JPH01281351A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルームに係り、待に吸込面に吸収ファ
ンが設けられたクリーンルームに関する。

〔従来技術〕

半導体製造は無ｍ！！境を必要とするため、その製造は
通常クリーンルーム内で行われる。一般に、クリーンル
ームは、天井面に取付けられた複数のＨＥＰＡ　（高性
能）フィルタを通して清浄エアをクリーンルーム内に吹
き出し、そのルーム内のエアを通気構造を有する床面か
ら吸い込んで再び天井面のＨＥＰＡフィルタを通すエア
ｍｉ方式が採用され、清浄エアがルーム内に於いてダウ
ンフロー（層流）される。

第５図は従来のクリーンルーム内の清浄エアの流れの説
明図である。第５図に示すように清浄室内７０の天井面
７２は複数のＨＥＰ八フシフイルタフ３３・・・から構
成され、清浄エアの吹出面となっている。又、室内７０
の床７４は通気性を育するグレーチングで形成され、下
方に床下チャンバ７６が形成される。そして床下チャン
バ７６の側面下部にはエアの吸引ロア８．７８が形成さ
れる。

このような構成において、天井面７２から吹き出された
清浄エアの気流は第５図の風量線８０．８０・・・で示
され、清浄エアは真下に向かってダウンブローされる。

しかし室内７０に機器８２．８２等の障害物が設置され
ると、清浄エアの気流に乱れを生じ、エアの滞留域が形
成されて室内７０の清浄度を低下させる。そ°して、従
来このような機器８２．８２の障害物による清浄エアの
乱れを極力防止するためには、床下チャンバ７６を深く
形成して吸引ロア８．７８を床７４から離し、清浄室内
７０の気流に影響を与えないようにする。

又、第６図に示すように天井面７２の一部にはＨＥＰＡ
フィルタ７３が設置できない場合があり、このような場
合にも、清浄室７０内の清浄エアの気流は乱れるが、床
下チャンバ７６を深く形成することによって、室内７０
の気流の乱れは極力減少される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような清浄室内７０の気流の乱れを
解消するために、床下チャンバ７６を深く形成すること
は、クリーンルームの建屋が大きくなる不具合がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、清浄
エア流の乱れを防止することができると共に吸込側チャ
ンバのスペースが小さくなるクリーンルームを提案する
ことを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕 本発明は前記目的を達成するために、清浄エアの吹出面
と吸込面とが対向して設けられるクリーンルームに於い
て、前記吸込面を分割し、各分割吸込面に清浄エアの吸
引ファンを設けたことを特徴とする。

〔作用〕

本発明に係るクリーンルームによれば、清浄エアの吸込
面を分割し、分割吸込面にそれぞれ吸引ファンを設けて
強制的に清浄エアを吸引できるようにしている。そして
、ルーム内に設置される障害物等の周囲を強制的に吸引
する。このため、障害物周辺の清浄エアの滞留は極力防
止されて、清浄エアは層流状態になり、室内の清浄度を
十分に維持することができる。従って、吸込側チャンバ
内は吸引ファンの取付はスペースで十分であり、従来の
ように大きく形成する必要がない。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルームの好
ましい実施例を詳説する。

第１図は本発明に係るクリーンルームの説明図である。

第１図に示すようにクリーンルーム１０には天井チャン
バ１２が形成され、天井チャンバ１２のエアはｉ１１数
のＨＥＰＡフィルタ１４．１４・・・を通って清浄室内
１６に吹き出される。複数のＨＥＰＡフィルタ１４．１
４・・・は支持フレーム１５に取付けられて天井面を形
成し、その天井面は清浄エアの吹出口となっている。

室内１６の清浄エアはダウンフローされ、グレーチング
床１８から吸い込まれる。グレーチング床１８の下面に
はｖｌ数の吸引ボックス２０．２０が配せられ吸引ボッ
クス２０は支持フレーム２２．２２・・・によって支持
される。又、グレーチング床１８の下面と各吸引ボック
ス２０との間には風量調節フィルタ２４が設けられ、調
節フィルタ２４は各ボックス２０に吸引される清浄エア
の風量を＆ｉ！ｉｎでいる。ボックス２０内には吸引フ
ァン２６が内蔵され、吸引ファン２６は強制的に清浄室
１６の清浄エアを吸引する。吸引ボックス２０によって
吸引されたエアは床下チャンバ２８に排気され、側面開
口３０を通って通路３２に送られる。

通路３２のエアは上部開口３４を通って、再び天井チャ
ンバ１２に送られる。これにより、清浄室内１６にエア
がｆｌｍされる。

前記の如く構成された本発明に係るクリーンルームによ
れば、吸引ボックス２０内の吸引ファン２６は室内１６
の機器等の段重位置に応じて任意に稼動され、強制的に
清浄エアを吸引する。又、風量調節フィルタ２４によっ
て、各吸引ボックス２０の吸引風量が調節される。

第２図は本発明に係るクリーンルーム１０の清浄室内１
６に機器４０．４０を設けた時の清浄エアの気流の説明
図である。ＩＪ２図に示すように清浄エアの気流は風量
ｌＩ４１．４１・・・で示されている。吸引ボックス２
０は機器４０の真下に位置する場合はその運転が停止さ
れ、機器４０の周囲に位置する吸引ボックス２０は稼動
され清浄エアが強制的に吸引される。又、風量調節フィ
ルタ２４によって清浄エアの吸引量が調節される。この
ように、清浄エアを強制吸引して風量を極め細かく調節
することによって、従来の床下チャンバのように深く形
成しな（でも、清浄室内１６の滞留はできる限り防止さ
れ、清浄室内１６の清浄度を十分に維持することができ
る。

又、第３図は吹出面である天井面のＨＥＰＡフィルタ１
４の一部を除去した時の清浄エアの流れの説明図である
。この場合にも、従来の床下チャンバのように深く形成
しなくても、清浄室内１６の清浄エアの滞留を防止し、
清浄度を高めることができる。

第４図は本発明に係るクリーンルームの第２実施例の説
明図である。第４図に示すクリーンルーム４４は外部に
空調器４６を有し、空調器４６からのエアは給気ダクト
４８を通って給気チャンバ４９に送られる。給気チャン
バ４９．０エアは側壁に設置されたＨＥＰＡフィルタ１
４．１４．１４・・・を通って清浄室内１６へと吹き出
される。従って、清浄エアは清浄室内１６の側面から吹
出される。一方、複数のＨＥＰΔフィルタ１４．１４に
対向する側面には、複数の吸引ボックス５２．５２・・
・が取付けられる。各吸引ボックス５２にはパンチング
板５６が取付けられ、内部に吸引ファン５８を育してい
る。各吸引ボックス５２は清浄室内１６の清浄エアを強
制的に吸引し、吸込チャンバ６０に排出する。吸込チャ
ンバ６０のエアは指環ダクト６２を介して再び空調器４
６に送られ、空調器４６では外気取り入れダクト６４の
エアとｍｕダクト６２のエアとを混合調湿している。

このような構成においても、清浄室内１６に機器等の障
害物があった場合には、任意の吸引ボックス５２が稼動
或いは停止され、清浄室内１６の清浄エアができる限り
層流状態になるように強制的に吸引される。このため、
従来のように吸込チャンバ６０を大きく形成して清浄エ
アの層流状態を高める必要がない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係るクリーンルームによれ
ば、清浄エアの吹出面に対応する吸込面に１１敗の吸引
ファンを設けたので、床下チャンバの深さを浅くするこ
とが出来、設置スペースの小さいクリーンルームを提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るクリーンルームの説明図、第２図
及び第３図は本発明に係るクリーンルーム内の清浄エア
の気流の説明図、第４図は本発明に係るクリーンルーム
の第２実施例の説明図、第５図及び第６図は従来のクリ
ーンルーム内の清浄エアの気流の説明図である。 １０．４４・・・クリーンルーム、　　１２・・・天井
チャンバ、１４・・・ＨＥＰＡフィルタ、　１６・・・
／Ｉｎ室、　１８・・・グレーチング床、　２０．５２
・・・吸引ボックス、２２．５８・・・吸引ファン、　
　２４．５４・・・風量調節フィルタ、２６・・・床下
チャンバ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 清浄エアの吹出面と吸込面とが対向して設けられるクリ
   ーンルームに於いて、 前記吸込面を分割し、各分割吸込面に清浄エアの吸引フ
   ァンを設けたことを特徴とするクリーンルーム。