JPH0820091B2 - 清浄室装置 - Google Patents
清浄室装置Info
- Publication number
- JPH0820091B2 JPH0820091B2 JP62045188A JP4518887A JPH0820091B2 JP H0820091 B2 JPH0820091 B2 JP H0820091B2 JP 62045188 A JP62045188 A JP 62045188A JP 4518887 A JP4518887 A JP 4518887A JP H0820091 B2 JPH0820091 B2 JP H0820091B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- exhaust
- clean
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、クリーンルームにおいて、配設された装置
又は機器から発生する粉塵や熱気を、特別に天井から排
出する清浄室装置に関する。
又は機器から発生する粉塵や熱気を、特別に天井から排
出する清浄室装置に関する。
従来、ウェーハなどの半導体を処理するには、第５図
および第６図に示すように、横吹出吸込型のクリーンル
ームＲにおいて、１台以上の機器又は装置Ｋを、例え
ば、４列又は５列などに列べて配設し、一方の側壁から
HEPAフィルタＨを介して清浄空気Ａを1m/sec以下の風速
で供給し、対向した他の側壁から排気Ｅとして排出する
ことにより、室内空気の清浄度をクラス100〜100,000に
維持しながら前記機器又は装置Ｋに収容した被処理物Ｗ
の処理を行っていた。なお、排気Ｅは、リターンチャン
バRCから排気ダクトEdを通って送風ファンFsにより再び
給気ダクトAdからプレナムチャンバPCを介してHEPAフィ
ルタＨに送られる空気循環方式が採られていた。なお、
Ｇは、送風ファンFsへの外気吸込口である。
および第６図に示すように、横吹出吸込型のクリーンル
ームＲにおいて、１台以上の機器又は装置Ｋを、例え
ば、４列又は５列などに列べて配設し、一方の側壁から
HEPAフィルタＨを介して清浄空気Ａを1m/sec以下の風速
で供給し、対向した他の側壁から排気Ｅとして排出する
ことにより、室内空気の清浄度をクラス100〜100,000に
維持しながら前記機器又は装置Ｋに収容した被処理物Ｗ
の処理を行っていた。なお、排気Ｅは、リターンチャン
バRCから排気ダクトEdを通って送風ファンFsにより再び
給気ダクトAdからプレナムチャンバPCを介してHEPAフィ
ルタＨに送られる空気循環方式が採られていた。なお、
Ｇは、送風ファンFsへの外気吸込口である。
しかしながら、このような従来のクリーンルームにお
いて装置又は機器を使用する場合、被処理物に発生する
粉塵あるいは熱気などにより室内空気の清浄度が低下す
るばかりか、特に、その下流に装置又は機器が位置して
いて随時に被処理物の出し入れが行われると、もろに悪
影響を受けて汚染されるという問題点がある。
いて装置又は機器を使用する場合、被処理物に発生する
粉塵あるいは熱気などにより室内空気の清浄度が低下す
るばかりか、特に、その下流に装置又は機器が位置して
いて随時に被処理物の出し入れが行われると、もろに悪
影響を受けて汚染されるという問題点がある。
本発明は、上記問題点に着目してなされたもので、発
生した粉塵等を撤き散らすことなくすみやかに吸い取り
クリーンルームから排除することを目的としたものであ
る。
生した粉塵等を撤き散らすことなくすみやかに吸い取り
クリーンルームから排除することを目的としたものであ
る。
本発明に係る清浄室装置は、床面に配設された１基以
上の装置又は機器それぞれの外周を囲む給気筒を設ける
とともに、各給気筒専用の給気ファンを別に設置して流
速のより速い清浄空気を上方へ吹き出す構成とし、さら
に、前記給気筒それぞれに対向した天井位置に吸込口を
穿設し、特に前記吹出し空気を吸入排除するようにした
ものである。
上の装置又は機器それぞれの外周を囲む給気筒を設ける
とともに、各給気筒専用の給気ファンを別に設置して流
速のより速い清浄空気を上方へ吹き出す構成とし、さら
に、前記給気筒それぞれに対向した天井位置に吸込口を
穿設し、特に前記吹出し空気を吸入排除するようにした
ものである。
本発明の清浄室装置にあっては、被処理物の機器又は
装置からの取出しに際しても、発生した粉塵等は、その
機器又は装置の位置で、一方の側壁側から流される、又
は床面から吹き出される清浄空気よりも速い上昇気流に
乗り、当該上方の吸込口によって天井面から排除される
ため、クリーンルーム内の空気を汚染することがないば
かりか、たとえ下流において被処理物の設定準備や取出
しが行われても、該被処理物を汚染することはなく、し
たがって、随時、随所の機器又は装置で被処理物の設定
や取出し作業を行うことができる。
装置からの取出しに際しても、発生した粉塵等は、その
機器又は装置の位置で、一方の側壁側から流される、又
は床面から吹き出される清浄空気よりも速い上昇気流に
乗り、当該上方の吸込口によって天井面から排除される
ため、クリーンルーム内の空気を汚染することがないば
かりか、たとえ下流において被処理物の設定準備や取出
しが行われても、該被処理物を汚染することはなく、し
たがって、随時、随所の機器又は装置で被処理物の設定
や取出し作業を行うことができる。
以下、本発明の第１実施例を第１図及び第２図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
本第１実施例は、横吹出横吸込型クリーンルームに清
浄室装置を適用したものである。
浄室装置を適用したものである。
機器又は装置Ｋを１基設置した場合の構成を示す第１
図において、１は、横吹出横吸込型クリーンルーム、２
は、該クリーンルーム１内に区画された作業室、４は、
前記クリーンルーム１の給気側に設けられたプレナムチ
ャンバ３と作業室２との間に介在するHEPAフィルタ、５
は、該フィルタ４に対向して、全面に排気孔5k多数を穿
設した排気壁、６は、該排気壁５により区画されたリタ
ーンチャンバ、７は、作業室２の床2Fに設置された１基
の機器又は装置Ｋの外周を囲み、該機器又は装置Ｋの側
面から上方へ向かってリング状の開口7kを有する給気
筒、８は、前記天井2Tの該給気筒７に対向する位置に穿
設された吸込口である。
図において、１は、横吹出横吸込型クリーンルーム、２
は、該クリーンルーム１内に区画された作業室、４は、
前記クリーンルーム１の給気側に設けられたプレナムチ
ャンバ３と作業室２との間に介在するHEPAフィルタ、５
は、該フィルタ４に対向して、全面に排気孔5k多数を穿
設した排気壁、６は、該排気壁５により区画されたリタ
ーンチャンバ、７は、作業室２の床2Fに設置された１基
の機器又は装置Ｋの外周を囲み、該機器又は装置Ｋの側
面から上方へ向かってリング状の開口7kを有する給気
筒、８は、前記天井2Tの該給気筒７に対向する位置に穿
設された吸込口である。
そして、外気の給気系統と空気循環系統とは、従来と
ほぼ同様に構成されているが、特に、給気筒７へ外気吸
込口9,給気ファン10,ダンパ11及び小型HEPAフィルタ12
を経由して清浄空気ａを送る特別給気系統13と、吸込口
８からダンパ14を介し排気ファン15により被処理物Ｗか
ら発生する粉塵や熱気を含む排気ｅを外部へ排出する排
気系統16とが設けられている。
ほぼ同様に構成されているが、特に、給気筒７へ外気吸
込口9,給気ファン10,ダンパ11及び小型HEPAフィルタ12
を経由して清浄空気ａを送る特別給気系統13と、吸込口
８からダンパ14を介し排気ファン15により被処理物Ｗか
ら発生する粉塵や熱気を含む排気ｅを外部へ排出する排
気系統16とが設けられている。
叙上の構成となっているので、通常の熱処理作業中
は、外気又は循環空気は、送風ファンFsにより、給気ダ
クトAdを経てプレナムチャンバ３へ送られHEPAフィルタ
４で濾過されて清浄空気Ａとなり、作業室２へ供給され
るが、排気壁５から排気Ｅとなってリターンチャンバ６
を通り、排気ダクトEdを経て再び送風ファンFsへ到る循
環動作が行われ、この循環気流等によって作業室２の室
内空気は、清浄度クラスが、100〜100,000に維持され
る。
は、外気又は循環空気は、送風ファンFsにより、給気ダ
クトAdを経てプレナムチャンバ３へ送られHEPAフィルタ
４で濾過されて清浄空気Ａとなり、作業室２へ供給され
るが、排気壁５から排気Ｅとなってリターンチャンバ６
を通り、排気ダクトEdを経て再び送風ファンFsへ到る循
環動作が行われ、この循環気流等によって作業室２の室
内空気は、清浄度クラスが、100〜100,000に維持され
る。
ところで、被処理物Ｗを機器又は装置Ｋから取出すに
際しては、特別給気系統13により給気筒７から清浄空気
Ａよりも速い流速をもって清浄空気ａを上方へ吹き出す
一方、排気系統16により前記排気ｅを吸い込み排出させ
て、粉塵や熱気の拡散を防止し、作業室２の室内空気の
汚染を回避するわけである。
際しては、特別給気系統13により給気筒７から清浄空気
Ａよりも速い流速をもって清浄空気ａを上方へ吹き出す
一方、排気系統16により前記排気ｅを吸い込み排出させ
て、粉塵や熱気の拡散を防止し、作業室２の室内空気の
汚染を回避するわけである。
今、機器又は装置Ｋを縦型炉にした場合を例にとり、
さらに特別給排気の動作を詳述すると、縦型炉１基に対
して電気的の操作盤（図示省略）１台が設けられてお
り、該操作盤のスイッチを連動して次の順序に従い特別
給気系統13と排気系統16とを動作させる。
さらに特別給排気の動作を詳述すると、縦型炉１基に対
して電気的の操作盤（図示省略）１台が設けられてお
り、該操作盤のスイッチを連動して次の順序に従い特別
給気系統13と排気系統16とを動作させる。
（１）まず、給気ファン10と排気ファン15との運転を開
始する。
始する。
（２）続いて、ダンパ11,14を開放する。
（３）そして、給排気が安定した状態となったところで
縦型炉を開き、被処理物Ｗの出入れ等の操作を行う。
縦型炉を開き、被処理物Ｗの出入れ等の操作を行う。
（４）上記操作終了によって縦型炉の蓋を閉鎖する。
（５）閉鎖後、暫時、まだ給排気を続ける。
（６）適当なところでダンパ11,14を閉鎖する。
（７）ダンパ11,14が完全に閉鎖したならば、給気ファ
ン10と排気ファン14とを停止する。
ン10と排気ファン14とを停止する。
（８）最後に、処理済みの被処理部Ｗを撤去する。
以上の手順により被処理物Ｗの出入れ操作等を行うの
で、そのとき被処理物Ｗは、清浄空気ａの上昇による円
筒状の気流幕に包囲されているため、発生した粉塵や熱
気は、清浄空気Ａの下流に拡散することがなく吸込口８
から作業室２外へ排出されてしまい、たとえ当該縦型炉
の下流において、他の被処理物Ｗが設定準備中であって
も汚染されることはない。
で、そのとき被処理物Ｗは、清浄空気ａの上昇による円
筒状の気流幕に包囲されているため、発生した粉塵や熱
気は、清浄空気Ａの下流に拡散することがなく吸込口８
から作業室２外へ排出されてしまい、たとえ当該縦型炉
の下流において、他の被処理物Ｗが設定準備中であって
も汚染されることはない。
次に示す第２図は、横吹出横吸込型クリーンルーム21
の作業室22に、清浄空気Ａの流れ方向に沿って床22Fに
３基の機器又はKa,Kb,Kcを配設した場合の構成を示した
もので、それぞれに給気筒7a,7b,7cを取り付け、特別給
気系統13a,13b,13cと天井22Tに穿設した吸込口8a,8b,8c
にそれぞれ接続する排気系統16a,16b,16cとを組み合わ
せて清浄室装置が構成されている。したがって各機器又
は装置Ka,Kb,Kcごと独立して特別の給排気を行わせるこ
とにより、前述のクリーンルーム１の場合と同様の効果
を得ることができる。
の作業室22に、清浄空気Ａの流れ方向に沿って床22Fに
３基の機器又はKa,Kb,Kcを配設した場合の構成を示した
もので、それぞれに給気筒7a,7b,7cを取り付け、特別給
気系統13a,13b,13cと天井22Tに穿設した吸込口8a,8b,8c
にそれぞれ接続する排気系統16a,16b,16cとを組み合わ
せて清浄室装置が構成されている。したがって各機器又
は装置Ka,Kb,Kcごと独立して特別の給排気を行わせるこ
とにより、前述のクリーンルーム１の場合と同様の効果
を得ることができる。
次に、第２実施例を第３図および第４図に基づいて説
明する。
明する。
本第２実施例は、床面吹出天井面吸込型クリーンルー
ムに清浄室装置を適用したものである。
ムに清浄室装置を適用したものである。
機器又は装置Ｋを１基設置した場合の構成を示す第３
図において、31は、床面吹出天井面吸込型クリーンルー
ム、32は、該クリーンルーム31内に、多数の給気孔32Fk
を有する床32Fと、多数の排気孔32Tkを有する天井32Tと
に区画された作業室、34は、前記クリーンルーム31の給
気側に設けられたプレナムチャンバ33と床32Fとの間に
介在するHEPAフィルタ、36は、天井32T上に区画された
リターンチャンバで、排気Ｅを送風ファンFsへ循環させ
るリターンダクトEdを接続している。
図において、31は、床面吹出天井面吸込型クリーンルー
ム、32は、該クリーンルーム31内に、多数の給気孔32Fk
を有する床32Fと、多数の排気孔32Tkを有する天井32Tと
に区画された作業室、34は、前記クリーンルーム31の給
気側に設けられたプレナムチャンバ33と床32Fとの間に
介在するHEPAフィルタ、36は、天井32T上に区画された
リターンチャンバで、排気Ｅを送風ファンFsへ循環させ
るリターンダクトEdを接続している。
７は、床32Fに設置された１基の機器又は装置Ｋの側
面から上方へ向かってリング状の開口7kを有する給気
筒、８は、前記天井32Tの該給気筒７に対向する位置に
設けられた吸込口である。
面から上方へ向かってリング状の開口7kを有する給気
筒、８は、前記天井32Tの該給気筒７に対向する位置に
設けられた吸込口である。
そして、外気の給気系統と空気循環系統は、従来とほ
ぼ同様に構成されており、特別給気系統37は、給気ダク
トAdから分岐して給気ファン10により給気を更に加圧し
て給気筒７から清浄空気ａを清浄空気Ａよりも速い上昇
気流で吹き出すようにしており、一方、排気系統は、第
１実施例の排気系統16と同様に構成してある。
ぼ同様に構成されており、特別給気系統37は、給気ダク
トAdから分岐して給気ファン10により給気を更に加圧し
て給気筒７から清浄空気ａを清浄空気Ａよりも速い上昇
気流で吹き出すようにしており、一方、排気系統は、第
１実施例の排気系統16と同様に構成してある。
また、第４図は、床面吹出天井面吸込型クリーンルー
ム41に清浄室装置を適用したもので、３基の機器又は装
置Ka,kb,Kcを作業室42の床42Fに配設した場合の構成を
示している。
ム41に清浄室装置を適用したもので、３基の機器又は装
置Ka,kb,Kcを作業室42の床42Fに配設した場合の構成を
示している。
各機器又は装置Ka,Kb,Kcごとに第２図の場合と同様の
特別給気系統13a,13b,13cと給気筒7a,7b,7cとを取り付
け、作業室42の天井42T裏に吸込口8a,8b,8cを設け、そ
れぞれに排気系統16a,16b,16cを設け、それぞれに排気
系統16a,16b,16cを組み合わせて清浄室装置を構成した
ものである。
特別給気系統13a,13b,13cと給気筒7a,7b,7cとを取り付
け、作業室42の天井42T裏に吸込口8a,8b,8cを設け、そ
れぞれに排気系統16a,16b,16cを設け、それぞれに排気
系統16a,16b,16cを組み合わせて清浄室装置を構成した
ものである。
本第２実施例は、叙上の構成としてあるので、作用及
び効果は第１実施例とほぼ同様であるため、その説明は
省略する。
び効果は第１実施例とほぼ同様であるため、その説明は
省略する。
なお、両実施例とも、給気筒７から清浄空気ａを吹き
出すのは、常時行う場合と、必要のときだけ間欠的に吹
く場合とがあり、また、排気系統16へ導いた粉塵や熱気
を含む排気ｅをそのまま外部へ排出する場合と、所要の
配管を施して送風ファンFsへ戻し循環させる場合とがあ
る。
出すのは、常時行う場合と、必要のときだけ間欠的に吹
く場合とがあり、また、排気系統16へ導いた粉塵や熱気
を含む排気ｅをそのまま外部へ排出する場合と、所要の
配管を施して送風ファンFsへ戻し循環させる場合とがあ
る。
さらに、配設される機器又は装置Ｋは、１基以上の基
数に対してすべて適用することのできるのは、いうまで
もない。
数に対してすべて適用することのできるのは、いうまで
もない。
以上説明したように本発明は、作業室に配設された機
器又は装置の外周を囲んで上方へ開口した給気筒を設
け、加速した清浄空気を筒状の上昇気流として吹き出さ
せるとともに、前記給気筒の直上にそれぞれ吹込口を設
け、被処理物から発生する粉塵や熱気を包み込んで作業
室外へ排出する構成としたため、粉塵や熱気が作業室内
の他の区域に拡散することがないので、随時随所の機器
又は装置における被処理物の取出し、あるいは設定作業
を行っても被処理物を汚染することがないばかりか、室
内空気の清浄度低下を防止し、作業効率と被処理物の品
質との向上を図ることができ、また、HEPAフィルタの寿
命延長にも寄与させることができるという効果がある。
器又は装置の外周を囲んで上方へ開口した給気筒を設
け、加速した清浄空気を筒状の上昇気流として吹き出さ
せるとともに、前記給気筒の直上にそれぞれ吹込口を設
け、被処理物から発生する粉塵や熱気を包み込んで作業
室外へ排出する構成としたため、粉塵や熱気が作業室内
の他の区域に拡散することがないので、随時随所の機器
又は装置における被処理物の取出し、あるいは設定作業
を行っても被処理物を汚染することがないばかりか、室
内空気の清浄度低下を防止し、作業効率と被処理物の品
質との向上を図ることができ、また、HEPAフィルタの寿
命延長にも寄与させることができるという効果がある。
第１図は、本発明の第１実施例である清浄室装置を横吹
出横吸込型クリーンルームに機器又は装置１基を設置し
た場合に適用した構成図、第２図は、同じく機器又は装
置３基を配設した場合に適用した構成図、第３図は、第
２実施例を床面吹出天井面吸込型クリーンルームに適用
した第１図相当図、第４図は、同じく第２図相当図、第
５図は、従来の横吹出吸込型クリーンルーム装置の構成
図、第６図は、同じくクリーンルームの平面図である。 1,21,31,41……クリーンルーム 2F,22F,32F,42F……床 2T,22T,32T,42T……天井 ７……給気筒 7k……開口 ８……吸込口 Ｋ……機器又は装置 ａ……清浄空気
出横吸込型クリーンルームに機器又は装置１基を設置し
た場合に適用した構成図、第２図は、同じく機器又は装
置３基を配設した場合に適用した構成図、第３図は、第
２実施例を床面吹出天井面吸込型クリーンルームに適用
した第１図相当図、第４図は、同じく第２図相当図、第
５図は、従来の横吹出吸込型クリーンルーム装置の構成
図、第６図は、同じくクリーンルームの平面図である。 1,21,31,41……クリーンルーム 2F,22F,32F,42F……床 2T,22T,32T,42T……天井 ７……給気筒 7k……開口 ８……吸込口 Ｋ……機器又は装置 ａ……清浄空気
Claims (1)
- 【請求項１】クリーンルームにおいて、床面に配設され
た装置又は機器の外周を囲み、その装置又は機器の側面
から上方に向かって開口を有し、清浄空気を上方へ吹出
し可能な給気筒を設け、該給気筒に対向した天井の位置
に排気する吸込口を穿設したことを特徴とする清浄室装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62045188A JPH0820091B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 清浄室装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62045188A JPH0820091B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 清浄室装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213736A JPS63213736A (ja) | 1988-09-06 |
| JPH0820091B2 true JPH0820091B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=12712292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62045188A Expired - Lifetime JPH0820091B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 清浄室装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820091B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4721671B2 (ja) * | 2004-08-03 | 2011-07-13 | トヨタ自動車株式会社 | 排気システム及び排気方法 |
| JP5677189B2 (ja) * | 2011-05-10 | 2015-02-25 | 新日鉄住金エンジニアリング株式会社 | 空調設備 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54147647A (en) * | 1978-05-12 | 1979-11-19 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | Exhaust hood |
| JPS61186747A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-20 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
-
1987
- 1987-03-02 JP JP62045188A patent/JPH0820091B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54147647A (en) * | 1978-05-12 | 1979-11-19 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | Exhaust hood |
| JPS61186747A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-20 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63213736A (ja) | 1988-09-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3309416B2 (ja) | 連結式クリーン空間装置 | |
| JPS5950369B2 (ja) | 清浄空気領域形成装置 | |
| US2565933A (en) | Ventilating exhaust structure | |
| JPH0820091B2 (ja) | 清浄室装置 | |
| JP2004012038A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH11347937A (ja) | 研磨加工室の換気構造 | |
| JPS6127435A (ja) | 空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置 | |
| JP3427921B2 (ja) | 半導体装置生産用クリーンルームおよび半導体装置の生産方法 | |
| JP3400145B2 (ja) | クリーン搬送通路 | |
| JPS62147249A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPH0416099Y2 (ja) | ||
| JPS6311569B2 (ja) | ||
| JPH08114342A (ja) | クリーンルーム装置 | |
| JPH08247512A (ja) | クリーンルーム | |
| JP3491242B2 (ja) | クリーンルームにおける空気処理装置 | |
| JP2904011B2 (ja) | クリーンルーム | |
| JPS61168735A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPH07310941A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH06159751A (ja) | クリーンルームシステム | |
| JPH0678735U (ja) | 排気フード付クリーンブース | |
| KR20090056137A (ko) | 클린룸의 강제배기구조 | |
| JPS63148039A (ja) | 清浄作業室の清浄方法 | |
| JPS6034279Y2 (ja) | 無塵室装置 | |
| JPH0356827Y2 (ja) | ||
| JPH08247510A (ja) | クリーンルーム |