JP2010067700A - 基板カセット搬送装置および基板カセット搬入出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板カセット内に異物が侵入することを防止し、さらに、パーティクルの発生を抑制を図ると共に、製造コストの低廉化を図ることができる基板搬送装置および基板カセット搬入出装置を提供する。
【解決手段】基板カセット搬送装置は、搬入出口が外方に開放された基板カセット１３０を搬送可能な基板カセット搬送装置であって、基板カセット１３０が載置される車両本体１４０と、車両本体１４０のうち、基板カセット１３０が載置される載置領域Ｒに対して隣り合う部分に位置すると共に、載置領域Ｒに載置された基板カセット１３０の基板搬入出口１３３，１３４を覆うように設けられた防塵壁部１４１，１４２とを備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、基板カセット搬送装置および基板カセット搬入出装置に関し、特に、複数の基板を収容する基板カセットを搬送する基板カセット搬送装置および基板カセットが搬入出される基板カセット搬入出装置に関する。

従来から複数の基板が収容された基板カセットを搬送する基板カセット搬送装置や、基板カセットが搬入出される基板カセット搬入出装置等が各種提案されている。

たとえば、特開２００２−１７９２０５号公報に記載された軌道搬送システムは、軌道上を走行可能とされ、カセットを搬送する台車を備えており、台車がベイ間を走行して、カセットを搬送する。

また、特開平１１−１３０２５５号公報に記載された基板搬送移載装置は、複数の基板を搭載でき、軌道上を往復する搬送台車と、上記軌道に対して垂直に設けられたロードロック室、真空処理室および基板バッファと、基板カセットと搬送台車との間において基板の受け渡しを行う基板移載ロボットとを備えている。そして、搬送台車が基板カセットを所定のロードロック室に搬送する。
特開２００２−１７９２０５号公報 特開平１１−１３０２５５号公報

しかし、上記軌道搬送システムにおいては、カセットを搬送する際に、カセット内に異物が入り込むことを抑制するために、カセットに開閉蓋を設ける必要が生じる場合がある。

上記基板搬送移載装置においては、搬送台車が走行する領域内には、搬送台車が駆動すること等により生じるパーティクル等が多く存在する。このため、ロードロック室内にパーティクルが入り込むことを抑制するために、仕切り弁（ゲートバルブ）を設ける必要が生じる場合がある。

しかし、上記のようにカセットに開閉蓋を設けたり、ロードロック室に仕切り弁等の可動部を設けた場合には、却って、可動部が駆動することでパーティクルの発生が促進されてしまう。さらに、蓋や仕切り弁等を設けることで、製造コストも高くなる。

本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、基板カセット内に異物が侵入することを防止し、さらに、パーティクルの発生を抑制を図ると共に、製造コストの低廉化を図ることができる基板搬送装置および基板カセット搬入出装置を提供することである。

本発明に係る基板カセット搬送装置は、基板を収容すると共に、基板を搬入出する搬入出口が外方に開放された基板カセットを搬送可能な基板カセット搬送装置であり、基板カセットが載置される載置台と、載置台のうち、基板カセットが載置される載置領域に対して隣り合う部分に位置すると共に、載置領域に載置された基板カセットの搬入出口を覆うように設けられた防塵壁部とを備える。

好ましくは、上記基板カセットを移送するカセット移送装置をさらに備え、防塵壁部は、載置台のうち、載置領域に対して、カセット移送装置が移送する方向と直交する方向に位置する。好ましくは、上記防塵壁は、基板カセット搬送装置の移動方向に配列するように設けられる。好ましくは、上記防塵壁部は、基板カセットを上方から覆う天板部を含む。好ましくは、上記載置領域に対して上方に位置する領域は、外方に開放される。

好ましくは、上記搬入出口は、基板カセットの対向する一対の側面のうち、一方の側面に形成された第１搬入出口と、他方の側面に形成された第２搬入出口とを含む。さらに、上記基板カセットは、第１および第２搬入出口が基板カセット搬送装置の移動方向に配列するように、載置台に搭載される。上記防塵壁部は、第１搬入出口を覆うように形成された第１防塵壁部と、第２搬入出口を覆うように形成された第２防塵壁部とを含む。上記第１防塵壁部と第２防塵壁部との間には、基板カセットを搬入出可能なカセット搬入出部が規定される。上記第１防塵壁部のうち、カセット搬入出部を規定する辺部またはその近傍には、第２防塵壁部から離れるように張り出す第１張出部が形成され、上記第２防塵壁部のうち、カセット搬入出部を規定する辺部またはその近傍には、第１防塵壁部から離れるように張り出す第２張出部が形成される。好ましくは、上記カセット搬入出部から外方にガスが流れるようにガスを吐出するガス吐出装置をさらに備える。

本発明に係る基板カセット搬入出装置は、基板を収容すると共に基板を搬入出する搬入出口が形成された基板カセットを、受け入れ可能な収容室を規定する壁部を備えた基板カセット搬入出装置であって、壁部には、収容室内に基板カセットを搬入および収容室内の基板カセットを搬出可能な連通口が形成され、上記連通口は、基板カセットによって閉塞可能とされる。

好ましくは、上記壁部のうち、連通口の開口縁部またはその近傍には、収容室と反対側に向けて張り出す張出部が形成される。好ましくは、上記連通口から外部に吐出されるようにガスを吐出するガス吐出装置をさらに備える。

本発明に係る基板カセット搬送装置および基板搬入出装置によれば、基板カセット内にパーティクル等の異物が入り込むことを抑制することができ、さらに、パーティクルの発生を抑制することができると共に、製造コストの低廉化を図ることができる。

図１から図１４を用いて、本発明の実施の形態に係る基板カセット搬送装置および基板カセット搬入出装置と、これらを備えた液晶表示パネル製造設備１００について説明する。なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の特徴部分を適宜組合わせることは、当初から予定されている。

（実施の形態１）
図１は、液晶表示パネル製造設備１００を模式的に示した模式図である。なお、この図１において、後述するロードロック室１０１の壁部および棚１２０を断面視している。この図１に示されるように、液晶表示パネル製造設備１００は、複数の処理室１０２と、ロードロック室（基板カセット搬入出装置）１０１と、複数の基板カセット１３０を収容可能な棚（基板カセット搬入出装置）１２０と、複数のガラス基板Ｗを収容可能な基板カセット１３０を搬送するカセット搬送車（基板カセット搬送装置）１１５とを備えている。

そして、カセット搬送車１１５は、施設内の床面に設置されたレール１１６上を走行可能とされており、載置された基板カセット１３０をロードロック室１０１や棚１２０に搬送する。

なお、ロードロック室１０１は、基板カセット１３０を収容する内部空間と、カセット搬送車１１５が走行する領域とを区画するための壁部１１４を備えている。

そして、カセット搬送車１１５が走行する走行領域は、壁部１１４や棚１２０によって規定されており、液晶表示パネル製造設備１００は、カセット搬送車１１５の走行領域にクリーンな気体（空気）を供給するクリーンガス供給部１１７を備えている。

クリーンガス供給部１１７は、カセット搬送車１１５が走行する走行領域内の気体（空気）を吸い込み、異物を除去可能なフィルタを含み、カセット搬送車１１５の走行領域内の空気を浄化し、浄化された空気を吐出する。

このクリーンガス供給部１１７は、たとえば、設備の天井等に設けられており、カセット搬送車１１５の上方からクリーンな気体（空気）を供給している。これにより、カセット搬送車１１５が走行する領域内のクリーン度が保たれる。

ロードロック室１０１の壁部１１４には、基板カセット１３０を搬入出可能な搬入出口（連通口）１５１が形成されている。

そして、ロードロック室１０１は、壁部１１４内に収容された複数のカセット載置台１１０と、ロボットアーム１１１と、基板バッファ１１２と、ロボットアーム１１３と、クリーンガス供給部１５５とを備えている。

カセット載置台１１０には、カセット搬送車１１５によって搬送された基板カセット１３０が載置され、ロボットアーム１１１は、カセット載置台１１０上に載置された基板カセット１３０内からガラス基板Ｗを抜き取ったり、基板カセット１３０内にガラス基板Ｗを挿入したりする。

ロボットアーム１１１によって抜き出されたガラス基板Ｗは、基板バッファ１１２に搭載され、ロボットアーム１１３は、基板バッファ１１２に搭載されたガラス基板Ｗを処理室１０２に移送する。そして、処理室１０２は、搬入されたガラス基板Ｗに所定の処理を施す。

ロードロック室１０１内に設けられた複数のクリーンガス供給部１５５は、ロードロック室１０１内にクリーンな空気を供給すると共に、フィルタ等を備えており、このクリーンガス供給部１５５によって、ロードロック室１０１内のクリーン度の確保が図られている。

なお、クリーンガス供給部１５５がクリーンな空気をロードロック室１０１内に常時供給することで、搬入出口１５１からカセット搬送車１１５の走行領域に向けてクリーン度の高い気体（空気）が吹き出ており、搬入出口１５１から異物がロードロック室１０１内に入り込むことが抑制されている。

そして、棚１２０は、レール１１６に沿って延びる載置板１２７と、間隔を隔てて載置板１２７に設けられた複数の仕切部１２４とを備え、仕切部１２４間には、基板カセット１３０を収容可能な載置部１２５が規定されている。

仕切部１２４は、レール１１６に沿って間隔を隔てて形成されており、棚１２０には、基板カセット１３０が走行する走行領域に向けて開口する搬入出口（連通口）１２９が形成されている。

そして、カセット搬送車１１５は、上記の所定の載置部１２５に基板カセット１３０を搬送し、載置する。

図２は、基板カセット１３０の斜視図であり、基板カセット１３０は、図２に示すように、略直方体とされた中空の筐体１３１と、筐体１３１の内側面に設けられた複数の支持板１３２とを備えている。筐体１３１は、一対のカセット壁部１３５およびカセット壁部１３６と、天板部１３８と、底板部１３９とを備えており、内部に複数のガラス基板Ｗを収容可能な収容空間が規定されている。

支持板１３２は、カセット壁部１３６およびカセット壁部１３５の内側面に設けられており、高さ方向に間隔を隔てて設けられている。そして、支持板１３２は、ガラス基板Ｗの側辺部を支持可能となっている。

なお、図２に示す例においては、ガラス基板Ｗは１枚のみ収容されているが、通常、複数枚のガラス基板Ｗが収容されている。

そして、筐体１３１は、筒状に形成されており、上記のカセット壁部１３５およびカセット壁部１３６の配列方向と異なる方向に配列する壁部には、基板搬入出口１３３および基板搬入出口１３４が形成されている。

このため、たとえば、フォーク等を用いることで、基板カセット１３０内に収容されたガラス基板Ｗを基板搬入出口１３３，１３４を通して搬出したり、基板搬入出口１３３，１３４を通して、ガラス基板Ｗを基板カセット１３０内に収容することができる。なお、本実施の形態においては、支持板１３２を用いて、ガラス基板Ｗを支持する例について説明するが、基板カセット１３０としては、このようなタイプのものに限定されず、各種の基板カセットを採用することができる。たとえば、ガラス基板Ｗをワイヤで支持するワイヤカセットであってもよい。なお、ワイヤカセットとした場合においては、底板部１３９には、ガラス基板Ｗを搬出するためのローラを挿入可能な開口部が形成されている。

図３は、カセット搬送車１１５の斜視図であり、図４は、カセット搬送車１１５上に基板カセット１３０を搭載したときの斜視図である。この図３に示すように、カセット搬送車１１５は、レール１１６上を走行する車輪１４３と、上面に基板カセット１３０が載置される車両本体（載置台）１４０と、車両本体１４０の上面上に間隔をあけて設けられた防塵壁部１４１，１４２と、車両本体１４０の上面上に設けられた複数のローラ１４５とを備えている。

そして、基板カセット１３０は、車両本体１４０上の載置領域Ｒに搭載される。ここで、防塵壁部１４１，１４２は、車両本体１４０の上面のうち、載置領域Ｒに対して隣り合う部分に形成されている。

図４に示すように、載置領域Ｒ上に基板カセット１３０が搭載されると、基板カセット１３０の基板搬入出口１３３は、防塵壁部１４１によって覆われ、基板搬入出口１３４は、防塵壁部１４２によって覆われる。

これにより、基板搬入出口１３３，１３４から基板カセット１３０内にパーティクル等の異物が入り込むことを抑制することができ、カセット搬送車１１５が基板カセット１３０を搬送する過程において、基板カセット１３０内に収容されたガラス基板Ｗに異物が付着することを抑制することができる。

ここで、図４に示すように、基板カセット１３０は、基板搬入出口１３３および基板搬入出口１３４がカセット搬送車１１５の搬送方向Ｐに配列するように載置領域Ｒ上に搭載される。

そして、防塵壁部１４１および防塵壁部１４２は、カセット搬送車１１５の搬送方向Ｐに間隔をあけて配置されており、カセット搬送車１１５の搬送方向Ｐ前方側には、防塵壁部１４１または防塵壁部１４２のいずれか一方が位置する。

このため、カセット搬送車１１５が走行することで、施設の床面に堆積したパーティクルがカセット搬送車１１５の搬送方向Ｐ前方側で巻き上げられたとしても、防塵壁部１４１，１４２によって、パーティクルが基板カセット１３０に達することを抑制することができる。

防塵壁部１４１の側辺部と防塵壁部１４２の側辺部との間は、互いに搬送方向Ｐに離間しており、防塵壁部１４１の側辺部と、防塵壁部１４２の側辺部とによって、基板カセット１３０を移送する搬入出部１４７，１４８が規定されている。そして、搬入出部１４７，１４８を通して、基板カセット１３０をカセット搬送車１１５から積み込んだり、カセット搬送車１１５から降ろしたりすることができる。

これにより、たとえば、カセット載置台１１０等をレール１１６に沿って配置させることで、容易に基板カセット１３０の移送を行うことができる。

ローラ１４５は、防塵壁部１４１，１４２の配列方向に長尺に形成されており、防塵壁部１４１，１４２の配列方向に延びる中心軸線を中心として回転可能に設けられている。このローラ１４５は、車両本体１４０の幅方向に複数設けられている。

ローラ１４５が回転することで、載置領域Ｒ上に搭載された基板カセット１３０を車両本体１４０から降ろしたり、または、基板カセット１３０を車両本体１４０上に載せたりすることができる。そして、たとえば、ロードロック室１０１内に配置されたカセット載置台１１０の上面にも同様のローラ１４９が設けられており、カセット搬送車１１５から載置される基板カセット１３０を引き込んだり、カセット載置台１１０上の基板カセット１３０をカセット搬送車１１５に移送したりすることができる。なお、本実施の形態においては、基板カセット１３０の移送手段として、ローラを用いた例を示したが、ローラに限られず、多種多様の移送手段を採用することができる。

防塵壁部１４１および防塵壁部１４２は上記のように間隔を隔てて設けられており、載置領域Ｒの上方に位置する領域は、外方に開放されている。このように、上方を開放することで、たとえば、カセット搬送車１１５上に載置された基板カセット１３０を上方から把持することができる。

図５は、カセット搬送車１１５に搭載された基板カセット１３０をカセット載置台１１０に搭載するときの様子を示す平面図である。なお、この図５から図９において、ロードロック室１０１の壁部を断面視している。

カセット搬送車１１５上に搭載された基板カセット１３０をカセット載置台１１０上に移送する際、カセット搬送車１１５は、搬入出口１５１に対して横付けされる。

この際、防塵壁部１４１，１４２は、壁部１１４に近接しており、防塵壁部１４１，１４２と壁部１１４との間の隙間から、防塵壁部１４１，１４２と基板カセット１３０との間を通り、基板カセット１３０内に異物が入り込むことが抑制されている。

さらに、搬入出口１５１の前方側に基板カセット１３０が配置されると、基板カセット１３０のカセット壁部１３６によって搬入出口１５１が略閉塞され、ロードロック室１０１内に異物が入り込むことが抑制される。

また、基板カセット１３０が搬入出口１５１を通過している際には、搬入出口１５１は、筐体１３１によって略閉塞される。そして、カセット載置台１１０は、搬入出口１５１の近傍に位置しており、カセット載置台１１０上に基板カセット１３０が載置されたときにおいても、搬入出口１５１は、基板カセット１３０のカセット壁部１３５によって閉塞される。

このように、基板カセット１３０をロードロック室１０１内に搬入する際に、異物がロードロック室１０１および基板カセット１３０内に入り込むことが抑制されており、同様に、ロードロック室１０１からカセット搬送車１１５上に基板カセット１３０を移送する際においても、ロードロック室１０１および基板カセット１３０内に異物が入り込むことが抑制される。

ここで、図１において、カセット搬送車１１５が基板カセット１３０を棚１２０の載置部１２５に載置する場合においても、図３に示す防塵壁部１４１，１４２と、仕切部１２４とが互いに近接する。このため、カセット搬送車１１５から棚１２０に基板カセット１３０を移送する際に、基板カセット１３０内に異物が入り込むことが抑制される。

そして、棚１２０の載置部１２５に基板カセット１３０が載置されると、図２に示す
基板カセット１３０の基板搬入出口１３３，１３４は、仕切部１２４によって閉塞される。さらに、棚１２０の搬入出口１２９は、基板カセット１３０のカセット壁部１３５，１３６によって略閉塞され、載置部１２５内に異物が入り込むことが抑制されている。

このため、棚１２０の載置部１２５に基板カセット１３０を載置した状態においても、基板カセット１３０内に異物が入り込むことを抑制することができる。

このため、本実施の形態１に係る液晶表示パネル製造設備１００においては、基板カセット１３０の搬入出時および基板カセット１３０の搬送時において、ロードロック室１０１および基板カセット１３０内に異物が侵入することを抑制することができる。

このため、カセット搬送車１１５の走行領域内に要求されるクリーン度を低く抑えることができ、設備全体のシステム管理および製造コストの低廉化を図ることができる。

また、上述のように基板カセット１３０、ロードロック室１０１の搬入出口１５１および棚１２０の搬入出口１２９には、蓋部材等の可動部が設けられておらず、パーティクルの発生の抑制および製造コストの低廉化を図ることができる。

この図５に示す例においては、搬入出口１５１の開口縁部の一方の側辺部には、反り部１５０ａが形成されており、他方の側辺部には、反り部１５０ｂが形成されている。

反り部１５０ａ，１５０ｂは、いずれも、搬入出口１５１の開口縁部からロードロック室１０１の収容空間と反対側に向けて張り出している。このため、たとえば、壁部１１４の外表面を伝って、パーティクルが風に乗って移動してきたとしても、この反り部１５０ａ，１５０ｂによって、搬入出口１５１内に入り込むことが抑制されている。

さらに、このような反り部１５０ａ，１５０ｂは、搬入出口１５１の側辺部に限られず、搬入出口１５１の開口縁部の全周に亘って形成してもよい。また、図５の破線に示すように、反り部１５０ａ，１５０ｂは、搬入出口１５１の開口縁部に限られず、壁部１１４の外表面のうち、搬入出口１５１の開口縁部の近傍に形成してもよい。

ここで、図５においては、反り部を壁部１１４に形成した例について説明したが、これに限られない。なお、図６に示すように、防塵壁部１４１，１４２の各側辺部に、スライド部１５２を設けてもよい。

防塵壁部１４１に設けられたスライド部１５２は、防塵壁部１４１の端部から防塵壁部１４２に向けて、車両本体１４０上をスライド移動可能に設けられており、防塵壁部１４２に設けられたスライド部１５２は、防塵壁部１４２の側辺部から防塵壁部１４１に向けて、車両本体１４０上をスライド移動可能に設けられている。

そして、基板カセット１３０が載置されていない状態においては、防塵壁部１４１に設けられたスライド部１５２は、防塵壁部１４１の側辺部に位置し、防塵壁部１４２に設けられたスライド部１５２は、防塵壁部１４２の側辺部に位置する。

基板カセット１３０が車両本体１４０上に載置されると、防塵壁部１４１に設けられたスライド部１５２は、防塵壁部１４２に向けて変位し、防塵壁部１４２に設けられたスライド部１５２は、防塵壁部１４１に向けて変位する。これにより、基板カセット１３０のカセット壁部１３５，１３６と、防塵壁部１４１，１４２との間がスライド部１５２によって略閉鎖され、基板カセット１３０の搬送中に、基板カセット１３０と、防塵壁部１４１，１４２との間に入り込むことを抑制することができる。

なお、上記図５および図６においては、反り部１５０ｂが搬入出口１５１の開口縁部に形成された例を示したが、反り部の位置としては、この位置に限られない。たとえば、図７に示すように、カセット搬送車１１５の防塵壁部１４１，１４２に形成してもよい。

具体的には、この図７に示すように、防塵壁部１４１のうち、搬入出部１４７，１４８を規定する両側辺部に、反り部１５３が形成され、防塵壁部１４２のうち、搬入出部１４７，１４８を規定する両側辺部に反り部１５４が形成されている。

そして、反り部１５３は、防塵壁部１４２から離れるように外方に向けて張り出しており、反り部１５４は、防塵壁部１４１から離れるように外方に張り出している。これにより、たとえば、パーティクルが風に乗って、搬入出口１５１に向けて、防塵壁部１４１，１４２の外表面に沿って移動してきたとしても、反り部１５３，１５４によって、搬入出口１５１に達することが抑制される。

さらに、パーティクルは、反り部１５３，１５４によって、防塵壁部１４１，１４２間に規定された搬入出部１４７，１４８から離れるように軌道が変えられるため、当該パーティクルが基板カセット１３０に達することが抑制されている。

なお、反り部１５３，１５４を防塵壁部１４１，１４２の外周縁部に沿って環状に形成してもよい。

図８は、反り部を設ける位置についての他の変形例を示す平面図である。この図８に示すように、基板カセット１３０の筐体１３１に形成してもよい。

この図８に示す例においては、カセット壁部１３５のうち、基板搬入出口１３３，１３４を規定する両側辺部に、反り部１５８が形成されている。また、カセット壁部１３５のうち、基板搬入出口１３３，１３４を規定する両側辺部には、反り部１５７が形成されている。

そして、反り部１５８は、カセット壁部１３５に対して離れるように、筐体１３１の外表面から張り出すように形成されており、反り部１５７は、カセット壁部１３６に対して離れるように、カセット壁部１３５の外表面から張り出すように形成されている。

これにより、たとえば図８に示す状態において、搬入出口１５１に対して反対側に位置するカセット壁部１３５の外表面に沿って、パーティクルが風に乗って移動してきたとしても、反り部１５７によって、パーティクルは、基板搬入出口１３３，１３４から離れる方向に軌道が変更される。これにより、パーティクルなどの異物が、基板搬入出口１３３，１３４から基板カセット１３０内に入り込むことを抑制することができる。なお、上記のような反り部を基板搬入出口１３３，１３４の開口縁部に沿って、環状に形成してもよい。

上記図５から図８に示す例においては、カセット載置台１１０とカセット搬送車１１５との間で基板カセット１３０を移送する際に、ロードロック室１０１および基板カセット１３０内に異物が侵入することを抑制するための手段として、反り部を採用した例について説明したが、異物の侵入抑制手段としては、反り部に限られない。

図９は、異物侵入防止手段としての他の例を示す平面図である。この図９に示すように、クリーンガス供給部１５５からロードロック室１０１内に供給されるクリーンガス（クリーンな空気）が、積極的に搬入出口１５１からカセット搬送車１１５の走行領域に向けて流れるように、搬入出口１５１の近傍にクリーンガス供給部１５５を配置する。

これにより、ロードロック室１０１内にパーティクル等の異物が入り込むことを効果的に抑制することができる。

また、この図９に示すように、カセット搬送車１１５には、搬入出部１４７，１４８からカセット搬送車１１５の走行領域にクリーンなガス（気体）が流れるように、ガス（空気）を吐出するクリーンガス供給部１５６が設けられている。なお、このクリーンガス供給部１５６は、車両本体１４０の上面のうち、載置領域Ｒに対して隣り合う部分に設けられている。

これにより、車両本体１４０の載置領域Ｒに基板カセット１３０が搭載された状態において、防塵壁部１４１，１４２と基板カセット１３０との間の隙間からクリーンなガス（気体）がカセット搬送車１１５の走行領域に向けて流れるようになる。

このため、カセット搬送車１１５の走行領域内のパーティクル等の異物が、基板カセット１３０と防塵壁部１４１，１４２との間の隙間から、基板カセット１３０内に入り込むことを抑制することができる。

図１０は、カセット搬送車１１５の変形例を示すカセット搬送車１１５の斜視図である。この図１０に示すカセット搬送車１１５は、車両本体１４０上に搭載された基板カセット１３０を上方から覆うように設けられた天板部１４４を備えている。

この天板部１４４の一方の側辺部は、防塵壁部１４２に接続されており、他方の側辺部は、防塵壁部１４１に接続されている。

このため、たとえば、カセット搬送車１１５が搬送方向Ｐに走行したときに、防塵壁部１４１より前方側でパーティクルが巻き上がったとしても、基板カセット１３０と防塵壁部１４１，１４２との間にパーティクルが入り込むことを抑制することができる。

図１１は、カセット搬送車１１５の更に他の変形例を示すカセット搬送車１１５の斜視図であり、図１２は、上記図１１に示されたカセット搬送車１１５の平面図である。

この図１１および図１２に示す例においては、カセット搬送車１１５に設けられた防塵壁部１４１および防塵壁部１４２は、円弧状に湾曲している。車両本体１４０の上面上には、円環状の環状溝１４６が形成されており、防塵壁部１４１および防塵壁部１４２は、いずれも、環状溝１４６に嵌り、環状溝１４６に沿って案内可能とされている。

防塵壁部１４１と防塵壁部１４２とは、環状溝１４６内にはまり込み、図示されない接続部によって接続されており、防塵壁部１４１と防塵壁部１４２とによって規定される搬入出部１４７，１４８の幅は一定に保持されている。

さらに、このカセット搬送車１１５には、防塵壁部１４１および防塵壁部１４２を環状溝１４６に沿って移動させる図示されない駆動部が設けられている。このため、当該駆動部を駆動させることで、搬入出部１４７，１４８の位置を適宜変更させることができ、基板カセット１３０の移送方向を適宜変更することができる。

また、防塵壁部１４１と防塵壁部１４２を連設させて、搬入出部１４７および搬入出部１４８の一方のみをとしてもよい。このように、搬入出部を１つとすることで、防塵壁部１４２，１４１と基板カセット１３０との間にパーティクルが入り込むことを抑制することができる。

（実施の形態２）
図１３および図１４を用いて、本発明の実施の形態２に係る基板カセット搬送装置について説明する。なお、図１３および図１４に示す構成のうち、上記図１から図１２に示す構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。

図１３は、基板カセットを搬送する懸垂搬送装置１６０の斜視図であり、図１４は、図１３に示す懸垂搬送装置１６０によって搬送される基板カセット１３０の斜視図である。

図１４に示すように、基板カセット１３０の天板部１３８には、正面視した際にＴ字形状とされた把持部１３７が形成されており、図１３に示す懸垂搬送装置１６０は、図１３に示す基板カセット１３０の把持部１３７を上方から把持して、懸垂した状態で、基板カセット１３０を搬送する。

この懸垂搬送装置１６０は、天板部１６２と、この天板部１６２の下面に設けられた一対の係合部１６３と、天板部１６２の一方の側辺部から下方に向けて垂下する防塵壁部１６７と、他方の側辺部から下方に垂下する防塵壁部１６６と、天板部１６２上に設けられ、天板部１６２を上下方向に移動させる昇降機構１６１と、昇降機構１６１上に設けられた車輪１６４とを備えている。

この懸垂搬送装置１６０は、車輪１６４が回転し、設備の天井に配置されたレール１６５上を走行することで、移動可能とされている。

そして、懸垂搬送装置１６０は、所定の基板カセット１３０の上方に位置すると、昇降機構１６１を駆動させて、天板部１６２、防塵壁部１６６，１６７および係合部１６３を下方に変位させる。

そして、一対の係合部１６３が把持部１３７を把持する。その後、昇降機構１６１が上昇し、基板カセット１３０を上方に引き上げ、所定の位置にまで搬送する。

この際、防塵壁部１６６は、基板カセット１３０の基板搬入出口１３３を覆うように位置し、防塵壁部１６７は、基板カセット１３０の基板搬入出口１３４を覆うように位置する。このため、本実施の形態２に係る係る懸垂搬送装置１６０においても、基板カセット１３０の搬送中に異物が侵入することを抑制することができる。

さらに、この懸垂搬送装置１６０を液晶表示パネル製造設備１００に適用することで、ロードロック室１０１および棚１２０への搬送時においても、基板カセット１３０、ロードロック室１０１内にパーティクルの侵入を抑制することができる。

以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。さらに、上記数値などは、例示であり、上記数値および範囲にかぎられない。

本発明は、基板カセット搬送装置および基板カセット搬入出装置に適用することができ、特に、複数の基板を収容する基板カセットを搬送する基板カセット搬送装置および基板カセットが搬入出される基板カセット搬入出装置に好適である。

液晶表示パネル製造設備を模式的に示した模式図である。 基板カセットの斜視図である。 カセット搬送車の斜視図である。 カセット搬送車上に基板カセットを搭載したときの斜視図である。 カセット搬送車に搭載された基板カセットをカセット載置台に搭載するときの様子を示す平面図である。 カセット搬送車の変形例を示す平面図である。 反り部を設ける位置についての変形例を示す平面図である。 反り部を設ける位置についての他の変形例を示す平面図である。 異物侵入防止手段としての他の例を示す平面図である。 カセット搬送車の変形例を示すカセット搬送車の斜視図である。 カセット搬送車の更に他の変形例を示すカセット搬送車の斜視図である。 図１１に示されたカセット搬送車の平面図である。 基板カセットを搬送する懸垂搬送装置の斜視図である。 図１３に示す懸垂搬送装置よって搬送される基板カセットの斜視図である。

符号の説明

１００ 液晶表示パネル製造設備、１０１ ロードロック室、１０２ 処理室、１１０，１２１ カセット載置台、１１１，１１３ ロボットアーム、１１２ 基板バッファ、１１４，１２６ 壁部、１１５ カセット搬送車、１１６ レール、１１７ クリーンガス供給部、１１８ 入出庫口、１１９ クリーンエア供給部、１２０ 棚、１２３ スタッカクレーン、１２５ 載置部、１３０ 基板カセット、１３１ 筐体、１３２ 支持板、１３３，１３４ 基板搬入出口、１３５，１３６ カセット壁部、１３７ 把持部、１３８ 天板部、１３９ 底板部、１４０ 車両本体、１４１，１４２，１６６，１６７ 防塵壁部、１４３ 車輪、１４４ 天板部、１４５，１４９ ローラ、１４６ 環状溝、１４７，１４８ 搬入出部、Ｐ 搬送方向、Ｒ 載置領域、Ｗ ガラス基板。

Claims (10)

1. 基板を収容すると共に、前記基板を搬入出する搬入出口が外方に開放された基板カセットを搬送可能な基板カセット搬送装置であって、
   前記基板カセットが載置される載置台と、
   前記載置台のうち、前記基板カセットが載置される載置領域に対して隣り合う部分に位置すると共に、前記載置領域に載置された前記基板カセットの前記搬入出口を覆うように設けられた防塵壁部と、
   を備えた、基板カセット搬送装置。
2. 前記基板カセットを移送するカセット移送装置をさらに備え、
   前記防塵壁部は、前記載置台のうち、前記載置領域に対して、前記カセット移送装置が移送する方向と直交する方向に位置する、請求項１に記載の基板カセット搬送装置。
3. 前記防塵壁は、前記基板カセット搬送装置の移動方向に配列するように設けられた、請求項１または請求項２に記載の基板カセット搬送装置。
4. 前記防塵壁部は、前記基板カセットを上方から覆う天板部を含む、請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板カセット搬送装置。
5. 前記載置領域に対して上方に位置する領域は、外方に開放された、請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板カセット搬送装置。
6. 前記搬入出口は、前記基板カセットの対向する一対の側面のうち、一方の側面に形成された第１搬入出口と、他方の側面に形成された第２搬入出口とを含み、
   前記基板カセットは、前記第１および第２搬入出口が前記基板カセット搬送装置の移動方向に配列するように、前記載置台に搭載され、
   前記防塵壁部は、前記第１搬入出口を覆うように形成された第１防塵壁部と、前記第２搬入出口を覆うように形成された第２防塵壁部とを含み、
   前記第１防塵壁部と前記第２防塵壁部との間には、前記基板カセットを搬入出可能なカセット搬入出部が規定され、
   前記第１防塵壁部のうち、前記カセット搬入出部を規定する辺部またはその近傍には、前記第２防塵壁部から離れるように張り出す第１張出部が形成され、
   前記第２防塵壁部のうち、前記カセット搬入出部を規定する辺部またはその近傍には、前記第１防塵壁部から離れるように張り出す第２張出部が形成された、請求項１から請求項５のいずれかに記載の基板カセット搬送装置。
7. 前記カセット搬入出部から外方にガスが流れるようにガスを吐出するガス吐出装置をさらに備えた、請求項６に記載の基板カセット搬送装置。
8. 基板を収容すると共に前記基板を搬入出する搬入出口が形成された基板カセットを、受け入れ可能な収容室を規定する壁部を備えた基板カセット搬入出装置であって、
   前記壁部には、前記収容室内に前記基板カセットを搬入および前記収容室内の前記基板カセットを搬出可能な連通口が形成され、
   前記連通口は、該連通口から搬入または搬出される前記基板カセットによって閉塞可能とされた、基板カセット搬入出装置。
9. 前記壁部のうち、前記連通口の開口縁部またはその近傍には、前記収容室と反対側に向けて張り出す張出部が形成された、請求項８に記載の基板カセット搬入出装置。
10. 前記連通口から外部に吐出されるようにガスを吐出するガス吐出装置をさらに備えた、請求項８または請求項９に記載の基板カセット搬入出装置。

Images