤用パネル、１８は従来
対応用設備パネル、１９はボルト、２０はコンセ
ント、２１は内装パネルをそれぞれ示している。
全体の外観を示す図、第２図は構造グリツドのフ
レーム構成の例を示す図、第３図は設備グリツド
のフレーム構成の例を示す図、第４図は他の設備
グリツドのフレーム構成を例を示す図、第５図は
第２図に示す構造グリツトのフレームに内装及び
外装パーツを装備した例を示す図である。図にお
いて、１ないし３は構造グリツド、４と５は設備
グリツド、６は入口扉、７は覗き窓、８はエア
ー・シヤワー・ルーム、９は天井パネル、１０は
設備パツケージ、１１は外装パネル、１２と１３
は構造材、１４は空調パツケージ・ユニツト内蔵
パネル、１５は高性能フイルタ吹出口、１６は空
調用吸込口、１７は空気盤用パネル、１８は従来
対応用設備パネル、１９はボルト、２０はコンセ
ント、２１は内装パネルをそれぞれ示している。
本発明のユニツト型クリーンルームは、第１図
に示すように入口扉６を有するエアー・シヤワ
ー・ルーム８に構造グリツド１を接合し、そして
順に設備グリツド４、構造グリツド２、設備グリ
ツド５、構造グリツド３のように構造グリツドと
設備グリツドの各単位グリツドを交互に配置接合
して構成するものである。
に示すように入口扉６を有するエアー・シヤワ
ー・ルーム８に構造グリツド１を接合し、そして
順に設備グリツド４、構造グリツド２、設備グリ
ツド５、構造グリツド３のように構造グリツドと
設備グリツドの各単位グリツドを交互に配置接合
して構成するものである。
構造グリツド１ないし３は、第２図に示すよう
に門形のフレームからなる構造材１２に天井パネ
ル９、外装パネル１１、内装パネル２１を取り付
けて第５図に示すように構成しものである。これ
に対して設備グリツド４と５は、構造グリツド１
ないし３と同様の形状で、高性能フイルタを有す
る空気清浄装置や空気盤などのパネルを装備する
ものであり、例えば第３図に示すように空調パツ
ケージ・ユニツト内蔵パネル１４や電気盤用パネ
ル１７を装備し、或いは、第４図に示すように従
来対応用設備パネル１８を装備するものである。
また、天井の構造材１３は、空調パツケージ・ユ
ニツト内蔵パネル１４や空気盤用パネル１７など
の設備パネル間のつなぎ鋼材であり、第５図に示
した構造グリツドと同様に天井パネルが取り付け
られる。
に門形のフレームからなる構造材１２に天井パネ
ル９、外装パネル１１、内装パネル２１を取り付
けて第５図に示すように構成しものである。これ
に対して設備グリツド４と５は、構造グリツド１
ないし３と同様の形状で、高性能フイルタを有す
る空気清浄装置や空気盤などのパネルを装備する
ものであり、例えば第３図に示すように空調パツ
ケージ・ユニツト内蔵パネル１４や電気盤用パネ
ル１７を装備し、或いは、第４図に示すように従
来対応用設備パネル１８を装備するものである。
また、天井の構造材１３は、空調パツケージ・ユ
ニツト内蔵パネル１４や空気盤用パネル１７など
の設備パネル間のつなぎ鋼材であり、第５図に示
した構造グリツドと同様に天井パネルが取り付け
られる。
本発明は、上述したような単位グリツドを組み
合わせ接合することにより、任意の長さのクリー
ンルームを形成するものである。単位グリツド
は、幅方向で７〜10ｍにすると、７〜10ｍ幅で任
意の長さのクリーンルームを形成することが可能
となる。また、要求される空気の清浄度に応じて
設備グリツドに装備する空気清浄装置の数や容量
を変えることも可能である。なお、設備グリツド
で特に設備を装備しない部分については単なる盲
板を取り付けるようにしてもよいことはいうまで
もない。
合わせ接合することにより、任意の長さのクリー
ンルームを形成するものである。単位グリツド
は、幅方向で７〜10ｍにすると、７〜10ｍ幅で任
意の長さのクリーンルームを形成することが可能
となる。また、要求される空気の清浄度に応じて
設備グリツドに装備する空気清浄装置の数や容量
を変えることも可能である。なお、設備グリツド
で特に設備を装備しない部分については単なる盲
板を取り付けるようにしてもよいことはいうまで
もない。
第６図は本発明の他の実施例を説明するための
図である。第６図において、１ないし、３，６な
いし９と１１は第１図と同じものを示し、３１，
３３と３４は設備パネル、３２は盲板をそれぞれ
示している。第６図に示すユニツト型クリーンル
ームは、第３図及び第４図に示しとような空調パ
ツケージ・ユニツト内蔵パネル１４や電気盤用パ
ネル１７、従来対応用設備パネル１８などの設備
パネルを設備グリツドに装備せず、単独で構成し
て、構造グリツド１ないし３の間に取り付けるよ
うにしたものである。従つて第６図に示すように
構成グリツド１ないし３は、それぞれ設備パネル
相当の間隔をおいて配置され、その間に空調パツ
ケージ・ユニツト内蔵パネル１４や電気盤用パネ
ル１７、従来対応用設備パネル１８に相当する設
備パネル３１，３３，３４、盲板３２が取り付け
られ、また天井には構造グリツドの天井パネル９
と同様の天井パネルが取り付けられる。
図である。第６図において、１ないし、３，６な
いし９と１１は第１図と同じものを示し、３１，
３３と３４は設備パネル、３２は盲板をそれぞれ
示している。第６図に示すユニツト型クリーンル
ームは、第３図及び第４図に示しとような空調パ
ツケージ・ユニツト内蔵パネル１４や電気盤用パ
ネル１７、従来対応用設備パネル１８などの設備
パネルを設備グリツドに装備せず、単独で構成し
て、構造グリツド１ないし３の間に取り付けるよ
うにしたものである。従つて第６図に示すように
構成グリツド１ないし３は、それぞれ設備パネル
相当の間隔をおいて配置され、その間に空調パツ
ケージ・ユニツト内蔵パネル１４や電気盤用パネ
ル１７、従来対応用設備パネル１８に相当する設
備パネル３１，３３，３４、盲板３２が取り付け
られ、また天井には構造グリツドの天井パネル９
と同様の天井パネルが取り付けられる。
第７図は第６図に示すユニツト型クリーンルー
ムに適用される空調パツケージ・ユニツト内蔵パ
ネルの例を示す図であり、４１は吹出口、４２は
送風機、４３はガイドベン、４４はスライド・バ
ンパー、４５は加熱コイル、４６は冷却コイル、
４７は加湿器、４８は吸込口、４９は高性能フイ
ルタをそれぞれ示している。
ムに適用される空調パツケージ・ユニツト内蔵パ
ネルの例を示す図であり、４１は吹出口、４２は
送風機、４３はガイドベン、４４はスライド・バ
ンパー、４５は加熱コイル、４６は冷却コイル、
４７は加湿器、４８は吸込口、４９は高性能フイ
ルタをそれぞれ示している。
冷却コイル４６は、加湿器４７、加熱コイル４
５は、一般に直列に配置されるが、この例では、
第７図ａの内部正面配置図に示すように加湿器４
７は下の隅に、加熱コイル４５はその上に、冷却
コイル４６はそれらと並列に配置される。また、
冷却コイル４６と加熱コイル４５は、第７図ｂの
内部側面図に示すように前後に傾けるようにする
と、さらに高さを抑えることができるとともに、
それぞれのコイル全面にわたつて均等に空気の接
触を図ることができ、性能の低下を防止すること
ができる。
５は、一般に直列に配置されるが、この例では、
第７図ａの内部正面配置図に示すように加湿器４
７は下の隅に、加熱コイル４５はその上に、冷却
コイル４６はそれらと並列に配置される。また、
冷却コイル４６と加熱コイル４５は、第７図ｂの
内部側面図に示すように前後に傾けるようにする
と、さらに高さを抑えることができるとともに、
それぞれのコイル全面にわたつて均等に空気の接
触を図ることができ、性能の低下を防止すること
ができる。
スライド・バンパー４４は、風量の調整が一応
工場において行われるが、クリーンルームを形成
した後の現場で、再度要求に合わせて微調整する
のに用いられ、これによりローコストで高効率の
クリーンルームを提供する。
工場において行われるが、クリーンルームを形成
した後の現場で、再度要求に合わせて微調整する
のに用いられ、これによりローコストで高効率の
クリーンルームを提供する。
送風機４２は、例えば低速回転モータで駆動さ
れる中静圧のシロツコ・フアンが使用される。送
風機４２の径を大きくすると、渦流が発生しその
渦流のために騒音が大きくなるという問題が生じ
る。そこで、第７図ａに示すようにガイドベン４
３を設けるとともに、送風路を長くしてこのガイ
ドベン４３によつて送風機４２の出力を整流し、
方向転換をしながら徐々に送風路の幅を広げ、渦
流が発生しないようにすることによつて、渦流が
原因で発生する騒音を抑えることができる。また
騒音の低減を図るには、随所に吸音材を用いるよ
うにしてもよい。
れる中静圧のシロツコ・フアンが使用される。送
風機４２の径を大きくすると、渦流が発生しその
渦流のために騒音が大きくなるという問題が生じ
る。そこで、第７図ａに示すようにガイドベン４
３を設けるとともに、送風路を長くしてこのガイ
ドベン４３によつて送風機４２の出力を整流し、
方向転換をしながら徐々に送風路の幅を広げ、渦
流が発生しないようにすることによつて、渦流が
原因で発生する騒音を抑えることができる。また
騒音の低減を図るには、随所に吸音材を用いるよ
うにしてもよい。
吹出口４１は、グリルまたはパンチング・メタ
ルを使つた固定式にしたり、室内レイアウト、特
に風向きの影響が必要なときにはアタツチメント
を設けて可動式にしたり、併用にしてもよいこと
はいうまでもない。吸込口４８は、粗塵フイルタ
内蔵型が一般に使用される。
ルを使つた固定式にしたり、室内レイアウト、特
に風向きの影響が必要なときにはアタツチメント
を設けて可動式にしたり、併用にしてもよいこと
はいうまでもない。吸込口４８は、粗塵フイルタ
内蔵型が一般に使用される。
以上の説明から明らかなように、本発明は次の
ような効果を奏するものである。
ような効果を奏するものである。
最小単位のグリツド及びパネルを形成し、こ
れを組み合わせ接合してクリーンルームを構成
するので、製造が容易且つ安価になる。
れを組み合わせ接合してクリーンルームを構成
するので、製造が容易且つ安価になる。
各グリツド及びパネルにパーツ化した内装と
設備をそれぞれ装備しているので、スペースが
有効に活用できるとともに、クリーン度などの
要求に随意に対応できる。
設備をそれぞれ装備しているので、スペースが
有効に活用できるとともに、クリーン度などの
要求に随意に対応できる。
グリツト及びパネルにより単位化して重量を
軽くしたので、既存の建屋内に容易に搬入する
ことができ、また、クリーンルームを人手によ
つて容易に運搬、組み立てすることができる。
軽くしたので、既存の建屋内に容易に搬入する
ことができ、また、クリーンルームを人手によ
つて容易に運搬、組み立てすることができる。
各グリツド及びパネルの組み合わせ接合によ
つてユニツト化したクリーンルームを構成する
ので、クリーンルームを既存の建屋の任意の位
置に要求に応じ極めて迅速且つ安価に構築する
ことができる。
つてユニツト化したクリーンルームを構成する
ので、クリーンルームを既存の建屋の任意の位
置に要求に応じ極めて迅速且つ安価に構築する
ことができる。
ユニツト化して空気をルーム内で循環できる
ようにいしたので、設備を小型軽量化でき、建
屋内にダクト配備等の大きな設備工事を必要と
しない。
ようにいしたので、設備を小型軽量化でき、建
屋内にダクト配備等の大きな設備工事を必要と
しない。
グリツト及びパネルによりユニツト化したの
で、要求に最も近づけた内容のルーム形成が可
能になり、過剰な設備をすることがなく結果的
に安価なクリーンルームを製作することができ
る。
で、要求に最も近づけた内容のルーム形成が可
能になり、過剰な設備をすることがなく結果的
に安価なクリーンルームを製作することができ
る。
より高いクリーンルーム度の要求に対して
も、各設備グリツドまたはパネルの設備内容の
変更、追加等により、フレキシブルに対応する
ことができる。
も、各設備グリツドまたはパネルの設備内容の
変更、追加等により、フレキシブルに対応する
ことができる。
第１図は本発明のユニツト型クリーンルームの
全体の外観を示す図、第２図は構造グリツドのフ
レーム構成の例を示す図、第３図は設備グリツド
のフレーム構成の例を示す図、第４図は他の設備
グリツドのフレーム構成の例を示す図、第５図は
第２図に示す構造グリツドのフレームに内装及び
外装パーツを装備した例を示す図、第６図は本発
明の他の実施例を説明するための図、第７図は第
６図に示すユニツト型クリーンルームに適用され
る空調パツケージ・ユニツト内蔵パネルの例を示
す図である。 １ないし３……構造グリツド、４と５……設備
グリツド、６……入口扉、７……覗き窓、８……
エアー・シヤワー・ルーム、９……天井パネル、
１０……設備パツケージ、１１……外装パネル、
１２と１３……構造材、１４……空調パツケー
ジ・ユニツト内蔵パネル、１５……高性能フイル
タ吹出口、１６……空調用吸込口、１７……電気
盤用パネル、１８……将来対応用設備パネル、１
９……ボルト、２０……コンセント、２１……内
装パネル、３１，３３と３４……設備パネル、３
２……盲板、４１……吹出口、４２……送風機、
４３……ガイドベン、４４……スライド・バンパ
ー、４５……加熱コイル、４６……冷却コイル、
４７は加湿器、４８……吸込口、４９……高性能
フイルタ。
全体の外観を示す図、第２図は構造グリツドのフ
レーム構成の例を示す図、第３図は設備グリツド
のフレーム構成の例を示す図、第４図は他の設備
グリツドのフレーム構成の例を示す図、第５図は
第２図に示す構造グリツドのフレームに内装及び
外装パーツを装備した例を示す図、第６図は本発
明の他の実施例を説明するための図、第７図は第
６図に示すユニツト型クリーンルームに適用され
る空調パツケージ・ユニツト内蔵パネルの例を示
す図である。 １ないし３……構造グリツド、４と５……設備
グリツド、６……入口扉、７……覗き窓、８……
エアー・シヤワー・ルーム、９……天井パネル、
１０……設備パツケージ、１１……外装パネル、
１２と１３……構造材、１４……空調パツケー
ジ・ユニツト内蔵パネル、１５……高性能フイル
タ吹出口、１６……空調用吸込口、１７……電気
盤用パネル、１８……将来対応用設備パネル、１
９……ボルト、２０……コンセント、２１……内
装パネル、３１，３３と３４……設備パネル、３
２……盲板、４１……吹出口、４２……送風機、
４３……ガイドベン、４４……スライド・バンパ
ー、４５……加熱コイル、４６……冷却コイル、
４７は加湿器、４８……吸込口、４９……高性能
フイルタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 門形のフレームを骨組みとし仕上げ材を取り
付けた構造グリツト及び空気清浄装置や電気盤等
の設備パネルを装備すると共に天井に構造材と仕
上げ材を有し、構造グリツトと同形状の門形の設
備グリツドを複数配置し接合することによつてク
リーンルームを構成することを特徴とするユニツ
ト型クリーンルーム。 ２ 門形のフレームを骨組みとし仕上げ材を取り
付けた構造グリツドを複数配列し、該構造グリツ
トの間に空気清浄装置や電気盤等の設備パネルを
配置して両側の構造グリツトに接合すると共に、
設備パネルを配置した天井は、両側の構造グリツ
ド間に跨がる天井仕上げ材により覆うことによつ
てクリーンルームを構成することを特徴とするユ
ニツト型クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59223468A JPS61101733A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | ユニツト型クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59223468A JPS61101733A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | ユニツト型クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101733A JPS61101733A (ja) | 1986-05-20 |
| JPH0543938B2 true JPH0543938B2 (ja) | 1993-07-05 |
Family
ID=16798612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59223468A Granted JPS61101733A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | ユニツト型クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101733A (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2712160B2 (ja) * | 1987-01-20 | 1998-02-10 | ミノルタ株式会社 | カメラ |
| JPS646637A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-11 | Mitsui Constr | Air circulation method of clean workroom |
| JPS646636A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-11 | Mitsui Constr | Structure of the clean workroom |
| JPS646639A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-11 | Mitsui Constr | Air purification apparatus for clean workroom |
| JPS646638A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-11 | Mitsui Constr | Air purification apparatus for clean workroom |
| JPS646640A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-11 | Mitsui Constr | Structure of clean workroom |
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| JPH072875Y2 (ja) * | 1989-09-01 | 1995-01-25 | 有限会社レジャープラン | 移動式小屋 |
| JPH0559828A (ja) * | 1991-08-29 | 1993-03-09 | Gifu Kogyo Kk | 清浄空間住宅ユニツト |
| DE202005008334U1 (de) * | 2005-05-27 | 2006-10-05 | Opitz + Flierl Hospitaltechnik Ag | Reinraum |
| JP2009002634A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Unitec Inc | ユニット型クリーンルーム |
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| US9795957B2 (en) | 2009-08-16 | 2017-10-24 | G-Con Manufacturing, Inc. | Modular, self-contained, mobile clean room |
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| SG11201700155YA (en) | 2014-07-11 | 2017-02-27 | G Con Mfg Inc | Modular parts that supply utilities to cleanroom, isolation or containment cubicles, pods, or modules |
| CN106121286B (zh) * | 2016-08-22 | 2018-12-11 | 常州市浩东净化设备科技有限公司 | 一种快速装配型洁净手术室 |
| US11624182B2 (en) | 2019-08-15 | 2023-04-11 | G-Con Manufacturing, Inc. | Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room |
| US11492795B2 (en) | 2020-08-31 | 2022-11-08 | G-Con Manufacturing, Inc. | Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS565707U (ja) * | 1979-06-26 | 1981-01-19 |
-
1984
- 1984-10-24 JP JP59223468A patent/JPS61101733A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS565707U (ja) * | 1979-06-26 | 1981-01-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61101733A (ja) | 1986-05-20 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |