JPS61202028A - 除塵装置内蔵の壁部材 - Google Patents
除塵装置内蔵の壁部材Info
- Publication number
- JPS61202028A JPS61202028A JP60045369A JP4536985A JPS61202028A JP S61202028 A JPS61202028 A JP S61202028A JP 60045369 A JP60045369 A JP 60045369A JP 4536985 A JP4536985 A JP 4536985A JP S61202028 A JPS61202028 A JP S61202028A
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- JP
- Japan
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- filter
- wall member
- loaded
- exhaust port
- dust removal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分骨
本発明は、クリーンルームやエアシャワールームを構成
するに際して使用され得る壁部材であって、その内部に
除塵装置が収納されているものである。
するに際して使用され得る壁部材であって、その内部に
除塵装置が収納されているものである。
（ロ） 従来の技術
従来のクリーンルームに使用されている壁部材は、例え
ば特開昭５８−１８２０４６号公報に示きれるように、
その内部にファンとフィルが収納されているに過ぎなか
った。
ば特開昭５８−１８２０４６号公報に示きれるように、
その内部にファンとフィルが収納されているに過ぎなか
った。
従って、この壁部材を使用してクリーンルーム−を構成
するには、先ずこの壁部材を床上に立設した後、二重天
井を形成し、上部天井と下部天井との間に除塵用のフィ
ルタを装着していた。
するには、先ずこの壁部材を床上に立設した後、二重天
井を形成し、上部天井と下部天井との間に除塵用のフィ
ルタを装着していた。
従って、壁部材自体は工場等にて量産できても、二重天
井の製作およびフィルタの装着については、現場で施工
しなければならなかった。
井の製作およびフィルタの装着については、現場で施工
しなければならなかった。
一方、近年の半導体の需要は急激な伸張を見せ、それに
伴い半導体製造装置、特にクリーンルームの需給関係は
逼迫しており、短期間で高能率のクリーンルームを製造
することが望まれている。
伴い半導体製造装置、特にクリーンルームの需給関係は
逼迫しており、短期間で高能率のクリーンルームを製造
することが望まれている。
（ハ） 発明が解決しようとする問題点前述のように、
ファンとフィルのみが収納されている壁部材は工場にて
迅速に大量生産され得るが、フィルタ等については現場
で施工しなければならず、従来の技術では短期間に高性
能のクリーンルームを製造することは困難で、半導体業
界等の需要に充分対応することができなかった。
ファンとフィルのみが収納されている壁部材は工場にて
迅速に大量生産され得るが、フィルタ等については現場
で施工しなければならず、従来の技術では短期間に高性
能のクリーンルームを製造することは困難で、半導体業
界等の需要に充分対応することができなかった。
また、壁部材の排気口と二重天井との接合部には隙間が
生じやすく、ここに隙間が生じると、その部分から、フ
ィルタを１通過していない塵埃を含む空気がクリーンル
ーム内に漏出して、除塵効率を低下させる虞もあった。
生じやすく、ここに隙間が生じると、その部分から、フ
ィルタを１通過していない塵埃を含む空気がクリーンル
ーム内に漏出して、除塵効率を低下させる虞もあった。
本発明は、斯る従来の技術の問題点に鑑みてなされたも
ので、除塵効率の高いクリーンルームを迅速に製造し得
ると共に、半導体業界等の需要に充分対応し得る壁部材
を実現せんとするものである。
ので、除塵効率の高いクリーンルームを迅速に製造し得
ると共に、半導体業界等の需要に充分対応し得る壁部材
を実現せんとするものである。
（ニ）問題点を解決するための手段
本発明は、パネルの一側端縁近傍、若しくは当該端縁に
装着されている帯状板に、吸気口が開設され、他側端縁
近傍、若しくは当該端縁に装着されている帯状板に、排
気口が開設され、この排気口の気流方向に沿って上流側
に塵埃を除去するフィルタが設けられ、このフィルタと
前記吸気口との間に送風装置が備えられている除塵装置
内蔵の壁部材である。
装着されている帯状板に、吸気口が開設され、他側端縁
近傍、若しくは当該端縁に装着されている帯状板に、排
気口が開設され、この排気口の気流方向に沿って上流側
に塵埃を除去するフィルタが設けられ、このフィルタと
前記吸気口との間に送風装置が備えられている除塵装置
内蔵の壁部材である。
（ホ）作用
本発明に斯る壁部材を複数枚立設して空間を形成し、上
部に一重の天井、下部に床部材を装着するだけでクリー
ンルームを、実現することができる。
部に一重の天井、下部に床部材を装着するだけでクリー
ンルームを、実現することができる。
而して、この壁部材内の除塵装置を動作させると、クリ
ーンルーム内の空気が除塵きれる。
ーンルーム内の空気が除塵きれる。
（へ） 実施例
図面はいずれも本発明の実施例を示すもので、第１図は
第１の実施例を示す一部断面斜視図、第２図は第２の実
施例を示す縦断面図、第３図は第３の実施例を示す縦断
面図、そして第４図は第４の実施例を示す縦断面図であ
る。また、第５図は、前記第１の実施例ないし第３の実
施例を組み合わせることにより構成されるクリーンルー
ムを示す斜視図である。なお、各図に共通する部分には
共通の符号を付し、各間係の説明は省略する。
第１の実施例を示す一部断面斜視図、第２図は第２の実
施例を示す縦断面図、第３図は第３の実施例を示す縦断
面図、そして第４図は第４の実施例を示す縦断面図であ
る。また、第５図は、前記第１の実施例ないし第３の実
施例を組み合わせることにより構成されるクリーンルー
ムを示す斜視図である。なお、各図に共通する部分には
共通の符号を付し、各間係の説明は省略する。
第１図において、１はクリーンルームを製造した際に室
内側の壁面となるパネルで、２は室外側の壁面となるパ
ネルである０両パネル１．２は、２０国ないし３９ｃｍ
程度離間して、平面が対向するように平行並設されてお
り、３は前記両パネル１．２間の空間を閉室すべく、パ
ネル１．２の周囲に装着されている帯状板である。この
帯状板３は１枚のもので形成され、パネル１．２の周囲
に巻回するように装着されるものでも、また、パネル１
．２の各側縁に、１枚ずつ別個に装着されるものでもよ
い。
内側の壁面となるパネルで、２は室外側の壁面となるパ
ネルである０両パネル１．２は、２０国ないし３９ｃｍ
程度離間して、平面が対向するように平行並設されてお
り、３は前記両パネル１．２間の空間を閉室すべく、パ
ネル１．２の周囲に装着されている帯状板である。この
帯状板３は１枚のもので形成され、パネル１．２の周囲
に巻回するように装着されるものでも、また、パネル１
．２の各側縁に、１枚ずつ別個に装着されるものでもよ
い。
室内側のパネル１の上側端縁近傍には、排気口４が開設
され、この排気口４にはパンチングメタルにて形成され
ている蓋体５が装着されている。また、前記パネル１の
下側端縁近傍には、吸気口６が開設され、ここにもパン
チングメタルにて形成されている蓋体７が装着されてい
る。
され、この排気口４にはパンチングメタルにて形成され
ている蓋体５が装着されている。また、前記パネル１の
下側端縁近傍には、吸気口６が開設され、ここにもパン
チングメタルにて形成されている蓋体７が装着されてい
る。
前記排気口４の気流方向に沿って上流側には、除塵効率
が９９．９７Ｘ（０，３Ｉｔ粒子ＤＯＰｙス））ｃ７）
、ヘパフィルタと称される高性能フィルタ８が、着脱可
能に装着されている。
が９９．９７Ｘ（０，３Ｉｔ粒子ＤＯＰｙス））ｃ７）
、ヘパフィルタと称される高性能フィルタ８が、着脱可
能に装着されている。
また、前記吸気口６の気流方向に沿って下流側には、除
塵効率が２０％（０，３μ粒子ＤＯＰテスト）程度の、
粗塵を除去するためのプレフィルタ９が、着脱可能に装
着されている。
塵効率が２０％（０，３μ粒子ＤＯＰテスト）程度の、
粗塵を除去するためのプレフィルタ９が、着脱可能に装
着されている。
そして、ヘパフィルタ８とプレフィルタ９の間には、空
気を吸気口６から排気口４に向けて圧送するための、送
風装置としてのシロッコファン１０が設けられている。
気を吸気口６から排気口４に向けて圧送するための、送
風装置としてのシロッコファン１０が設けられている。
従ってこのシロッコファン１０を動作させると、空気は
矢印で示すように、吸気口６から吸気されて、プレフィ
ルタ９とへパフィルタ８によって除塵され、排気口４か
ら排気されることになる。シロッコファン１０は、必ず
もプレフィルタ９とへパフィルタ８との間に位置させる
必要はなくプレフィルタ９と吸気口６との間に設けられ
ていてもよい、しかし、シロッコファン１０が動作する
と、それ自体が発塵するので、ヘパフィルタ８と排気口
４との間にそれが設けられていると、シロッコファン１
０によって発生した塵埃が排気口４から排出されること
になり、好ましくない。
矢印で示すように、吸気口６から吸気されて、プレフィ
ルタ９とへパフィルタ８によって除塵され、排気口４か
ら排気されることになる。シロッコファン１０は、必ず
もプレフィルタ９とへパフィルタ８との間に位置させる
必要はなくプレフィルタ９と吸気口６との間に設けられ
ていてもよい、しかし、シロッコファン１０が動作する
と、それ自体が発塵するので、ヘパフィルタ８と排気口
４との間にそれが設けられていると、シロッコファン１
０によって発生した塵埃が排気口４から排出されること
になり、好ましくない。
次に、第２の実施例につき、第２図に従い説明する。こ
の実施例は、前記第１の実施例と近似する構造を呈して
おり、相違点は、吸気口６が室外側のパネル２に開設さ
れている点のみである。このように、吸気口６が室外側
のパネル２に形成されていると、クリーンルーム内を室
外に対して正圧にすることができる。
の実施例は、前記第１の実施例と近似する構造を呈して
おり、相違点は、吸気口６が室外側のパネル２に開設さ
れている点のみである。このように、吸気口６が室外側
のパネル２に形成されていると、クリーンルーム内を室
外に対して正圧にすることができる。
次に、第３の実施例につき、第３図に従い説明する。こ
の実施例では、プレフィルタ９が吸気口６の背面に近接
して設けられ、シロッコファン１０とへバフィルタ８と
の間に、冷媒が導入される熱交換器１１と加湿器１２と
ヒータ１３が設けられている。
の実施例では、プレフィルタ９が吸気口６の背面に近接
して設けられ、シロッコファン１０とへバフィルタ８と
の間に、冷媒が導入される熱交換器１１と加湿器１２と
ヒータ１３が設けられている。
湿度調節をも行なうことが可能となる。１４は、ヒータ
１３等を作動させるためのスイッチが備えられている操
作パネルである。
１３等を作動させるためのスイッチが備えられている操
作パネルである。
なお、熱交換器１１や加湿器１２等は、必ずしも全部必
要なものではなく、適宜組み合わせることにより、所望
の機能、仕様のものとすることができる。 次に、第４
の実施例につき、′第４図に従い説明する。この実施例
では、吸気口６が、パネル１．２の下端縁に装着されて
いる帯状板３ａに開設諮れ、排気口４は、パネル１．２
の上端縁に装着されている帯状板３ｂに開設されている
。なお、１７は中性能の第３のフィルタである。このよ
うに、吸気口６や排気口４が帯状板３ａ、 ３ｂに開設
され、クリーンルームの天井と床の夫々にバンデングメ
タル１５．１６が装着されていると、除塵された空気は
、室内を上部から下部に向けて鉛直方向に流れる。
要なものではなく、適宜組み合わせることにより、所望
の機能、仕様のものとすることができる。 次に、第４
の実施例につき、′第４図に従い説明する。この実施例
では、吸気口６が、パネル１．２の下端縁に装着されて
いる帯状板３ａに開設諮れ、排気口４は、パネル１．２
の上端縁に装着されている帯状板３ｂに開設されている
。なお、１７は中性能の第３のフィルタである。このよ
うに、吸気口６や排気口４が帯状板３ａ、 ３ｂに開設
され、クリーンルームの天井と床の夫々にバンデングメ
タル１５．１６が装着されていると、除塵された空気は
、室内を上部から下部に向けて鉛直方向に流れる。
なお、吸気口６と排気口４のいずれか一方を、前記実施
例のようにパネル１．２に開設してもよい。
例のようにパネル１．２に開設してもよい。
次に、前記第１の実施例ないし第３の実施例を利用して
構成きれるクリーンルームについて、第５図に従い説明
する。
構成きれるクリーンルームについて、第５図に従い説明
する。
この図において、天井および本発明に係る壁部材と直交
する方向に立設されている一対の側壁は、周知のものと
同一のものであるので、図示を省略しである。
する方向に立設されている一対の側壁は、周知のものと
同一のものであるので、図示を省略しである。
Ａは第１の実施例に係る壁部材で、クリーンルーム内の
除塵のみを行なうものである。また、Ｂは第２の実施例
に係る壁部材で、室外の空気を清浄化して室内へ導入す
ることにより、クリーンルーム内を室外に対して正圧（
１，２５ａｕｇ）にするものである、更に、Ｃは第３の
実施例に係る壁部材で、クリーンルーム内の除塵のみな
らず、温度調節および湿度調節をも行なうものである。
除塵のみを行なうものである。また、Ｂは第２の実施例
に係る壁部材で、室外の空気を清浄化して室内へ導入す
ることにより、クリーンルーム内を室外に対して正圧（
１，２５ａｕｇ）にするものである、更に、Ｃは第３の
実施例に係る壁部材で、クリーンルーム内の除塵のみな
らず、温度調節および湿度調節をも行なうものである。
このクリーンルームを製造するには、床１８の上面に前
記ＡないしＣの各種の壁部材を適宜立設して、それ等の
間をボルト等にて連結すればよい。
記ＡないしＣの各種の壁部材を適宜立設して、それ等の
間をボルト等にて連結すればよい。
（ト）発明の効果
本発明では、除塵装置が壁部材に内蔵されているので、
この単一の壁部材を複数個組み立てるだけで、短期間に
高性能のクリーンルームを製造することができる。
この単一の壁部材を複数個組み立てるだけで、短期間に
高性能のクリーンルームを製造することができる。
また、従来の技術のように、フィルタを別途装着する必
要がないので、フィルタの上流側の塵埃が浮遊する空気
が、クリーンルーム内に漏出せず、除塵効゛率が低下す
ることはない。
要がないので、フィルタの上流側の塵埃が浮遊する空気
が、クリーンルーム内に漏出せず、除塵効゛率が低下す
ることはない。
更に、除塵装置がクリーンルームの内部に突出すること
がないので、このクリーンルームを有効に活用すること
ができる。
がないので、このクリーンルームを有効に活用すること
ができる。
更にまた、壁部材は、工場にて量産できるので、短時間
かつ安価に製造することができる。
かつ安価に製造することができる。
また、壁部材を移設するだけで、クリーンルームの広さ
および形状を容易に変更でき、クリーン度のクラスが異
なる複数種のクリーンルームを、容易に並設することも
できる。
および形状を容易に変更でき、クリーン度のクラスが異
なる複数種のクリーンルームを、容易に並設することも
できる。
図面はいずれも本発明の実施例を示し、第１図は第１の
実施例を示す一部断面斜視図、第２図は第２の実施例を
示す縦断面図、第３図は第３の実施例を示す縦断面図、
第４図は第４の実施例を示す縦断面図、第５図は第１な
いし第３の実施例を組み立てることにより構成されるク
リーンルームを示す斜視図である。 １．２・・・パネル、３・・・帯状板、４・・・排気口
、６・・・吸気口、８・・・ヘパフィルタ、９・・・プ
レフィルタ、１０・・・シロラフファン（送風装置）、
１１・・・熱交換器、１２・・・加湿器、１３・・・ヒ
ータ。
実施例を示す一部断面斜視図、第２図は第２の実施例を
示す縦断面図、第３図は第３の実施例を示す縦断面図、
第４図は第４の実施例を示す縦断面図、第５図は第１な
いし第３の実施例を組み立てることにより構成されるク
リーンルームを示す斜視図である。 １．２・・・パネル、３・・・帯状板、４・・・排気口
、６・・・吸気口、８・・・ヘパフィルタ、９・・・プ
レフィルタ、１０・・・シロラフファン（送風装置）、
１１・・・熱交換器、１２・・・加湿器、１３・・・ヒ
ータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所定寸法だけ離間して、平面が対向するように平行
並設された２枚のパネルと、両パネル間の空間を閉塞す
べくパネルの周囲に装着されている帯状板とからなる、
単一の壁部材であって、前記パネルの一側端縁近傍、若
しくは当該端縁に装着されている帯状板に、吸気口が開
設され、他側端縁近傍、若しくは当該端縁に装着されて
いる帯状板に、排気口が開設され、この排気口の気流方
向に沿って上流側に塵埃を除去するフィルタが設けられ
、このフィルタと前記吸気口との間に送風装置が備えら
れていることを特徴とする除塵装置内蔵の壁部材。 ２、送風装置と吸気口との間に、粗塵を除去するための
プレフィルタが装着されている特許請求の範囲第１項記
載の除塵装置内蔵の壁部材。 ３、フィルタと送風装置との間に、ヒータが装着されて
いる特許請求の範囲第１項若しくは第２項記載の除塵装
置内蔵の壁部材。 ４、フィルタと送風装置との間に、加湿器が装着されて
いる特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記
載の除塵装置内蔵の壁部材。 ５、フィルタと送風装置との間に、冷媒が導入される熱
交換器が装着されている特許請求の範囲第１項ないし第
４項のいずれかに記載の除塵装置内蔵の壁部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60045369A JPS61202028A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | 除塵装置内蔵の壁部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60045369A JPS61202028A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | 除塵装置内蔵の壁部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61202028A true JPS61202028A (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=12717354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60045369A Pending JPS61202028A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | 除塵装置内蔵の壁部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61202028A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62135041U (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-25 | ||
| JPS63172091U (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-09 | ||
| JPH01150707U (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-18 | ||
| JPH01151148U (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-18 | ||
| JPH029612U (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-22 | ||
| JPH05103737A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-27 | Techno Ryowa:Kk | 自動清掃装置 |
| JPH0552019U (ja) * | 1991-12-17 | 1993-07-09 | 東陶機器株式会社 | トイレの間仕切り |
| WO2012114572A1 (ja) * | 2011-02-21 | 2012-08-30 | パナソニック株式会社 | 空気循環パネル |
| JP2012180986A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Sekisui Chem Co Ltd | 除塵装置 |
| JP2013541478A (ja) * | 2010-07-27 | 2013-11-14 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 制御された雰囲気で物品を保管するための装置 |
| CN105464418A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-04-06 | 洛阳市环城供电局 | 一种隔离开关检修平台装置 |
-
1985
- 1985-03-06 JP JP60045369A patent/JPS61202028A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9863655B2 (en) | 2010-07-27 | 2018-01-09 | L'Air Liquide, Société Anonyme l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Device for storing articles in controlled atmosphere |
| WO2012114572A1 (ja) * | 2011-02-21 | 2012-08-30 | パナソニック株式会社 | 空気循環パネル |
| JP2012172885A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Panasonic Corp | 空気循環パネル |
| JP2012180986A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Sekisui Chem Co Ltd | 除塵装置 |
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