JPS638184A - クリ−ンル−ム用エレベ−タ設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は多層階クリーンルーム用のエレベータ設備に
係り、特に昇降路の内部および籠の内部をクリーンルー
ムからの余剰空気を導入することにより清浄化したクリ
ーンルーム用エレベータ設備に関する。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルーム用エレベータ設備トしては、例え
ば特公昭５５−４６３５３号公報などが知られている。

昇降路内の空気を循環浄化使用しているが、換気路を要
し、標準形エレベータの籠を流用できない欠点があった
。

クリーンルームの特性を利用したクリーンルーム用エレ
ベータ設備が期待されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消し、クリ
ーンルームの特性を利用して省エネルギを図り、多層階
にわたりクラスの異なるクリーンルーム間を交叉汚染の
危険をな（して、人および物品を搬送することができ、
且エレベータが、大形の場合あるいは複数台設置されて
も交叉汚染を防止した多層階搬送を行うことができるク
リーンルーム用のエレベータ設備を提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、エレベータの昇降路に各階の余剰空気を導
入して清浄化するとともに、エレベータの籠に高性能フ
ィルタと送風機とから構成される空気清浄装置と空気逃
し弁とを取付けて、籠の内部を各階のクリーンルームの
中で最も清浄度の高いクリーンルームと同等の清浄度と
内圧とにし、更に昇降路内を最も清浄度の低いクリーン
ルームより内圧を低（して搬送時に人および物品の汚染
防止と各階クリーンルームの交叉汚染を防止するように
構成したものである。

〔実施　例〕

第１図はこの発明に係るクリーンルーム用のエレベータ
設備の一実施例の断面図、第２図は他の実施例の断面図
、第３図は第２図のＩＩ−ＩＩ矢視平面図を示す。

第１図に示す実施例では、１階はクリーンルームではな
い一般室１．２階は清浄度クラスｔ　ｏ、ｏ　ｏ　。

のクリーンルーム２．３階は清浄度クラスｔｏｏ。

のクリーンルーム３としているがこの配列組合せに限定
されるものではない。クリーンルームの空気清浄度は清
浄度の高い順にクラス１０，１００゜１０００．１００
００，１０００００に分けられている。

昇降路４内の空気清浄度は最も高いクラスのクリーンル
ームより１段下の空気清浄度を保つ。

この場合は最も高いクラスは３階のクラス１０００であ
るから昇降路４はクラスｔｏ、ｏｏｏの清浄度を選定し
て保つことができる。

昇降路４内の空気清浄度をクラス１０，０００に保つた
めには、３階のクラスｔｏｏｏのクリーンルーム３から
清浄な余剰空気をクリーンルーム３と昇降路４との間の
圧力差を利用してエレベータの室内側ドア５とコンクリ
ート製躯体６との隙間から導入する。

導入されたクラス１０００の空気は昇降路４内をクラス
１０，０００に保つ。

２階のクラスｉ　ｏ、ｏ　ｏ　ｏのクリーンルーム２の
余剰空気はそのまま昇降路４内に導入すると、クラス１
００，０００の清浄度の昇降路４となるので、クラス１
０，０００の余剰空気は天井７に取付けられた吸込口８
から風導９を経て送風機１０と高性能フィルタ（ＨＥＰ
Ａフィルタ）１１とより成る空気清浄装置によってクラ
スｔｏｏｏの空気として風導９を経て逆止弁付吹出口１
２を介して昇降路４内に清浄空気として吹出す。

１階の一般室１の空気もクラス１００００のクリーンル
ーム２と同様に送風機■０と高性能フィルタ１１とによ
ってクラス１０００の空気として昇降路４内に吹出す。

昇降路４内をクラスｉ　ｏ、ｏ　ｏ　ｏの清浄空気とす
るため導入された空気は昇降路４の上部ではロープ通過
孔１３を通ってエレベータ機械室Ｉ４に入り、逆止弁付
排気ファン１５によって建屋外に排気する。

また昇降路４の下部では上部と同様昇降路４の躯体に付
設された逆止弁付排気ファン１５によって建屋外に排気
する。

籠１６内の空気清浄度は各階の空気清浄度の中め最高の
３階のクラス１００ＯＫ等しくする。

そのために高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）１７と
送風機１８とより成る空気清浄装置を付設する。

空気清浄装置は昇降路４内の空気を吸込み、送風機１８
と高性能フィルタ１７とを介して籠１６内に清浄空気を
吹込んでクラス１０００のクリーンルームを形成する。

籠１内に吹込まれた空気は一方向にしか空気を流さない
逆止弁付空気逃し弁１９により昇降路４に排出され、昇
降路４内を清浄化する。

クリーンルームは相互の交叉汚染を防止するため、クラ
スの高い室はクラスの低い室より常に圧力を高くしてい
る。

一般室ｌおよびエレベータ機械室１４内を０．５ｍｍＡ
ｑ１エレベータ昇降路４内を１．５喘Ａｑ　Ｘクラスｔ
ｏ、０００のクリーンルーム２およびクラス１０．００
０の籠１６内を１．５１１Ｉ＋ＩＩＡｑ　とし、最も清
浄度が高いクラスｔｏｏｏのクリーンルーム３内を２．
０　ｔｒａｍ　Ａ　ｑとしている。

従って一膜室ｌと昇降路４との間では清浄度の高い昇降
路４から清浄度の低い一膜室１へ空気が流れ、クラス１
０，０００　のクリーンルーム２とクラス１０，０００
　　の昇降路４との間では空気の出入は殆んど無視され
る。

更にクラス１０００のクリーンルーム３とクラス１０，
０００　　の昇降路４との間とではクラス１０００のク
リーンルーム３から昇降路４に空気が流れて空気の交叉
汚染を防止している。

昇降路４内の送風機１８と逆止弁付排気ファン１５とは
常に電気的インタロックにより圧力差を一定に保ってい
る。

逆止弁付排気ファン１５を昇降路の上下端に設けである
のはエレベータの籠１６の昇降時に発生するピストン効
果による圧力の変動を緩衝するためのものである。

エレベータの上端にはエレベータ機械室１４を設置し、
籠１６をロープ２０を介して巻上機２１゜シープ２２に
よって昇降させ、シープ２２を経てバランスウエート２
３を吊下げる。第２図は他の実施例の断面図を示す。

エレベータの駆動を油圧シリンダ２４とピストンロッド
２５とを使用して行う例を示し、昇降距離の短い場合で
駆動装置による汚染を防ぐ必要のあるときなどに採用す
る。

シープブロック２６との組合せによりピストンロッド２
５をブラケット２７に結合して行う。

また籠１６の外面に付着する塵埃を除去するためにエア
ジャワ管２８によって籠１を囲む。

〔発明の効果〕

この発明は、クリーンルームを備えた多層階建屋に設置
するクリーンルーム用エレベータ設備ニおいて、クリー
ンルームの余剰空気を清浄化してエレベータ昇降路へ送
り、部内も最高清浄度のクリーンルームと同等の清浄度
と内圧とに保ち、昇降路内を最低清浄度のクリーンルー
ムの内圧より低く保つように構成したから、交叉汚染を
防ぎ、省エネルギを図ることができる。

また昇降路内の空気を循環する換気路を必要とせず、エ
レベータの籠も標準形を改造する程度で流用することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るクリーンルーム用のエレベータ
設備の一実施例の断面図、第２図は他の実施例の断面図
、第３図は第２図のＩＩ　−ＩＩ矢視平面図を示す。 ｌ・・・−膜室。 ２・・・クラスｔｏ、ｏｏｏのクリーンルーム。 ３・・・クラス１，０００のクリーンルーム。 ４・・・昇降路、　　　　　１０・・・送風機１１・・
・高性能フィルタ、１２・・・逆止弁付吹出口１５・・
・逆止弁付排気ファン、１６・・・籠１７・・・高性能
フィルタ、１８・・・送風機１９・・・逆止弁付空気逃
し弁。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、クリーンルームを備えた多層階建屋に設置するクリ
   ーンルーム用エレベータ設備において、各階に付設して
   余剰空気を浄化して昇降路へ送る高性能フィルタと送風
   機と、籠内に付設して内部を最高清浄度のクリーンルー
   ムと同等の清浄度と内圧とに保つ高性能フィルタと送風
   機と空気逃し弁と、昇降路に付設して内圧を最低清浄度
   のクリーンルームの内圧より低く保つ排風機とより成る
   ことを特徴とするクリーンルーム用エレベータ設備。