JP2817605B2 - クリーンルーム用自動倉庫 - Google Patents
クリーンルーム用自動倉庫Info
- Publication number
- JP2817605B2 JP2817605B2 JP5345702A JP34570293A JP2817605B2 JP 2817605 B2 JP2817605 B2 JP 2817605B2 JP 5345702 A JP5345702 A JP 5345702A JP 34570293 A JP34570293 A JP 34570293A JP 2817605 B2 JP2817605 B2 JP 2817605B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean air
- automatic warehouse
- shelf
- ceiling
- warehouse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム用自動倉
庫に関する。特に、自動倉庫内のクリーン度を高クリー
ン度に維持することができるクリーンルーム用自動倉庫
に関するものである。
庫に関する。特に、自動倉庫内のクリーン度を高クリー
ン度に維持することができるクリーンルーム用自動倉庫
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルーム用自動倉庫は、図
２に示すように、自動倉庫Ｗ内にグレーチング１１から
クリーンエアを取り入れ、この取り入れたクリーンエア
を循環ファン１０で棚Ｔに循環させるようになってい
る。
２に示すように、自動倉庫Ｗ内にグレーチング１１から
クリーンエアを取り入れ、この取り入れたクリーンエア
を循環ファン１０で棚Ｔに循環させるようになってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のクリー
ンルーム用自動倉庫は、クリーンエアの取り入れ口にグ
レーチング１１を用いており、グレーチング１１の下面
のダストが自動倉庫内へへ吸引されやすかった。このた
め、高クリーン度を維持するのが困難であった。
ンルーム用自動倉庫は、クリーンエアの取り入れ口にグ
レーチング１１を用いており、グレーチング１１の下面
のダストが自動倉庫内へへ吸引されやすかった。このた
め、高クリーン度を維持するのが困難であった。
【０００４】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、自動倉庫内のクリーン度を高クリーンに維持する
ことができるクリーンルーム用自動倉庫を提供すること
にある。
決し、自動倉庫内のクリーン度を高クリーンに維持する
ことができるクリーンルーム用自動倉庫を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のクリーンルーム用自動倉庫は、天井からクリ
ーンエアが吹き降ろされる建物内に設備され、前記天井
からクリーンエアを直接倉庫内に取り入れるようにした
自動倉庫であって、前記天井と平行に設けられたパーテ
イションと、該パーテイションに設けられ、前記天井か
ら吹き降ろされるクリーンエアを自動倉庫内に導く導入
口と、棚の背面側に配置され、前記導入口より導かれた
クリーンエアを前記棚の背面側へ導くための前記棚に共
通なダクトと、前記棚の背面側に取り付けられ、前記ダ
クトに導かれたクリーンエアを前記棚へ導く精密整流板
と、クレーンの軌道下に設けられ、前記棚の前面側より
流出したクリーンエアを自動倉庫外に排出する排出口と
を備えているとともに、前記天井から吹き降ろされ、前
記導入口から前記自動倉庫内に導かれたクリーンエアの
流れのみによって、塵埃を前記排出口から排出するよう
にしたものである。
に本発明のクリーンルーム用自動倉庫は、天井からクリ
ーンエアが吹き降ろされる建物内に設備され、前記天井
からクリーンエアを直接倉庫内に取り入れるようにした
自動倉庫であって、前記天井と平行に設けられたパーテ
イションと、該パーテイションに設けられ、前記天井か
ら吹き降ろされるクリーンエアを自動倉庫内に導く導入
口と、棚の背面側に配置され、前記導入口より導かれた
クリーンエアを前記棚の背面側へ導くための前記棚に共
通なダクトと、前記棚の背面側に取り付けられ、前記ダ
クトに導かれたクリーンエアを前記棚へ導く精密整流板
と、クレーンの軌道下に設けられ、前記棚の前面側より
流出したクリーンエアを自動倉庫外に排出する排出口と
を備えているとともに、前記天井から吹き降ろされ、前
記導入口から前記自動倉庫内に導かれたクリーンエアの
流れのみによって、塵埃を前記排出口から排出するよう
にしたものである。
【０００６】
【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。
な作用効果を奏する。
【０００７】自動倉庫の上部には、自動倉庫内にクリー
ンエアが自由に流入するのを規制する天板が設けられて
おり、この天板に、建物の天井からのクリーンエアを自
動倉庫内に導く導入口が設けられているので、建物の天
井から吹き降ろされたクリーンエアは、この天板の導入
口を通じてのみ自動倉庫内に流入することとなる。導入
口から自動倉庫内に流入したクリーンエアは、ダクトに
より棚の背面側へ導かれた後、精密整流板によって棚に
ほぼ均等に導かれ、その後、棚の前面側より流出して、
下部に設けられた排出口から自動倉庫外へ排出されるこ
ととなり、自動倉庫内を導入口から排出口に向けて一つ
の方向に流れることとなる。これにより、例えば、棚の
前面側に配置されたクレーン等から塵埃が発生したとし
ても、これが棚内に入り込んでしまうということが阻止
されることとなり、クレーン等から発生した塵埃は、上
述したクリーンエアの流れによって排出口に運ばれて自
動倉庫の下部に排出されることとなる。したがって、本
発明のクリーンルーム用自動倉庫によれば、棚内が塵埃
によって汚染されてしまうということがなくなり、棚内
が高クリーン度に維持されるという効果が得られる。棚
の背面側には精密整流板のみが取り付けられており、天
井より吹き下ろされて自動倉庫内に導かれたクリーンエ
アは、ダクトにより棚の背面側へ導かれた後、棚の背面
側から前面側へ自然流出的に流れることとなる。 したが
って、本発明のクリーンルーム用自動倉庫によれば、棚
の背面側にファン等を設けることなく、棚にほぼ均等に
クリーンエアを送ることができるという効果が得られ
る。
ンエアが自由に流入するのを規制する天板が設けられて
おり、この天板に、建物の天井からのクリーンエアを自
動倉庫内に導く導入口が設けられているので、建物の天
井から吹き降ろされたクリーンエアは、この天板の導入
口を通じてのみ自動倉庫内に流入することとなる。導入
口から自動倉庫内に流入したクリーンエアは、ダクトに
より棚の背面側へ導かれた後、精密整流板によって棚に
ほぼ均等に導かれ、その後、棚の前面側より流出して、
下部に設けられた排出口から自動倉庫外へ排出されるこ
ととなり、自動倉庫内を導入口から排出口に向けて一つ
の方向に流れることとなる。これにより、例えば、棚の
前面側に配置されたクレーン等から塵埃が発生したとし
ても、これが棚内に入り込んでしまうということが阻止
されることとなり、クレーン等から発生した塵埃は、上
述したクリーンエアの流れによって排出口に運ばれて自
動倉庫の下部に排出されることとなる。したがって、本
発明のクリーンルーム用自動倉庫によれば、棚内が塵埃
によって汚染されてしまうということがなくなり、棚内
が高クリーン度に維持されるという効果が得られる。棚
の背面側には精密整流板のみが取り付けられており、天
井より吹き下ろされて自動倉庫内に導かれたクリーンエ
アは、ダクトにより棚の背面側へ導かれた後、棚の背面
側から前面側へ自然流出的に流れることとなる。 したが
って、本発明のクリーンルーム用自動倉庫によれば、棚
の背面側にファン等を設けることなく、棚にほぼ均等に
クリーンエアを送ることができるという効果が得られ
る。
【０００８】
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１０】図１は本発明に係るクリーンルーム用自動
倉庫の一実施例を示す構造説明図である。
倉庫の一実施例を示す構造説明図である。
【００１１】同図において、１は建物の天井Ｈ内に設け
られたクリーンエア供給ユニットであり、クリーンエア
吹き出し孔２が天井面に設けられている。
られたクリーンエア供給ユニットであり、クリーンエア
吹き出し孔２が天井面に設けられている。
【００１２】３は自動倉庫Ｗの天板を成すパーテイショ
ンであり、天井Ｈより吹き降ろされたクリーンエアが自
動倉庫Ｗ内に自由に流入するのを規制するようになって
いる。４はパーテイション３の上部に設けられた清浄フ
ィルタであり、天井Ｈより吹き降ろされたクリーンエア
をさらに清浄するようになっている。５，５はパーテイ
ション３に設けられた導入口であり、清浄フィルタ４を
通ったクリーンエアを棚Ｔ１，Ｔ２にそれぞれ導くよう
になっている。６，６は棚Ｔ１，Ｔ２の背面側に配置さ
れたダクトであり、導入口５，５より導かれたクリーン
エアを棚Ｔ１，Ｔ２の背面側にそれぞれ導くようになっ
ている。
ンであり、天井Ｈより吹き降ろされたクリーンエアが自
動倉庫Ｗ内に自由に流入するのを規制するようになって
いる。４はパーテイション３の上部に設けられた清浄フ
ィルタであり、天井Ｈより吹き降ろされたクリーンエア
をさらに清浄するようになっている。５，５はパーテイ
ション３に設けられた導入口であり、清浄フィルタ４を
通ったクリーンエアを棚Ｔ１，Ｔ２にそれぞれ導くよう
になっている。６，６は棚Ｔ１，Ｔ２の背面側に配置さ
れたダクトであり、導入口５，５より導かれたクリーン
エアを棚Ｔ１，Ｔ２の背面側にそれぞれ導くようになっ
ている。
【００１３】７，７は精密整流板であり、導入口５，５
からダクト６，６へ供給されたクリーンエアを棚Ｔ１，
Ｔ２の各ラックＲへ導くようになっている。ダクト６，
６へ供給されたクリーンエアは、この精密整流板７，７
によって、各ラックＲへほぼ均等に導かれる。棚Ｔ１，
Ｔ２の背面側には、これら精密整流板７，７のみが取り
付けられている。
からダクト６，６へ供給されたクリーンエアを棚Ｔ１，
Ｔ２の各ラックＲへ導くようになっている。ダクト６，
６へ供給されたクリーンエアは、この精密整流板７，７
によって、各ラックＲへほぼ均等に導かれる。棚Ｔ１，
Ｔ２の背面側には、これら精密整流板７，７のみが取り
付けられている。
【００１４】８は自動倉庫の中央下部のクレーンＣの軌
道下に設けられたクリーンエアの排出口であり、グレー
チング９に臨ませてある。これにより、各ラックＲを通
って自動倉庫の中央下部Ｗ１へ流れてきたクリーンエア
は、排出口８を通ってグレーチング９に排出される。ま
た排出口８は、クレーンＣの軌道下に位置しているの
で、クレーンＣより発生する塵埃をグレーチング９へ好
適に排出することができる。
道下に設けられたクリーンエアの排出口であり、グレー
チング９に臨ませてある。これにより、各ラックＲを通
って自動倉庫の中央下部Ｗ１へ流れてきたクリーンエア
は、排出口８を通ってグレーチング９に排出される。ま
た排出口８は、クレーンＣの軌道下に位置しているの
で、クレーンＣより発生する塵埃をグレーチング９へ好
適に排出することができる。
【００１５】上述した本実施例のクリーンルーム用自動
倉庫によれば、自動倉庫Ｗの上部には、自動倉庫Ｗ内に
クリーンエアが自由に流入するのを規制するパーテイシ
ョン３が設けられており、このパーテイション３に、建
物の天井Ｈからのクリーンエアを自動倉庫Ｗ内に導く導
入口５，５が設けられているので、建物の天井Ｈから吹
き降ろされたクリーンエアは、このパーテイション３の
導入口５，５を通じてのみ自動倉庫Ｗ内に流入すること
となる。導入口５，５から自動倉庫Ｗ内に流入したクリ
ーンエアは、ダクト６，６により棚Ｔ１，Ｔ２の背面側
へ導かれた後、精密整流板７によって棚Ｔ１，Ｔ２にほ
ぼ均等に導かれ、その後、棚Ｔ１，Ｔ２の前面側より流
出して、下部に設けられた排出口８から自動倉庫Ｗ外へ
排出されることとなり、自動倉庫Ｗ内を導入口５，５か
ら排出口８に向けて一つの方向に流れることとなる。こ
れにより、例えば、棚Ｔ１，Ｔ２の前面側に配置された
クレーンＣから塵埃が発生したとしても、これが棚Ｔ
１，Ｔ２内に入り込んでしまうということが阻止される
こととなり、クレーンＣから発生した塵埃は、上述した
クリーンエアの流れによって排出口８に運ばれて自動倉
庫Ｗの下部に排出されることとなる。したがって、本発
明のクリーンルーム用自動倉庫によれば、棚Ｔ１，Ｔ２
内が塵埃によって汚染されてしまうということがなくな
り、棚Ｔ１，Ｔ２内が高クリーン度に維持されるという
効果が得られる。棚Ｔ１，Ｔ２の背面側には精密整流板
７，７のみが取り付けられており、天井Ｈより吹き下ろ
されて自動倉庫Ｗ内に導かれたクリーンエアは、ダクト
６，６により棚Ｔ１，Ｔ２の背面側へ導かれた後、棚Ｔ
１，Ｔ２の背面側から前面側へ自然流出的に流れること
となる。 したがって、本発明のクリーンルーム用自動倉
庫によれば、棚の背面側にファン等を設けることなく、
棚にほぼ均等にクリーンエアを送ることができるという
効果が得られる。
倉庫によれば、自動倉庫Ｗの上部には、自動倉庫Ｗ内に
クリーンエアが自由に流入するのを規制するパーテイシ
ョン３が設けられており、このパーテイション３に、建
物の天井Ｈからのクリーンエアを自動倉庫Ｗ内に導く導
入口５，５が設けられているので、建物の天井Ｈから吹
き降ろされたクリーンエアは、このパーテイション３の
導入口５，５を通じてのみ自動倉庫Ｗ内に流入すること
となる。導入口５，５から自動倉庫Ｗ内に流入したクリ
ーンエアは、ダクト６，６により棚Ｔ１，Ｔ２の背面側
へ導かれた後、精密整流板７によって棚Ｔ１，Ｔ２にほ
ぼ均等に導かれ、その後、棚Ｔ１，Ｔ２の前面側より流
出して、下部に設けられた排出口８から自動倉庫Ｗ外へ
排出されることとなり、自動倉庫Ｗ内を導入口５，５か
ら排出口８に向けて一つの方向に流れることとなる。こ
れにより、例えば、棚Ｔ１，Ｔ２の前面側に配置された
クレーンＣから塵埃が発生したとしても、これが棚Ｔ
１，Ｔ２内に入り込んでしまうということが阻止される
こととなり、クレーンＣから発生した塵埃は、上述した
クリーンエアの流れによって排出口８に運ばれて自動倉
庫Ｗの下部に排出されることとなる。したがって、本発
明のクリーンルーム用自動倉庫によれば、棚Ｔ１，Ｔ２
内が塵埃によって汚染されてしまうということがなくな
り、棚Ｔ１，Ｔ２内が高クリーン度に維持されるという
効果が得られる。棚Ｔ１，Ｔ２の背面側には精密整流板
７，７のみが取り付けられており、天井Ｈより吹き下ろ
されて自動倉庫Ｗ内に導かれたクリーンエアは、ダクト
６，６により棚Ｔ１，Ｔ２の背面側へ導かれた後、棚Ｔ
１，Ｔ２の背面側から前面側へ自然流出的に流れること
となる。 したがって、本発明のクリーンルーム用自動倉
庫によれば、棚の背面側にファン等を設けることなく、
棚にほぼ均等にクリーンエアを送ることができるという
効果が得られる。
【００１６】
【００１７】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図１】本発明に係るクリーンルーム用自動倉庫の一実
施例を示す構造説明図。
施例を示す構造説明図。
【図２】従来のクリーンルーム用自動倉庫を示す概略
図。
図。
５ 導入孔 ７ 精密整流板 ８ 排出口 Ｗ 自動倉庫
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 F24F 7/06
Claims (1)
- 【請求項１】天井からクリーンエアが吹き降ろされる建
物内に設備され、前記天井からクリーンエアを直接倉庫
内に取り入れるようにした自動倉庫であって、前記天井
と平行に設けられたパーテイションと、該パーテイショ
ンに設けられ、前記天井から吹き降ろされるクリーンエ
アを自動倉庫内に導く導入口と、棚の背面側に配置さ
れ、前記導入口より導かれたクリーンエアを前記棚の背
面側へ導くための前記棚に共通なダクトと、前記棚の背
面側に取り付けられ、前記ダクトに導かれたクリーンエ
アを前記棚へ導く精密整流板と、クレーンの軌道下に設
けられ、前記棚の前面側より流出したクリーンエアを自
動倉庫外に排出する排出口とを備えているとともに、前
記天井から吹き降ろされ、前記導入口から前記自動倉庫
内に導かれたクリーンエアの流れのみによって、塵埃を
前記排出口から排出することを特徴とするクリーンルー
ム用自動倉庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5345702A JP2817605B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5345702A JP2817605B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07172506A JPH07172506A (ja) | 1995-07-11 |
| JP2817605B2 true JP2817605B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=18378393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5345702A Expired - Lifetime JP2817605B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817605B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000016521A (ja) | 1998-07-02 | 2000-01-18 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
| JP4696394B2 (ja) * | 2001-05-18 | 2011-06-08 | ムラテックオートメーション株式会社 | ストッカ |
| JP3788296B2 (ja) * | 2001-09-10 | 2006-06-21 | 株式会社ダイフク | クリーンルーム用の物品保管設備 |
| JP2006128559A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理システム |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59134775A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-08-02 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 新規モノスルホニルキノン誘導体 |
| JPH0141684Y2 (ja) * | 1984-09-04 | 1989-12-08 | ||
| US4674741A (en) * | 1985-08-05 | 1987-06-23 | Bally Manufacturing Corporation | Rowing machine with video display |
| JPS62217036A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | ストツカ |
| JPS63197213U (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-19 | ||
| JP3067325B2 (ja) * | 1991-10-17 | 2000-07-17 | 神鋼電機株式会社 | クリーンルーム用気密ストッカー |
-
1993
- 1993-12-22 JP JP5345702A patent/JP2817605B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07172506A (ja) | 1995-07-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |