JPH02277556A

JPH02277556A - クリーンドラフト

Info

Publication number: JPH02277556A
Application number: JP9531389A
Authority: JP
Inventors: Kazuhide Kiuchi; 木内　一秀
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1989-04-17
Filing date: 1989-04-17
Publication date: 1990-11-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、半導体装置、医療品２食品等を製造する過程
で有害ガス等の発生を伴いかつダストやバクテリアの混
入を極端に嫌う化学処理及び薬品等を用いる作業を行う
場合に、清浄な環境を維持しかつ発生する有害ガスを外
部に漏洩させずに作業を行うことが出来るクリーンドラ
フトに関するものである。

〔従来の技術］半導体装置を製造する過程で、半導体ウェハの洗浄処理
工程やりソゲラフイエ程等の化学薬品処理を行う工程で
は、その化学薬品からまたは化学反応により有害ガス等
が発生する。また、半導体装置製造工程では処理雰囲気
中のダストが半導体ウェハに付着して製品の歩留りを低
下させるため、空気中のダストをフィルタで濾過したク
リーンエアーを上部から供給して清浄な環境を維持する
必要がある。このような条件下で半導体ウェハの化学処
理を行うための装置としてクリーンドラフトが用いられ
る。

従来用いられて来たクリーンドラフトの構造を第２図（
ａ）、　（ｂ）、　（Ｃ）に示す。第２図（ａ）は、通
常用いられているクリーンドラフトの構造断面図であり
、室内の空気をファン１２で吸い込み、装置上部に設け
られた高性能エアーフィルタ２を通してドラフト内部に
導きドラフト内を清浄な環境に維持する。

ドラフト内には、半導体ウェハを化学処理するための薬
液槽８があり、薬液槽８から発生する有害ガスは高性能
エアーフィルタから送り出されるクリーンエアーと共に
排気ダクト１１より吸い出され、有害ガス処理装置を通
して除害され、屋外に排気される。また、クリーンドラ
フトの全面に設けられたフィルタ３．吹き出し口６及び
吸い込みロアは、クリーンエアーによるエアーカーテン
を構成し、ドラフト内部の有害ガスの漏洩を防いでいる
。

本構造はドラフト全面の開口部が大きく、人が操作する
場合に腕等を入れるとエアーカーテンの気流が乱れ、ド
ラフト内の有害ガスが漏洩する可能性が高く、また、ド
ラフトに供給される大量のクリーンエアーを全て排気す
る必要があるという欠点を有する。さらに、本構造では
、ドラフト上部からの供給エアー量が排気量より多いと
ドラフト内の有害ガスを含むエアーがドラフト全面に漏
洩する恐れがあり、逆に、排気量が多すぎると室内の汚
れたエアーがクリーンドラフト内に入り込むことになる
。このため、供給エアーと排気量を微妙に調節する必要
があり、排気量が変動すると対応出来ないという欠点が
ある。

第２図（ｂ）は、薬液槽８の上面に吹き出し口６と吸い
込みロアにより構成されるエアーカーテンを設けたもの
である。本構造は、特開昭６３−２４８４４９号に詳細
に示されているが、本構造では、エアーカーテンの開口
部が第２図（ａ）と同様大きいため、多量のクリーンエ
アーの供給と排気を必要とし、また、化学処理を行う場
合に処理対象物をエアーカーテンを越えて引き上げる必
要がありその対象物に付着した薬液からの有害ガスがド
ラフト前面に漏洩する欠点を有する。

第２図（Ｃ）は、薬液槽８の周辺をフード９で囲い、そ
の部分のみの空気を排気ダクト１１から吸い込む構造で
ある。本構造は、有害ガスの発生部分を完全に囲いその
内部を排気するため、有害ガスの外部への漏洩は完全に
防げる。しかし、フード９で囲った内部にはクリーンエ
アーの吹き出し口がないため、化学処理を行う部分が清
浄であるという保証がなく、また、薬液槽８への操作を
行う場合、フードの蓋４を開閉する必要があるため作業
性が悪いという欠点を有している。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、以上示してきた従来技術の欠点を解決
し、少量の排気でドラフト内の有害ガスの漏洩を防ぎ、
極めて清浄な環境で化学処理を行え、かつ、操作上回等
の支障のないクリーンドラフトを提供することにある。

〔発明の構成〕

本発明は、薬液槽を囲むフードに作業用の開口部１０を
持ち、かつ、その開口部にクリーンエアーの吹き出し口
６を有することを特徴とする。従来の技術が、操作面全
面または薬液槽上面に大きな開口のエアーカーテン構造
か、または、薬液槽を囲むフードに蓋を有する構造であ
るのに対して、フードの開口部が吹き出し型のエアーカ
ーテンである部分が異なる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例の断面図である。クリーンド
ラフト１は上部に高性能エアーフィルタ２を持ち、送風
機１２により室内の空気を吸い込み、高性能エアーフィ
ルタ２を通しでドラフト内部にクリーンエアーを吹き出
す。薬液槽８の回りはフード９により囲まれ、フード内
の空気は排気ダクト１１により排気される。フード９に
は開口部１０があり、送風機５と高性能エアーフィルタ
３を通したクリーンエアーが開口部１０の周縁に設けら
れた吹き出し口６から開口部１０を横切ってその中央部
に向けて吹き出す構造になっている。

本構造によれば、薬液槽８を使う化学処理作業をする際
に、何等の操作も必要とせず処理対象物を開口部１０か
ら薬液槽８に入れることが出来る。

また、開口部１０からはクリーンエアーが常時吹き出し
ているため、薬液槽８から発生する有害ガスが外部に漏
洩することはない。さらに、開口部１０から吹き出すク
リーンエアーの大半は、フード内部に吹き込まれ発生す
る有害ガスと共に排気ダクト１１から排気される構造で
あるため、フード内部はいつもクリーンエアーで満たさ
れていることになる。また、化学処理対象物を挿入する
際、その対象物は上部の高性能エアーフィルタ２から吹
き出されるクリーンエアー内から、開口部１０でクリー
ンエアーを吹き付けられている領域を通り、クリーンエ
アーで満たされたフード内部に導かれるため、常に清浄
な環境で化学処理作業を行うことができる。

ここに示した構造は一実施例であり、高性能エアーフィ
ルタ２が本クリーンドラフトにはなく、クリーンルーム
天井の高性能エアーフィルタからのクリーンエアーを直
接取り込む構造、開口部１３に吹き出すクリーンエアー
を高性能エアーフィルタ２から分離して導入する構造等
、い（つかの変形もある。

〔発明の効果〕

この結果から明らかなように、本発明によれば、従来技
術の欠点であった（１）化学処理に伴って発生する有害
ガス漏洩の可能性、（２）空気の淀みによるクリーン環
境のくずれ、（３）操作性が悪い等の欠点を同時に解決
するたことができる。また、クリーンエアーの吹き出し
口が第２図（ａ）、　（ｂ）の従来例に比べて非常に小
さく出来るため、経済的に装置を構成することが可能で
ある。

以上説明したように、本発明の構造は非常に清浄な環境
で化学処理作業を行う場合に、操作性を損なうことなく
、かつ、発生する有害ガスの漏洩を完全に抑えた低価格
なりリーンドラフトを実現できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるクリーンドラフトの構
造を示す断面図、第２図（ａ）、　（ｂ）、　（Ｃ）は
それぞれ従来のクリーンドラフトの構造例を示す断面図
である。１・・・クリーンドラフト、２・・・高性能エアーフィ
ルタ、３・・・エアーカーテン用フィルタ、４・・・フ
ードの蓋、５・・・エアーカーテン用送風機、６・・・
クリーンエアー吹き出し口、７・・・クリーンエアー吸
い込み口、　８・・・化学処理用薬液槽、９・・・フー
ド、１０・・・フードの開口部、１１・・・排気ダクト
、１２・・・送風機。

Claims

【特許請求の範囲】上部よりクリーンエアーを供給しかつ有害ガスを排気す
る機能を有するクリーンドラフトにおいて、前記有害ガスを発生する処理空間を覆うフードと、該フードの開口部を横切ってクリーンエアーを吹き出す
機構とを具備することを特徴とするクリーンドラフト。