JPS63213736A - 清浄室装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、クリーンルームにおいて、配設された装置又
は機器から発生する粉塵や熱気を、特別に天井から排出
する清浄室装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、ウェー八などの半導体を処理するには。

第５図および”ｉ６図に示すように、横吹出横吸込型の
クリーンルームＲにおいて、１台以上の機器又は装置に
を、例えば、４列又は５列などに列ぺて配設し、一方の
側壁からＨＥＰＡフィルタＨを介して清浄空気Ａを１　
ｍ　／　ｓｅｃ以下の風速で供給し、対向した他の側壁
から排気Ｅとして排出することにより、室内空気の清浄
度をクラス！００〜１００．０００に維持しながら航記
機器又は装置にに収容した被処理物Ｗの処理を行ってい
た。なお、排気Ｅは、リターンチャンベＲＣから排気ダ
クトＥｄを通って送風ファンＦｓにより再び給気ダクト
ＡｄからプレナムチャンバＰＣを介ＣＨＥＰＡフィルタ
Ｈに送られる空気循環方式が採られていた。なお、Ｇは
、送風ファンＦｓへの外気吸込口である。

〔発明が解決しようとする間層点〕

しかしながら、このような従来のクリーンルームにおい
て装置又は機器を使用する場合、被処理物に発生する粉
塵あるいは熱気などにより室内空気の清浄度が低下する
ばかりか、特に、その下流に装置又は機器が位置してい
て随時に被処理物の出し人わが行われる。と、もろに悪
影響を受けて汚染されるという問題点がある。

本発明は、上記問題点に着目してなされたもので、発生
した粉塵等を撒き散らすことなくすみやかに吸い取りク
リーンルームから排除することを目的としたものである
。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係る清浄室装置は、床面に配設された１基以Ｆ
の装置又は機器それぞれの外周を囲む給気筒を設けると
ともに、各給気筒専用の給気ファンを別に設置して流速
のより速い清浄空気を上方へ吹き出す構成とし、さらに
、前記給気筒そわぞれに対向した天井位弓に吸込口を穿
設し、特に前記吹出し空気を吸入排除するようにしたも
のである。

〔作用〕

本発明の清浄室装置にあっては、被処理物の機器又は装
置からの取出しに際しても、発生した粉塵等は、その機
器又は装置の位置で、一方の側壁側から流される。又は
床面から吹き出される清浄空気よりも速いＦ昇気流に乗
り、当該−上方の吸込口によって天井面から排除される
ため、クリーンルーム内の空気を汚染することがないば
かりか、たとえ下流において被処理物の設定準備や取出
しが行われても、該被処理物を汚染することはなく、シ
たがって、随時、随所の機器又は装置で被処理物の設定
や取出し作業を行うことができる。

〔実施例〕

以下１本発明の第１実施例を第１図及び第２図に基づい
て説明する。

本第１実施例は、横吹出槽吸込型クリーンルームに清浄
室装置を適用したものである。

機器又は装置にを１基設置した場合の構成を示す第１図
において、１は、横吹出槽吸込型クリーンルーム、２は
、該クリーンルーム１内に区画された作業室、４は、前
記クリーンルーム１の給気側に設けられたプレナムチャ
ンバ３と作業室２との間に介在するＨＥＰＡフィルタ、
５は、該フィルタ４に対向して、全面に排気孔５に多数
を穿設した排気壁、６は、該排気壁５により区画された
リターンチャンバ、７は、作業室２の床２Ｆに設置され
た１基の機器又は装置にの外周を囲み、該機器又は装置
にの側面から上方へ向かフてリング状の開ロアｋを存す
る給気筒、８は、前記天井２Ｔの該給気筒７に対向する
位置に穿設された吸込口である。

そして、外気の給気系統と空気循環系統とは、従来とほ
ぼ同様に構成されているが、特に、給気ｎ７へ外気吸込
口９．給気ファン１０．ダンパ１１及び小型ＨＥＰＡフ
ィルタ１２を経由して清浄空気ａを送る特別給気系統１
３と、吸込口８からダンパ１４を介し排気ファン１５に
より被処理物Ｗから発生する粉塵や熱気を含む排気ｅを
外部へ排出する排気系統１６とが設けられている。

叙上の構成となっているので、通常の熱処理作業中は、
外気又は循環空気は、送風ファンＦｓにより、給気ダク
トＡｄを経てプレナムチャンバ３へ送られＨＥＰＡフィ
ルタ４で濾過されて清浄空気Ａとなり、作業室２へ供給
されるが、排気壁、５から排気Ｅとなフてリターンチャ
ンバ６を通り、排気ダクトＥｄを経て再び送風ファンＦ
ｓへ到る循糧動作が行われ、この循環気流等によって作
業室２の室内空気は、清浄度クラスが、！００〜ｔｏｏ
、ｏｏｏに維持される。

ところで、被処理物Ｗを機器又は装置Ｋから取出すに際
しては、特別給気系統１３により給気筒７から清浄空気
Ａよりも速い流速をもフて清浄空気ａを上方へ吹き出す
一方、排気系統１６により面記排気ｅを吸い込み排出さ
せて、粉塵や熱気の拡散を防ＩＨｙ、作業室２の室内空
気の汚染を回避するわけである。

・今、機器又は装置Ｋを縦型炉にした場合を例にとり、
さらに特別給排気の動作を詳述すると、縦型炉１基に対
して電気的の操作盤（図示省略）１台が設けられており
、該操作盤のスイッチを連動して次の順序に従い特別給
気系統１３と排気系統１６とを動作させる。

（１）まず、給気ファン１０と排気ファン１５との運転
を開始する。

（２〕続いて、ダンパ１１，１４を開放する。

（３）そして、給排気が安定した状態となりだところで
縦型炉を開き、被！Ａ埋物Ｗの出入九等の操作を行う。

（４）ト記操作終ｒによって縦型炉の蓋を閉鎖する。

（５）閉鎖後、暫時、まだ給排気を続ける。

（６）適当なところでダンパＩｆ、１４を閉鎖する。

（７）　タンパ１１，１４が完全に閉鎖したならば、給
気ファン１０と排気ファン１４とを停止する。

（８）最後に、処理済みの被処理部Ｗを撤去する。

以上の手順により被処理物Ｗの出入れ操作等を行うので
、そのとき被処理物Ｗは、清浄空気ａの上シｔによる円
筒状の気流幕に包囲さ九ているため、発生した粉塵や熱
気は、清浄空気Ａの下流に拡散することがなく吸込Ｄ　
８から作業室ｚ外へ排出されてしまい、たとえ当該縦型
炉のＦ流において、他の被処理物Ｗが設定準備中であっ
ても汚染されることはない。

次に示す第２図は、横吹出槽吸込型クリーンルーム２１
の作業室２２に、清浄Ｑ％Ａの流れ方向に沿って床２２
Ｆに３基の機器又は装置Ｋａ。

Ｋｂ、　にＣを配設した場合の構成を示したもので、そ
れぞれに給気筒７ａ、７ｂ、７ｃを取り付け、特別給気
系統１３ａ、１３ｂ、１３ｃと天井２ＺＴに穿設した吸
込口８ａ、８ｂ、８ｃにそれぞれ接続する排気系統１６
ａ、１６ｂ、１６ｃとを組み合わせて清浄室装置が構成
されている。したがって各機器又は装置Ｋａ、Ｋｂ、Ｋ
Ｃごと独立して特別の給排気を行わせることにより、面
述のクリーンルーム１の場合と同様の効果を得ることが
できる。

次に、第２実施例を第３図および第４図に基づいて説明
する。

本第２実施例は、床面吹出天井面吸込型クリーンルーム
に清浄室装置を通用したものである。

機器又は装置にを１基設置した場合の構成を示す第２図
において、３１は、床面吹出天井面吸込型クリーンルー
ム、３２は、該クリーンルーム３１内に、多数の給気孔
３２Ｆｋを存する床３２Ｆと、多数の排気孔３２７ｋを
存する天井３２Ｔとに区画された作業室、３４は、前記
クリーンルーム３１の給気側に設けられたプレナムチャ
ンバ３３と床３２Ｆとの間に介在するＨＥＰＡフィルタ
、３６は、天井３２Ｔ上に区画されたリターンチャンバ
で、排気Ｅを送風ファンＦｓへ循環させるリターンダク
トＥｄを接続している。

７は、床３２Ｆに設置された１基の機器又は装置にの側
面から上方へ向かってリング状の開ロアｋを有する給気
筒、８は、前記天井３２Ｔの該給気筒７に対向する位置
に設けられた吸込口である。

そして、外気の給気系統と空気循環系統は、従来とほぼ
同様に構成されており、特別給気系統３７は、給気ダク
トＡｄから分岐して給気ファンｌＯにより給気を更に加
圧して給気筒７から清浄空気ａを清浄空気Ａよりも速い
上昇気流で吹き出すようにしており、一方、排気系統は
、第１実施例の排気系統１６と同様に構成しである。

また、第４１Ａは、床面吹出天井面吸込型クリーンルー
ム４１に清浄室装置を適用したもので、３基の機器又は
装置Ｋａ、Ｋｂ、Ｋｃを作業室４２の床４２Ｆに配設し
た場合の構成を示している。

各機器又は装置にａ、にす、Ｋｃごとに第２図の場合と
同様の特別給気系統１３ａ、１３ｂ、１３ｃと給気筒７
ａ、７ｂ、７ｃとを取り付け、作業室４２の天井４２Ｔ
裏に吸込１ｍ１８ａ、８ｂ、８Ｃを設け、それぞれに排
気系統１６ａ、１６ｂ。

１６ｃを組み合わせて清浄室装置を構成したものである
。

本第２実施例は、叙トの構成としであるので、作用及び
効果は第１実施例とほぼ同様であるため、その説明は省
略する。

なお、両実施例とも、給気筒７から清浄空気ａを吹き出
すのは、常時行う場合と、必要のときだけ間欠的に吹く
場合とがあり、また、排気系統１６へ導いた粉塵や熱気
を含む排気ｅをそのまま外部へ排出する場合と、所要の
配管を施して送風ファンＦｓへ戻し循環させる場合とが
ある。

さらに、配設される機器又は装置には、１基以Ｆの基数
に対してすべて適用することのできるのは、いうまでも
ない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、作業室に配設された機器
又は装置の外周を囲んで上方へ開口した給気筒を設け、
加速した清浄空気を筒状の上昇気流として吹き出させる
とともに、前記給気筒の直Ｉ−にそれぞれ吸込口を設け
、被処理物から発生する粉塵や熱気を包み込んで作業室
外へ排出する構成としたため、粉塵や熱気が作業室内の
他の区域に拡散することがないので、随時随所の機器又
は装置における被処理物の取出し、あるいは設定作文を
行っても被処理物を汚染することがないばかりか、室内
空気の清浄度低下を防止し、作業効率と被処理物の品質
との向上を図ることができ、また、ＨＥＰＡフィルタの
寿命延長にも寄与させることができるという効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１実施例である清浄室装置を横吹
出槽吸込型クリーンルームに機器又は装置１１ルを設置
した場合に通用した構成図、第２図は、同じく機器又は
装置３基を配設した場合に適用した構成図、第３図は、
第２実施例を床面吹出天井面吸込型クリーンルームに適
用した第１図相当図、第４図は、同じく第２図相当図、
第５図は、従来の横吹出槽吸込型クリーンルーム装置の
構成図、第６１′Ａは、同じくクリーンルームの平面図
である。 １．２１，３１，４１．−−−−−クリーンルーム２Ｆ
、２２Ｆ、３２Ｆ、４２Ｆ−−−−−床２Ｔ、２２Ｔ、
３２Ｔ、４２Ｔ−−−天井７−−−−一給気筒 ７に一−−−開［１ ８−・−吸込口 Ｋ　−−−−一機器又は装置 ａ　−”−清浄空気

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンルームにおいて、床面に配設された装置又は機
   器の外周を囲み、その装置又は機器の側面から上方に向
   かって開口を有し、清浄空気を上方へ吹出し可能な給気
   筒を設け、該給気筒に対向した天井の位置に排気する吸
   込口を穿設したことを特徴とする清浄室装置。