JPH0538821Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンルームに使用するフイルタ
ダクトのユニツトに関するものである。

〔従来の技術〕

例えば半導体ウエハー等の製造を行なうクリー
ンルームは、室内空気に対して高度の清浄度が要
求される。

従来、この種のクリーンルームとしては、例え
ば第３図に示す全面ラミナーフロー方式（全面天
井吹出し）や第４図に示すコンベンシヨナル方式
（部分天井吹出し）が用いられている。

全面ラミナーフロー方式では、第３図に示す如
く、クリーンルームＲの上部一杯に天井チヤンバ
Tcを設け、この天井チヤンバTcの下面全体にフ
イルタＨとしてHEPA（High Efficiency
Particulate Airfilter）が敷設されており、この
フイルタＨを通過させることにより循環空気ａの
清浄度を高めると共に、クリーンルームＲへ下降
層流を吹き出している。

又、コンベンシヨナル方式では、第４図に示す
如く、クリーンルームＲの上部に張設した天井板
Tbの所要箇所にフイルタＨを下面に設けたフイ
ルタチヤンバHcを複数個配設し、それぞれに分
岐した送気ダクトDsを導き、クリーンルームＲ
内へ清浄度を高めた清浄空気ａを部分的に下方へ
吹き出している。

然し、従来のクリーンルームに於ける空気清浄
手段は上記のように構成されているので、全面ラ
ミナーフロー方式では、清浄空気流は、整斉とし
て層流となるが、天井チヤンバを必要とし、フイ
ルタも全面敷設となるため、室内天井が低くなる
ばかりか、材料費や施設麹費が効果になるという
不具合がある。

又、コンベンシヨナル方式では、フイルタチヤ
ンバのフイルタ部分が天井板下面に突き出してお
り、而も清浄空気の吹出しが下方の一方向だけで
あるため、突出部分の側方に渦流が発生して停滞
し、循環気流とならないので、清浄することがで
きないという欠点がある。

そこで、出願人は、先に、天井チヤンバーやフ
イルタチヤンバーを必要とせず、室内天井を高く
することが出来るばかりか、低コスト化を計るこ
とが可能であり、且つ、室内上部に渦流を滞留さ
せることなく、整斉とした清浄空気の層流が得ら
れるフイルタダクト方式のクリーンルームを出願
した（特願昭62−16163号、特願昭62−248875号、
実願昭62−9825号及び実願昭62−151020号）。

これを第５図に基づいて説明する。

１はクリーンルームを示し、２はこのクリーン
ルーム１の天井１ｔ及び壁面１ｓに取り付けた天
井隅用フイルタダクト、３はこの天井隅用フイル
タダクト２に対し所要の間隔をもつて併設された
天井フイルタダクト、４は両フイルタダクト２，
３のほぼ中央に併設された照明器具５の保持を兼
ねた整流部材である。そして、側壁１ｓ，１ｓそ
れぞれの下部両隅付近に開口した吸出孔１ａから
室内１ｎの清浄空気ａは、排気ダクトDeにより
前記クリーンルーム１の外部に設置された送風フ
アンＦに導かれ、更に送気ダクトDsを通り、そ
れぞれの分岐ダクトDbを介して天井隅用フイル
タダクト２及び天井用フイルタダクト３へ送られ
るようになつている。

此処で、天井隅用フイルタダクト２及び天井フ
イルタダクト３に用いるフイルタ６は、第６図に
示す如く、内外からセパレータ７が嵌入して形状
保持がなされている。

このクリーンルーム１によれば、清浄空気が、
天井隅用フイルタダクト２から90度方向へ、又天
井フイルタダクト３から180度方向へ吹き出され
ると、横方向へ進む清浄空気は、整流部材４によ
つて円滑に進路を下方向へ案内され、斜め方向へ
進む清浄空気は、下方向へ向かう清浄空気と合流
して下方向へ向かい、下方向へ向かう清浄空気
は、そのまま床へ向かい、これらが総合されて層
流となる。

〔考案が解決しようとする課題〕

然し、上述の如きセパレータ７を用いたフイル
タ６は、山谷の高さが150mm程度となるようにコ
ルゲート状に折り曲げられたものであるため、天
井隅用フイルタダクト２及び天井フイルタダクト
３の床方向への突出量が大きくなり、室内空間を
制約するという問題がある。

そこで、山谷の高さが小さいセパレータレスタ
イプのフイルタを使用することが検討されたが、
このセパレータレスタイプのフイルタでは、フイ
ルタ自体が支えを持つていないので、天井隅用フ
イルタダクト２及び天井フイルタダクト３から清
浄空気が吹き出される時、風速がばらつく虞があ
り、又、天井隅用フイルタダクト２及び天井フイ
ルタダクト３内を清浄空気が通過する時に、風速
で振動したり、損傷したりする虞がある。

本考案は斯かる従来の問題点を解決するために
為されたもので、その目的は、セパレータレスタ
イプのフイルタを使用しても、吹出量が均一化さ
れると共に、清浄空気の通過時にフイルタが振動
したり損傷したりしないようにしたクリーンルー
ム用フイルタダクトユニツトを提供することにな
る。

〔課題を解決するための手段〕

本考案に係るクリーンルーム用フイルタダクト
ユニツトは、セパレータが配設されていないクリ
ーンルーム用エアフイルタの内面側と外面側に、
少なくとも一側に湾曲部を有し、多数の小孔を穿
設した剛性材料からなる板材を配設したものであ
る。

〔作用〕

本考案に於ては、クリーンルーム用エアフイル
タの内側を流れる清浄空気は、クリーンルーム用
エアフイルタに直接当たることなく、内側面に配
設した多数の小孔を穿設した剛性材料からなる板
材によつて案内され乍ら進行方向へ流動すると共
に、内側面の板材の無数の孔からクリーンルーム
用エアフイルタ側へ流出し、更に、外側面に配設
した多数の小孔を穿設した剛性材料からなる板材
の無数の孔から均一に分散してクリーンルーム内
に吹き出される。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図は本考案の一実施例に係るクリーンルー
ム用フイルタダクトユニツトを示すもので、２０
はセパレータが配設されていないクリーンルーム
用エアフイルタを表す。

このクリーンルーム用エアフイルタ２０は、山
谷の高さが50mm程度になるようにコルゲート状に
折り曲げられている。そして、このクリーンルー
ム用エアフイルタ２０は、可撓性を有する。

このクリーンルーム用エアフイルタ２０の内面
側と外面側には、多数の小孔３１，３３を穿設し
たパンチング板３０，３２が配設されている。両
パンチング板３０，３２にが、クリーンルーム用
エアフイルタ２０の両面側の全域に亘つて当接す
ると、クリーンルーム用エアフイルタ２０は可撓
性を有するため、両パンチング板３０，３２の形
状に倣いダクト形状が形成されることになる。本
例では、両側が湾曲した天井フイルタダクトとし
て機能するものとして説明する。

両パンチング板３０，３２の両端部には、天井
板３４が取り付けられ、第５図に於ける天井フイ
ルタダクト３とされている。

斯くして、クリーンルーム用エアフイルタ２０
は、両パンチング板３０，３２によつて内外面が
被われ、且つ両端部が天井板３４によつて拘束さ
れることになる。

次に、斯くして構成された本実施例の作用を説
明する。

天井フイルタダクト３内に清浄空気が供給され
ると、清浄空気はクリーンルーム用エアフイルタ
２０に直接当たることなく、内側のパンチング板
３０によつて案内され乍ら進行方向へ流動すると
共に、内側のパンチング板３０の無数の小孔３１
からクリーンルーム用エアフイルタ２０側へ流出
して行く。この際、クリーンルーム用エアフイル
タ２０は、清浄空気と直接接することがないの
で、直に接する時に比して振動が小さくなる。
又、内側のパンチング板３０の多数の小孔３１か
らクリーンルーム用エアフイルタ２０内に清浄空
気が流入する時には、小孔３１による整流作用を
受け、整然とした流れとなつて流入する。そし
て、クリーンルーム用エアフイルタ２０を通過し
た清浄空気は、外側のパンチング板３２の多数の
小孔３３を通つて再び整流作用を受け乍ら、均一
に分散してクリーンルーム内に吹き出されて行
く。

以上の如く、本実施例によれば、天井フイルタ
ダクト３が一種の風導管として機能し、その中を
清浄空気が通過する時に、清浄空気が内部のクリ
ーンルーム用エアフイルタ２０には直接当たらな
いため、従来のセパレータレスタイプのフイルタ
の如く、清浄空気の風速によつて振動することが
無くなると共に、風速によつて損傷する虞も無く
なる。又、内外のパンチング板３０，３２の小孔
３１，３３によつて、清浄空気の流入、流出時に
整流作用を受け、無垢のエアフイルタに比して風
速の均一化が図られることになる。更に、クリー
ンルーム用エアフイルタ２０の両端は、両パンチ
ング板３０，３３の両端から突出しないように天
井板３４が取り付けられているので、クリーンル
ーム用エアフイルタ２０が損傷する虞がなくな
る。

尚、上記実施例では、本考案に係るクリーンル
ーム用フイルタダクトユニツトを第５図に於ける
天井フイルタダクト３に適用した場合について説
明したが、天井隅用フイルタダクト２としても適
用出来ることは言うまでもない。この場合は、一
側が第５図に示すように、天井板３４から略直角
に折れ曲がると共に、その部位からは空気が流出
しないようにしてあるので、この部位に板材を配
設する。これによつて、第５図に示すように、略
半円弧状の部位にのみクリーンルーム用エアフイ
ルタ２０が設けられ、その他の部位には板材が設
けられた形状となる。尚、クリーンルーム用エア
フイルタ２０の端部と板材との境界部分には、空
気漏れを防止するためにシールパツキン等が設置
される。

又、本考案はダクトユニツトとして機能するた
めに適宜の連結手段を取り付けて使用されること
は当然であるので、上記実施例ではそれらの説明
を省略した。

〔考案の効果〕

以上の如く、本考案によれば、セパレータが配
設されていないクリーンルーム用エアフイルタの
内面側と外面側に、少なくとも一側に湾曲部を有
する多数の小孔を穿設した剛性材料からなる板材
を配設したものであるから、山谷の高さを小さく
してセパレータを省略したクリーンルーム用エア
フイルタを使用しても、清浄空気の流通に伴う振
動及び損傷が防止できると共に、内面側と外面側
に配設した多数の小孔を穿設した剛性材料からな
る板材を清浄空気が通過することによつて均一な
吹出しが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係るクリーンルー
ム用フイルタダクトユニツトを斜視図である。第
２図は第１図に於ける縦断面図である。第３図は
従来の全面ラミナーフロー方式によるクリーンル
ームの概要構成を示す正面図である。第４図は従
来のコンベンシヨナル方式によるクリーンルーム
の概要を示す正面図である。第５図は出願人によ
り先に出願されたクリーンルームの透視斜視図で
ある。第６図は従来のセパレータタイプのエアフ
イルタを示す断面図である。 主要な部分の符号の説明、１……クリーンルー
ム、１ｎ……室内、２……天井隅用フイルタダク
ト、３……天井用フイルタダクト、４……整流部
材、２０……クリーンルーム用エアフイルタ、３
０，３１……パンチング板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. セパレータが配設されていないクリーンルーム
   用エアフイルタの内面側と外面側に、少なくとも
   一側に湾曲部を有し、多数の小孔を穿設した剛性
   材料からなる板材を配設したことを特徴とするク
   リーンルーム用フイルタダクトユニツト。