JPH0462345A - クリーンルーム内の吸気ダクト方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、クリーンルームのクリーン度向上の方法に係
り、特にクリーンルームの塵埃除去率を向上させる吸気
ダクト方式に関する。

〔従来の技術〕

従来、クリーンルームの方式には、在来型乱流方式、垂
直層流方式、水平層流方式がある。

在来型乱流方式には、一般の空調と同様に天板の吹出口
から送風され、部屋の隅に設けた吸込口から換気をとる
方式で、気流が乱れやすく、塵埃が回収されにくいとい
う難点がある。それを改善して、高級クリーンルームに
適する方式が垂直層流方式で、天井全体を吹出口として
床に適当な開孔をし気流を床に向けて垂直に出す方式で
、作業全域にわたり高い清浄度が得られる。又水平層流
方式とは、壁−面を吹出口とし、塵埃が沈む前に反対側
の吸込口まで運びつる適当な速さで空気を出す方式だが
、下流はど汚染がひどくなるのが欠点である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記、在来型乱流方式の従来技術においては、吸気ダク
トから離れている、吸引力の少ないクリーンルームの中
央部での塵埃堆積防止策についての配慮がされていない
。また、床に堆積してしまった塵埃の除去方法について
の配慮がされていない。このため、上述したような従来
の方式では、気流の乱れの発生もあって、クリーンルー
ムのクリーン度を維持していくのに、解決すべき課題が
あった。

一方、吸気ダクト内のコーナ一部では、気流が乱れて渦
が発生する。この渦によって発生するコーナ一部での塵
埃堆積、吸気ダクトの吸引効率の低下に対する防止策に
ついて、配慮がされておらず、渦の発生を防ぐという解
決すべき課題があった。本発明の目的は、クリーンルー
ム内の塵埃除去率が向上するダクト方式を提供すること
にある。

また１本発明の他の目的は、床に堆積している塵埃の除
去の為の補助具（ダクトテーブル）を提供することにあ
る。

さらに、本発明の他の目的は、吸気ダクト内のコーナ一
部での渦の発生を防ぐことのできる、補助具（ダクトボ
ード）を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

まず、クリーンルーム内の除塵方法として、クリーンル
ーム内に設けた吸気ダクトをクリーンルーム内の柱の横
に取り付け、更にダクト吸引口を床面付近に設けること
で、床面付近に堆積した塵埃を効率良く、除去すること
が可能となった。

また、床面付近に設けた吸引口付近で、気流の乱れによ
り発生する渦を防止するため、渦が発生しやすい場所、
特に吸引口付近にダクトボードやダクトテーブルを設け
、気流を乱流から層流へと変えることで、吸引効率の向
上を図っている。

ここで用いたダクトポートやダクトテーブルの材料は、
それ自身が発塵しないものを選定するとともに、床面と
の取付は箇所に段差がないようにしている。

〔作用〕

本発明は、吸気ダクトの位置を床面付近にすることは、
塵埃数の多い床付近の塵埃効果を向上させることで、ク
リーンルームのクリーン度の維持、向上が可能になる。

また、吸気ダクト内のコーナ一部に、ダクトボードを設
置すれは、渦の発生がなくなり、吸気ダクトの気流を滑
らかにする。

ダクトテーブルの設置については、床面付近の塵埃除去
に効果的であり、これは吸引口での吸気流速の向上と、
傾斜面を利用することによるものである。

〔実施例〕

第１図は、本発明の一実施例である吸気ダクト部の概略
図、第３図は、在来型乱流方式のクリーンルーム内での
気流と、吸気ダクトの設置場所をそれぞれ示した図であ
る。

まず、第３図により本実施例のクリーンルーム内の吸気
システムの概略構成を説明する。

本実施例のクリーンルーム内は、クリーンルームの壁に
設けられた吸気ダクト１ｃと天井に設けられたエアー吹
出口２Ｃから構成されている。吸気ダクトの吸引口は、
床面付近に設けられクリーンルーム内に上から下への気
流を作り、この気流によって除塵効果を上げている。こ
れは特に、塵埃数の多い床面付近の塵埃を取りやすくし
ている。

また、このクリーンルームはクラス１万である。

次に第１図により本実施例の吸気ダクト方式を説明する
。

本実施例の吸気ダクト方式は、クリーンルーム内の床面
付近に堆積した塵埃を吸込みやすくする方法で、クリー
ンルームの壁に設けられた、吸気ダクト１ａと、吸気ダ
クトｌａ内の気流を良くする為に設けられたダクトボー
ド２ａから構成されている。吸気ダクトｌａの形状は、
四角柱で図に示してはいないが、クリーンルーム外の空
気調和器につながっている。ダクトポート２ａは、平板
を用いており、その大きさは、吸気ダクトｌａ内で４５
°傾斜時の面積である。また、ダクトボード２ａは吸引
口下部と段ができないように先端にテーパーを付ける。

材質は、自身からの発塵のないもの（ステンレス）とす
る。

また、気流はＡからＢ方向へと流れ、ダクトポート２ａ
により渦の発生を少なくシ（乱れなく）空気調和器へと
導かれる。

上記ダクト方式の応用例として、第２図に示すように、
ダクトボードを曲板にした場合の実施例を示す。

この場合、前述の平板ボードより、更に吸引口付近での
渦の発生をおさえ、気流の流線を一様化し、層流状態に
することから塵埃の吸引効率を向上出来る。

また、第４図は、本発明の一実施例である吸気ダクト部
の概略図、第６図は、在来型乱流方式のクリーンルーム
内での気流と、吸気ダクトの設置場所をそれぞれ示した
図である。

まず、第６図により、本実施例のクリーンルーム内の吸
気システムの概略構成を説明する。

本実施例のクリーンルーム内は、天井に設けられたエア
ー吹出口２ｆと敷地面積が大きい為中央部に塵埃が堆積
することから、クリーンルーム内の柱の横にそれぞれ取
り付けられた吸気ダクト１ｆから構成されている。吸気
ダクト１ｆの吸引口床面から３０ｃｍの高さのところに
設置し、クリーンルーム内に上から下への気流を作り、
この気流によって塵埃効果を上げている。これは、特に
塵埃数の多い床面付近の塵埃を取りやすくしている。ま
たこのクリーンルームは、クラス１万である。

また、第４図により、本実施例のダクト方式を説明する
。

本実施例の吸気ダクト部は、吸気ダクト１ｄとクリーン
ルーム内に堆積した塵埃を吸込みやすくする為に、吸気
ダクト１ｄの下部に設けたダクトテーブル２ｄとで構成
されている。

吸気ダクトｌｄの形状は、四角柱で１面を柱に堀つけて
いる。また、ダクトテーブル２ｄの形状は、四角柱で１
面を柱に堀つけ残り３面に傾斜をつけている。ダクトテ
ーブルの高さは、吸引口よりも高くしておき、これによ
って吸引口での吸気面積が小さくなり、吸気流速が上が
る。ダクトテーブルの材質は、自身からの塵埃の発生が
ないものくステンレス）とする。

また、気流はＡからＢ方向へと流れ、ダクトテーブルに
より、気流を滑らかにし、気流調和器へと導かれる。

上記ダクト方式の応用例として、第５図に示すように、
ダクトポートの傾斜面を曲板にした場合の実施例を示す
。

この場合、前述の平板テーブルより、更に吸引口付近の
気流が滑らかになり、流線を一様化し。

層流状態にすることから、塵埃の吸引効率を向上８来る
。

〔発明の効果〕

本発明は、クリーンルーム内の吸気ダクトの吸引口にダ
クトボートやダクトテーブルを取り付けることだけで、
塵埃除去率を向上させる効果がある。

実際に、クラス１万のクリーンルームで、本発明を実施
したところ、クラスを２千程度にすることができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の吸気ダクト部の概略図、第
２図はダクトボードが曲板の吸気ダクトを示した図、第
３図は在来型乱流方式のクリーンルーム内を示した図、
第４図はダクトテーブルの傾斜面に平板を使用した吸気
ダクト方式を示した図、第５図はダクトテーブルの傾斜
面に曲板を使用した吸気ダクト方式を示した図、第６図
は吸気ダクトをそれぞれの柱に取り付け、吸引口を床面
付近にした吸気ダクトを持つクリーンルーム内を示した
図である。 ｌａ、　ｌｂ、　ｌｃ、　ｌｄ、　ｌｅ、　ｌｆ−・・
吸気ダクト、２ａ、２ｂ・・・ダクトボード、 ２ｃ、　２ｆ・・・エアー吹出口、 ２ｄ、　２ｅ・・・ダクトテーブル、 ３ａ。 ｆ ４ａ。 ４ｄ。 ５ａ。 ３ｂ、　３ｄ、　３ｅ−吸引口、 クリーンルーム柱、 ４ｂ・・・クリーンルーム壁、 ４ｅ・・・クリーンルーム柱、 ５ｂ・・クリーンルーム床。 纂 ／ｃ−一一ν反夕（γ゛ク ト０−ニアープ（出口 纂 ｆｆ−一一吸気ダ゛グト ２ｆ−−一エアー吸引− ３チー・−クリーンルー・（牲−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、クリーンルーム内部の床面付近に吸気ダクトを設け
   たことを特徴とするクリーンルーム内の吸気ダクト方式
   。