JP4707242B2 - クリーンルーム階段の空調方式 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶などの製造工場におけるクリーンルームの空調方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体や液晶などの製造工場のクリーンルームにおいては、２層程度の階段で清浄度クラス１０万（０．５μｍ）が要求された場合、踏面をグレーチング（多孔）構造とし、階段室の天井面でエアを吹き出し、下階の床に近い位置で吸い込む方式がとられてきた。多層化された半導体工場では、クリーンルーム内の垂直搬送だけでなく、作業者のための多層にわたる高清浄度（クラス５０００−０．３μｍ）が必要になる。これは階段歩行が水平歩行に比べてゴミが発生し易く、このゴミが床に溜まり、さらに歩行により舞い上がることが懸念されるため、グレーチングの踏面が採用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の空調方式においては、多層階段になると上階のゴミが下階に順序に抜けて行き歩行者にふりかかることが問題となっていた。また、高清浄度が要求されるため、天井吹き出しや下部吸い込みで高清浄度の確保が課題となっていた。
【０００４】
そこで、この課題を解決するものとして、特開２０００−２４９３７９号公報に示すようなクリーンルーム階段の空調方式あった。この空調方式においては、多層階のクリーンルームに設けられた折り返しの階段室と、該階段室にに設けられた複数の踊り場およびその間に設けられた階段と、階段室に隣接して設けられた換気ダクトと、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに接続された吸込口と、前記換気ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユニットとを備え、各ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て吸い込むようにしたものである。
【０００５】
しかしながら、このクリーンルーム階段の空調方式においては、各階段の踊り場に対して直交する方向にファンフィルタユニット取り付け用の枠や壁を必要とするため、そのためのスペースが必要となり、生産室の平面設計計画の障害となるという問題があった。
【０００６】
本発明は上述した従来の問題点に鑑みなされたもので、高清浄度を確保できるとともに、スペースの低減を図ることができるクリーンルーム階段の空調方式を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、多層階のクリーンルームに設けられた階段室と、前記階段室に設けられた複数の踊り場と、各踊り場間に設けられた蹴込み板のない折り返し階段と、前記踊り場の下部に設けられ、かつ気流拡散板を有するクリーンユニットとを備え、前記クリーンユニットは、踊り場で吸い込んだ気流を階段全体に拡散することで清浄化することを特徴とする。
【０００８】
前記クリーンユニットは、踊り場の下部に吊り下げられて、エアチャンバ、吸引フアン、高性能フィルタ及び気流拡散板、若しくはエアチャンバ、低又は中性能フィルタ、吸引フアン、高性能フィルタ及び気流拡散板を備えている。また、クリーンユニットは、踊り場の下部に吊り下げられて、低又は中性能フィルタ、吸引フアン、高性能フィルタ及び気流拡散板を備えており、前記踊り場はクリーンユニット吊り下げ位置の上部に当たる部分又は全面グレーチングプレート敷きとされていることを特徴とする。
さらに、気流拡散板は、パンチングメタルで形成され、階段の方向に沿って斜め下方の吹き出す第１の開口部と、下方に吹き出す第２の開口部とを備え、第１の開口部の開口率が第２の開口部の開口率より大きいことを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るクリーンルーム階段の空調方式の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明クリーンルーム階段の空調方式を示す断面図、図２は、図１におけるクリーンユニットの一例を示す拡大断面図である。
【００１０】
本発明に係るクリーンルーム階段の空調方式は、図１に示すように、多層階のクリーンルームに設けられた階段室Ａに適用される。この階段室Ａには一部又は全面グレーチングプレート敷きの複数の踊り場１，１，１・・・が交互に設けられており、この、各踊り場１、１の間には蹴込み板のない複数の階段２，２，２・・が折り返し階段として上下方向に傾斜して設けられている。各踊り場１の下部に吊り金具を用いて、気流拡散板を有するクリーンユニット１０、１０を吊り下げて踊り場１、１で吸い込んだ気流を階段全体に拡散させる。
【００１１】
このクリーンユニット１０は、図１に示すように、吊り下げ型ファンフィルタユニットであり、気流吸込口となるエアチャンバ１１と、吸引フアン１３と、高性能フィルタ１４及び気流拡散板１５とを備えている。この高性能フィルタ１６は、ＰＴＦＥ繊維とＰＥＴ不織布の組み合わせやガラス繊維その他の繊維、発泡体等から形成された濾材を折り畳み濾過面積を大きくしてユニット化したもので、要求される性能（クラス５０００−０．３μｍ）を達成できるようになっている。なお、エアチャンバ１１と吸引フアン１３との間に、低又は中性能フィルタ（図示省略）を配置してもよい。
【００１２】
また、クリーンユニット１０に取り付けられている気流拡散板１５は、小孔が形成されたパンチングメタル等から形成されもので、上方より吸い込んだ空調エアを斜め下方に吹き出すための第１の開口部１６ａと、下方に吹き出すための第２の開口部１６ｂが設けられている。この第１の開口部１６ａと第２の開口部１６ｂは、パンチングメタルの孔の大きさや数で開口率を調整できるもので、第１の開口部１６ａは開口率２０〜２５％に設定され、第２の開口部１６ｂは開口率％１５に設定されており、斜め下方に吹き出す空調エアの方を多くしている。
【００１３】
また、踊り場１，１，１・・・の間に設けられた複数の階段２，２，２・・は、それぞれ複数の段板（踏み板）２ａ，２ａ，２ａ・・・と、段板２ａ，２ａ，２ａ・・・を固定する一対の側桁２ｂ，２ｂと、図示しない手摺から構成されており、上下の段板２ａの間には蹴込み板がないストリップ階段となっている。この階段は、空調エアの流通を妨げる蹴込み板がないので階段２における空調エアの流れが非常によく、ゴミ等が階段部に留まることがないので、階段部を常に高清浄度に保ことができるものである。
【００１４】
このように構成されたクリーンルーム階段の空調方式においては、クリーンユニット１０が空きスペースとなっていた各踊り場１の下部に取り付けるので、クリーンユニット１０を取り付けるための新たなスペースや資材を必要とせず、スペースファクタを高めるとともに設備コストの削減を図ることができるものである。
【００１５】
また、踊り場１に設置されたクリーンユニット１０において高清浄度にされた空調エアは、図１の矢印に示すように、気流拡散板１５より階段２の傾斜に沿って下降し、一つ下の踊り場１に設置されたクリーンユニット１０のエアチャンバ１１より吸い込まれ、高性能フィルタ１３により再び高清浄度にされ気流拡散板１５より吹き出される。気流拡散板１５の第１の開口部１６ａは、斜め下方に取り付けられているので、第１の開口部１６ａから吹き出される空調エアは階段２の上下の段板２ａの間を通り抜け、階段２の清浄作用を効果的に高めることが可能となっている。
【００１６】
また、踊り場１は、一枚の平板にメッシュ構造の気流吸込口を設けてもよい。また、踊り場３のように踏面全体をスリット構造やパンチングメタルによるグレーチング構造としても良い。このように構成した踊り場３は、踏面全体に空調エアが循環するので、階段のみならず踊り場全体も高清浄度に保つことができる。
【００１７】
図３はクリーンユニットの変形例を示す側面図である。
この例は、クリーンユニット１０の気流吸込口１ａとなる各踊り場１の一部分又は全面グレーチングプレート敷きとし、気流吸込口１ａの下部にクリーンユニット２０を吊り下げた場合を示す。
クリーンユニット２０は、図示のように、粗（低性能）又は中性能フィルタ１２と、吸引フアン１３と、高性能フィルタ１４及び気流拡散板１５とを備えている。この場合も、踊り場１、１で吸い込んだ気流を階段全体に拡散させるものであり、階段は、空調エアの流通を妨げる蹴込み板がないので階段２における空調エアの流れが非常によく、ゴミ等が階段部に留まることがないので、階段部を常に高清浄度に保ことができる。
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のクリーンルーム階段の空調方式は、多層階のクリーンルームに設けられた折り返しの階段室と、前記階段室に設けられた複数の踊り場と、前記踊り場の間に設けられた複数の階段と、前記踊り場の下部に設けられ気流拡散板を付属するクリーンユニットとを備え、前記クリーンユニットは踊り場の上部で吸い込んだ気流を下階の階段全体に拡散するようにしたので、クリーンユニットを設置するための特別なスペースや資材が不要となり、クリーンルームの有効的な活用が図ることができるとともに、設備コストを削減できるという優れた効果を奏する。
また、クリーンユニットに拡散板を備えたことにより、階段に積極的に空調エアを循環することができるので、階段を高清浄度にできるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明クリーンルーム階段の空調方式の実施例を示す側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１におけるクリーンユニットの変形例を示す側面図である。
【符号の説明】
Ａ 階段室 １ 踊り場 １ａ 気流吸込口
２ 階段 ２ａ 段板 ２ｂ 側桁
１０ クリーンユニット １１ エアチャンバ １２ 粗フィルタ
１３ ファン １４ 高性能フィルタ １５ 気流拡散板
１６ａ 第１の開口部 １６ｂ 第２の開口部

Claims (2)

1. 多層階のクリーンルームに設けられた階段室と、
   前記階段室に設けられた複数の踊り場と、
   各踊り場間に設けられた蹴込み板のない折り返し階段とからなるクリーンルーム階段を空調する空調方式であって、
   前記踊り場の踏面の下部に吊り下げられ、かつ上方に平板の踊り場踏面に設けられたメッシュ構造の気流吸込口と、下方に気流拡散板を有するクリーンユニットを備え、
   前記クリーンユニットは、ある踊り場の踏面上部から吸い込んだ気流を、直接前記ある踊り場の踏面下方の踊り場空間へ、かつ前記折り返し階段の段板間を抜けて階段室全体へも拡散することで
   清浄化することを特徴とするクリーンルーム階段の空調方式。
2. 前記クリーンユニットは、上方から、気流吸込口、エアチャンバ、低又は中性能フィルタ、吸引フアン、高性能フィルタ及び気流拡散板を備え、
   前記気流拡散板は、パンチングメタルで形成され、階段の方向に沿って斜め下方へ吹き出す第１の開口部と、下方に吹き出す第２の開口部とを備え、第１の開口部の開口率が第２の開口部の開口率より大きいことで、
   踊り場空間より折返し階段へ空調エアを多く吹き出すこと
   を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム階段の空調方式。

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