KR101256366B1

KR101256366B1 - 클린룸 엘리베이터

Info

Publication number: KR101256366B1
Application number: KR1020110063683A
Authority: KR
Inventors: 김학근
Original assignee: 주식회사 삼화에이스
Priority date: 2011-06-29
Filing date: 2011-06-29
Publication date: 2013-04-19
Also published as: KR20130002623A

Abstract

본 발명에 따르면, 개폐가능하게 설치된 전면도어, 이 전면도어와 대향되게 설치된 후면판, 좌측 및 우측에 각각 설치된 좌측 및 우측판, 상부에 설치되는 천정판 및 하부에 설치되는 발판을 포함하며, 내측공간을 형성하는 내부본체; 좌측 및 우측판으로부터 각각 이격되게 설치되어 좌측 및 우측 공기유로를 형성하는 좌측 및 우측 공기유로형성판; 천정판으로부터 상측으로 이격되게 설치되며, 좌측 및 우측 공기유로와 내부본체에 형성된 내측공간의 상부를 연통하는 상부공간을 형성한 상판; 하부에서 발판을 이격 지지하며, 좌측 및 우측 공기유로와 내부본체에 형성된 내측공간의 하부를 연통하는 하부공간을 형성한 바닥판; 하부공간과 좌측 및 우측 공기유로의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하는 좌측 및 우측 제1필터; 상부공간에 설치되며, 좌측 및 우측 공기유로와 내측공간의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하는 좌측 및 우측 제2필터; 및 상부공간의 좌측 및 우측에 각각 배치되며, 유입되는 공기가 순차적으로 내측공간, 하부공간, 좌측 및 우측 공기유로, 상부공간을 강제 순환하도록 하는 좌측 및 우측 블로어를 구비하는 클린룸 엘리베이터가 제공된다. 개시된 클린룸 엘리베이터에 의하면, 공기의 순화유로를 좌, 우측에 별도로 형성함으로써 다량의 공기가 순환될 수 있으며, 제1및 제2필터를 구비함으로써 집진효율을 증대할 수 있다.

Description

클린룸 엘리베이터{Clean room elevator}

본 발명은 엘리베이터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부 공간을 쾌적한 상태로 유지할 수 있도록 공기청정 시스템을 도입하여 내부 청정도를 향상시킨 클린룸 엘리베이터에 관한 것이다.

일반적으로 엘리베이터는 건물 등에 설치되어 수직방향으로 승강하면서 사람이나 화물을 목적 층까지 운송시켜주는 역할을 한다. 이러한 엘리베이터는 대부분 탑승자나 탑승물의 안전한 운송을 위하여 내부가 밀폐된 구조로 되어 있으며, 다만 정해진 위치에 도달하였을 때에만 도어가 개폐되어 입출입이 가능하도록 되어 있다.

엘리베이터에서는 승객이 탑승할 때 또는 화물을 탑재할 때, 내부로 유입되는 각종 미세한 먼지나 분진, 매연, 유해가스, 곰팡이 세균 등이 내부 공기와 함께 공존하게 된다. 특히, 엘리베이터 내부의 밀폐 특성상 내부 공기의 순환이나 배출이 제대로 이루어지지 않게 되며, 이 때문에 엘리베이터 내부는 쾌적하지 못하게 되고, 아울러 엘리베이터는 이용하는 탑승객들에게 건강상 악영향을 미치게 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 외부의 공기를 엘리베이터 내부로 강제 유입시켜 순환되도록 하는 공기청정 기능을 구비한 엘리베이터가 도입되어 사용되고 있다.

한편, 반도체 소자 또는 디스플레이용 소자 등과 같은 미세 전자부품을 제조하는 공정에 있어서는 높은 청정도가 요구되기 때문에 클린룸(Clean room)에서 제조가 이루어진다. 클린룸은 온도, 습도뿐만 아니라, 먼지 등과 같은 마이크로 단위의 미세 파티클(Particle) 등을 일정 수준으로 유지하여 제조단계에서 불량이 발생하는 것을 방지하고 있다. 여기서 온도 및 습도는 자동제어시스템 등을 이용하여 일정하게 유지될 수 있으나, 파티클은 작업자 등에 의하여 외부로부터 클린룸 내부로 유입될 수 있기 때문에 클린룸 내에서 파티클을 일정수준 이하로 유지하는 것이 제조불량을 방지하는 중요한 요소 중 하나로 작용하고 있다.

그러나 공기정화장치를 이용하여 엘리베이터 내부의 공기를 정화하더라도, 고청정을 요구하는 클린룸 내에서 물건이나 작업자가 엘리베이터를 통해 이동하면서 유입되는 미세 먼지나 이물질을 제거하는 데에는 한계가 있고, 이 때문에 결국 클린룸 내에서 생산되는 제품의 불량으로 이어지는 경우가 빈번하게 발생하는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 청정도를 종전 방식보다 더욱 향상시키고 쾌적한 상태를 유지할 수 있도록 하여 클린룸 내에서생산되는 제품의 불량을 최소화할 수 있도록 구조를 개선한 클린룸 엘리베이터를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

이상과 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, 개폐가능하게 설치된 전면도어(111), 상기 전면도어(111)와 대향되게 설치된 후면판(112), 좌측 및 우측에 각각 설치된 좌측 및 우측판(113)(114), 상부에 설치되어 공기가 통과할 수 있도록 다수의 공기소통로(115a)가 형성된 천정판(115) 및 하부에 설치되어, 공기가 통과할 수 있도록 다수의 공기소통로(116a)가 형성된 발판(116)을 포함하며, 내측공간(110a)을 형성하는 내부본체(110)가 구성되고, 상기 좌측 및 우측판(113)(114)으로부터 각각 이격되게 설치되어 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)를 형성하는 좌측 및 우측 공기유로형성판(121)(122)이 구성되며, 상기 천정판(115)으로부터 상측으로 이격되게 설치되고, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 상부를 연통하는 상부공간(130a)을 형성한 상판(130)이 구성되며, 하부에서 상기 발판(116)을 이격되게 지지하고, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 하부를 연통하는 하부공간(140a)을 형성한 바닥판(140)이 구성되고, 상기 하부공간(140a)과 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하도록 프리필터(Pre-filter)로 이루어지는 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)가 구성되며, 상기 상부공간(130a)에 설치되고, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내측공간(110a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하도록 울파필터(Ulpa-filter) 또는 헤파필터(HEPA-filter) 중 어느 하나의 필터로 이루어지는 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)가 구성되며, 상기 상부공간(130a)의 좌측 및 우측에 각각 배치되고, 유입되는 공기가 순차적으로 상기 내측공간(110a),하부공간(140a), 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a), 상부공간(130a)을 강제 순환하도록 하는 좌측 및 우측 블로어(171)(172)를 구비하는 클린룸 엘리베이터에 있어서,라고 전제하에 상기 좌측 제2필터(161)와 우측 제2필터(162)는 상하방향으로 서로 층이 지도록 배치되고, 상기 후면판(112) 방향으로 각각 복수 개 배열된 것을 특징으로 한다.

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본 발명에 따른 클린룸 엘리베이터에 따르면, 공기의 순화유로를 좌측 및 우측에 별도로 형성함으로써 비교적 다량의 공기가 순환되도록 할 수 있으며, 여과 대상 및 효율을 달리하는 제1필터와 제2필터를 별도로 구비함으로써 집진효율을 증대할 수 있다는 장점을 갖는다. 따라서 고청정도를 요구하는 클린룸 내부가 엘리베이터를 통해 오염되는 것을 효과적이고도 효율적으로 방지할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 엘리베이터의 수직 단면도,
도 2는 도 1에 나타낸 클린룸 엘리베이터의 우측 단면도,
도 3은 도 1의 "X"방향에서 본 도면,
도 4는 도 1에 나타낸 클린룸 엘리베이터의 평면도이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 엘리베이터는, 내부본체(110)와, 좌측 및 우측 공기유로형성판(121)(122)과, 상판(130)과, 바닥판(140)과, 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)와, 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)와, 좌측 및 우측 블로어(171)(172)를 구비한다.

상기 내부본체(110)는, 사각 박스(Box)의 형상을 갖는다. 보다 구체적으로는, 개폐가능하게 설치된 전면도어(111)와, 이러한 전면도어(111)와 대향되게 설치된 후면판(112)과, 좌측 및 우측에 각각 설치된 좌측 및 우측판(113)(114)과, 상부에 설치되는 천정판(115)과, 하부에 설치되는 발판(116)을 포함한다. 상기 전면도어(111), 후면판(112), 좌측 및 우측판(113)(114), 천정판(115) 및 발판(116)은, 전면도어(111)의 개폐에 따라 선택적으로 밀폐되는 내측공간(110a)을 형성한다.

한편, 상기 천정판(115) 및 발판(116)에는, 후술할 공기의 순환을 위하여 공기가 통과할 수 있는 다수의 공기소통로(115a,116a)가 각각 형성된 것이 바람직하다. 이러한 공기소통로(115a,116a)는 그릴(Grill), 슬롯(Slot), 메쉬(Mesh) 또는 단순한 원의 형상을 가질 수 있으며, 특정 형상으로 한정되지 않고 다양한 형태가 가능하다.

상기 좌측 및 우측 공기유로형성판(121)(122)은 상기 좌측 및 우측판(113)(114)으로부터 각각 이격되게 설치된다. 그리고 상기 좌측 및 우측판(113)(114)과의 사이에 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)를 각각 형성한다.

상기 상판(130)은 천정판(115)으로부터 상측으로 이격되게 설치된다. 그리고 상기 천정판(115)과의 사이에 상부공간(130a)을 형성한다. 이러한 상부공간(130a)은 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 상부를 연통시킨다.

상기 바닥판(140)은, 하부에서 상기 발판(116)을 이격되게 지지한다. 그리고 상기 발판(116)과의 사이에 하부공간(140a)을 형성한다. 이러한 하부공간(140a)은 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 하부를 연통한다.

상기 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)는 상기 하부공간(140a)과 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과한다. 이러한 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)로는 프리필터(Pre-filter)를 사용하는 것이 바람직하다. 여기서 프리필터란 비교적 입자가 큰 먼지나 분진을 걸러내는 필터로서, 효율은 AFI(Air Filter Institute)로 표시하며, 주로 AFI 80%의 제품을 사용한다. 특히 프리필터는, 헤파필터(HEPA filter)나 울파필터(Ulpa filter)와 같은 클린룸의 최종필터를 보호하기 위한 전처리 필터로서 사용된다.

상기 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)는 상기 상부공간(130a)에 설치되는데, 보다 자세하게는 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내측공간(110a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과한다. 이러한 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)로는 울파필터(Ulpa-filter) 또는 헤파필터(HEPA-filter)를 사용하는 것이 바람직하다. 여기서 울파필터는 슈퍼 클린룸용에 사용할 수 있는 최종 필터로서, 제거대상 먼지 사이즈는 0.1마이크로미터 이상의 먼지나 바이러스이다. 효율은 DOP(Dioctyl Phthalate)로 나타내며, 주로 DOP 99.9995% 또는 99.99995%의 제품을 주로 사용할 수 있다. 그리고 상기 헤파필터는 클린룸을 만들기 위해 사용하는 최종필터로서, 제거 대상 먼지 사이즈는 0.3마이크로미터 이상의 미세한 세균이나 먼지이다. 효율은 울파필터와 같이 DOP로 나타내며, 주로 DOP 99.97%의 제품을 사용한다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 좌측 제2필터(161)와 우측 제2필터(162)는 상하방향으로 서로 층이 지도록 배치할 수 있다. 이렇게 함으로써 내측공간(110a)의 좌측 부분과 좌측 공기유로(121a)를 순환한 공기와, 내측공간(110a)의 루측 부분과 우측 공기유로(122a)를 순환한 공기가, 반대편 쪽에 위치된 제2필터(161,162)의 측부에 부딪혀서 자연스럽게 내측공간(110a) 쪽으로 유동할 수 있기 때문이다.

또한 필터의 효율을 향상시키기 위하여, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)는 상기 후면판(112) 방향으로 각각 복수 개 배열될 수 있다

상기 좌측 및 우측 블로어(171)(172)는 상부공간(130a)의 좌측 및 우측에 각각 배치된다. 이러한 좌측 및 우측 블로어(171)(172)는 유입되는 공기가 순차적으로 상기 내측공간(110a), 하부공간(140a), 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a), 상부공간(130a)을 강제 순환하도록 한다.

이하 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 엘리베이터의 작용 및 효과를 첨부도면을 참조하여 설명하도록 한다.

먼저 각 블로어(171,172)에 의하여 순환되거나 전면도어(111)의 개폐에 의해 새롭게 유입되어 내부본체(110)의 내측공간(110a)을 유동하는 공기는 발판(116)의 공기 소통로(116a)를 통해 하부공간(140a)으로 이동한다.

하부공간(140a)으로 이동된 공기는 그 이동경로에 따라 좌측 및 우측으로 나누어져 좌측 공기유로(121a) 및 우측 공기유로(122a)를 따라 상측으로 이동한다. 이와 같이 공기의 순화유로(121a,122a)를 좌측 및 우측에 별도로 형성함으로써 비교적 다량의 공기가 순환되도록 할 수 있다.

한편 순환하는 공기는 상기 하부공간(140a)과 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)의 연통로 상에 각각 설치된 좌측 및 우측 제1필터(151)(152), 보다 상세하게는 프리필터를 통과하면서 비교적 입자가 큰 먼지나 이물질 등이 제거된 여과 공기 상태로 순환을 하게 된다.

다음으로 각각 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)를 유동하는 순환공기는 상부공간(130a)으로 이동한다.

상부공간으로 이동된 순환공기는 상기 상부공간(130a)에 설치되는 것으로서 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내측공간(110a)의 연통로 상에 각각 배치된 좌측 및 우측 제2필터(161)(162), 보다 상세하게는 헤파필터 또는 우파필터를 통과하면서 마이크로 단위의 미세 먼지나 세균이 제거된 청정의 공기상태로 순환을 하게 된다.

끝으로 제2필터(161,162)를 통과한 청정한 공기는 천정판(115)의 공기 소통로(115a)를 통해 내측공간(110a)으로 이동하며 순환 사이클을 형성하게 된다.

이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명의 실시예에서는 여과 대상 및 효율을 달리하는 제1필터와 제2필터를 별도로 구비함으로써 집진효율을 증대할 수 있다는 장점을 갖는다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

110 : 내부본체 111 : 전면도어
112 : 후면판 113,114 : 좌측 및 우측판
115 : 천정판 115a,116a : 공기소통로
116 : 발판 121,122 : 좌측 및 우측 공기유로형성판
130 : 상판 130a : 상부공간
140 : 바닥판 140a : 하부공간
151,152 : 좌측 및 우측 제1필터 161,162 : 좌측 및 우측 제2필터
171,172 : 좌측 및 우측 블로어

Claims

개폐가능하게 설치된 전면도어(111), 상기 전면도어(111)와 대향되게 설치된 후면판(112), 좌측 및 우측에 각각 설치된 좌측 및 우측판(113)(114), 상부에 설치되어 공기가 통과할 수 있도록 다수의 공기소통로(115a)가 형성된 천정판(115) 및 하부에 설치되어, 공기가 통과할 수 있도록 다수의 공기소통로(116a)가 형성된 발판(116)을 포함하며, 내측공간(110a)을 형성하는 내부본체(110);
상기 좌측 및 우측판(113)(114)으로부터 각각 이격되게 설치되어 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)를 형성하는 좌측 및 우측 공기유로형성판(121)(122);
상기 천정판(115)으로부터 상측으로 이격되게 설치되며, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 상부를 연통하는 상부공간(130a)을 형성한 상판(130);
하부에서 상기 발판(116)을 이격되게 지지하며, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 하부를 연통하는 하부공간(140a)을 형성한 바닥판(140);
상기 하부공간(140a)과 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하도록 프리필터(Pre-filter)로 이루어지는 좌측 및 우측 제1필터(151)(152);
상기 상부공간(130a)에 설치되며, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내측공간(110a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하도록 울파필터(Ulpa-filter) 또는 헤파필터(HEPA-filter) 중 어느 하나의 필터로 이루어지는 좌측 및 우측 제2필터(161)(162);
상기 상부공간(130a)의 좌측 및 우측에 각각 배치되며, 유입되는 공기가 순차적으로 상기 내측공간(110a), 하부공간(140a), 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a), 상부공간(130a)을 강제 순환하도록 하는 좌측 및 우측 블로어(171)(172)를 구비하는 클린룸 엘리베이터에 있어서,
상기 좌측 제2필터(161)와 우측 제2필터(162)는 상하방향으로 서로 층이 지도록 배치되고, 상기 후면판(112) 방향으로 각각 복수 개 배열된 것을 특징으로 하는 클린룸 엘리베이터.
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