KR100643252B1 - 클린유닛 - Google Patents

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KR100643252B1
KR100643252B1 KR1020050043976A KR20050043976A KR100643252B1 KR 100643252 B1 KR100643252 B1 KR 100643252B1 KR 1020050043976 A KR1020050043976 A KR 1020050043976A KR 20050043976 A KR20050043976 A KR 20050043976A KR 100643252 B1 KR100643252 B1 KR 100643252B1
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유키오 사사키
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알프스 덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 격벽을 사용하지 않고 클린캡슐 내를 청정한 환경으로 유지할 수 있고, 또한 용이하게 물품을 출납하는 것이 가능한 클린유닛을 제공하는 것이다.
상기 패스박스(32, 33)의 내부 용적을 클린박스(11)의 내부 용적보다도 작아지도록 형성하고, 또한 메인 제진유닛(12)이 클린박스(11)를 향하여 보내주는 공기의 유속보다도, 서브 제진유닛(46, 47)으로부터 패스박스(32, 33)를 향하여 공기를 보내주는 공기의 유속을 빠르게 설정한다.

Description

클린유닛{CLEAN UNIT}
도 1은 본 발명의 클린유닛을 나타내는 분해사시도,
도 2는 본 발명의 클린유닛의 정면 평면도,
도 3은 본 발명의 클린유닛의 작용을 나타내는 설명도,
도 4는 본 발명의 검증에 있어서 측정 포인트를 나타낸 설명도,
도 5는 본 발명의 검증결과를 나타내는 설명도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 클린유닛 11 : 클린박스
12 : 메인 제진유닛 32, 33 : 패스박스
32a, 33a : 제 1 측면 32b, 33b : 제 2 측면
41, 42 : 제 1 개구 43, 44 : 제 2 개구
46, 47 : 서브 제진유닛
본 발명은 내부를 제진환경으로 유지하는 것이 가능한 클린캡슐을 가지는 클린유닛에 관한 것이다.
예를 들면 반도체 등을 제조하는 클린룸에서는, HEPA 필터 등을 구비한 공기정화장치를 통하여 청정화된 매우 먼지가 적은 공기를 통기구로부터 보냄으로써 클린룸 내를 고도한 청정환경으로 유지하고 있다. 이와 같은 클린룸의 설치는, 건축물 전체나 칸막이된 플로어에 제진장치나 덕트를 설계, 설치하여 가는 대규모의 공사를 수반한다. 한편, 실내의 탁상 등에 설치하여 일정하게 구획된 작은 영역을 청정환경하에 유지하는 클린캡슐 등이라 불리우는 간이 클린룸이 알려져 있다.
이와 같은 클린캡슐 내에 외부로부터 물품 등을 출납할 때에는 클린캡슐 내의 청정환경을 유지하기 위하여 외기가 절대 클린캡슐 내로 침입하지 않도록 할 필요가 있다. 이 때문에 종래의 클린캡슐에서는 클린캡슐에 인접하여 패스박스 등을 설치하여 이 패스박스의 외기에 면한 개구에 셔터나 비닐커튼 등의 격벽을 설치함과 동시에 클린캡슐 내를 양압(陽壓; positive pressure)으로 하여 물품 등을 출납할 때에 외기가 되도록 클린캡슐 내로 침입하지 않는 구조로 되어 있다. 또 예를 들면 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이 클린룸에 인접하여 인터페이스 챔버(interface chamber)를 형성하고, 이 인터페이스 챔버의 개구에 순환식의 에어커튼을 형성한 것도 알려져 있다.
[특허문헌 1]
일본국 특개2000-297953호 공보
그러나, 종래와 같이 패스박스의 외기에 면한 개구에 셔터나 비닐커튼 등의 격벽을 설치하여 클린캡슐 내의 청정환경을 유지하는 방법에서는, 격벽을 차례로 개방하여 가는 등, 물품을 클린캡슐로부터 출납하는 데 시간이 걸리고, 잘못된 격벽의 조작으로 클린캡슐 내를 오염시킬 염려가 있었다. 또 소형의 클린캡슐에서는 개구면적이 클린캡슐의 용량에 대하여 비교적 커지기 때문에, 격벽의 개방시에 외기의 침입이 일어나기 쉬워 클린캡슐 내를 오염시킬 염려가 있었다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 격벽을 사용하지 않고 클린캡슐 내를 청정한 환경으로 유지할 수 있고, 또한 용이하게 물품을 출납하는 것이 가능한 클린유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의하면, 공기를 제진하는 메인 제진유닛으로부터 보내지는 제진된 공기가 유입하는 클린박스와, 상기 클린박스에 인접하여 배치되어 공기를 제진하는 서브 제진유닛으로부터 보내지는 제진된 공기가 유입하는 패스박스(pass box)를 적어도 1개 이상 가지고, 상기 패스박스의 내부 용적이 상기 클린박스의 내부 용적보다도 작아지도록 상기 패스박스를 형성함과 동시에, 상기 메인 제진유닛으로부터 상기 클린박스에 보내지는 공기의 유속보다도 상기 서브 제진유닛으로부터 상기 패스박스에 보내지는 공기의 유속이 빨라지도록 설정한 것을 특징으로 하는 클린유닛이 제공된다.
상기 패스박스는 바닥면이 통기 가능하게 형성되고, 적어도 상기 바닥면에 있어서 공기의 유통이 확보되면 좋다. 상기 패스박스의 제 1 측면에는 상기 클린박스에 개방된 제 1 개구가 형성되고, 상기 제 1 측면과 대면하는 제 2 측면에는 외기를 향하여 개방된 제 2 개구가 형성되면 좋다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 클린유닛의 구성의 일례를 나타내는 외관 사시도이다. 또 도 2는 그 정면 평면도이다. 탁상 등에 설치 가능한 소형의 클린룸인 클린유닛(10)은, 클린박스(11), 메인 제진유닛(12) 및 순환부(30)로 이루어지는 메인 유닛(31)과, 클린박스(11)의 양쪽에 각각 인접하여 배치되는 패스박스(32, 33; pass box)로 구성되어 있다.
클린박스(11)는 예를 들면 알루미늄 골재 등으로 형성된 직사각형의 프레임체에, 예를 들면 대전방지처리를 실시한 투명한 아크릴판을 고정하여 형성하면 좋다. 이와 같은 클린박스(11)의 내부에는 청정한 환경하에 둘 필요가 있는 장치 등을 수용하고, 예를 들면 500mm 입방 크기의 소형의 정육면체로 형성되면 좋다.
클린박스(11)의 앞면측에는 양압확보 배기구(18)가 형성되어 있다. 이 양압 확보 배기구(18)는 개폐 자유로운 댐퍼판(19)으로 덮여지는 구조이면 좋다.
클린박스(11)의 양 측면에는 뒤에서 설명하는 패스박스(32, 33)와의 사이에서 개방되는 개구(34, 35)가 각각 형성되어 있다. 이와 같은 개구(34, 35)를 거쳐 클린박스(11)와 패스박스(32, 33)와의 사이는 항상 개방상태에 놓여진다. 클린박스(11)의 배면 하부에는 통기구(38)가 형성되어 있다. 통기구(38)는 순환부(30)와의 사이에서 공기의 유통을 가능하게 하여 메인 유닛(31)의 공기의 순환과정에서 클린박스(11) 내의 공기를 순환부(30)에 유입시키는 역할을 한다.
메인 제진유닛(12)은, 클린박스(11) 및 순환부(30)의 상부에 설치되어 있고, 팬(36) 및 필터 유닛(37)을 구비하고 있다. 팬(36)은 회전에 의하여 필터 유닛(37)측을 가압으로 한다. 필터 유닛(37)은 유리울(glass wool)을 주재료로 한 페이퍼형상의 필터, 예를 들면 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터가 내장되어 있다. HEPA 필터는 집진효과를 높이기 위하여, 예를 들면 넓은 표면적의 것이 굴곡되어 넣어져 있으면 되고, 관성, 확산, 충돌의 필터 3작용에 의하여 1㎛ 이하의 매우 미세한 먼지도 포착할 수 있다.
이와 같은 필터 유닛(37)의 하면으로부터는 예를 들면 1 입방피트 중에 미세한 먼지가 10개 이하의 청정한 공기가 공급된다. 또한 필터 유닛(37)에 사용되는 필터재는 상기한 HEPA 필터 이외에도 예를 들면 ULPA(Ultra Low Particulate Air) 필터등, 더욱 고성능의 필터를 사용하여도 좋다. 이와 같은 구성의 메인 제진유닛(12)으로부터는 예를 들면 유속이 0.45 m/s로 클린박스(11)를 향하여 제진한 공기를 보내주면 좋다.
클린박스(11)의 뒷부분에는 순환부(30)가 형성되어 있다. 순환부(30)는 클린박스(11)의 통기구(38)와 메인 제진유닛(12)의 팬(36)을 연결하는 덕트의 역할을 하고, 메인 제진유닛(12)으로부터 클린박스(11)로 분출된 공기를 다시 메인 제진유닛(12)으로 복귀시켜 메인 유닛(31)의 공기의 순환공정을 형성한다.
이와 같은 순환부(30)의 한쪽 끝에는 급기팬(39)이 설치되어 있어도 좋다. 급기팬(39)은 외기를 일정량만 메인 유닛(31) 내로 도입하여 클린박스(11) 내를 가압환경으로 유지한다.
이상과 같은 구성의 메인 유닛(31)에서는 급기팬(39)이나 통기구(38)로부터 순환부(30)로 유입한 공기는, 메인 제진유닛(12)의 팬(36)에 의하여 필터 유닛(37)에 보내지고, 필터 유닛(37)을 구성하는 HEPA 필터 등에 의하여 소정의 청정도(예를 들면, 0.3㎛ 기준으로 클래스 10)까지 제진된다.
이와 같이 하여 필터 유닛(37)으로 소정의 청정도까지 제진된 청정한 공기는 클린박스(11)로 유입된다. 클린박스(11)는 소정의 청정도까지 제진된 청정한 공기로 채워진다. 그리고 클린박스(11) 내의 공기는 통기구(38)를 거쳐 다시 순환부(30)로 되돌아간다. 이와 같이 하여 메인 유닛(31) 내의 공기의 순환공정(파선 화살표 R)이 형성된다.
클린박스(11)의 양 측면에 각각 접속되는 패스박스(32, 33)는 예를 들면 대전방지처리를 실시한 투명한 아크릴판으로 구성되면 좋고, 예를 들면 200mm 입방 크기의 소형의 정육면체로 형성되면 좋다.
이와 같은 패스박스(32, 33)의 내부 용적은 클린박스(11)의 내부 용적보다도 작아지도록 형성된다. 예를 들면 클린박스(11)의 내부 용적이 500mm 입방으로 형성되었을 때, 패스박스(32, 33)의 내부 용적은 200mm 입방으로 형성되면 좋다.
패스박스(32, 33)의 클린박스(11)에 대면하는 제 1 측면(32a, 33a)에는 클린박스(11)의 개구(34, 35)에 각각 대응하는 제 1 개구(41, 42)가 각각 형성되어 있다. 이와 같은 제 1 개구(41, 42)와 클린박스(11)의 개구(34, 35)가 각각 대면하여 형성됨으로써 패스박스(32, 33)에는 각각 클린박스(11)에 대하여 항시 개방된 개방면이 형성된다.
패스박스(32, 33)의 제 1 측면(32a, 33a)과 대면하는 제 2 측면(32b, 33b)에는 외기를 향하여 개방된 제 2 개구(43, 44)가 각각 형성되어 있다. 이와 같은 외기에 면한 제 2 개구(43, 44) 및 클린박스(11)에 면한 제 1 개구(41, 42)에 의하여 클린박스(11)로부터 패스박스(32, 33)를 거쳐 외기에 이르는 격벽이 없는 일련의 개방통로(P)가 형성된다.
패스박스(32, 33)의 바닥면(32c, 33c)은 통기 가능한 개방면을 이룬다. 이와 같은 바닥면(32c, 33c)은 예를 들면 금속망이나 펀칭보드 등, 통기 가능하고 또한 패스박스(32, 33)를 거쳐 클린박스(11)로부터 출납하는 물품이 낙하하지 않는 것으로 구성되어 있으면 좋다.
패스박스(32, 33)의 상부에는 각각 서브 제진유닛(46, 47)이 설치되어 있다. 서브 제진유닛(46, 47)은 각각 팬(51, 52) 및 필터유닛(53, 54)을 구비하고 있다. 팬(51, 52)은 회전에 의하여 필터 유닛(53, 54)측을 각각 가압으로 한다.
필터유닛(53, 54)도 메인 제진유닛(12)의 필터유닛(37)과 마찬가지로 예를 들면 HEPA 필터가 내장되어 있으면 좋다. 이와 같은 필터유닛(53, 54)의 하면으로부터는 예를 들면 1 입방 피트 중에 미세한 먼지가 100개 이하의 청정한 공기가 공급된다. 또한 필터 유닛(37)에 사용되는 필터재는, 상기한 HEPA 필터 이외에도 예를 들면 ULPA(Ultra Low Particulate Air) 필터 등, 더 한층의 고성능의 필터를 사용하여도 좋다.
이와 같은 서브 제진유닛(46, 47)으로부터는, 메인 제진유닛(12)이 클린박스(11)를 향하여 보내주는 공기의 유속보다도 빠른 유속으로 제진한 공기가 패스박스(32, 33)에 보내진다. 메인 제진유닛(12)으로부터 보내지는 공기의 유속이 0.45m/s 로 설정되었을 때에, 서브 제진유닛(46, 47)으로부터는 예를 들면 유속이 1.1m/s로 패스박스(32, 33)를 향하여 제진한 공기를 보내주면 좋다. 그리고 서브 제진유닛(46, 47)으로부터 보내진 청정한 공기는, 패스박스(32, 33)의 통기 가능한 바닥면(32c, 33c)으로부터 배출된다. 이에 의하여 패스박스(32, 33)의 바닥면(32c, 33c)은 항상 공기의 유통이 확보된다.
클린유닛(10)은 상기한 바와 같이 패스박스(32, 33)의 내부 용적을 클린박스(11)의 내부 용적보다도 작아지도록 형성하고, 또한 메인 제진유닛(12)이 클린박스(11)를 향하여 보내주는 공기의 유속보다도, 서브 제진유닛(46, 47)으로부터 패스박스(32, 33)를 향하여 공기를 보내주는 공기의 유속을 빠르게 설정함으로써, 클린박스(11)는 패스박스(32, 33)를 거쳐 항상 개방상태이어도 클린박스(11) 내의 청정도를 소정의 레벨로 유지하는 것이 가능하게 된다.
다음에 본 발명의 클린유닛의 작용을 설명한다. 클린유닛(10)은 클린박스(11)가 패스박스(32, 33)와의 사이에서 개방면을 형성하고, 그 패스박스(32, 33)는 외기를 향하여 제 2 개구(43, 44)에서 개방되어 있다. 즉, 클린박스(11)는 패스박스(32, 33)를 거친 외기와의 사이에서 격벽이 존재하지 않는 개방통로(P)가 형성되어 있다.
셔터 등의 격벽으로 클린박스 내의 청정도를 유지하는 방식에서는 클린박스 내의 정압을 올리면 좋으나, 본 발명의 클린유닛(10)에서는 클린박스(11)가 패스박스(32, 33)를 거쳐 항상 외기를 향하여 개방되어 있고, 클린박스(11)의 정압과, 메인 제진유닛(12)이나 서브 제진유닛(46, 47)으로부터 보내지는 공기의 유속에 의한 동압에 의하여 클린박스(11) 내의 청정도가 확보된다.
그 때문에 메인 제진유닛(12)이 클린박스(11)를 향하여 보내주는 공기의 유속보다, 서브 제진유닛(46, 47)으로부터 패스박스(32, 33)를 향하여 공기를 보내주는 공기의 유속이 빨라지도록 설정하고, 패스박스(32, 33)의 바닥면(32c, 33c)에서 항상 공기의 유통이 확보되도록 구성함으로써 패스박스(32, 33)의 정압과 동압으로 이루어지는 전압이, 클린박스(11)의 전압보다도 높아져 격벽을 설치하지 않아도 클린박스(11) 내의 청정도를 소정의 레벨로 유지할 수 있다.
본 발명의 클린유닛(10)과 같이 격벽 등을 설치하지 않고 클린박스(11) 내의 청정도를 유지할 수 있으면, 물품 등을 클린박스(11) 내로부터 출납할 때에 특별히 조작하기 쉽게 되어, 격벽의 조작순서 실수에 의한 클린박스 내의 오염이라는 것도 없어진다. 또 패스박스(32)로부터 클린박스(11)를 거쳐 패스박스(33)에 이르는 직선형상의 개방된 개방통로(P)가 형성됨으로써 예를 들면 청정도를 요구받는 제조공정을 포함하는 제조라인을 연속하여 움직이면서 청정도를 확보하는 것도 가능하게 된다.
본 발명의 클린유닛(10)에서는, 예를 들면 도 3a에 나타내는 바와 같이 파티클이 0.3㎛ 입자지름 기준에 있어서, 패스박스(32, 33)의 외기에 면한 제 2 개구(43, 44)의 근방에서는 클래스 30000 정도가 되나, 패스박스(32, 33)의 정압과 동압으로 이루어지는 전압에 의하여 패스박스(32, 33)의 클린박스(11) 근처의 부분은 클래스 200의 청정도로 유지된다. 그리고 이와 같은 패스박스(32, 33)에 끼워진 클린박스(11) 내는 클래스 10의 청정도를 달성할 수 있다.
또, 예를 들면 도 3b에 나타내는 바와 같이 파티클이 0.5㎛ 입자지름 기준에 있어서, 패스박스(32, 33)의 외기에 면한 제 2 개구(43, 44)의 근방에서는 클래스 10000정도가 되나, 패스박스(32, 33)의 정압과 동압으로 이루어지는 전압에 의하여 패스박스(32, 33)의 클린박스(11) 근처의 부분은 클래스 100의 청정도로 유지된다. 클린박스(11) 내는 클래스 1의 청정도를 달성할 수 있다.
(실시예)
본 출원인은 본 발명의 효과를 검증하였다. 검증에 있어서, 도 1, 2에 나타내는 클린유닛(10)을 준비하였다. 클린박스(11)는 350 × 350 × 430(mm) 크기의 아크릴제의 것을 사용하였다. 2개의 패스박스(32, 33)는 180 × 180 × 220(mm)크기의 아크릴제의 것을 각각 사용하였다. 메인 제진유닛(12)은 0.3㎛ 입자지름 기준으로 클래스 10의 제진능력이 있는 것을 사용하였다. 또 서브 제진유닛(46, 47)은 0.3㎛ 입자지름 기준으로 클래스 200의 제진능력이 있는 것을 사용하였다.
상기한 바와 같은 클린유닛(10)을 사용하여 메인 제진유닛(12)의 공기의 유속을 0.15 m/s, 0.45ms의 2단계로 변화시키고, 또 서브 제진유닛(46, 47)의 공기의 유속을 0m/s(OFF), 0.4ms, 1.1m/s의 3단계로 변화시켰다. 그리고 클린박스(11) 및 패스박스(32, 33)에 설정한 복수의 측정 위치에 있어서, 0.3㎛ 입자지름 기준 및 0.5㎛ 입자지름 기준에 있어서의 1 입방피트 중의 입자수(클래스)를 파티클 카운터로 계측하였다. 도 4에 검증에 사용한 클린유닛(10)에 있어서의 측정 포인트의 위치를 동그라미로 둘러싼 숫자로 나타내었다. 이와 같은 측정 포인트를 나타내는 동그라미로 둘러싼 숫자는, 나중에 나타내는 측정결과의 각 표 중의 측정점의 항목에 대응한다.
표 1에 0.3㎛ 입자지름 기준에 있어서, 메인 제진유닛(12) 및 서브 제진유닛(46, 47)의 유속을 변화시켜 주요 측정점에서의 입자수(클래스)를 측정한 결과를 나타낸다. 마찬가지로 표 2에 0.5㎛ 입자지름 기준에 있어서, 메인 제진유닛(12) 및 서브 제진유닛(46, 47)의 유속을 변화시켜 주요 측정점에서의 입자수(클래스)를 측정한 결과를 나타낸다.
Figure 112005027411329-pat00001
Figure 112005027411329-pat00002
표 1 및 표 2에 나타내는 검증결과에 의하면, 메인 제진유닛(12) 및 서브 제진유닛(46, 47) 모두 유속을 빠르게 함으로써 각 측정점에서의 입자수(클래스)가 감소하는 것이 확인되었다. 그리고 메인 제진유닛(1)의 유속보다 서브 제진유닛(46, 47)의 유속을 빠르게 하는, 즉 클린박스(11)의 공기의 유속보다 패스박스(32, 33)의 공기의 유속을 빠르게 함으로써, 클린박스(11) 내는 0.3㎛ 입자지름 기준으로 대략 클래스 10에, 0.5㎛ 입자지름 기준으로 클래스 1 이하의 청정도가 얻어지는 것이 확인되었다.
이와 같은 표 1, 표 2에 나타내는 결과에 의거하여, 각 측정점에서의 청정도의 상대평가를 행한 결과를 0.3㎛ 입자지름 기준에 대하여 표 3에 0.5㎛ 입자지름 기준에 대하여 표 4에 각각 나타낸다. 또 이와 같은 표 3, 표 4에 나타내는 각 측정점에서의 청정도의 상대평가를 클린유닛의 측정점에 기재한 결과를 도 5에 나타낸다.
Figure 112005027411329-pat00003
Figure 112005027411329-pat00004
표 3, 표 4 및 도 5에 나타내는 상대평가에 의하면 메인 제진유닛(12) 및 서브 제진유닛(46, 47) 모두 유속을 빠르게 함으로써 클린박스(11) 내의 청정도가 현저하게 향상하는 것이 분명하게 되어 본 발명의 클린유닛의 효과가 확인되었다.
본 발명의 클린유닛에 의하면, 패스박스의 내부 용적을 클린박스의 내부 용적보다도 작아지도록 형성하고, 또한 메인 제진유닛이 클린박스를 향하여 보내주는 공기의 유속보다도, 서브 제진유닛로부터 패스박스를 향하여 공기를 보내주는 공기의 유속을 빠르게 설정함으로써, 클린박스는 패스박스를 거쳐 항상 개방상태이더라도 클린박스 내의 청정도를 소정의 레벨로 유지하는 것이 가능하게 된다.

Claims (3)

  1. 공기를 제진하는 메인 제진유닛으로부터 보내지는 제진된 공기가 유입하는 클린박스와, 상기 클린박스에 인접하여 배치되고, 공기를 제진하는 서브 제진유닛으로부터 보내지는 제진된 공기가 유입하는 패스박스를 적어도 하나 이상 가지고,
    상기 패스박스의 내부 용적이 상기 클린박스의 내부 용적보다도 작아지도록 상기 패스박스를 형성함과 동시에, 상기 메인 제진유닛으로부터 상기 클린박스에 보내지는 공기의 유속보다도, 상기 서브 제진유닛으로부터 상기 패스박스에 보내지는 공기의 유속이 빨라지도록 설정한 것을 특징으로 하는 클린유닛.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 패스박스는 바닥면이 통기 가능하게 형성되고, 적어도 상기 바닥면에 있어서 공기의 유통이 확보되는 것을 특징으로 하는 클린유닛.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 패스박스의 제 1 측면에는 상기 클린박스에 개방된 제 1 개구가 형성되고, 상기 제 1 측면과 대면하는 제 2 측면에는 외기를 향하여 개방된 제 2 개구가 형성되는 것을 특징으로 하는 클린유닛.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4950609B2 (ja) * 2006-09-13 2012-06-13 新日鉄エンジニアリング株式会社 アスベスト廃棄物処理装置
CN115090472A (zh) * 2022-08-01 2022-09-23 浙江永康鼎源信息技术有限责任公司 一种可均匀喷漆的五金工件喷漆设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62147250A (ja) 1985-12-20 1987-07-01 Shimizu Constr Co Ltd クリ−ンル−ム
JPS6446528A (en) * 1987-08-12 1989-02-21 Hitachi Ltd Clean room
KR19980024008A (ko) * 1996-09-20 1998-07-06 기다오까 다까시 클린 룸
JP2002089920A (ja) 2000-09-19 2002-03-27 Taisei Corp クリーンルーム及び半導体デバイスもしくは液晶ディスプレーの製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62147250A (ja) 1985-12-20 1987-07-01 Shimizu Constr Co Ltd クリ−ンル−ム
JPS6446528A (en) * 1987-08-12 1989-02-21 Hitachi Ltd Clean room
KR19980024008A (ko) * 1996-09-20 1998-07-06 기다오까 다까시 클린 룸
JP2002089920A (ja) 2000-09-19 2002-03-27 Taisei Corp クリーンルーム及び半導体デバイスもしくは液晶ディスプレーの製造方法

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