JP3738681B2 - クリーンルームの天井構造 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームの天井構造に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度を必要とするクリーンルームの天井構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
クリーンルームの天井面には、複数のファンフィルタユニット(以下『FFU』という。)が設置されており、このFFUによって天井裏空間のエアが浄化されてクリーンルーム内に供給される。
【0003】
しかし、FFUは必ずしも天井面全てに設置されるのではなく、設備コストやランニングコストを低減するため間引きして設置されるのが一般的である。この場合、清浄化前のエアが室内に流入するのを防ぐため、間引き空間には閉止板を設置するようにしている。
【0004】
しかしながら、このように間引き空間に閉止板を設置すると、閉止板の下方に渦流が発生し、この領域の塵埃が滞留して室内の清浄度が低下するという不具合を生じる。
【0005】
そこで、間引き空間に通気性を有する半閉止板(たとえば多孔板)を設置し、その半閉止板を介して室内のエアの一部を天井裏空間に逆流させることで渦流の発生を抑制する方法が採用されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クリーンルームは、フィルタの交換など定期的にメンテナンスを行う必要があり、この場合は作業者が天井裏に上ってメンテナンス作業を行うようにしている。このとき、天井裏空間には通路も何もないため、作業者は天井フレーム等を足掛かりとして天井裏空間を移動し、メンテナンス作業を行うようにしているが、半閉止板はFFUに比べて強度が弱いため、作業者が誤って足を踏み外し、半閉止板上に足を踏み込むと、半閉止板が天井から抜け落ちて、作業者が落下する危険性がある。
【0007】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、作業者が天井裏で安全に作業ができるクリーンルームの天井構造を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、クリーンルームの天井面に配された格子状の天井フレームにファンフィルタユニットを間引きして配置するとともに、その間引き部分に通気性を有する半閉止板を配置したクリーンルーム設備の天井構造において、前記半閉止板の上方位置に踏抜防止板を配置するとともに、該踏抜防止板を前記ファンフィルタユニット間に掛け渡して設置したことを特徴とするクリーンルームの天井構造を提供する。
【0009】
本発明によれば、作業者が半閉止板の上方で足を踏み外した場合であっても、半閉止板の上方には踏抜防止板がファンフィルタユニット間に掛け渡して配置されているので、作業者が半閉止板を踏み込むことはない。したがって、半閉止板が抜け落ちて、作業者が天井裏から落下することもない。これにより、作業者は安全に天井裏でメンテナンス等の作業を行うことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って、まず、本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造を説明した後に、本発明に係るクリーンルームの天井構造の好ましい実施形態について説明する。
【0011】
図1〜図5は本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造を示している。図1はクリーンルーム設備10の全体構成図である。同図に示すように、クリーンルーム12の天井面16には、格子状の天井フレーム36が複数の吊りボルト13、13…により吊設されており、この天井フレーム36に複数台のFFU14、14…が配設されている。そして、このFFU14によってクリーンルーム12内に清浄エアが供給され、クリーンルーム12内の塵埃とともにグレーチング床18から床下空間20に吸い込まれる。
【0012】
床下空間20に吸い込まれたエアの一部は、ドライコイル21で冷却されたのちリターン空間22を通って天井裏空間24に戻され、他の一部は排気ダクト34により外部へと排気される。また、他の一部は還気ダクト26を介して空調機28に送られ、外気取り込みダクト30から取り込まれた新鮮空気と混合されて所定の温湿度に調整されたのち、給気ダクト32を介して天井裏空間24に給気される。そして、このように天井裏空間24に送られたエアは、FFU14により再び浄化されてクリーンルーム12内へと供給される。
【0013】
図2はクリーンルーム12の天井裏空間24の構成を示す斜視図である。同図に示すように、格子状に形成された天井フレーム36の格子空間にはFFU14が間引きして配設されている。FFU14は、主としてケーシング、ファン及びフィルタから構成されており、ファンを駆動することにより天井裏空間24に給気された空調エアをケーシング内に吸引し、HEPAフィルタを介してクリーンルーム12内に吹き出すように構成されている。
【0014】
一方、FFU14を間引きした部分には半閉止板38が設置されている。半閉止板38は、天井裏空間24とクリーンルーム12との間に通気性を有するものが使用され、たとえば多孔板やエアフィルタ等が用いられている。そして、この半閉止板38の上方には、作業者が天井裏空間24に上った際に足場にできるように踏抜防止板40が配置されている。
【0015】
踏抜防止板40は、図3及び図4に示すように、矩形の板状に形成されており、補強用の桟40A、40Aがクロスして取り付けられている。この踏抜防止板40は、半閉止板38の中央部分を覆うようにして天井フレーム36に掛け渡して設置されており、その天井フレーム36に固定されている。
【0016】
図5は踏抜防止板40の固定部の構造を示す断面図である。同図に示すように、踏抜防止板40は、天井フレーム36とともに吊りボルト13に固定されている。この吊りボルト13は、先端部分にネジ部13Aが形成されており、このネジ部13Aに踏抜防止板40に形成された取付穴40Bを挿通させるとともに、天井フレーム36に形成された取付穴36Bを挿通させ、そのネジ部13Aに螺合させた一対のナット42、42で上下から締め付けることにより、踏抜防止板40を天井フレーム36とともに吊りボルト13に固定する。
【0017】
以上のようにして踏抜防止板40の少なくとも4か所を天井フレーム36に固定し、踏抜防止板40を天井フレーム36に取り付ける。
【0018】
なお、吊りボルト13に固定された天井フレーム36の下端部にはボルト部36Aが一体に形成されており、このボルト部36Aには支持フレーム44がナット46を介して取り付けられる。この支持フレーム44は天井フレーム36よりも幅広に形成されており、この支持フレーム44の上面部にFFU14又は踏抜防止板40が載置されて、FFU14又は踏抜防止板40が天井フレーム36に取り付けられる。
【0019】
図6、図7は、それぞれ本発明に係るクリーンルームの天井構造の実施形態の要部構成を示す平面図と側面断面図である。
【0020】
上述した本発明に属さない形態では、踏抜防止板40を天井フレーム36に掛け渡して設置し、その天井フレーム36に固定して取り付けているが、本実施の形態では、踏抜防止板40を隣り合うFFU14、14に掛け渡して設置し、そのFFU14、14に固定して取り付ける。この場合において、踏抜防止板40は、半閉止板38の中央部分を覆うようにしてFFU14、14に掛け渡し、少なくとも四隅をFFU14、14にボルト48、48、…で固定して取り付ける。
【0021】
なお、本実施の形態の踏抜防止板40は、図6に示すように、矩形の板状に形成されており、補強用の桟40A、40A、…が一定の間隔をもって取り付けられている。
【0022】
前記のごとく構成された本実施の形態のクリーンルームの天井構造によれば、たとえばメンテナンス等のために天井裏空間24で作業を行っている作業者が、半閉止板38の上方で足を踏み外した場合であっても、半閉止板38の上方には踏抜防止板40が設置されているので、作業者が半閉止板38を踏み込むことはない。したがって、半閉止板38が抜け落ちて、作業者が天井裏から落下することもない。これにより、作業者は安全に天井裏空間24でメンテナンス等の作業を行うことができる。
【0023】
踏抜防止板40は井桁状に形成されたものを用いてもよく、この他エキスパンドメタルやパンチングメタルを用いてもよい。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、半閉止板の上方に踏抜防止板をファンフィルタユニット間に掛け渡して設置することにより、作業者が半閉止板を踏み、天井裏から落下するのを防止できる。これにより、作業者は安全に天井裏空間で作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に属さない形態のクリーンルーム設備の全体構成図
【図2】 本発明に属さない形態のクリーンルームの天井裏空間の構成を示す斜視図
【図3】 本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造の要部の構成を示す平面図
【図4】 本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造の要部の構成を示す側面断面図
【図5】 本発明に属さない形態の踏抜防止板の固定部の構造を示す断面図
【図6】 本発明に係るクリーンルームの天井構造の実施形態の要部構成を示す平面図
【図7】 本発明に係るクリーンルームの天井構造の実施形態の要部構成を示す側面断面図
【符号の説明】
10…クリーンルーム設備、12…クリーンルーム、13…吊りボルト、14…FFU、16…天井面、18…グレーチング床、20…床下空間、21…ドライコイル、24…天井裏空間、26…還気ダクト、28…空調機、30…外気取り込みダクト、32…給気ダクト、34…排気ダクト、36…天井フレーム、38…半閉止板、40…踏抜防止板

Claims (2)

  1. クリーンルームの天井面に配された格子状の天井フレームにファンフィルタユニットを間引きして配置するとともに、その間引き部分に通気性を有する半閉止板を配置したクリーンルーム設備の天井構造において、
    前記半閉止板の上方位置に踏抜防止板を配置するとともに、該踏抜防止板を前記ファンフィルタユニット間に掛け渡して設置したことを特徴とするクリーンルームの天井構造。
  2. 前記踏抜防止板は、エキスパンドメタル、パンチングメタル又は井桁で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの天井構造。
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