JP3521764B2 - クリーンルームの天井構造 - Google Patents
クリーンルームの天井構造Info
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- JP3521764B2 JP3521764B2 JP29506598A JP29506598A JP3521764B2 JP 3521764 B2 JP3521764 B2 JP 3521764B2 JP 29506598 A JP29506598 A JP 29506598A JP 29506598 A JP29506598 A JP 29506598A JP 3521764 B2 JP3521764 B2 JP 3521764B2
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- Japan
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- clean room
- air
- ceiling
- perforated plate
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームの天
井構造に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度
を必要とするクリーンルームの天井構造に関する。
井構造に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度
を必要とするクリーンルームの天井構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場等のクリーンルームの天
井面には、敷設された格子状の天井フレームに複数のフ
ァンフィルタユニットが設置され、このファンフィルタ
ユニットによって天井裏空間のエアが浄化されてクリー
ンルーム内に供給される。ファンフィルタユニットは、
必ずしも全ての格子空間に載置されるのではなく、設備
コストやランニングコストの低減のために間引きされて
配設されることがある。その場合、天井裏空間の清浄前
のエアがクリーンルーム内に流入するのを防ぐため、フ
ァンフィルタユニットの間引き空間には天井裏空間とク
リーンルームとを完全に遮断する閉塞板を設置してい
た。
井面には、敷設された格子状の天井フレームに複数のフ
ァンフィルタユニットが設置され、このファンフィルタ
ユニットによって天井裏空間のエアが浄化されてクリー
ンルーム内に供給される。ファンフィルタユニットは、
必ずしも全ての格子空間に載置されるのではなく、設備
コストやランニングコストの低減のために間引きされて
配設されることがある。その場合、天井裏空間の清浄前
のエアがクリーンルーム内に流入するのを防ぐため、フ
ァンフィルタユニットの間引き空間には天井裏空間とク
リーンルームとを完全に遮断する閉塞板を設置してい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにファンフィルタユニットを間引きした間引き空間
に閉塞板を設置すると、閉塞板の下方において渦流が発
生するという欠点がある。渦流が発生すると、この領域
の塵埃がクリーンルーム内に滞留するので、クリーンル
ームは清浄度が低下する。
ようにファンフィルタユニットを間引きした間引き空間
に閉塞板を設置すると、閉塞板の下方において渦流が発
生するという欠点がある。渦流が発生すると、この領域
の塵埃がクリーンルーム内に滞留するので、クリーンル
ームは清浄度が低下する。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ファンフィルタユニットを間引きして設置して
も高い清浄度のクリーンルームを得ることのできるクリ
ーンルームの天井構造を提供することを目的とする。
もので、ファンフィルタユニットを間引きして設置して
も高い清浄度のクリーンルームを得ることのできるクリ
ーンルームの天井構造を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、クリーンルームの天井面に、前記クリーン
ルーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニット
を間引きして配置すると共に、該間引きした開口部分に
多孔板と該多孔板に摺動自在に設けられたスライド板か
ら成る通気部材を設け、前記クリーンルーム内のエアの
一部を前記通気部材を介して前記天井裏空間に通気させ
るとともに、前記スライド板をスライドさせて前記多孔
板の開口率を調整することにより前記通気させるエア量
を調節することを特徴とする。
するために、クリーンルームの天井面に、前記クリーン
ルーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニット
を間引きして配置すると共に、該間引きした開口部分に
多孔板と該多孔板に摺動自在に設けられたスライド板か
ら成る通気部材を設け、前記クリーンルーム内のエアの
一部を前記通気部材を介して前記天井裏空間に通気させ
るとともに、前記スライド板をスライドさせて前記多孔
板の開口率を調整することにより前記通気させるエア量
を調節することを特徴とする。
【０００６】本発明によれば、ファンフィルタユニット
の間引きした開口部分に通気させるエア量を調節可能な
通気部材を設置し、ファンフィルタユニットから清浄エ
アを吹き出すとともにクリーンルーム内のエアの一部を
前記通気部材を介して天井裏空間に通気させる。これに
より、多孔板の下方領域において渦流の発生を抑制でき
るので、高い清浄度のクリーンルームを得ることができ
る。
の間引きした開口部分に通気させるエア量を調節可能な
通気部材を設置し、ファンフィルタユニットから清浄エ
アを吹き出すとともにクリーンルーム内のエアの一部を
前記通気部材を介して天井裏空間に通気させる。これに
より、多孔板の下方領域において渦流の発生を抑制でき
るので、高い清浄度のクリーンルームを得ることができ
る。
【０００７】また、前記通気部材は、前記スライド板を
スライドさせることにより、多孔板の開口率、即ち、通
気抵抗を調整できるので、前記通気するエア量を簡単に
調整できる。したがって、通気するエア量に依存するク
リーンルームの清浄度を簡単に調節することができるの
で、クリーンルームの規模や清浄度を変更した場合に前
記通気部材の通気抵抗の大きさを変えるだけで簡単に対
応することができる。
スライドさせることにより、多孔板の開口率、即ち、通
気抵抗を調整できるので、前記通気するエア量を簡単に
調整できる。したがって、通気するエア量に依存するク
リーンルームの清浄度を簡単に調節することができるの
で、クリーンルームの規模や清浄度を変更した場合に前
記通気部材の通気抵抗の大きさを変えるだけで簡単に対
応することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るクリーンルームの天井構造の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。まず、本実施の形態のクリーンルームの
天井構造を用いたクリーンルームシステム１１について
説明する。図１は、クリーンルームシステム１１の全体
構成図である。
るクリーンルームの天井構造の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。まず、本実施の形態のクリーンルームの
天井構造を用いたクリーンルームシステム１１について
説明する。図１は、クリーンルームシステム１１の全体
構成図である。
【０００９】同図に示すように、クリーンルームシステ
ム１１では、クリーンルーム１０の天井面１２に複数台
のファンフィルタユニット１４が配設され、そのファン
フィルタユニット１４により清浄エアがクリーンルーム
１０内に供給されている。クリーンルーム１０内に供給
されたエアは、クリーンルーム１０内の塵埃と共にグレ
ーチング床１８から床下空間２０に吸い込まれ、リター
ン空間２２を通って天井裏空間１６に戻される。また、
クリーンルーム１０内のエアの一部は床下空間２０の側
面から還気ダクト２４を介して空調機２６に送られ、外
気取り込みダクト２８からの新鮮空気と混合されて所定
の温湿度に調整された後、給気ダクト３０を介して天井
裏空間１６に送られる。このように天井裏空間１６に送
られたエアは、再びファンフィルタユニット１４により
浄化されてクリーンルーム１０に供給される。また、ク
リーンルーム１０内のエアの一部は、床下空間２０のも
う一方の側面に設けられた排気ダクト３２により、クリ
ーンルーム１０外に排気される。
ム１１では、クリーンルーム１０の天井面１２に複数台
のファンフィルタユニット１４が配設され、そのファン
フィルタユニット１４により清浄エアがクリーンルーム
１０内に供給されている。クリーンルーム１０内に供給
されたエアは、クリーンルーム１０内の塵埃と共にグレ
ーチング床１８から床下空間２０に吸い込まれ、リター
ン空間２２を通って天井裏空間１６に戻される。また、
クリーンルーム１０内のエアの一部は床下空間２０の側
面から還気ダクト２４を介して空調機２６に送られ、外
気取り込みダクト２８からの新鮮空気と混合されて所定
の温湿度に調整された後、給気ダクト３０を介して天井
裏空間１６に送られる。このように天井裏空間１６に送
られたエアは、再びファンフィルタユニット１４により
浄化されてクリーンルーム１０に供給される。また、ク
リーンルーム１０内のエアの一部は、床下空間２０のも
う一方の側面に設けられた排気ダクト３２により、クリ
ーンルーム１０外に排気される。
【００１０】図２はクリーンルーム１０の天井面１２の
斜視図である。同図に示すように、クリーンルーム１０
の天井面１２には、格子状の天井フレーム３６が敷設さ
れ、この天井フレーム３６の格子空間に複数のファンフ
ィルタユニット１４が間引きして設置される。ファンフ
ィルタユニット１４は主として、ケーシング、ファン及
びフィルタからなり、ファンを駆動することにより天井
裏空間のエアをケーシング内に吸引し、そのエアをケー
シング下面に取り付けた塵埃捕集用のフィルタで除塵し
てクリーンルーム１０に吹き出すように構成される。ま
た、ファンフィルタユニット１４を間引きした開口部分
には、通気部材４０が設置される。
斜視図である。同図に示すように、クリーンルーム１０
の天井面１２には、格子状の天井フレーム３６が敷設さ
れ、この天井フレーム３６の格子空間に複数のファンフ
ィルタユニット１４が間引きして設置される。ファンフ
ィルタユニット１４は主として、ケーシング、ファン及
びフィルタからなり、ファンを駆動することにより天井
裏空間のエアをケーシング内に吸引し、そのエアをケー
シング下面に取り付けた塵埃捕集用のフィルタで除塵し
てクリーンルーム１０に吹き出すように構成される。ま
た、ファンフィルタユニット１４を間引きした開口部分
には、通気部材４０が設置される。
【００１１】図３は、通気部材４０の構成を示す構成図
である。同図に示すように、通気部材４０は主として、
多孔板４２、スライド板４４及びフィルタ４６で形成さ
れている。多孔板４２には、多数の円孔が均一に形成さ
れるとともに、対向する一対の端縁にガイド板４８、４
８が取り付けられ、もう一方の対向する端縁にストッパ
板５０、５０が取り付けられている。一方、スライド板
４４は、前記多孔板４２に載置され、多孔板４２と同じ
奥行き寸法で形成されている。これにより、スライド板
４４は、ガイド板４８、４８でガイドされ、矢印５６方
向にスライドすることができる。また、前記スライド板
４４は、多孔板４２の長さＬよりも短い長さＤで形成さ
れており、ストッパ板５０、５０が規制する範囲でスラ
イドすることができる。
である。同図に示すように、通気部材４０は主として、
多孔板４２、スライド板４４及びフィルタ４６で形成さ
れている。多孔板４２には、多数の円孔が均一に形成さ
れるとともに、対向する一対の端縁にガイド板４８、４
８が取り付けられ、もう一方の対向する端縁にストッパ
板５０、５０が取り付けられている。一方、スライド板
４４は、前記多孔板４２に載置され、多孔板４２と同じ
奥行き寸法で形成されている。これにより、スライド板
４４は、ガイド板４８、４８でガイドされ、矢印５６方
向にスライドすることができる。また、前記スライド板
４４は、多孔板４２の長さＬよりも短い長さＤで形成さ
れており、ストッパ板５０、５０が規制する範囲でスラ
イドすることができる。
【００１２】また、スライド板４４には、前記多孔板４
２の円孔と同形状の円孔が前記多孔板４２と同じ配置で
形成されている。これにより、スライド板４４をスライ
ドさせると、スライド板４４の円孔と多孔板４２の円孔
が一致したり、スライド板４４が多孔板４２の円孔を閉
塞したりし、多孔板４２の開口率を調節することができ
る。
２の円孔と同形状の円孔が前記多孔板４２と同じ配置で
形成されている。これにより、スライド板４４をスライ
ドさせると、スライド板４４の円孔と多孔板４２の円孔
が一致したり、スライド板４４が多孔板４２の円孔を閉
塞したりし、多孔板４２の開口率を調節することができ
る。
【００１３】また、スライド板４４には下面に凸部４４
Ａが形成され、多孔板４２には該凸部４４Ａが挿入され
るスライド方向の長穴４２Ａが形成されている。これに
より、凸部４４Ａを摘んで動かすと、前記スライド板４
４をスライドさせることができる。また、スライド板４
４の上部には、フィルタ４６が載置されている。フィル
タ４６は繊維状の材料をアコーディオン状に幾重にも折
りたたんだもので、エアを通風するとエア中の塵埃が内
部の繊維に捕集される。このフィルタ４６は、多孔板４
２と同形状に形成されており、多孔板４２を通過するエ
ア中の塵埃を捕集する。これにより、クリーンルーム及
び天井裏空間の塵埃が相互間で移動するのを防止するこ
とができる。
Ａが形成され、多孔板４２には該凸部４４Ａが挿入され
るスライド方向の長穴４２Ａが形成されている。これに
より、凸部４４Ａを摘んで動かすと、前記スライド板４
４をスライドさせることができる。また、スライド板４
４の上部には、フィルタ４６が載置されている。フィル
タ４６は繊維状の材料をアコーディオン状に幾重にも折
りたたんだもので、エアを通風するとエア中の塵埃が内
部の繊維に捕集される。このフィルタ４６は、多孔板４
２と同形状に形成されており、多孔板４２を通過するエ
ア中の塵埃を捕集する。これにより、クリーンルーム及
び天井裏空間の塵埃が相互間で移動するのを防止するこ
とができる。
【００１４】このように多孔板４２に載置されたスライ
ド板４４及びフィルタ４６は、ガイド板４８、４８に支
持板５４、５４、５４を着脱自在に渡設することによ
り、脱落が防止される。また、前記多孔板４２は、枠状
に形成されたゴムパッキン５２を介して前記天井フレー
ム３６上に載置されており、天井フレーム３６と多孔板
４２の間からのエアの漏洩が防止される。
ド板４４及びフィルタ４６は、ガイド板４８、４８に支
持板５４、５４、５４を着脱自在に渡設することによ
り、脱落が防止される。また、前記多孔板４２は、枠状
に形成されたゴムパッキン５２を介して前記天井フレー
ム３６上に載置されており、天井フレーム３６と多孔板
４２の間からのエアの漏洩が防止される。
【００１５】次に前記の如く構成されたクリーンルーム
１０の天井構造の作用について説明する。まず、ファン
フィルタユニット１４のファン５０を駆動し、クリーン
ルーム１０内に清浄エアを吹き出す。これにより、ファ
ンフィルタユニット１４の下方では、天井面１２からグ
レーチング床１８に流れるダウンフローを生じ、クリー
ンルーム１０内のエアの大部分は塵埃と共にグレーチン
グ床１８を介して床下空間２０に吸い込まれる。床下空
間２０に吸い込まれたエアは前述したように、外に排気
される一部のエアを除いて、天井裏空間１６に戻り、フ
ァンフィルタユニット１４により浄化されて、再びクリ
ーンルーム１０内に吹き出される。
１０の天井構造の作用について説明する。まず、ファン
フィルタユニット１４のファン５０を駆動し、クリーン
ルーム１０内に清浄エアを吹き出す。これにより、ファ
ンフィルタユニット１４の下方では、天井面１２からグ
レーチング床１８に流れるダウンフローを生じ、クリー
ンルーム１０内のエアの大部分は塵埃と共にグレーチン
グ床１８を介して床下空間２０に吸い込まれる。床下空
間２０に吸い込まれたエアは前述したように、外に排気
される一部のエアを除いて、天井裏空間１６に戻り、フ
ァンフィルタユニット１４により浄化されて、再びクリ
ーンルーム１０内に吹き出される。
【００１６】また、天井裏空間１６からクリーンルーム
１０にエアを吹き出したことにより、クリーンルーム１
０と天井裏空間１６との間には気圧差が発生する。これ
により、クリーンルーム１０内のエアは一部が通気部材
４０を介して天井裏空間１６に逆流（通気）する。した
がって、通気部材４０の下方では上昇気流を生じるの
で、従来発生していた渦流の発生を抑制でき、クリーン
ルーム１０内を高い清浄度に維持することができる。
１０にエアを吹き出したことにより、クリーンルーム１
０と天井裏空間１６との間には気圧差が発生する。これ
により、クリーンルーム１０内のエアは一部が通気部材
４０を介して天井裏空間１６に逆流（通気）する。した
がって、通気部材４０の下方では上昇気流を生じるの
で、従来発生していた渦流の発生を抑制でき、クリーン
ルーム１０内を高い清浄度に維持することができる。
【００１７】ところで、逆流するエアの風量が多過ぎる
と、浄化されたエアがそのまま逆流してしまい、肝心な
クリーンルーム１０の浄化効率が悪くなる。逆に、逆流
するエアの風量が少な過ぎると、通気部材４０の下方で
渦流が発生し、塵埃がクリーンルーム１０内に滞留す
る。そこで、最適量のエアが逆流するように、クリーン
ルーム１０の規模や清浄度に合わせて多孔板４２の開口
率を調節する。多孔板４２の開口率の調節は、前述した
ように、多孔板４２の下方からスライド板４４の凸部４
４Ａを摘んで、スライド板４４をスライドさせることに
より行う。これにより、多孔板４２の開口率を簡単に調
節でき、最適量のエアを天井裏空間１６に逆流させるこ
とができる。
と、浄化されたエアがそのまま逆流してしまい、肝心な
クリーンルーム１０の浄化効率が悪くなる。逆に、逆流
するエアの風量が少な過ぎると、通気部材４０の下方で
渦流が発生し、塵埃がクリーンルーム１０内に滞留す
る。そこで、最適量のエアが逆流するように、クリーン
ルーム１０の規模や清浄度に合わせて多孔板４２の開口
率を調節する。多孔板４２の開口率の調節は、前述した
ように、多孔板４２の下方からスライド板４４の凸部４
４Ａを摘んで、スライド板４４をスライドさせることに
より行う。これにより、多孔板４２の開口率を簡単に調
節でき、最適量のエアを天井裏空間１６に逆流させるこ
とができる。
【００１８】このように、本実施の形態のクリーンルー
ムの天井構造では、逆流するエアの流量を簡単に調節す
ることができるので、クリーンルーム１０の規模や清浄
度を変更した場合にも簡単に対応することができる。ま
た、本実施の形態では、多孔板４２の上方にフィルタ４
６を設置しているので、天井裏空間１６内の塵埃がクリ
ーンルーム１０に侵入することはない。したがって、フ
ァンフィルタユニット１４を停止させた際に、クリーン
ルーム１０内の清浄度が低下するのを防止することがで
きる。
ムの天井構造では、逆流するエアの流量を簡単に調節す
ることができるので、クリーンルーム１０の規模や清浄
度を変更した場合にも簡単に対応することができる。ま
た、本実施の形態では、多孔板４２の上方にフィルタ４
６を設置しているので、天井裏空間１６内の塵埃がクリ
ーンルーム１０に侵入することはない。したがって、フ
ァンフィルタユニット１４を停止させた際に、クリーン
ルーム１０内の清浄度が低下するのを防止することがで
きる。
【００１９】なお、通気部材４０は、天井裏空間１６に
通気するエア量を簡単に調整できるように構成されてい
るのであれば何でもよい。例えば、スライド板４４の円
孔を設ける代わりにスライド板４４にスリットを設けた
り、スライド板４４を上下方向にスライドさせたりして
もよい。また、スライド板４４を固定し、多孔板４２を
スライドさせて、多孔板４２の開口率を調節してもよ
い。
通気するエア量を簡単に調整できるように構成されてい
るのであれば何でもよい。例えば、スライド板４４の円
孔を設ける代わりにスライド板４４にスリットを設けた
り、スライド板４４を上下方向にスライドさせたりして
もよい。また、スライド板４４を固定し、多孔板４２を
スライドさせて、多孔板４２の開口率を調節してもよ
い。
【００２０】また、スライド板４４をスライドさせる駆
動装置を前記通気部材４０に設け、該駆動装置を駆動す
ることによって多孔板４２の開口率を調節してもよい。
また、該駆動装置をファンフィルタユニット１４に連動
させて、ファンフィルタユニット１４の停止とともに多
孔板４２の円孔を閉塞させてもよい。
動装置を前記通気部材４０に設け、該駆動装置を駆動す
ることによって多孔板４２の開口率を調節してもよい。
また、該駆動装置をファンフィルタユニット１４に連動
させて、ファンフィルタユニット１４の停止とともに多
孔板４２の円孔を閉塞させてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルームの天井構造では、ファンフィルタユニットを間引
きした開口部分に通気抵抗の調整可能な通気部材を設置
したので、仕様の異なる様々なクリーンルームにおい
て、高い清浄度を簡単に得ることができる。
ルームの天井構造では、ファンフィルタユニットを間引
きした開口部分に通気抵抗の調整可能な通気部材を設置
したので、仕様の異なる様々なクリーンルームにおい
て、高い清浄度を簡単に得ることができる。
【図１】本発明の実施の形態のクリーンルームの天井構
造を用いたクリーンルームシステムの全体構造図
造を用いたクリーンルームシステムの全体構造図
【図２】図１のクリーンルームの天井面の斜視図
【図３】図１の通気部材の構成図
【図４】図１の通気部材の側面図
１０…クリーンルーム
１２…天井面
１４…ファンフィルタユニット
１６…天井裏空間
１８…グレーチング床
２０…床下空間
３６…天井フレーム
４０…通気部材
４２…多孔板
４４…スライド板
４６…フィルタ
Claims (2)
- 【請求項１】クリーンルームの天井面に、前記クリーン
ルーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニット
を間引きして配置すると共に、該間引きした開口部分に
多孔板と該多孔板に摺動自在に設けられたスライド板か
ら成る通気部材を設け、 前記クリーンルーム内のエアの一部を前記通気部材を介
して前記天井裏空間に通気させるとともに、前記スライ
ド板をスライドさせて前記多孔板の開口率を調整するこ
とにより前記通気させるエア量を調節することを特徴と
するクリーンルームの天井構造。 - 【請求項２】前記通気部材には、該通気部材を通過する
エアを浄化するフィルタが設けられていることを特徴と
する請求項１のクリーンルームの天井構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29506598A JP3521764B2 (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | クリーンルームの天井構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29506598A JP3521764B2 (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | クリーンルームの天井構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000120208A JP2000120208A (ja) | 2000-04-25 |
| JP3521764B2 true JP3521764B2 (ja) | 2004-04-19 |
Family
ID=17815870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29506598A Expired - Lifetime JP3521764B2 (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | クリーンルームの天井構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3521764B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3738681B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2006-01-25 | 日立プラント建設株式会社 | クリーンルームの天井構造 |
| CN113006362B (zh) * | 2021-02-27 | 2022-06-17 | 浙江力唯装饰设计工程有限公司 | 一种吊顶安装结构及施工方法 |
-
1998
- 1998-10-16 JP JP29506598A patent/JP3521764B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000120208A (ja) | 2000-04-25 |
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