JP3861534B2 - クリーンルーム用無人搬送車 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム用無人搬送車に関し、クリーンルーム内にてワークを搬送する際に、カーゴ室内に塵埃等が進入するのを防止するように工夫したものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体の製造や、平面型表示装置(FPD)の製造を行うクリーンルーム内においては、クリーンルーム用無人搬送車により、ワークを搬送している。ここにおいてワークとは、ウェハーカセット(半導体を収納する容器)やオープンカセット(FPD用の基板を収納する容器)等である。
【0003】
ここで、従来のクリーンルーム用無人搬送車を、側面図である図3を参照しつつ説明する。同図に示すように、クリーンルーム用無人搬送車1は、走行台車2の上にカーゴ室3を搭載して構成されている。走行台車2は、図3において、矢印A方向に進行(前進走行)するものである。カーゴ室3内には、ワークを支えるワーク架台4や、カーゴ室3の内と外との間でワークを搬送するフォーク移載機5が備えられている。
【0004】
カーゴ室3の左右の側面(進行方向に向いた場合に左右に位置する面)には、カーゴ室3に対してワークを出し入れする出入口窓6が形成されている。この出入口窓6には、上下に動くことにより出入口窓6を開閉するシャッター7が具備されている。シャッター7の素材としては、発塵性の少ない金属や非金属等が採用されている。シャッター7は巻取型やシリンダー型であり、モータを駆動源として開閉動作(上下移動動作)をする。
【0005】
カーゴ室3の正面(進行方向の前側の面)には、フィルタ8を配置している。このフィルタ8としては、ヘパフィルタ(HEPA Filter: high efficiency particulate air filte) 等の高効率粒子除去フィルタを採用している。
【0006】
ワークを搬送しているときには、シャッター7を下ろして出入口窓6を閉状態として、カーゴ室3内の雰囲気を汚染することを防止している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のクリーンルーム用無人搬送車1のシャッター7は、気密性を確保するものであるため、シャッター7と出入口窓6との間で、摺動部を持たざるを得ない。このようにシャッター7に摺動部があるため、シャッター7の上下動時に、摺動部から発塵する可能性がある。
【0008】
本発明は、上記従来技術に鑑み、発塵の恐れなく、走行時にカーゴ室内に塵埃等が入り込むことを防止できるクリーンルーム用無人搬送車を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の構成は、走行台車の上にカーゴ室を搭載すると共に、前記カーゴ室に対してワークを出し入れするための出入口窓がカーゴ室の側面に形成されているクリーンルーム用無人搬送車において、
吸込口がカーゴ室の面のうち進行方向の前側の面に位置し、吹出口がカーゴ室の側面のうち前記出入口窓の前側辺よりも前側に位置し、走行時に吸込口から取り込まれた空気を吹出口から吹き出し、吹き出した空気によりエアカーテンを形成して前記出入口窓を塞ぐエアカーテン用ダクトと、
前記ダクト内に配置された高効率粒子除去フィルタと、を備えていることを特徴とする。
【0010】
また本発明の構成は、前記エアカーテン用ダクト内のうち、前記吹出口に近い部分には、整流板が配置されていることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【0012】
図1は本発明の実施の形態にかかるクリーンルーム用無人搬送車100を示す平面断面図であり、図2はクリーンルーム用無人搬送車100を示す背面図である。
【0013】
両図に示すように、クリーンルーム用無人搬送車100は、走行台車102の上にカーゴ室103を搭載して構成されている。走行台車102は、図1において、矢印A方向に進行(前進走行)するものである。カーゴ室103内には、ワークを支えるワーク架台(図示省略)や、カーゴ室103の内と外との間でワークを搬送するフォーク移載機(図示省略)が備えられている。
【0014】
カーゴ室103の左右の側面(進行方向に向いた場合に左右に位置する面)には、カーゴ室103に対してワークを出し入れする出入口窓106が形成されている。この出入口窓106には、シャッター等は無く開口している。
【0015】
カーゴ室3の正面(進行方向の前側の面)の中央位置には、カーゴ室用のフィルタ108を配置している。このフィルタ108としては、ヘパフィルタ(HEPA Filter: high efficiency particulate air filte) 等の高効率粒子除去フィルタを採用している。
【0016】
更に、カーゴ室103の前側部分には、左右に別れてエアカーテン用ダクト110,111が配置されている。エアカーテン用ダクト110,111の吸入口110a,111aは、カーゴ室103の正面に位置しており、ちょうど、フィルタ108を間にして、エアカーテン用ダクト110,111の吸入口110a111aが配置されている。
【0017】
エアカーテン用ダクト110,111の内部には、フィルタ113,114を配置している。このフィルタ113,114としては、ヘパフィルタ(HEPA Filter: high efficiency particulate air filte) 等の高効率粒子除去フィルタを採用している。
【0018】
右側のエアカーテン用ダクト110の吹出口110bは、カーゴ室103の右側面において、右側の出入口窓106の前側辺よりも前側に位置しており、右側の出入口窓106の前側辺から後側辺に向かって空気を送るように開口している。また、カーゴ室103の右側面のうち、右側の出入口窓106の後側辺を形成する部分103aは、カーゴ室内に向かって折れ曲がっている。
【0019】
同様に、左側のエアカーテン用ダクト111の吹出口111bは、カーゴ室103の左側面において、左側の出入口窓106の前側辺よりも前側に位置しており、左側の出入口窓106の前側辺から後側辺に向かって空気を送るように、開口している。また、カーゴ室103の左側面のうち、左側の出入口窓106の後側辺を形成する部分103bは、カーゴ室内に向かって折れ曲がっている。
【0020】
また、エアカーテン用ダクト110,111内のうち、吹出口110b,111bに近い部分には、整流板110c,111cが配置されている。
【0021】
なお、図1においてWは、ウェハーカセット(半導体を収納する容器)やオープンカセット(FPD用の基板を収納する容器)等のワークである。
【0022】
クリーンルーム用無人搬送車100が、矢印A方向に進行(前進走行)すると、空気がエアカーテン用ダクト110,111の吸込口110a,111aから取り込まれ、この空気はフィルタ113,114を通過して清浄化され、清浄化された空気がエアカーテン用ダクト110,111の吹出口110b,111bから吹き出される。吹き出された空気は整流板110c,111cにより整流され層流状態となって、カーゴ室103の左右側面の外側面に沿って、後方に吹き出される。このため、吹き出された空気により、エアカーテンACが形成され、左右の出入り口窓106は、エアカーテンACにより塞がれることとなる。
【0023】
この結果、クリーンルーム用無人搬送車100がクリーンルーム内を走行しているときには、左右の出入り口窓106はエアカーテンACにより塞がれ、ワークWの搬送途中において、カーゴ室103内に塵埃等が侵入することを防止でき、搬送途中におけるカーゴ室103内の汚染防止を図ることができる。かくして、搬送時において、カーゴ室103内の雰囲気を常に清浄に保つことができる。
【0024】
また出入り口窓106を塞ぐ手段として、シャッタ等の摺動する機械的遮蔽手段を採用していないので、摺動に起因する発塵はなく、周囲環境を汚染することもない。
【0025】
【発明の効果】
以上実施の形態と共に具体的に説明したように本発明では、エアカーテン用ダクトにより走行時にエアカーテンを形成し、このエアカーテンにより出入口窓を塞ぐようにしたので、走行時にカーゴ室に塵埃が侵入するのを防止することができると共に、発塵を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にかかるクリーンルーム用無人搬送車を示す平面断面図。
【図2】本発明の実施の形態にかかるクリーンルーム用無人搬送車を示す背面図。
【図3】従来のクリーンルーム用無人搬送車を示す側面図。
【符号の説明】
100 クリーンルーム用無人搬送車
102 走行台車
103 カーゴ室
106 出入口窓
108 フィルタ
110,111 エアカーテン用ダクト
110a,111a 吸込口
110b,111b 吹出口
110c,111c 整流板
113,114 フィルタ
AC エアカーテン
Claims (2)
- 走行台車の上にカーゴ室を搭載すると共に、前記カーゴ室に対してワークを出し入れするための出入口窓がカーゴ室の側面に形成されているクリーンルーム用無人搬送車において、
吸込口がカーゴ室の面のうち進行方向の前側の面に位置し、吹出口がカーゴ室の側面のうち前記出入口窓の前側辺よりも前側に位置し、走行時に吸込口から取り込まれた空気を吹出口から吹き出し、吹き出した空気によりエアカーテンを形成して前記出入口窓を塞ぐエアカーテン用ダクトと、
前記ダクト内に配置された高効率粒子除去フィルタと、を備えていることを特徴とするクリーンルーム用無人搬送車。 - 前記エアカーテン用ダクト内のうち、前記吹出口に近い部分には、整流板が配置されていることを特徴とするクリーンルーム用無人搬送車。
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