JPH068428Y2 - 移送装置付クリーンベンチ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 開示技術は、クリーンな雰囲気の中で作業を行うことが
要求される半導体製造関係、医療関係、精密機械関係等
の分野で用いるワークの移送装置付クリーンベンチの構
造の技術分野に属する。

〈従来の技術〉 例えば、半導体素子を製造する場合には、作業台内に載
置されたウエハにクリーンなエアを送給しながら所定の
作業を行い、該ウエハに塵埃が付着しないように留意し
ている。

而して、上記作業台は所謂クリーンベンチと称されるも
のであるが、該クリーンベンチには熱処理炉にウエハボ
ートを搬出入するための移送装置が設けられている。

〈考案が解決しようとする課題〉 ところで、従来態様のクリーンベンチでは移送装置の作
動に伴い、摩擦による塵埃が発生し、該塵埃がウエハに
付着するため、半導体素子の歩留りが悪くなったり、或
いは、塵埃がクリーンルーム内に飛散し、該クリーンル
ームのクリーン度の維持が困難となる難点があった。

〈考案の目的〉 この考案の目的は上述従来技術に基づく上記クリーンベ
ンチの塵埃の問題点を解決すべき技術的課題とし、該塵
埃の飛散を確実に防止することによりクリーンルームの
クリーン度の向上を図るようにして半導体産業における
清浄技術利用分野に益する優れた移送装置付クリーンベ
ンチを提供せんとするものである。

〈課題を解決するための手段〉 上述目的に沿い先述実用新案登録の範囲を要旨とするこ
の考案の構成は、前述課題を解決するために、送気ダク
トにフィルタ付送風口を有して接続される搬送通路を介
して対設された上下複段のクリーンベンチの設けた移送
装置を覆う該クリーンベンチの上部のスリット付の防塵
カバーの該スリットから突出する被処理物保持部が該移
送装置に一体的に設けられ、又、上記該防塵カバーの内
部に設けられ、排気装置に連想する排気通路を備えた移
送装置付クリーンベンチにおいて、上記防塵カバーが、
クリーンベンチの全長に亘って設けられ、又、上記スリ
ットが、該防塵カバーの長手方向に沿って形成され、而
して、前面開口に向け層流状にクリーンエアを送風する
上記搬送通路の基部にて送気ダクトの内壁面に設けたフ
ィルタが該搬送通路の高さを越える高さに形成されて該
基部を覆って配設されているようにした技術的手段を講
じたものである。

〈作用〉 而して、クリーンベンチに設けた移送装置を覆うスリッ
ト付防塵カバーと、該防塵カバーのスリットから突出し
て移送装置に一体の被処理物保持部と、該防塵カバーの
内部に設けられ排気装置に連通する排気通路とを備え、
クリーンベンチにクリーンエアをフィルタを介し搬送通
路に対しサイドフローで層流状に送給しながら移送装置
を駆動し、被処理物保持部により支持された被処理物を
クリーンベンチに沿って移動させ、このプロセスにおい
て、移送装置からその移送動作に伴い塵埃が発生する
に、該塵埃は防塵カバーにより外部への排出を阻止さ
れ、併せてその内部に設けられた排気通路を介して排気
装置に随伴的に排出されるようにしたものである。

〈実施例〉 次に、この考案の１実施例を図面に基づいて説明すれば
以下の通りである。

第１図に示す態様においてダクト１の下部には内側の搬
送通路Ｗから所定に離隔した位置の外壁面１ｂに粗大塵
埃を除去するためのプリフィルタ２付の吸気口Ｎが設け
られ、又、その内壁面１ａにはファイナルフィルタ３付
の送風口Ｍが設けられている。

尚、該ファイナルフィルタ３は当該第１図に示す様に、
その高さが搬送通路Ｗの基部の高さを越えるように形成
され、該基部を覆うようにして配設されている。

４は、該ファイナルフィルタ３に対応して上下２段に設
けられたクリーンベンチで、搬送通路Ｗを間に形成して
おり、該搬送通路Ｗの前面開放口（図上左側）Ｘに向け
クリーンエアＢを水平方向に吹送するようにファイナル
フィルタ３の送風口Ｍを有している。

そして、該クリーンベンチ４には、移送装置５がセット
され、又、その上部には防塵カバー６が設けられてい
る。

該移送装置５は、上側にてクリーンベンチ４の幅方向略
中央で、且つ、その全長に亘って設けられたスリット７
付の防塵カバー６により覆われている。

而して、該スリット７は、該防塵カバー６の幅方向中央
部にほぼ全長に亘って形成され、又、該スリット７から
移送装置５の被処理物保持部９が上向きに突出してい
る。

又、防塵カバー６の内部は、排気通路の排気パイプ１０
を介して図示しない大気への排気装置と連通している。

そして、第２図に於て、１１は拡散炉等の熱処理炉、１
２はクリーンルーム、第１図で１３は送風機である。

上述構成において、第１図で送風機１３を駆動すると、
空気Ａはプリフィルタ２により粗大塵埃を除塵されなが
らダクト１内に流入するが、該空気Ａは、更にファイナ
ルフィルタ３により除塵され、クリーンエアＢとされ
る。

そして、該クリーンエアＢは、搬送通路Ｗの基部の高さ
を越える高さに形成されたファイナルフィルタ３で該基
部が覆われていることにより回り込み等なく確実に除塵
され、又、サイドフローの層流となって擾乱を生ぜず、
クリーンベンチ４内を水平方向に流れ、被処理物保持部
９により支持されている図示しないウエハボート内のウ
エハに吹きつけられる。

この状態で移送装置５を駆動し、被処理物保持部９を第
２図の矢印Ａ９方向に移動してウエハボートを熱処理炉
１１に挿入するが、この時、移送装置５から挙動に際し
ての摩擦による塵埃が発生する。

しかし、該塵埃は、防塵カバー６がクリーンベンチ４に
設けられているため該防塵カバー６外への飛散が防止さ
れるので、クリーンルーム１２が汚染されることはな
い。

又、移送装置５の駆動中、クリーンベンチ４内は排気パ
イプ１０を介して排気装置に連通されて強制的に排気し
ていることから、防塵カバー６内が負圧状態となる。

そのため、クリーンエアＢの一部はＣは、第１図に示す
様に、スリット７から防塵カバー６内に引き込まれて塵
埃を随伴搬送しながら排気パイプ１０を介して排気装置
に排出される。

この間、搬送通路Ｗに於てはクリーンエアＢが層流状に
サイドフローするためにウエハボートに均一に当り全体
的に確実に防塵機能、除塵機能に与る。

尚、この出願の考案の実施態様は、上述実施例に限られ
るものではなく、クリーンな雰囲気で作業をしなければ
ならない産業分野、例えば、医療関係、精密機械関係等
にも利用出来ることは勿論である。

〈考案の効果〉 以上、この出願の考案によれば、移送装置の駆動により
発生する塵埃は、防塵カバーによりその外部への飛散が
防止されると共に排気通路を介して排気装置に吸引され
クリーンベンチやクリーンルーム等の外部に強制的に排
出され、その間、流過プロセスで渦発生等が阻止される
効果がある。

又、クリーンベンチが搬送通路を介して複段に設けられ
ていることより不測にして移送装置や被処理物保持部か
ら微小塵埃が発生しても複段のクリーンベンチが搬送通
路にバルクヘッドとして機能し、クリーンベンチ相互や
搬送通路に塵埃を拡散させないという効果が奏される。

そして、各クリーンベンチが整流板としても機能し層流
状のクリーンエアの吹き流しを助勢し気流の渦発生を阻
止出来るという優れた効果が奏される。

又、搬送通路にクリーンベンチが一体的に設けられてい
ることにより該クリーンベンチと搬送通路の取り合いが
剛性を大きくして一体化され、被処理物保持部に対する
被処理物の出し入れの際に該被処理物の揺振動を抑え、
この点からも塵埃の発生をより防止することが出来る効
果も奏される。

したがって、クリーンベンチのクリーン度を向上させる
ことが出来ると共にクリーンルーム等のクリーン度を維
持することが出来る効果も奏される。

又、ダクトの内壁面に配設され、搬送通路の基部にて該
基部の高さを越える高さに形成されたフィルタを該基部
を覆って設けたことにより該搬送通路の前面開放口に向
う水平な層流状のクリーンエアを送給して吹き付けるこ
とが出来るので、該クリーンエアは被搬送物を洗うよう
にしながら前面開放口に向い大気中に放出されることに
なり、そのため、搬送通路上に渦が発生しないことから
塵埃が被搬送物に付着する虞がない優れた効果が奏され
る。

更に、防塵カバーの内部に該内部を大気に連通せしめる
排気通路を設けたので、常に新鮮で、且つ、加温されて
いないクリーンエアが搬送通路の前面開放口に向って放
出されると共に防塵カバー内の塵埃を排気通路を介して
大気に随伴的に排気させるため、高温の被処理物を搬送
する場合等において、フィルタが加熱されたり、目詰り
が生じたりする虞が少くなると共に、クリーンベンチの
クリーン度を向上させることが出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は、この出願の考案の１実施例を示すものであり、
第１図は、第２図のＩ−Ｉ断面拡大図、第２図は、使用
状態を示す斜視図である。 ４……クリーンベンチ、５……移送装置 ６……防塵カバー、７……スリット ９……被処理物保持部、３……フィルタ Ｗ……搬送通路、１０……排気通路 Ｂ……クリーンエア、Ｍ……送風口

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】送気ダクトにフィルタ付送風口を有して接
   続される搬送通路を介して対設された上下複段のクリー
   ンベンチに設けた移送装置を覆う該クリーンベンチの上
   部のスリット付の防塵カバーの該スリットから突出する
   被処理物保持部が該移送装置に一体的に設けられ、又上
   記該防塵カバーの内部に設けられ、排気装置に連通する
   排気通路を備えた移送装置付クリーンベンチにおいて、
   上記防塵カバーが、クリーンベンチの全長に亘って設け
   られ、又上記スリットが、該防塵カバーの長手方向に沿
   って形成され、而して前面開口に向け層流状にクリーン
   エアを送風する上記搬送通路の基部にて送気ダクトの内
   壁面に設けたフィルタが該搬送通路の高さを越える高さ
   に形成されて該基部を覆って配設されていることを特徴
   とする移送装置付クリーンベンチ。