JPH02107384A - ポータブルクリーンボックス - Google Patents
ポータブルクリーンボックスInfo
- Publication number
- JPH02107384A JPH02107384A JP26253388A JP26253388A JPH02107384A JP H02107384 A JPH02107384 A JP H02107384A JP 26253388 A JP26253388 A JP 26253388A JP 26253388 A JP26253388 A JP 26253388A JP H02107384 A JPH02107384 A JP H02107384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- air
- filter
- work
- passes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンな空気が要求される半導体製造工程
やバイオ関連の被加工物（以下ワークと記す）の搬送に
関する。
やバイオ関連の被加工物（以下ワークと記す）の搬送に
関する。
本発明は、半導体等の製造工程でバッチ処理されたワー
クを次の工程へ移動するときに、ワークを入れてクリー
ンな状態のまま移動できるように高補集フィルタ等のフ
ィルタを通して常にクリーンな空気がボックス内に供給
されるように構成され、また排気された空気を回収して
再利用できるようにし、前後工程との出し入れのために
蓋とボックスの外側から手が入れられるようにグローブ
が付けられている。
クを次の工程へ移動するときに、ワークを入れてクリー
ンな状態のまま移動できるように高補集フィルタ等のフ
ィルタを通して常にクリーンな空気がボックス内に供給
されるように構成され、また排気された空気を回収して
再利用できるようにし、前後工程との出し入れのために
蓋とボックスの外側から手が入れられるようにグローブ
が付けられている。
従来、半導体製造工程はクリーンな空気を供給するため
大掛かりな装置のいるクリーンルーム内におかれており
、その真人な費用とともに工程に携わる人も不自由な無
塵服をまとわなければならなかった。
大掛かりな装置のいるクリーンルーム内におかれており
、その真人な費用とともに工程に携わる人も不自由な無
塵服をまとわなければならなかった。
従来の技術では、本当にクリーンな空気が必要なところ
だけではなく、特にクリーンな空気が必要でもないとこ
ろ（製造機の外部、機械の制御装置や人間の作業すると
ころ等）にまでクリーンな空気が供給されていて設備コ
ストが大きいクリーンエアを無駄遣いしていた。また工
程で働く人達も不自由な無塵服を身にまとわなければな
らないという不便さがあった。
だけではなく、特にクリーンな空気が必要でもないとこ
ろ（製造機の外部、機械の制御装置や人間の作業すると
ころ等）にまでクリーンな空気が供給されていて設備コ
ストが大きいクリーンエアを無駄遣いしていた。また工
程で働く人達も不自由な無塵服を身にまとわなければな
らないという不便さがあった。
従来の問題点を解決するために、本発明は本当にクリー
ンな空気が必要なところだけにクリーンな空気を供給す
るようにするため、ハツチ処理されたワークをボータフ
゛ルなりリーンボックスに羊多し替え、次の工程へ移動
させてまた汚れた空気にさらされないようにしてワーク
を移せるようにした。
ンな空気が必要なところだけにクリーンな空気を供給す
るようにするため、ハツチ処理されたワークをボータフ
゛ルなりリーンボックスに羊多し替え、次の工程へ移動
させてまた汚れた空気にさらされないようにしてワーク
を移せるようにした。
ボークプルなりリーンボックスにワークを移し替えて汚
れた空気にさらされないで次の工程まで移動できるため
、クリーンルームといった大掛かりな設備は必要でなく
当然工程で働く人達も不自由無塵服をまとわな（でもす
むし、排気空気を回収しな再利用するため高価なフィル
タの交換頻度も少なくなりコストも安くなる。
れた空気にさらされないで次の工程まで移動できるため
、クリーンルームといった大掛かりな設備は必要でなく
当然工程で働く人達も不自由無塵服をまとわな（でもす
むし、排気空気を回収しな再利用するため高価なフィル
タの交換頻度も少なくなりコストも安くなる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（Ａ１． ｅにおいて、透明な材質で出来ている
ボックス１は上部に外気の取入れ口２があり、そこには
外気が含む塵を粗く補集する粗フィルタ３がついている
。下部には、すのこ板４と下部フィルタ５がついている
０両側面には人の手に合うグローブ６が取り付けられて
いる。また一つの側面にはワーク７の出し入れ用の出入
り口８があり、取っ手９のついた蓋１０が外気どめ用の
Ｏ−リング１１を介して取り付けられている。さらにボ
ックス１を持ち運べるようにハンドキャリー用取っ手１
３がつき底には足１４がついている。ボックス内には外
気を取り込みクリーンな空気を送り出すファンＩ５とそ
の駆動源であるモータ１６が支持機構１７を介してボン
クス内面に取り付けられている。モータ１６はバッテリ
ー１９または外部電源より供給され駆動される。
ボックス１は上部に外気の取入れ口２があり、そこには
外気が含む塵を粗く補集する粗フィルタ３がついている
。下部には、すのこ板４と下部フィルタ５がついている
０両側面には人の手に合うグローブ６が取り付けられて
いる。また一つの側面にはワーク７の出し入れ用の出入
り口８があり、取っ手９のついた蓋１０が外気どめ用の
Ｏ−リング１１を介して取り付けられている。さらにボ
ックス１を持ち運べるようにハンドキャリー用取っ手１
３がつき底には足１４がついている。ボックス内には外
気を取り込みクリーンな空気を送り出すファンＩ５とそ
の駆動源であるモータ１６が支持機構１７を介してボン
クス内面に取り付けられている。モータ１６はバッテリ
ー１９または外部電源より供給され駆動される。
次に空気の流れを説明すると、粗フィルタ３を通って取
り込まれた空気はファン１５によりエネルギーを与えら
れ、高補集フィルタ１８を通ってボックス内ヘクリーン
な空気となって供給され、ワーク７を通ってすのこ板４
と下部フィルタ５を通って回収ダク）２０に吐き出され
、空気は外気取入れ口２にある回収ダクト出口２１に導
かれ、再度新規空気と混じってボ・ノクス内に取り込ま
れる、この空気の再利用はなくても、クリーンボックス
の機能は充分に果たせるが、使用する環境に応じて任意
に選択できる。
り込まれた空気はファン１５によりエネルギーを与えら
れ、高補集フィルタ１８を通ってボックス内ヘクリーン
な空気となって供給され、ワーク７を通ってすのこ板４
と下部フィルタ５を通って回収ダク）２０に吐き出され
、空気は外気取入れ口２にある回収ダクト出口２１に導
かれ、再度新規空気と混じってボ・ノクス内に取り込ま
れる、この空気の再利用はなくても、クリーンボックス
の機能は充分に果たせるが、使用する環境に応じて任意
に選択できる。
また、ワークの出し入れについては、取っ手９のついた
蓋１０をクリーンなバスボックス内で開はグローブ６に
手を入れてワーク７をボックス内に引き入れたり出した
りする。
蓋１０をクリーンなバスボックス内で開はグローブ６に
手を入れてワーク７をボックス内に引き入れたり出した
りする。
Ｃ発明の効果〕
以上、本発明はポータプルなりリーンボックスにワーク
を移し替えて汚れた空気にさらされないで、次の工程ま
で移動できるためクリーンルームといった大掛かりでコ
ストのかさむ設備は必要でなく当然工程で働く人達も不
自由な無塵服をまとわなくともすむという効果を有する
。
を移し替えて汚れた空気にさらされないで、次の工程ま
で移動できるためクリーンルームといった大掛かりでコ
ストのかさむ設備は必要でなく当然工程で働く人達も不
自由な無塵服をまとわなくともすむという効果を有する
。
第１図囚は本発明のクリーンボックスの側面方向からの
断面図、第１図０は本発明の正面図である。 エ ・ ・ ２ ・ ・ ３ ・ ・ ４ ・ ・ ５・Ｉ・ ６・・ ７・・ ８・・ ９・・ ボックス 外気取入れ口 粗フィルタ すのこ仮 下部フィルタ グローブ ワーク 出入口 取っ手 １０・ ・ １１・ ・ １３・ ・ １４・ ・ １５・ ・ １６・ ・ １７・ ・ １Ｂ・ ・ １９・ ・ ２０・ ・ ２１・ ・ ・蓋 ・０−リング ・ハンドキャリー用取っ手 ・足 ・ファン ・モータ ・支持機構 ・ヘパフィルタ ・バッテリー ・回収ダクト ・回収ダクト出口
断面図、第１図０は本発明の正面図である。 エ ・ ・ ２ ・ ・ ３ ・ ・ ４ ・ ・ ５・Ｉ・ ６・・ ７・・ ８・・ ９・・ ボックス 外気取入れ口 粗フィルタ すのこ仮 下部フィルタ グローブ ワーク 出入口 取っ手 １０・ ・ １１・ ・ １３・ ・ １４・ ・ １５・ ・ １６・ ・ １７・ ・ １Ｂ・ ・ １９・ ・ ２０・ ・ ２１・ ・ ・蓋 ・０−リング ・ハンドキャリー用取っ手 ・足 ・ファン ・モータ ・支持機構 ・ヘパフィルタ ・バッテリー ・回収ダクト ・回収ダクト出口
Claims (2)
- （１）内部をクリーンな環境にして、移動可能な箱であ
って、該箱には複数のフィルタと送風機を備えたものに
おいて、上部に粗フィルタと高補集フィルタを設け、下
部にそのこ板と下部フィルタを設け、一方の側面に被加
工物を出し入れする開閉蓋を設け、他の側面にグローブ
を設けるとともに前記粗フィルタと高補集フィルタの間
に前記送風機を設けたことを特徴とするポータブルクリ
ーンボックス。 - （２）特許請求の範囲第１項において、上記箱の下部よ
り吐出する空気を回収して上部に戻し再度箱内に流入す
る回収ダクトを設けたことを特徴とするポータブルクリ
ーンボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26253388A JPH02107384A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | ポータブルクリーンボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26253388A JPH02107384A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | ポータブルクリーンボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02107384A true JPH02107384A (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=17377121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26253388A Pending JPH02107384A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | ポータブルクリーンボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02107384A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05157302A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-22 | Intelmatec Corp | クリーンベンチモジュールシステム |
| WO1999028213A1 (fr) * | 1997-12-03 | 1999-06-10 | Ebara Corporation | Boite propre |
| JP2020533169A (ja) * | 2017-09-14 | 2020-11-19 | フェッター ファルマ−フェルティグング ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | ポータブルクリーンルーム、ポータブルクリーンルームの製造方法及びポータブルクリーンルームの中の薬剤容器に充填するための方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS514260B1 (ja) * | 1970-06-29 | 1976-02-10 | ||
| JPS60206017A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toshiba Corp | 清浄搬送システム |
-
1988
- 1988-10-17 JP JP26253388A patent/JPH02107384A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS514260B1 (ja) * | 1970-06-29 | 1976-02-10 | ||
| JPS60206017A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toshiba Corp | 清浄搬送システム |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05157302A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-22 | Intelmatec Corp | クリーンベンチモジュールシステム |
| WO1999028213A1 (fr) * | 1997-12-03 | 1999-06-10 | Ebara Corporation | Boite propre |
| US6521007B1 (en) | 1997-12-03 | 2003-02-18 | Ebara Corporation | Clean box |
| JP2020533169A (ja) * | 2017-09-14 | 2020-11-19 | フェッター ファルマ−フェルティグング ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | ポータブルクリーンルーム、ポータブルクリーンルームの製造方法及びポータブルクリーンルームの中の薬剤容器に充填するための方法 |
| US12070742B2 (en) | 2017-09-14 | 2024-08-27 | Vetter Pharma-Fertigung GmbH & Co. KG | Transportable clean room, method for producing a transportable clean room, and method for filling a medicine container in a transportable clean room |
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