JPH11347937A - 研磨加工室の換気構造 - Google Patents
研磨加工室の換気構造Info
- Publication number
- JPH11347937A JPH11347937A JP10174106A JP17410698A JPH11347937A JP H11347937 A JPH11347937 A JP H11347937A JP 10174106 A JP10174106 A JP 10174106A JP 17410698 A JP17410698 A JP 17410698A JP H11347937 A JPH11347937 A JP H11347937A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- wall
- polishing
- ventilation structure
- processing chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/02—Ducting arrangements
- F24F13/06—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser
- F24F13/068—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser formed as perforated walls, ceilings or floors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/06—Dust extraction equipment on grinding or polishing machines
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
- F24F13/082—Grilles, registers or guards
- F24F2013/088—Air-flow straightener
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工室内の空気流を略層流にして、パーティ
クルの舞い上がりや攪乱を無くすることにより、被加工
物のスクラッチの発生を防止した研磨加工室の換気構造
を提供する。 【解決手段】 研磨加工機１００を収納した加工室１内
を換気するための研磨加工室の換気構造である。具体的
には、天壁部１０に設けられ且つフィルタユニット４−
１，４−２が取り付けられた吸気ダクト２−１，２−２
と、側壁部１２に取り付けられた排気ブロア３と、天壁
部１０の下側に画成され多数の小孔５２を有する多孔チ
ャンバ５とで構成した。外部空気を多孔チャンバ５の小
孔５２から加工室１内に噴出することで、下定盤１０１
側に下降する空気の層流を形成し、この層流で下定盤１
０１周囲に飛散したパーティクルを床壁部１１側に押し
下げる。そして、排気ブロア３でパーティクルを加工室
１外部に排出する。
クルの舞い上がりや攪乱を無くすることにより、被加工
物のスクラッチの発生を防止した研磨加工室の換気構造
を提供する。 【解決手段】 研磨加工機１００を収納した加工室１内
を換気するための研磨加工室の換気構造である。具体的
には、天壁部１０に設けられ且つフィルタユニット４−
１，４−２が取り付けられた吸気ダクト２−１，２−２
と、側壁部１２に取り付けられた排気ブロア３と、天壁
部１０の下側に画成され多数の小孔５２を有する多孔チ
ャンバ５とで構成した。外部空気を多孔チャンバ５の小
孔５２から加工室１内に噴出することで、下定盤１０１
側に下降する空気の層流を形成し、この層流で下定盤１
０１周囲に飛散したパーティクルを床壁部１１側に押し
下げる。そして、排気ブロア３でパーティクルを加工室
１外部に排出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、研磨加工機が収
納された研磨加工室の換気構造に関するものである。
納された研磨加工室の換気構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１０は 従来の研磨加工室の換気構造
を示す概略断面図である。図１０に示すように、研磨加
工機１００を収納した加工室１は天壁部１０と床壁部１
１と側壁部１２とで画成されている。研磨加工機１００
は、下定盤１０１と、ウエハＷを保持可能なキャリア１
０２とを有してなる。この研磨加工機１００は、図１０
の二点鎖線で示すように、キャリア１０２が保持したウ
エハＷを回転する下定盤１０１上に押圧しながら回転す
ることで、ウエハＷを研磨する。この研磨作業時に、図
示しないスラリを下定盤１０１上に供給して、ウエハＷ
の研磨効率を促進させるが、スラリの凝固砥粒や研磨粉
等のパーティクルが加工室１内に飛散する。研磨加工室
の換気構造は、これらのパーティクルを外部に排出する
ためのもので、天壁部１０に設けられた吸気ダクト２−
１，２−２と側壁部１２に取り付けられた排気ブロア３
とで構成されている。すなわち、吸気ダクト２−１，２
−２のそれぞれに取り付けられたフィルタユニット４−
１，４−２の換気扇４０を回転させることにより、外部
の空気をフィルタ４１及び吸気ダクト２−１，２−２を
通じて加工室１内に吸い込む。そして、排気ブロア３を
駆動させて、この空気を上記パーティクルと共に排出す
ることで、研磨中に生じた加工室１内のパーティクルを
除去するようになっている。
を示す概略断面図である。図１０に示すように、研磨加
工機１００を収納した加工室１は天壁部１０と床壁部１
１と側壁部１２とで画成されている。研磨加工機１００
は、下定盤１０１と、ウエハＷを保持可能なキャリア１
０２とを有してなる。この研磨加工機１００は、図１０
の二点鎖線で示すように、キャリア１０２が保持したウ
エハＷを回転する下定盤１０１上に押圧しながら回転す
ることで、ウエハＷを研磨する。この研磨作業時に、図
示しないスラリを下定盤１０１上に供給して、ウエハＷ
の研磨効率を促進させるが、スラリの凝固砥粒や研磨粉
等のパーティクルが加工室１内に飛散する。研磨加工室
の換気構造は、これらのパーティクルを外部に排出する
ためのもので、天壁部１０に設けられた吸気ダクト２−
１，２−２と側壁部１２に取り付けられた排気ブロア３
とで構成されている。すなわち、吸気ダクト２−１，２
−２のそれぞれに取り付けられたフィルタユニット４−
１，４−２の換気扇４０を回転させることにより、外部
の空気をフィルタ４１及び吸気ダクト２−１，２−２を
通じて加工室１内に吸い込む。そして、排気ブロア３を
駆動させて、この空気を上記パーティクルと共に排出す
ることで、研磨中に生じた加工室１内のパーティクルを
除去するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の研磨加工室の換気構造では、外部の空気を小開
口の吸気ダクト２−１，２−２から加工室１内に直接流
入する構造であるので、図１１に示すように、加工室１
内で空気Ａの乱流や対流が生じてしまう。このため、パ
ーティクルがこの乱流や対流に巻き込まれて、研磨中の
ウエハＷと下定盤１０１との間に入り込み、ウエハＷに
スクラッチを発生させる原因となっていた。さらに、従
来の研磨加工室の換気構造では、排気ブロア３が下定盤
１０１の研磨面１０１ａよりも上方位置に取り付けられ
ているので、この研磨面１０１ａよりも下方にあるパー
ティクルが排気ブロア３の吸引力によって下定盤１０１
の研磨面側に舞い上がり、下定盤１０１の研磨面に付着
して、ウエハＷと下定盤１０１との間に入り込むおそれ
がある。
た従来の研磨加工室の換気構造では、外部の空気を小開
口の吸気ダクト２−１，２−２から加工室１内に直接流
入する構造であるので、図１１に示すように、加工室１
内で空気Ａの乱流や対流が生じてしまう。このため、パ
ーティクルがこの乱流や対流に巻き込まれて、研磨中の
ウエハＷと下定盤１０１との間に入り込み、ウエハＷに
スクラッチを発生させる原因となっていた。さらに、従
来の研磨加工室の換気構造では、排気ブロア３が下定盤
１０１の研磨面１０１ａよりも上方位置に取り付けられ
ているので、この研磨面１０１ａよりも下方にあるパー
ティクルが排気ブロア３の吸引力によって下定盤１０１
の研磨面側に舞い上がり、下定盤１０１の研磨面に付着
して、ウエハＷと下定盤１０１との間に入り込むおそれ
がある。
【０００４】この発明は上述した課題を解決するために
なされたもので、加工室内の空気流を略層流にして、パ
ーティクルの舞い上がりや攪乱を無くすることにより、
被加工物のスクラッチの発生を防止した研磨加工室の換
気構造を提供することを目的とするものである。
なされたもので、加工室内の空気流を略層流にして、パ
ーティクルの舞い上がりや攪乱を無くすることにより、
被加工物のスクラッチの発生を防止した研磨加工室の換
気構造を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、回転可能な定盤と被加工物をこ
の定盤に押圧して回転可能な加圧体とを有した研磨加工
機を収納し、且つ定盤が組み付けられた第１の壁部を有
する加工室を換気するための研磨加工室の換気構造にお
いて、加工室の壁部であって第１の壁部と対向する第２
の壁部に設けられ且つ防塵用のフィルタが取り付けられ
た吸気ダクトと、加工室の壁部であって第１及び第２の
壁部の周囲に気密に取り付けられた側壁部又は第１の壁
部の少なくとも一方に取り付けられた排気装置と、第２
の壁部の内側近傍に第２の壁部の略全体に渡って画成さ
れ且つ第１の壁部と対向する面に多数の小孔が略均一に
穿設された多孔チャンバとを具備する構成とした。かか
る構成により、排気装置の駆動によって、加工室外部の
空気が第２の壁部に設けられた吸気ダクトから多孔チャ
ンバ内に吸い込まれ、多孔チャンバ内に充満する。そし
て、多孔チャンバ内に充満した空気が第１の壁部と対向
する面に略均一に穿設された多数の小孔から噴出し、こ
れらの空気が略層流になって第１の壁部側に流れた後、
排気装置によって、加工室外部に排出される。
に、請求項１の発明は、回転可能な定盤と被加工物をこ
の定盤に押圧して回転可能な加圧体とを有した研磨加工
機を収納し、且つ定盤が組み付けられた第１の壁部を有
する加工室を換気するための研磨加工室の換気構造にお
いて、加工室の壁部であって第１の壁部と対向する第２
の壁部に設けられ且つ防塵用のフィルタが取り付けられ
た吸気ダクトと、加工室の壁部であって第１及び第２の
壁部の周囲に気密に取り付けられた側壁部又は第１の壁
部の少なくとも一方に取り付けられた排気装置と、第２
の壁部の内側近傍に第２の壁部の略全体に渡って画成さ
れ且つ第１の壁部と対向する面に多数の小孔が略均一に
穿設された多孔チャンバとを具備する構成とした。かか
る構成により、排気装置の駆動によって、加工室外部の
空気が第２の壁部に設けられた吸気ダクトから多孔チャ
ンバ内に吸い込まれ、多孔チャンバ内に充満する。そし
て、多孔チャンバ内に充満した空気が第１の壁部と対向
する面に略均一に穿設された多数の小孔から噴出し、こ
れらの空気が略層流になって第１の壁部側に流れた後、
排気装置によって、加工室外部に排出される。
【０００６】ところで、多数の小孔から流出する空気全
体が層流となって第１の壁部側に向かうように、小孔の
直径及び数を設定することが好ましい。そこで、その好
例として、請求項２の発明は、請求項１に記載の研磨加
工室の換気構造において、多孔チャンバの各小孔の直径
を３ｍｍ〜５ｍｍの間の値に設定し、小孔の数を、小孔
の開口面積の総和が当該小孔が穿設された面の面積の１
０％〜２０％の間の値になるように設定した構成として
ある。
体が層流となって第１の壁部側に向かうように、小孔の
直径及び数を設定することが好ましい。そこで、その好
例として、請求項２の発明は、請求項１に記載の研磨加
工室の換気構造において、多孔チャンバの各小孔の直径
を３ｍｍ〜５ｍｍの間の値に設定し、小孔の数を、小孔
の開口面積の総和が当該小孔が穿設された面の面積の１
０％〜２０％の間の値になるように設定した構成として
ある。
【０００７】また、請求項３の発明は、請求項１又は請
求項２に記載の研磨加工室の換気構造において、研磨加
工機の定盤の周囲に間隙を形成するように孔を定盤に遊
嵌した状態で加工室内に取り付けられた隔壁，第１の壁
部，及び側壁部で排気室を画成し、排気室の側壁部又は
第１の壁部の少なくとも一方に排気装置を取り付けた構
成としてある。かかる構成により、多孔チャンバの小孔
から噴出し、略層流となった空気が排気室の隔壁側に流
れ、定盤と隔壁の孔との間隙を通って排気室内に入り込
む。そして、排気室の空気が排気装置によって外部に排
出される。
求項２に記載の研磨加工室の換気構造において、研磨加
工機の定盤の周囲に間隙を形成するように孔を定盤に遊
嵌した状態で加工室内に取り付けられた隔壁，第１の壁
部，及び側壁部で排気室を画成し、排気室の側壁部又は
第１の壁部の少なくとも一方に排気装置を取り付けた構
成としてある。かかる構成により、多孔チャンバの小孔
から噴出し、略層流となった空気が排気室の隔壁側に流
れ、定盤と隔壁の孔との間隙を通って排気室内に入り込
む。そして、排気室の空気が排気装置によって外部に排
出される。
【０００８】ところで、加工室内の空気を定盤の隔壁の
孔との間隙から排気室に流入させるだけでなく、この間
隙とは別の個所から排気室内に流入させるようにしても
よい。そこで、請求項４の発明は、請求項３に記載の研
磨加工室の換気構造において、排気室の隔壁に所定数の
吸気孔を設けた構成としてある。
孔との間隙から排気室に流入させるだけでなく、この間
隙とは別の個所から排気室内に流入させるようにしても
よい。そこで、請求項４の発明は、請求項３に記載の研
磨加工室の換気構造において、排気室の隔壁に所定数の
吸気孔を設けた構成としてある。
【０００９】また、請求項５の発明は、回転可能な定盤
と被加工物をこの定盤に押圧して回転可能な加圧体とを
有した研磨加工機を収納し、且つ定盤が組み付けられた
第１の壁部を有する加工室を換気するための研磨加工室
の換気構造において、加工室の壁部であって第１の壁部
と対向する第２の壁部に設けられ且つ防塵用のフィルタ
が取り付けられた吸気ダクトと、研磨加工機の定盤の周
囲に間隙を形成するように孔を定盤に遊嵌した状態で加
工室内に取り付けられた隔壁，第１の壁部，及び側壁部
で形成された排気室と、排気室の側壁部又は第１の壁部
の少なくとも一方に取り付けられた排気装置とを具備す
る構成とした。さらに、請求項６の発明は、請求項５に
記載の研磨加工室の換気構造において、排気室の隔壁に
所定数の吸気孔を設けた構成としてある。
と被加工物をこの定盤に押圧して回転可能な加圧体とを
有した研磨加工機を収納し、且つ定盤が組み付けられた
第１の壁部を有する加工室を換気するための研磨加工室
の換気構造において、加工室の壁部であって第１の壁部
と対向する第２の壁部に設けられ且つ防塵用のフィルタ
が取り付けられた吸気ダクトと、研磨加工機の定盤の周
囲に間隙を形成するように孔を定盤に遊嵌した状態で加
工室内に取り付けられた隔壁，第１の壁部，及び側壁部
で形成された排気室と、排気室の側壁部又は第１の壁部
の少なくとも一方に取り付けられた排気装置とを具備す
る構成とした。さらに、請求項６の発明は、請求項５に
記載の研磨加工室の換気構造において、排気室の隔壁に
所定数の吸気孔を設けた構成としてある。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。 （第１の実施形態）図１は、この発明の第１の実施形態
に係る研磨加工室の換気構造を示す概略断面図である。
なお、図１０及び図１１に示した部材と同一部材につい
ては同一符号を付して説明する。図１において、研磨加
工機１００の下定盤１０１は研磨面１０１ａを上向きに
した状態で加工室１内に配置されている。この下定盤１
０１は、加工室１を画成する床壁部１１の下側の駆動室
１１０内のモータ１１１によって駆動回転させられるよ
うになっている。また、研磨加工機１００のキャリア１
０２（加圧体）は、図示しない昇降機構と揺動機構と回
転機構とによって、昇降，揺動，回転させられるように
なっている。なお、符号１０３はインデックステーブル
であり、キャリア１０２はこのインデックステーブル１
０３上に配された未研磨のウエハＷ（被加工物）を保持
してキャリア１０２の研磨面１０１ａ上まで搬送すると
共に既研磨のウエハＷをインデックステーブル１０３上
に戻すようになっている。
いて図面を参照して説明する。 （第１の実施形態）図１は、この発明の第１の実施形態
に係る研磨加工室の換気構造を示す概略断面図である。
なお、図１０及び図１１に示した部材と同一部材につい
ては同一符号を付して説明する。図１において、研磨加
工機１００の下定盤１０１は研磨面１０１ａを上向きに
した状態で加工室１内に配置されている。この下定盤１
０１は、加工室１を画成する床壁部１１の下側の駆動室
１１０内のモータ１１１によって駆動回転させられるよ
うになっている。また、研磨加工機１００のキャリア１
０２（加圧体）は、図示しない昇降機構と揺動機構と回
転機構とによって、昇降，揺動，回転させられるように
なっている。なお、符号１０３はインデックステーブル
であり、キャリア１０２はこのインデックステーブル１
０３上に配された未研磨のウエハＷ（被加工物）を保持
してキャリア１０２の研磨面１０１ａ上まで搬送すると
共に既研磨のウエハＷをインデックステーブル１０３上
に戻すようになっている。
【００１１】加工室１は、上記研磨加工機１００を収納
している。具体的には、加工室１は、床壁部１１（第１
の壁部）と、この床壁部１１と対向した天壁部１０（第
２の壁部）と、これら床壁部１１及び天壁部１０の周囲
に気密に取り付けられた４枚の側壁部１２とで画成され
ている。
している。具体的には、加工室１は、床壁部１１（第１
の壁部）と、この床壁部１１と対向した天壁部１０（第
２の壁部）と、これら床壁部１１及び天壁部１０の周囲
に気密に取り付けられた４枚の側壁部１２とで画成され
ている。
【００１２】この加工室１における換気構造は、フィル
タユニット４−１，４−２が各々取り付けられた吸気ダ
クト２−１，２−２と多孔チャンバ５と排気ブロア３
（排気装置）とで構成されている。
タユニット４−１，４−２が各々取り付けられた吸気ダ
クト２−１，２−２と多孔チャンバ５と排気ブロア３
（排気装置）とで構成されている。
【００１３】吸気ダクト２−１，２−２は、外部の空気
を加工室１内に通す開口である。図２にも示すように、
吸気ダクト２−１は天壁部１０の中心線Ｌの左半部の略
中央に穿設され、吸気ダクト２−２は、右半部の略中央
に穿設されている。図１において、フィルタユニット４
−１，４−２は、各々換気扇４０と防塵用のフィルタ４
１とを有してなり、フィルタ４１を下側にした状態で吸
気ダクト２−１，２−２に取り付けられている。これに
より、換気扇４０を駆動させると、外部の空気を加工室
１内に流入させることができる。
を加工室１内に通す開口である。図２にも示すように、
吸気ダクト２−１は天壁部１０の中心線Ｌの左半部の略
中央に穿設され、吸気ダクト２−２は、右半部の略中央
に穿設されている。図１において、フィルタユニット４
−１，４−２は、各々換気扇４０と防塵用のフィルタ４
１とを有してなり、フィルタ４１を下側にした状態で吸
気ダクト２−１，２−２に取り付けられている。これに
より、換気扇４０を駆動させると、外部の空気を加工室
１内に流入させることができる。
【００１４】多孔チャンバ５は、吸気ダクト２−１，２
−２から流入した空気を層流にして加工室１内に噴出す
るためのものであり、天壁部１０の下側近傍に天壁部１
０の略全面に渡って画成されている。具体的には、多孔
板５０が天壁部１０の下方に平行に取り付けられ、天壁
部１０と多孔板５０との中央部が仕切り板５１で仕切ら
れている。そして、多孔板５０には、図３にも示すよう
に、多数の小孔５２が多孔板５０全面に渡って略均一に
穿設されている。これにより、加工室１外部の空気がこ
の多孔チャンバ５内に一旦蓄えられた後、多数の小孔５
２から一定の圧力で加工室１内に噴出する。ところで、
この実施形態では、略完全な層流を得るため、各小孔５
２の直径を３ｍｍ〜５ｍｍの間の値に設定し、小孔５２
の数を、小孔５２の開口面積の総和が多孔板５０の面積
の１０％〜２０％の間の値になるように設定してある。
−２から流入した空気を層流にして加工室１内に噴出す
るためのものであり、天壁部１０の下側近傍に天壁部１
０の略全面に渡って画成されている。具体的には、多孔
板５０が天壁部１０の下方に平行に取り付けられ、天壁
部１０と多孔板５０との中央部が仕切り板５１で仕切ら
れている。そして、多孔板５０には、図３にも示すよう
に、多数の小孔５２が多孔板５０全面に渡って略均一に
穿設されている。これにより、加工室１外部の空気がこ
の多孔チャンバ５内に一旦蓄えられた後、多数の小孔５
２から一定の圧力で加工室１内に噴出する。ところで、
この実施形態では、略完全な層流を得るため、各小孔５
２の直径を３ｍｍ〜５ｍｍの間の値に設定し、小孔５２
の数を、小孔５２の開口面積の総和が多孔板５０の面積
の１０％〜２０％の間の値になるように設定してある。
【００１５】排気ブロア３は、上記多孔チャンバ５から
層流状態で下降してきた空気を加工室１の外部に排出す
るためのものである。この排気ブロア３は、図１の左側
の側壁部１２に取り付けられ、下定盤１０１の研磨面１
０１ａよりも若干上方に配されている。
層流状態で下降してきた空気を加工室１の外部に排出す
るためのものである。この排気ブロア３は、図１の左側
の側壁部１２に取り付けられ、下定盤１０１の研磨面１
０１ａよりも若干上方に配されている。
【００１６】次に、この実施形態の研磨加工室の換気構
造が示す動作について説明する。図４の二点鎖線で示す
ように、未研磨のウエハＷをキャリア１０２で保持し、
ウエハＷを回転する下定盤１０１の研磨面１０１ａ上に
押圧した状態でキャリア１０２を回転させると、ウエハ
Ｗが下定盤１０１の研磨面１０１ａによって研磨され、
その研磨粉や図示しないスラリの凝固砥粒等がパーティ
クルＰとして下定盤１０１の周囲に飛散する。このよう
な研磨作業前に、フィルタユニット４−１，４−２を駆
動させると、外部の空気が吸気ダクト２−１，２−２を
介して多孔チャンバ５内に吸い込まれ、多孔チャンバ５
内の圧力が上がる。これにより、多孔チャンバ５内の空
気Ａが多数の小孔５２から一定圧力で加工室１内に噴出
し、矢印で示すように、全体的に層流になって下降す
る。この結果、図５に示すように、下定盤１０１の周囲
に飛散したパーティクルＰが層流の空気Ａによって床壁
部１１側に押し下げられる。そして、フィルタユニット
４−１，４−２の駆動と略同時に排気ブロア３を駆動さ
せておくことで、床壁部１１側に押し下げられたパーテ
ィクルＰが空気Ａと共の加工室１の外部に排出される。
造が示す動作について説明する。図４の二点鎖線で示す
ように、未研磨のウエハＷをキャリア１０２で保持し、
ウエハＷを回転する下定盤１０１の研磨面１０１ａ上に
押圧した状態でキャリア１０２を回転させると、ウエハ
Ｗが下定盤１０１の研磨面１０１ａによって研磨され、
その研磨粉や図示しないスラリの凝固砥粒等がパーティ
クルＰとして下定盤１０１の周囲に飛散する。このよう
な研磨作業前に、フィルタユニット４−１，４−２を駆
動させると、外部の空気が吸気ダクト２−１，２−２を
介して多孔チャンバ５内に吸い込まれ、多孔チャンバ５
内の圧力が上がる。これにより、多孔チャンバ５内の空
気Ａが多数の小孔５２から一定圧力で加工室１内に噴出
し、矢印で示すように、全体的に層流になって下降す
る。この結果、図５に示すように、下定盤１０１の周囲
に飛散したパーティクルＰが層流の空気Ａによって床壁
部１１側に押し下げられる。そして、フィルタユニット
４−１，４−２の駆動と略同時に排気ブロア３を駆動さ
せておくことで、床壁部１１側に押し下げられたパーテ
ィクルＰが空気Ａと共の加工室１の外部に排出される。
【００１７】このように、この実施形態の研磨加工室の
換気構造によれば、研磨中に下定盤１０１の周囲に飛散
したパーティクルＰが層流の空気Ａによって床壁部１１
側に押し下げられるので、パーティクルＰが舞い上がる
ことがほとんなく、この結果、パーティクルＰがウエハ
Ｗと研磨面１０１ａとの間に入り込んで、ウエハＷにス
クラッチが生じるという事態はほとんど生じない。
換気構造によれば、研磨中に下定盤１０１の周囲に飛散
したパーティクルＰが層流の空気Ａによって床壁部１１
側に押し下げられるので、パーティクルＰが舞い上がる
ことがほとんなく、この結果、パーティクルＰがウエハ
Ｗと研磨面１０１ａとの間に入り込んで、ウエハＷにス
クラッチが生じるという事態はほとんど生じない。
【００１８】（第２の実施形態）図６は、この発明の第
２の実施形態に係る研磨加工室の換気構造を示す概略断
面図である。なお、図１〜図５に示した部材と同一部材
については同一符号を付して説明する。この実施形態の
研磨加工室の換気構造は、研磨加工機１００の下定盤１
０１の下側に排気室６を画成し、排気ブロア３をこのチ
ャンバー６に取り付けた構成となっている。具体的に
は、図６及び図７に示すように、下定盤１０１の直径よ
りも大きい孔６１を有した隔壁６０が孔６１を介して下
定盤１０１に遊嵌され、孔６１と隔壁６０との間に間隙
６２が形成されている。そして、隔壁６０の周縁が床壁
部１１上に立設された隔壁６３と側壁部１２とに取り付
けられて、排気室６が画成されている。また、隔壁６３
には、加工室１と排気室６とを連通させる吸気孔６４が
設けられている。排気ブロア３は、図６の左側の箇所で
あって、上記排気室６に対応する箇所に取り付けられて
いる。
２の実施形態に係る研磨加工室の換気構造を示す概略断
面図である。なお、図１〜図５に示した部材と同一部材
については同一符号を付して説明する。この実施形態の
研磨加工室の換気構造は、研磨加工機１００の下定盤１
０１の下側に排気室６を画成し、排気ブロア３をこのチ
ャンバー６に取り付けた構成となっている。具体的に
は、図６及び図７に示すように、下定盤１０１の直径よ
りも大きい孔６１を有した隔壁６０が孔６１を介して下
定盤１０１に遊嵌され、孔６１と隔壁６０との間に間隙
６２が形成されている。そして、隔壁６０の周縁が床壁
部１１上に立設された隔壁６３と側壁部１２とに取り付
けられて、排気室６が画成されている。また、隔壁６３
には、加工室１と排気室６とを連通させる吸気孔６４が
設けられている。排気ブロア３は、図６の左側の箇所で
あって、上記排気室６に対応する箇所に取り付けられて
いる。
【００１９】かかる構成により、図８に示すように、吸
気ダクト２−１，２−２から加工室１内に流入された空
気Ａが排気ブロア３によって下定盤１０１と孔６１との
間隙６２から排気室６内に吸い込まれた後、加工室１の
外部に排出される。したがって、研磨中に下定盤１０１
の周囲に飛散したパーティクルＰは、空気Ａと供に排気
室６内に吸い込まれた後、排気ブロア３によって加工室
１の外部に排出されることとなる。その他の構成，作用
効果は上記第１の実施形態と同様であるので、その記載
は省略する。
気ダクト２−１，２−２から加工室１内に流入された空
気Ａが排気ブロア３によって下定盤１０１と孔６１との
間隙６２から排気室６内に吸い込まれた後、加工室１の
外部に排出される。したがって、研磨中に下定盤１０１
の周囲に飛散したパーティクルＰは、空気Ａと供に排気
室６内に吸い込まれた後、排気ブロア３によって加工室
１の外部に排出されることとなる。その他の構成，作用
効果は上記第１の実施形態と同様であるので、その記載
は省略する。
【００２０】（第３の実施形態）図９は、この発明の第
３の実施形態に係る研磨加工室の換気構造を示す概略断
面図である。なお、図１〜図８に示した部材と同一部材
については同一符号を付して説明する。この実施形態の
研磨加工室の換気構造は、上記第１及び第２の実施形態
の換気構造を組み合わせた構成になっている。上記第１
の実施形態の研磨加工室の換気構造では、排気ブロア３
が下定盤１０１の研磨面１０１ａより上方に配されてい
るので、床壁部１１側に押し下げられたパーティクルＰ
が排気ブロア３の吸引力によって研磨面１０１ａの近く
まで舞い上がる事態が発生するおそれがある。一方、上
記第２の実施形態の研磨加工室の換気構造では、下定盤
１０１の周囲に飛散したパーティクルＰの大部分は間隙
６２から排気室６内に吸引される。しかし、加工室１内
の乱流等に巻き込まれるパーティクルＰもあり、このパ
ーティクルＰが下定盤１０１の研磨面１０１ａに付着す
るという事態が発生するおそれもある。
３の実施形態に係る研磨加工室の換気構造を示す概略断
面図である。なお、図１〜図８に示した部材と同一部材
については同一符号を付して説明する。この実施形態の
研磨加工室の換気構造は、上記第１及び第２の実施形態
の換気構造を組み合わせた構成になっている。上記第１
の実施形態の研磨加工室の換気構造では、排気ブロア３
が下定盤１０１の研磨面１０１ａより上方に配されてい
るので、床壁部１１側に押し下げられたパーティクルＰ
が排気ブロア３の吸引力によって研磨面１０１ａの近く
まで舞い上がる事態が発生するおそれがある。一方、上
記第２の実施形態の研磨加工室の換気構造では、下定盤
１０１の周囲に飛散したパーティクルＰの大部分は間隙
６２から排気室６内に吸引される。しかし、加工室１内
の乱流等に巻き込まれるパーティクルＰもあり、このパ
ーティクルＰが下定盤１０１の研磨面１０１ａに付着す
るという事態が発生するおそれもある。
【００２１】そこで、この実施形態の研磨加工室の換気
構造では、上記第１の実施形態と同様に、フィルタユニ
ット４−１，４−２が取り付けられた吸気ダクト２−
１，２−２を有する天壁部１０の下側に、多孔チャンバ
５を設けると共に、上記第２の実施形態と同様に、下定
盤１０１の下側に排気室６を設けて、この排気室６に排
気ブロア３を取り付けた構成とした。かかる構成によ
り、下定盤１０１の周囲に飛散したパーティクルＰが層
流の空気Ａによって排気室６の隔壁６０側に押し下げら
れた後、間隙６２から排気室６内に吸引され、排気ブロ
ア３によって外部に排出されることとなる。この結果、
飛散したパーティクルＰの研磨面１０１ａへの付着が完
全に防止されることとなる。その他の構成，作用効果は
上記第１及び第２の実施形態と同様であるので、その記
載は省略する。
構造では、上記第１の実施形態と同様に、フィルタユニ
ット４−１，４−２が取り付けられた吸気ダクト２−
１，２−２を有する天壁部１０の下側に、多孔チャンバ
５を設けると共に、上記第２の実施形態と同様に、下定
盤１０１の下側に排気室６を設けて、この排気室６に排
気ブロア３を取り付けた構成とした。かかる構成によ
り、下定盤１０１の周囲に飛散したパーティクルＰが層
流の空気Ａによって排気室６の隔壁６０側に押し下げら
れた後、間隙６２から排気室６内に吸引され、排気ブロ
ア３によって外部に排出されることとなる。この結果、
飛散したパーティクルＰの研磨面１０１ａへの付着が完
全に防止されることとなる。その他の構成，作用効果は
上記第１及び第２の実施形態と同様であるので、その記
載は省略する。
【００２２】なお、この発明は、上記実施形態に限定さ
れるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の
変形や変更が可能である。例えば、上記第１及び第２の
実施形態では、多孔チャンバ５に仕切り板５１を設け、
多孔チャンバ５内の空間を二分割したが、仕切り板５１
を設けずに、多孔チャンバ５内を一つの空間にすること
もできる。その場合において、二つの吸気ダクト２−
１，２−２を設けず、一つの吸気ダクト２−１を天壁部
１０の中央部に設け、この吸気ダクト２−１に一つのフ
ィルタユニット４−１を取り付ける構成とすることもで
きる。
れるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の
変形や変更が可能である。例えば、上記第１及び第２の
実施形態では、多孔チャンバ５に仕切り板５１を設け、
多孔チャンバ５内の空間を二分割したが、仕切り板５１
を設けずに、多孔チャンバ５内を一つの空間にすること
もできる。その場合において、二つの吸気ダクト２−
１，２−２を設けず、一つの吸気ダクト２−１を天壁部
１０の中央部に設け、この吸気ダクト２−１に一つのフ
ィルタユニット４−１を取り付ける構成とすることもで
きる。
【００２３】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項１の
発明によれば、多孔チャンバから噴出した空気が略層流
になって研磨加工機の定盤が組み付けられている第１の
壁部側に流れるので、研磨中に生じる被加工物の研磨粉
やスラリの凝固砥粒等のパーティクルが略層流の空気に
よって第１の壁部側に導かれ、排気装置によって、加工
室外部に排出される。この結果、定盤の周囲に飛散した
パーティクルが定盤と被加工物との間に入って被加工物
にスクラッチを発生させるという事態を防止することが
できる。
発明によれば、多孔チャンバから噴出した空気が略層流
になって研磨加工機の定盤が組み付けられている第１の
壁部側に流れるので、研磨中に生じる被加工物の研磨粉
やスラリの凝固砥粒等のパーティクルが略層流の空気に
よって第１の壁部側に導かれ、排気装置によって、加工
室外部に排出される。この結果、定盤の周囲に飛散した
パーティクルが定盤と被加工物との間に入って被加工物
にスクラッチを発生させるという事態を防止することが
できる。
【００２４】また、請求項２の発明によれば、多孔チャ
ンバから噴出する空気を略完全に層流状態にすることが
でき、スクラッチ発生防止の効果をさらに高めることが
できる。
ンバから噴出する空気を略完全に層流状態にすることが
でき、スクラッチ発生防止の効果をさらに高めることが
できる。
【００２５】また、請求項３の発明によれば、定盤の周
囲に飛散したパーティクルを層流の空気によって排気室
の隔壁側に導き、しかも、パーティクルを定盤と隔壁の
孔との間隙から排気室内に吸い込むので、定盤周囲に飛
散したパーティクルを確実に加工室外部に排出すること
ができる。
囲に飛散したパーティクルを層流の空気によって排気室
の隔壁側に導き、しかも、パーティクルを定盤と隔壁の
孔との間隙から排気室内に吸い込むので、定盤周囲に飛
散したパーティクルを確実に加工室外部に排出すること
ができる。
【００２６】また、請求項５及び請求項６の発明によれ
ば、定盤の周囲に飛散したパーティクルを隔壁の孔と定
盤との間隙を通じて排気室内に吸入し、外部に排出する
ことができる。
ば、定盤の周囲に飛散したパーティクルを隔壁の孔と定
盤との間隙を通じて排気室内に吸入し、外部に排出する
ことができる。
【図１】この発明の第１の実施形態に係る研磨加工室の
換気構造を示す概略断面図である。
換気構造を示す概略断面図である。
【図２】吸気ダクトの形成位置を示す斜視図である。
【図３】小孔が多孔板全面に渡って略均一に穿設されて
いる状態を示す平面図である。。
いる状態を示す平面図である。。
【図４】層流形成状態を概略断面図である。
【図５】パーティクルが層流の空気によって床壁部側に
押し下げられる状態を示す概略断面図である。
押し下げられる状態を示す概略断面図である。
【図６】この発明の第２の実施形態に係る研磨加工室の
換気構造を示す概略断面図である。
換気構造を示す概略断面図である。
【図７】排気室の間隙を示す平面図である。
【図８】第２の実施形態におけるパーティクルの排出状
態を示す概略断面図である。
態を示す概略断面図である。
【図９】この発明の第３の実施形態に係る研磨加工室の
換気構造を示す概略断面図である。
換気構造を示す概略断面図である。
【図１０】従来の研磨加工室の換気構造を示す概略断面
図である。
図である。
【図１１】加工室内での乱流や対流の発生状態を示す概
略断面図である。
略断面図である。
１…加工室、 ２−１，２−２…吸気ダクト、 ３…排
気ブロア、 ４−１，４−２…フィルタユニット、 ５
…多孔チャンバ、 ６…排気室、 ４１…フィルタ、
５０…多孔板、 ５２…小孔、 ６０…隔壁、 ６１…
孔、 ６２…間隙、 １００…研磨加工機、 １０１…
下定盤、 １０２…キャリア、 Ｗ…ウエハ。
気ブロア、 ４−１，４−２…フィルタユニット、 ５
…多孔チャンバ、 ６…排気室、 ４１…フィルタ、
５０…多孔板、 ５２…小孔、 ６０…隔壁、 ６１…
孔、 ６２…間隙、 １００…研磨加工機、 １０１…
下定盤、 １０２…キャリア、 Ｗ…ウエハ。
Claims (6)
- 【請求項１】 回転可能な定盤と被加工物をこの定盤に
押圧して回転可能な加圧体とを有した研磨加工機を収納
し、且つ上記定盤が組み付けられた第１の壁部を有する
加工室を換気するための研磨加工室の換気構造におい
て、 上記加工室の壁部であって上記第１の壁部と対向する第
２の壁部に設けられ且つ防塵用のフィルタが取り付けら
れた吸気ダクトと、 上記加工室の壁部であって上記第１及び第２の壁部の周
囲に気密に取り付けられた側壁部又は上記第１の壁部の
少なくとも一方に取り付けられた排気装置と、 上記第２の壁部の内側近傍に第２の壁部の略全体に渡っ
て画成され且つ上記第１の壁部と対向する面に多数の小
孔が略均一に穿設された多孔チャンバとを具備すること
を特徴とする研磨加工室の換気構造。 - 【請求項２】 請求項１に記載の研磨加工室の換気構造
において、 上記多孔チャンバの各小孔の直径を３ｍｍ〜５ｍｍの間
の値に設定し、 上記小孔の数を、小孔の開口面積の総和が当該小孔が穿
設された面の面積の１０％〜２０％の間の値になるよう
に設定した、 ことを特徴とする研磨加工室の換気構造。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の研磨加工
室の換気構造において、 上記研磨加工機の定盤の周囲に間隙を形成するように孔
を定盤に遊嵌した状態で加工室内に取り付けられた隔
壁，上記第１の壁部，及び上記側壁部で排気室を画成
し、 上記排気室の側壁部又は第１の壁部の少なくとも一方に
上記排気装置を取り付けた、 ことを特徴とする研磨加工室の換気構造。 - 【請求項４】 請求項３に記載の研磨加工室の換気構造
において、 上記排気室の隔壁に所定数の吸気孔を設けた、 ことを特徴とする研磨加工室の換気構造。 - 【請求項５】 回転可能な定盤と被加工物をこの定盤に
押圧して回転可能な加圧体とを有した研磨加工機を収納
し、且つ上記定盤が組み付けられた第１の壁部を有する
加工室を換気するための研磨加工室の換気構造におい
て、 上記加工室の壁部であって上記第１の壁部と対向する第
２の壁部に設けられ且つ防塵用のフィルタが取り付けら
れた吸気ダクトと、 上記研磨加工機の定盤の周囲に間隙を形成するように孔
を定盤に遊嵌した状態で加工室内に取り付けられた隔
壁，上記第１の壁部，及び上記側壁部で形成された排気
室と、 上記排気室の側壁部又は第１の壁部の少なくとも一方に
取り付けられた排気装置とを具備することを特徴とする
研磨加工室の換気構造。 - 【請求項６】 請求項５に記載の研磨加工室の換気構造
において、 上記排気室の隔壁に所定数の吸気孔を設けた、 ことを特徴とする研磨加工室の換気構造。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10174106A JPH11347937A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 研磨加工室の換気構造 |
| EP99107384A EP0962720A3 (en) | 1998-06-05 | 1999-04-23 | Ventilation structure of planarization chamber |
| KR1019990017545A KR20000005667A (ko) | 1998-06-05 | 1999-05-17 | 연마가공실의환기구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10174106A JPH11347937A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 研磨加工室の換気構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11347937A true JPH11347937A (ja) | 1999-12-21 |
Family
ID=15972762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10174106A Pending JPH11347937A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 研磨加工室の換気構造 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0962720A3 (ja) |
| JP (1) | JPH11347937A (ja) |
| KR (1) | KR20000005667A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007130730A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| CN102155771A (zh) * | 2011-03-30 | 2011-08-17 | 四川电力设计咨询有限责任公司 | 汽机房降温通风系统及方法 |
| JP2013215845A (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-24 | Disco Corp | 切削装置 |
| CN107457705A (zh) * | 2017-09-22 | 2017-12-12 | 彭欣莉 | 一种自动化多角度打磨装置 |
| CN108581846A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-09-28 | 安徽天顺环保设备股份有限公司 | 一种车间用打磨除尘工作台 |
| JP2019048339A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ドライ研磨装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4448297B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2010-04-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置及び基板研磨方法 |
| CH695326A5 (de) * | 2004-11-26 | 2006-03-31 | Lk Luftqualitaet Ag | Flaechenelement zur Temperierung von Raumluft. |
| NL2004886C2 (nl) * | 2010-06-14 | 2011-12-15 | Jong Air B V | Luchtverversingsysteem en werkwijze. |
| KR102659557B1 (ko) * | 2020-09-29 | 2024-04-23 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 송풍기 및 전자 부품의 실장 장치 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE756099A (fr) * | 1969-09-15 | 1971-02-15 | Nesher Alexander G | Appareil de reglage d'ecoulement laminaire |
| FR2485698B1 (fr) * | 1980-06-24 | 1985-06-14 | Aurore Sa | Poste de travail a ecoulements laminaires |
| GB2106240A (en) * | 1981-09-22 | 1983-04-07 | Howorth Air Eng Ltd | Air-conditioned workstation |
| US5679059A (en) * | 1994-11-29 | 1997-10-21 | Ebara Corporation | Polishing aparatus and method |
| GB9421303D0 (en) * | 1994-10-22 | 1994-12-07 | Howorth Airtech Ltd | Clean air system |
-
1998
- 1998-06-05 JP JP10174106A patent/JPH11347937A/ja active Pending
-
1999
- 1999-04-23 EP EP99107384A patent/EP0962720A3/en not_active Withdrawn
- 1999-05-17 KR KR1019990017545A patent/KR20000005667A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007130730A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| JP4708966B2 (ja) * | 2005-11-11 | 2011-06-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| CN102155771A (zh) * | 2011-03-30 | 2011-08-17 | 四川电力设计咨询有限责任公司 | 汽机房降温通风系统及方法 |
| JP2013215845A (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-24 | Disco Corp | 切削装置 |
| JP2019048339A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ドライ研磨装置 |
| CN107457705A (zh) * | 2017-09-22 | 2017-12-12 | 彭欣莉 | 一种自动化多角度打磨装置 |
| CN108581846A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-09-28 | 安徽天顺环保设备股份有限公司 | 一种车间用打磨除尘工作台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0962720A3 (en) | 2000-07-12 |
| KR20000005667A (ko) | 2000-01-25 |
| EP0962720A2 (en) | 1999-12-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11347937A (ja) | 研磨加工室の換気構造 | |
| KR100687008B1 (ko) | 파티클을 효과적으로 흡입 배출할 수 있는 기판 반송 장치 | |
| JPS5950369B2 (ja) | 清浄空気領域形成装置 | |
| JP3443494B2 (ja) | チャンバー型グローブボックス | |
| JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| US6616526B2 (en) | Clean room and method for fabricating semiconductor device | |
| JPH05116863A (ja) | エレベータのかご内清浄装置 | |
| JP2001284426A (ja) | ウェハの昇降装置 | |
| JP2817605B2 (ja) | クリーンルーム用自動倉庫 | |
| JPS6034279Y2 (ja) | 無塵室装置 | |
| JPH07127889A (ja) | クリーンブース装置 | |
| JPH06178907A (ja) | クリーンベンチ及びその配列構造 | |
| JPH07310941A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH07225Y2 (ja) | クリーンユニット | |
| JP2002022227A (ja) | クリーンルーム設備 | |
| JP2001153416A (ja) | ファンフィルターユニット、このファンフィルターユニットを用いたミニエンバイロメント、及びこのミニエンバイロメントを備えたクリーンルーム | |
| JP3961040B2 (ja) | 局所排気システム | |
| JPH06275506A (ja) | 回転塗布装置及びその方法 | |
| JPH04260741A (ja) | クリーンベンチ | |
| JPH06137624A (ja) | ダウンフロー方式のクリーンルームの拍動気流制御方法及びその装置 | |
| JPH09108517A (ja) | ファンフィルタユニット | |
| JPH0949686A (ja) | 循環型の穀粒乾燥機における排塵装置 | |
| JPS6340745Y2 (ja) | ||
| JPH0820091B2 (ja) | 清浄室装置 | |
| JPH0197579A (ja) | プッシュプル型遮断作業台 |