JP2852662B2 - クリーン・ドラフト装置 - Google Patents
クリーン・ドラフト装置Info
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- JP2852662B2 JP2852662B2 JP1145857A JP14585789A JP2852662B2 JP 2852662 B2 JP2852662 B2 JP 2852662B2 JP 1145857 A JP1145857 A JP 1145857A JP 14585789 A JP14585789 A JP 14585789A JP 2852662 B2 JP2852662 B2 JP 2852662B2
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- duct
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、清浄雰囲気内で有害物質が発生する製造工
程に使用されるクリーン・ドラフト装置に利用する。
程に使用されるクリーン・ドラフト装置に利用する。
本発明は、特に半導体製造過程で有害ガス等の発生を
伴う化学処理を行う流し台を備えたクリーン・ドラフト
装置に利用するに適する。
伴う化学処理を行う流し台を備えたクリーン・ドラフト
装置に利用するに適する。
本発明は、処理操作により有害物質が発生する流し台
を含む作業台と、作業台を囲む隔壁と、作業台に対して
天井よりクリーンエアを供給する手段とを含むクリーン
・ドラフト装置において、 有害物質を発生する流し台を覆う着脱自在のフードお
よびこのフードの上部のクリーンエアを取り込む開口部
分に空気流の強さを調節できるエアカーテン手段を設け
ることにより、 クーリン・ドラフト装置外に有害物質を漏洩すること
なく、かつクリーンエアの消費量を小さくするものであ
る。
を含む作業台と、作業台を囲む隔壁と、作業台に対して
天井よりクリーンエアを供給する手段とを含むクリーン
・ドラフト装置において、 有害物質を発生する流し台を覆う着脱自在のフードお
よびこのフードの上部のクリーンエアを取り込む開口部
分に空気流の強さを調節できるエアカーテン手段を設け
ることにより、 クーリン・ドラフト装置外に有害物質を漏洩すること
なく、かつクリーンエアの消費量を小さくするものであ
る。
半導体や精密機構の製造は清浄環境を必要とするの
で、その作業台にはクリーンエアが供給される。しかし
作業台の一部の流し台で、半導体の酸処理やホトエッチ
ングを行うさいに発生する有害ガスなどの有害物質は、
たとえその微量であっても、これをドラフトの外に漏洩
することなく、必ず捕収して排気処理を行わなければな
らない。このためクリーン・ドラフト装置が用いられ
る。
で、その作業台にはクリーンエアが供給される。しかし
作業台の一部の流し台で、半導体の酸処理やホトエッチ
ングを行うさいに発生する有害ガスなどの有害物質は、
たとえその微量であっても、これをドラフトの外に漏洩
することなく、必ず捕収して排気処理を行わなければな
らない。このためクリーン・ドラフト装置が用いられ
る。
従来構造を説明すると、第４図に示すように、クリー
ンドラフト装置31の流し台3Aには有害物質Ｐが発生する
槽2Aが置かれている。この流し台3Aを蓋32Aが付された
フード32で囲み、有害物質Ｐをドラフトダクト7Hを介し
て、外部の排出処理装置であるドラフトファン33A、ス
クラバー33Bおよび処理槽33Cで処理するようになってい
る。すなわち槽2Aの化学処理において、準備操作は蓋32
Aを外して行い、有害物質の発生する反応操作は蓋を被
せて行う。しかし蓋の開閉が煩わしく、また蓋の開閉は
作業者Ｗの判断によって行われるので、有害物質Ｐがフ
ード32の外部に洩れることがある。またいったん蓋を閉
じてしまうと、流し台にアクセスできない。
ンドラフト装置31の流し台3Aには有害物質Ｐが発生する
槽2Aが置かれている。この流し台3Aを蓋32Aが付された
フード32で囲み、有害物質Ｐをドラフトダクト7Hを介し
て、外部の排出処理装置であるドラフトファン33A、ス
クラバー33Bおよび処理槽33Cで処理するようになってい
る。すなわち槽2Aの化学処理において、準備操作は蓋32
Aを外して行い、有害物質の発生する反応操作は蓋を被
せて行う。しかし蓋の開閉が煩わしく、また蓋の開閉は
作業者Ｗの判断によって行われるので、有害物質Ｐがフ
ード32の外部に洩れることがある。またいったん蓋を閉
じてしまうと、流し台にアクセスできない。
一方、第５図に示すように前面にエアカーテン手段を
設けたクリーン・ドラフト装置が知られている。この構
造では、その前面の開口41Aにエアカーテン手段とし
て、それぞれ専用のファン42A、フィルタ42B、ダクト42
Cを設けている。このエアカーテンのエアAAは、前面の
開口41Aより作業領域WAに洩れようとする有害物質P11を
捕収して前記専用のダクト42Cより、槽2Aの上部の有害
物質P12を捕収した回収エアRA11とともにドラフトダク
ト7Hより、図外の排出処理装置に導かれる。
設けたクリーン・ドラフト装置が知られている。この構
造では、その前面の開口41Aにエアカーテン手段とし
て、それぞれ専用のファン42A、フィルタ42B、ダクト42
Cを設けている。このエアカーテンのエアAAは、前面の
開口41Aより作業領域WAに洩れようとする有害物質P11を
捕収して前記専用のダクト42Cより、槽2Aの上部の有害
物質P12を捕収した回収エアRA11とともにドラフトダク
ト7Hより、図外の排出処理装置に導かれる。
蓋を閉じるものは、いったん蓋を閉じると作業者がア
クセスできなくなるとともに、見えなくなってしまう。
クセスできなくなるとともに、見えなくなってしまう。
また前述のエアカーテン付きのクリーン・ドラフト装
置では、流し台にはフードがなく、有害物質の熱上昇拡
散速度に対し吹き降ろされるクリーンエアの速度が十分
でないときは、流し台以外の上方にも有害物質が拡散す
ることがある。したがってエアカーテンの送出風量を大
きくしなければならない。さらに、クリーンエアの大部
分に有害物質が混入するので、これを捕収してドラフト
ダクトで排出するため、排出処理装置も大風量のものと
しなくてはならない。
置では、流し台にはフードがなく、有害物質の熱上昇拡
散速度に対し吹き降ろされるクリーンエアの速度が十分
でないときは、流し台以外の上方にも有害物質が拡散す
ることがある。したがってエアカーテンの送出風量を大
きくしなければならない。さらに、クリーンエアの大部
分に有害物質が混入するので、これを捕収してドラフト
ダクトで排出するため、排出処理装置も大風量のものと
しなくてはならない。
さらに作業者が操作のため前面開口より手などを入れ
ることにより、エアカーテンとしての気流が乱れ、有害
物質がドラフト外に洩れることがある。
ることにより、エアカーテンとしての気流が乱れ、有害
物質がドラフト外に洩れることがある。
本発明は、これらの欠点を解決して、有害物質の作業
領域への漏洩を防止し、作業性がよくかつ空気の換気量
や排出量が小さいクリーン・ドラフト装置を提供するこ
とを目的とする。
領域への漏洩を防止し、作業性がよくかつ空気の換気量
や排出量が小さいクリーン・ドラフト装置を提供するこ
とを目的とする。
本発明は、流し台と、この流し台の背面および側面に
配置された隔壁と、この流し台に向けて天井からクリー
ンエアを供給する手段とを備えたクリーン・ドラフト装
置において、流し台の上に少なくともその流し台の一部
を覆う着脱自在のフードを設け、このフードはその上部
にクリーンエアを取り込む開口が形成され、その開口面
内にほぼ水平な空気流を形成するエアカーテン手段を備
え、このエアカーテン手段は、外部からの操作によりそ
の空気流の強さを調節する手段を含むことを特徴とす
る。
配置された隔壁と、この流し台に向けて天井からクリー
ンエアを供給する手段とを備えたクリーン・ドラフト装
置において、流し台の上に少なくともその流し台の一部
を覆う着脱自在のフードを設け、このフードはその上部
にクリーンエアを取り込む開口が形成され、その開口面
内にほぼ水平な空気流を形成するエアカーテン手段を備
え、このエアカーテン手段は、外部からの操作によりそ
の空気流の強さを調節する手段を含むことを特徴とす
る。
蓋を用いていないので、中がよく見え、必要ならばそ
の開口から内部をアクセスすることが可能である。
の開口から内部をアクセスすることが可能である。
前面にエアカーテン手段を設けたものに比べると、エ
アカーテンの面積が小さいから、確実に内部発生気体の
漏洩が防止できる。
アカーテンの面積が小さいから、確実に内部発生気体の
漏洩が防止できる。
フードは、これが覆う流し台に対して着脱自在となっ
ているので、流し台に載置する反応槽として大形のもの
が利用できる。
ているので、流し台に載置する反応槽として大形のもの
が利用できる。
さらに必要ならばフードの上部の開口により、ウェハ
キャリヤの挿入などの操作が行える。この開口はクリー
ンエアが取り込まれるので、フード内部は十分に清浄な
環境に保持できる。
キャリヤの挿入などの操作が行える。この開口はクリー
ンエアが取り込まれるので、フード内部は十分に清浄な
環境に保持できる。
有害物質が発生しても、開口にはその面内にほぼ水平
に流れるエアカーテンがあるので、有害物質がフード外
に漏洩しない。
に流れるエアカーテンがあるので、有害物質がフード外
に漏洩しない。
エアカーテンの空気流の強さは調整できる。したがっ
て、処理操作の変更などにより、有害物質の発生状況が
変ったり、または有害物質の発生中にウェハキャリヤを
開口より挿入しても、空気流の強さを加減することによ
り、有害物質がフード外に漏洩することが、極力防止で
きる。このときエアカーテンや排出処理装置の風量を著
しく増大する必要がない。
て、処理操作の変更などにより、有害物質の発生状況が
変ったり、または有害物質の発生中にウェハキャリヤを
開口より挿入しても、空気流の強さを加減することによ
り、有害物質がフード外に漏洩することが、極力防止で
きる。このときエアカーテンや排出処理装置の風量を著
しく増大する必要がない。
次に本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は、本発明一実施例の一部破断の全体斜視図で
あり、第２図は同実施例の系統図である。
あり、第２図は同実施例の系統図である。
図において、クリーン・ドラフト装置１には、半導体
ウェハを処理するホトエッチング液および洗浄水をそれ
ぞれ入れる槽2Aおよび2Bがそれぞれ載置される流し台3A
および3Bと、使用ずみの槽2Cを洗浄する流し台3Cとが設
けられる。これらの流し台は、背部隔壁4Aとその一部に
透明板4Cが設けられた側部隔壁4Bとによって囲まれる。
これらの流し台3A、3B、3Cに向けて天井からクリーンエ
アCAを供給する手段は、プレフィルタ5Bを備えた空気フ
ァン5Aおよびクリーン・ドラフト装置１の天井部に設け
られた高性能エアフィルタ5Cから構成される。またクリ
ーン・ドラフト装置１の前面には作業のための開口1Cが
設けられる。クリーンエアCAは、流し台の近傍を通過す
るとき、塵埃を捕捉して回収エアRAとなり、プレフィル
タ5Bを介して背部隔壁4Aとクリーン・ドラフト装置１の
背面板1Aとすき間1Bを通り、前記高性能エアフィルタ5C
で過されて再びクリーンエアCAとなる。
ウェハを処理するホトエッチング液および洗浄水をそれ
ぞれ入れる槽2Aおよび2Bがそれぞれ載置される流し台3A
および3Bと、使用ずみの槽2Cを洗浄する流し台3Cとが設
けられる。これらの流し台は、背部隔壁4Aとその一部に
透明板4Cが設けられた側部隔壁4Bとによって囲まれる。
これらの流し台3A、3B、3Cに向けて天井からクリーンエ
アCAを供給する手段は、プレフィルタ5Bを備えた空気フ
ァン5Aおよびクリーン・ドラフト装置１の天井部に設け
られた高性能エアフィルタ5Cから構成される。またクリ
ーン・ドラフト装置１の前面には作業のための開口1Cが
設けられる。クリーンエアCAは、流し台の近傍を通過す
るとき、塵埃を捕捉して回収エアRAとなり、プレフィル
タ5Bを介して背部隔壁4Aとクリーン・ドラフト装置１の
背面板1Aとすき間1Bを通り、前記高性能エアフィルタ5C
で過されて再びクリーンエアCAとなる。
流し台3Bでは槽2Bでウェハの洗浄を行い、流し台3Cで
は主に槽2Cなどの洗浄を行うので有害物質が発生するこ
とがない。しかし、流し台3Aで槽2Aによるホトエッチン
グ操作や酸処理操作を行うので、有害物質Ｐが発生す
る。この有害物質Ｐが、前記回収エアRAに混入されて再
びクリーンエアCAとなってリサイクルしたり、あるいは
前記開口1Cより漏洩してはならない。
は主に槽2Cなどの洗浄を行うので有害物質が発生するこ
とがない。しかし、流し台3Aで槽2Aによるホトエッチン
グ操作や酸処理操作を行うので、有害物質Ｐが発生す
る。この有害物質Ｐが、前記回収エアRAに混入されて再
びクリーンエアCAとなってリサイクルしたり、あるいは
前記開口1Cより漏洩してはならない。
ここで本発明の装置では、前記３つの流し台のうち、
中央の有害物質を発生する流し台3Aに、着脱自在の構造
でこの流し台3Aを覆うフード６が設けられ、このフード
はその送気入口6Aおよび排気出口6Bは送気ダクト7Dおよ
び排気ダクト7Eにそれぞれ接続されることにある。さら
に、このフード６の上部には天井部より供給される前記
クリーンエアCAを取り込む開口6Cが形成され、この開口
6Cの面内にほぼ水平なクリーンな空気流ACAを吹き出す
吹出し口6Dと、このクリーンな空気流ACAに流し台3Aよ
り発生する有害物質Ｐが捕収された汚れた空気流ARAを
吸い込む吸込み口6Eとを含むエアカーテン手段がある。
中央の有害物質を発生する流し台3Aに、着脱自在の構造
でこの流し台3Aを覆うフード６が設けられ、このフード
はその送気入口6Aおよび排気出口6Bは送気ダクト7Dおよ
び排気ダクト7Eにそれぞれ接続されることにある。さら
に、このフード６の上部には天井部より供給される前記
クリーンエアCAを取り込む開口6Cが形成され、この開口
6Cの面内にほぼ水平なクリーンな空気流ACAを吹き出す
吹出し口6Dと、このクリーンな空気流ACAに流し台3Aよ
り発生する有害物質Ｐが捕収された汚れた空気流ARAを
吸い込む吸込み口6Eとを含むエアカーテン手段がある。
また、このエアカーテン手段は、第２図に示すよう
に、クリーン・ドラフト装置１の底部に設けられたエア
カーテンブロア7A、高性能エアフィルタ7B、スパイラル
ホース7Cと前記送気ダクト7Dおよび前記排気ダクト7Eと
から構成され、前記クリーンな空気流ACAおよび汚れた
空気流ACAの強さを調整するエアダンパ7Fとダクト内整
流風板7Gとを含む。このエアダンパ7Fとダクト内整流板
7Gとのそれぞれの調整は、それぞれクリーン・ドラフト
装置１の前面腰板1Dより突出して設けられた操作ハンド
ル7fおよび7gによって、容易に行われる。
に、クリーン・ドラフト装置１の底部に設けられたエア
カーテンブロア7A、高性能エアフィルタ7B、スパイラル
ホース7Cと前記送気ダクト7Dおよび前記排気ダクト7Eと
から構成され、前記クリーンな空気流ACAおよび汚れた
空気流ACAの強さを調整するエアダンパ7Fとダクト内整
流風板7Gとを含む。このエアダンパ7Fとダクト内整流板
7Gとのそれぞれの調整は、それぞれクリーン・ドラフト
装置１の前面腰板1Dより突出して設けられた操作ハンド
ル7fおよび7gによって、容易に行われる。
第３図は、フード６を取り外した状態を示す斜視図で
ある。本図において流し台3Aは、整風フィン3Eが設けら
れた排気口3Dよりダクト3Fを介して槽2Aから発生する有
害物質Ｐをフード６の開口6Cから取り込むクリーンエア
CAに捕収されて排出される。しかし一般に有害物質Ｐは
高温であり、上方に拡散される。また図外のウェハキャ
リヤなどの動作により撹拌されて、開口6Cよりクリーン
・ドラフト装置内に立ち上る。前述の天井部より送られ
るクリーンエアCAは、舞い上る塵埃を抑圧するもので、
その気流速度は小さいので、ガス状態である有害物質Ｐ
の前記立ち上りを抑圧できない。フード６の吹出し口6D
よりほぼ水平方向に吹き出されるクリーンな空気流ACA
は、前記の上方に拡散する有害物質Ｐを捕収して、汚れ
た空気流ARAとなり、前記吸込み口6Eより吸い込まれ
る。この水平方向の空気流ACAおよびARAの強さは操作ハ
ンドル7fと7gにより適宜調整されるので、有害物質Ｐは
フード６の開口6Cよりクリーン・ドラフト装置内に漏洩
することがない。またフード６の送気入口6Aおよび排気
出口6Bと、送気ダクト7Dおよび排気ダクト7Eとのそれぞ
れの挿入部では、つねに図外の排出処理装置のドラフト
ファンにより強い気流で吸引されているので、その気密
構造は簡単なものでよい。
ある。本図において流し台3Aは、整風フィン3Eが設けら
れた排気口3Dよりダクト3Fを介して槽2Aから発生する有
害物質Ｐをフード６の開口6Cから取り込むクリーンエア
CAに捕収されて排出される。しかし一般に有害物質Ｐは
高温であり、上方に拡散される。また図外のウェハキャ
リヤなどの動作により撹拌されて、開口6Cよりクリーン
・ドラフト装置内に立ち上る。前述の天井部より送られ
るクリーンエアCAは、舞い上る塵埃を抑圧するもので、
その気流速度は小さいので、ガス状態である有害物質Ｐ
の前記立ち上りを抑圧できない。フード６の吹出し口6D
よりほぼ水平方向に吹き出されるクリーンな空気流ACA
は、前記の上方に拡散する有害物質Ｐを捕収して、汚れ
た空気流ARAとなり、前記吸込み口6Eより吸い込まれ
る。この水平方向の空気流ACAおよびARAの強さは操作ハ
ンドル7fと7gにより適宜調整されるので、有害物質Ｐは
フード６の開口6Cよりクリーン・ドラフト装置内に漏洩
することがない。またフード６の送気入口6Aおよび排気
出口6Bと、送気ダクト7Dおよび排気ダクト7Eとのそれぞ
れの挿入部では、つねに図外の排出処理装置のドラフト
ファンにより強い気流で吸引されているので、その気密
構造は簡単なものでよい。
第２図において、符号7Hは、前記排気ダクト7Eと流し
台3Aのダクト3Fとに接続され、有害物質Ｐを含むそれぞ
れの排気（CRAの一部およびARAの全部）を前述の排出処
理装置に導くドラフトダクトである。
台3Aのダクト3Fとに接続され、有害物質Ｐを含むそれぞ
れの排気（CRAの一部およびARAの全部）を前述の排出処
理装置に導くドラフトダクトである。
第３図において、有害物質が発生する槽は、例えばフ
ォトエッチング槽の一例では、その平面形状が幅20cm、
奥行10cm程度のものであるので、フードの開口寸法は著
しく大きなものではない。したがってエアカーテンに必
要な空気の流量は小さなものでよい。このため排出処理
装置のドラフトファンの風量も小さなものでよい。
ォトエッチング槽の一例では、その平面形状が幅20cm、
奥行10cm程度のものであるので、フードの開口寸法は著
しく大きなものではない。したがってエアカーテンに必
要な空気の流量は小さなものでよい。このため排出処理
装置のドラフトファンの風量も小さなものでよい。
以上説明したように本発明によれば、有害物質の外部
への漏洩がなくなるので、人体および環境に対して安全
なクリーン・ドラフト装置が実現できる。
への漏洩がなくなるので、人体および環境に対して安全
なクリーン・ドラフト装置が実現できる。
本発明の装置では流し台の中がよく見え、流し台の中
へのアクセスが可能である。さらにアクセスの際に有害
物質の漏洩がない。
へのアクセスが可能である。さらにアクセスの際に有害
物質の漏洩がない。
さらに、必要とするエアカーテンの空気流の容量が小
さくてよいので、製造コストが低減できる。
さくてよいので、製造コストが低減できる。
第１図は、本発明の一実施例の一部破断斜視図。 第２図は、同実施例の系統図。 第３図は、フードを取り外した状態を示す斜視図。 第４図は、従来例の系統図。 第５図は、他の従来例の系統図。 １、31、41……クリーン・ドラフト装置、1A……背面
板、1B……背部のすき間、1C、6C、31A、41A……開口、
1D……前面腰板、2A、2B、2C……槽、3A、3B、3C……流
し台、3D……排気口、3E……整風フィン、3F……ダク
ト、4A、……背部隔壁、4B……側部隔壁、4C……透明
板、5A……換気ファン、5B……プレフィルタ、5C、7B…
…高性能エアフィルタ、６、32……フード、6A……送気
入口、6B……排気出口、6D……吹出し口、6E……吸込み
口、7A……エアカーテンブロア、7C……スパイラルホー
ス、7D……送気ダクト、7E……排気ダクト、7F……エア
ダンパ、7f、7g……操作ハンドル、7G……ダクト内整風
板、7H……ドラフトダクト、32A……蓋、33A……ドラフ
トファン、33B……スクラバー、33C……処理槽、42A…
…ファン、42B……フィルタ、42C……ダクト、AA……エ
アカーテンの気流、ACA……クリーンな空気流、ARA……
汚れた空気流、CA……クリーンエア、Ｐ、P11、P12……
有害物質、RA、RA11……回収エア、Ｗ……作業者、WA…
…作業領域である外部。
板、1B……背部のすき間、1C、6C、31A、41A……開口、
1D……前面腰板、2A、2B、2C……槽、3A、3B、3C……流
し台、3D……排気口、3E……整風フィン、3F……ダク
ト、4A、……背部隔壁、4B……側部隔壁、4C……透明
板、5A……換気ファン、5B……プレフィルタ、5C、7B…
…高性能エアフィルタ、６、32……フード、6A……送気
入口、6B……排気出口、6D……吹出し口、6E……吸込み
口、7A……エアカーテンブロア、7C……スパイラルホー
ス、7D……送気ダクト、7E……排気ダクト、7F……エア
ダンパ、7f、7g……操作ハンドル、7G……ダクト内整風
板、7H……ドラフトダクト、32A……蓋、33A……ドラフ
トファン、33B……スクラバー、33C……処理槽、42A…
…ファン、42B……フィルタ、42C……ダクト、AA……エ
アカーテンの気流、ACA……クリーンな空気流、ARA……
汚れた空気流、CA……クリーンエア、Ｐ、P11、P12……
有害物質、RA、RA11……回収エア、Ｗ……作業者、WA…
…作業領域である外部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−248449（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−183803（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−39212（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−277556（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−21299（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−112331（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01L 1/00 F24F 7/06 H01L 21/02
Claims (1)
- 【請求項１】流し台と、この流し台の背面および側面に
配置された隔壁と、この流し台に向けて天井からクリー
ンエアを供給する手段とを備えたクリーン・ドラフト装
置において、 前記流し台の上に少なくともその流し台の一部を覆う着
脱自在のフードを設け、 このフードはその上部に前記クリーンエアを取り込む開
口が形成され、 その開口面内にほぼ水平な空気流を形成するエアカーテ
ン手段を備え、 このエアカーテン手段は、操作によりその空気流の強さ
を調節する手段を含む ことを特徴とするクリーン・ドラフト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145857A JP2852662B2 (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | クリーン・ドラフト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145857A JP2852662B2 (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | クリーン・ドラフト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312238A JPH0312238A (ja) | 1991-01-21 |
| JP2852662B2 true JP2852662B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=15394687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1145857A Expired - Lifetime JP2852662B2 (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | クリーン・ドラフト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2852662B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6434248B2 (ja) * | 2014-08-01 | 2018-12-05 | 日本エアーテック株式会社 | 安全キャビネット |
| JP5207563B1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-06-12 | 株式会社セフテック | エアカーテン付き作業テーブル |
-
1989
- 1989-06-07 JP JP1145857A patent/JP2852662B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0312238A (ja) | 1991-01-21 |
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