KR20130110056A - 물품 보관 설비 및 물품 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

물품 보관 설비는, 반도체 웨이퍼 및 레티클(reticle)을 보관하는 보관 선반과, 입출고용(入出庫用) 반송(搬送) 장치를 구비한다. 보관 선반은, 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 수납 용기를 수납하는 제1 수납부, 및 레티클을 수납하는 레티클 수납 용기를 수납하는 제2 수납부를 구비한다. 입출고용 반송 장치가, 웨이퍼 수납 용기의 상부에 형성된 탑 플랜지를 파지(把持)하여 웨이퍼 수납 용기를 현수(懸垂) 상태로 지지하는 파지부를 구비하고, 레티클 수납 용기의 상부에, 용기 반송 장치가 파지부에 의해 파지되어 레티클 수납 용기를 현수 상태로 지지하기 위한 플랜지부가 형성되어 있다.

Description

물품 보관 설비 및 물품 반송 설비{ARTICLE STORAGE FACILITY AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 및 레티클(reticle)을 보관하는 보관 선반과, 입출고(入出庫)용 반송(搬送) 장치가 설치된 물품 보관 설비, 및 그 물품 보관 설비를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 보관 설비는, 반도체 웨이퍼, 및 반도체 웨이퍼를 노광 처리하기 위해 사용하는 레티클을 보관하기 위해 사용된다. 즉, 보관되어 있는 반도체 웨이퍼 및 레티클은, 보관 선반으로부터 출고된 후, 노광 처리 장치로 반송된다.
또한, 노광 처리된 반도체 웨이퍼는, 다음의 처리를 행하는 처리 장치로 반송되지만, 일시 보관을 위해, 다시, 보관 선반에 입고(入庫)되어 보관되는 경우나, 다른 보관 선반에 보관되는 경우도 있다.
또한, 사용이 끝난 레티클은, 일반적으로, 다시, 보관 선반에 입고되어 보관된다.
일본국 공개특허 2000-91401호 공보(특허 문헌 1)에는, 이와 같은 물품 보관 설비의 일례가 개시되어 있다.
특허 문헌 1의 구성에서는, 반도체 웨이퍼가, 웨이퍼 수납 용기에 수납된 상태로 보관 선반의 카세트 선반에 보관되고, 레티클이, 그대로의 상태로, 또는 레티클 적재 지그(jig)에 탑재된 상태로 보관 선반의 레티클 선반에 보관된다. 또한, 보관 선반에는, 웨이퍼 수납 용기와 같은 형식의 빈 수납 용기가 보관되어 있다.
입출고용 반송 장치가, 웨이퍼 수납 용기를 유지하는 카세트용 핸드와, 레티클 적재 지그를 유지하는 레티클용 핸드와, 웨이퍼 수납 용기와 같은 형식의 빈 수납 용기의 커버를 개폐하는 개폐 기구를 구비하고 있다.
그리고, 웨이퍼 수납 용기를 출고할 때는, 입출고용 반송 장치가, 카세트 선반으로부터 입출고구로 웨이퍼 수납 용기를 반송하도록 구성되어 있다.
또한, 레티클을 출고할 때는, 입출고용 반송 장치가, 웨이퍼 수납 용기와 같은 형식의 빈 수납 용기를 미리 보관 선반으로부터 인출하여 커버를 연다. 다음에, 입출고용 반송 장치가, 레티클 선반으로부터 인출한 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를, 커버를 연 빈 수납 용기에 수납하고, 그 후, 그 수납 용기를, 커버를 닫고, 입출고구로 반송하도록 구성되어 있다.
특허 문헌 1에는, 입고 작업에 대해서는 상세한 설명은 없지만, 웨이퍼 수납 용기를 입고할 때는, 입출고용 반송 장치가 입출고구로부터 카세트 선반으로 수납 용기를 반송하는 구성인 것으로 생각된다.
또한, 레티클을 입고할 때는, 입출고용 반송 장치가, 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를 수납한 수납 용기를 입출고구로부터 인출하여, 그 인출한 수납 용기의 커버를 벗기고, 그 커버를 벗긴 용기로부터, 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를 인출하여 레티클 선반으로 반송한다. 그리고, 입출고용 반송 장치가, 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를 인출한 빈 수납 용기에 커버를 덮어, 그 빈 수납 용기를 보관 선반에 수납하는 구성인 것으로 생각된다.
또한, 특허 문헌 1에는, 카세트용 핸드가 웨이퍼 수납 용기를 지지하는 구성이나, 레티클용 핸드가 레티클 또는 레티클 적재 지그를 지지하는 구성에 대한 구체적인 설명은 없지만, 도면의 기재를 참조하면, 카세트용 핸드가 웨이퍼 수납 용기를 탑재 지지하는 구성이며, 레티클용 핸드가 레티클 또한 레티클 적재 지그를 탑재 지지하는 구성인 것으로 생각할 수 있다.
또한, 특허 문헌 1에 있어서는, 웨이퍼 수납 용기의 상부에 탑 플랜지가 장비되는 것이 예시되어 있다.
그리고, 상세한 설명은 없지만, 웨이퍼 수납 용기나, 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를 수납한 수납 용기를, 천정 주행식 무인 반송차(搬送車)에 의해, 노광 처리 장치로서의 반도체 노광 장치에 반송하는 물품 반송 설비가 기재되어 있다.
특허 문헌 1의 물품 보관 설비에 있어서는, 레티클의 출고 작업이나 입고 작업을 신속히 행하기 어렵고, 또한 입출고용 반송 장치가 복잡한 구성으로 되어, 개선이 요구되는 것이었다.
즉, 레티클을 출고할 때는, 빈 수납 용기를 보관 선반으로부터 인출하여 커버를 여는 공정, 레티클 선반으로부터 인출한 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를, 커버를 연 빈 수납 용기에 수납하는 공정, 그 수납 용기의 커버를 닫는 공정, 및 커버가 폐쇄된 수납 용기를 입출고구에 반송하는 공정을 요하는 것이므로, 레티클의 출고 작업을 신속히 행할 수 없다.
또한, 레티클을 입고할 때는, 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를 수납한 수납 용기를 입출고구로부터 인출하여, 그 수납 용기의 커버를 여는 공정, 커버가 열린 수납 용기로부터 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그를 인출하여, 레티클 선반에 수납하는 공정, 레티클 또는 레티클을 탑재한 레티클 적재 지그가 인출된 수납 용기의 커버를 닫는 공정, 및 커버가 닫혀진 수납 용기를 보관 선반에 수납하는 공정을 요하는 것이므로, 레티클의 입고 작업을 신속히 행할 수 없다.
또한, 입출고용 반송 장치에는, 웨이퍼 수납 용기를 유지하는 카세트용 핸드와, 레티클 적재 지그를 유지하는 레티클용 핸드와, 웨이퍼 수납 용기와 같은 형식의 빈 수납 용기의 커버를 개폐하는 개폐 기구를 구비하게 할 필요가 있으므로, 입출고용 반송 장치의 구성이 복잡하게 된다.
일본국 공개특허 2000-91401호 공보
상기 문제점을 해결하기 위해, 반도체 웨이퍼 및 레티클의 입출고 작업을 신속히 행할 수 있고, 또한 입출고용 반송 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있는 물품 보관 설비의 실현이 요구된다.
또한, 설비 전체의 간소화를 도모할 수 있는 물품 반송 설비의 실현도 요구된다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비는,
반도체 웨이퍼 및 레티클을 보관하는 보관 선반;
입출고용 반송 장치;
상기 보관 선반에 구비되고, 상기 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 수납 용기를 보관하는 제1 수납부; 및
상기 보관 선반에 구비되고, 상기 레티클을 수납하는 레티클 수납 용기를 보관하는 제2 수납부;
를 포함하고,
여기서, 상기 입출고용 반송 장치가, 상기 웨이퍼 수납 용기의 상부에 형성된 탑 플랜지를 파지(把持)하여 상기 웨이퍼 수납 용기를 현수(懸垂) 상태로 지지하는 파지부를 구비하고,
상기 레티클 수납 용기의 상부에, 상기 입출고용 반송 장치가 상기 파지부에 의해 파지되어 상기 레티클 수납 용기를 현수 상태로 지지하기 위한 플랜지부가 형성되어 있다.
즉, 반도체 웨이퍼가, 웨이퍼 수납 용기에 수납된 상태로, 보관 선반의 제1 수납부에 보관되고, 레티클이, 레티클 수납 용기에 수납된 상태로, 보관 선반의 제2 수납부에 보관된다.
또한, 일반적으로, 웨이퍼 수납 용기에는, 복수 개의 반도체 웨이퍼가 상하 방향으로 배열된 상태로 수납되고, 레티클 수납 용기에는, 1개의 레티클이 수납된다.
그리고, 입출고용 반송 장치가, 웨이퍼 수납 용기의 상부에 형성된 탑 플랜지를 파지부에 의해 파지하여 웨이퍼 수납 용기를 현수 상태로 지지하면서, 웨이퍼 수납 용기의 입출고 작업을 행한다. 또한, 입출고용 반송 장치가, 레티클 수납 용기의 상부에 형성된 플랜지부를 파지부에 의해 파지하여 레티클 수납 용기를 현수 상태로 지지하면서, 레티클 수납 용기의 입출고 작업을 행한다.
즉, 입출고용 반송 장치는, 웨이퍼 수납 용기의 탑 플랜지를 파지하는 파지부를, 레티클 수납 용기의 플랜지부를 파지하는 파지부로서도 이용하면서, 웨이퍼 수납 용기나 레티클 수납 용기의 반송을 행한다.
따라서, 반도체 웨이퍼의 입고나 출고를 행할 때는, 입출고용 반송 장치에 의해 웨이퍼 수납 용기를 현수 상태로 지지하면서 웨이퍼 수납 용기를 반송하면 되고, 마찬가지로, 레티클의 입고나 출고를 행할 때는, 입출고용 반송 장치에 의해 레티클 수납 용기를 현수 상태로 지지하면서 레티클 수납 용기를 반송하면 된다. 이 결과, 반도체 웨이퍼의 입출고 작업이나 레티클의 입출고 작업을 신속히 행할 수 있다.
그리고, 입출고용 반송 장치에는, 웨이퍼 수납 용기 및 레티클 수납 용기의 반송을 위해, 웨이퍼 수납 용기의 탑 플랜지 및 레티클 수납 용기의 플랜지부의 파지에 공용하는 파지부를 구비하게 하는 것만으로 되므로, 입출고용 반송 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
설명을 추가하면, 레티클은 반도체 웨이퍼보다 소경이므로, 평면에서 볼 때, 레티클 수납 용기는 웨이퍼 수납 용기보다 소형으로 된다. 본 발명에서는, 웨이퍼 수납 용기의 탑 플랜지와 마찬가지의 형태의 플랜지부를, 레티클 수납 용기에 형성할 수 있는 점에 착안하여, 웨이퍼 수납 용기의 탑 플랜지와 마찬가지의 형태의 플랜지부를, 레티클 수납 용기에 구비하게 한다. 이로써, 입출고용 반송 장치에는, 웨이퍼 수납 용기의 탑 플랜지 및 레티클 수납 용기의 플랜지부의 파지에 공용하는 파지부를 구비하게 하는 것만으로 되므로, 입출고용 반송 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는,
상기 웨이퍼 수납 용기용의 제1 입출고부와, 상기 레티클 수납 용기용의 제2 입출고부가 별개로 설치되고,
상기 입출고용 반송 장치가, 상기 제1 입출고부와 상기 제1 수납부와의 사이에서 상기 웨이퍼 수납 용기를 반송하고, 상기 제2 입출고부와 상기 제2 수납부와의 사이에서 상기 레티클 수납 용기를 반송하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 웨이퍼 수납 용기와 레티클 수납 용기를 1개의 보관 선반에 보관하는 구성에 있어서, 웨이퍼 수납 용기와 레티클 수납 용기가, 서로 다른 입출고부와 서로 다른 수납부와의 사이에서 반송되므로, 웨이퍼 수납 용기를 레티클 수납 용기와 잘못하여 입출고 작업을 행하는 것이나, 레티클 수납 용기를 웨이퍼 수납 용기와 잘못하여 입출고 작업을 행하는 것을 회피할 수 있다. 이 결과, 웨이퍼 수납 용기 및 레티클 수납 용기를 적절히 입출고할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 보관 선반이, 건물의 복수 층에 이르는 상태로 설치되고, 상기 제1 입출고부 및 상기 제2 입출고부가, 상기 복수 층 중, 적어도 상이한 2개의 층의 각각에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 복수 층 중, 제1 입출고부 및 제2 입출고부가 설치되는 복수 층의 각각을, 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 작업 공간으로서 이용하면서, 반도체 웨이퍼에 대한 처리를 행하게 할 수 있다.
즉, 복수 층 중, 제1 입출고부 및 제2 입출고부가 설치되는 복수 층에서, 반도체 웨이퍼에 대한 처리를 행할 수 있으므로, 반도체 웨이퍼를 처리하는 설비를, 평면에서 볼 때의 스페이스를 감소시킨 형태로 설치할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는,
상기 입출고용 반송 장치가, 상기 파지부에 의해 상기 웨이퍼 수납 용기를 파지하고 있는지, 상기 파지부에 의해 상기 레티클 수납 용기를 파지하고 있는지를 판별하기 위한 용기 판별 센서를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 입출고용 반송 장치에 의해 웨이퍼 수납 용기나 레티클 수납 용기를 입고나 출고를 위해 반송하는 반송 중에 있어서, 정전 등에 의해, 입출고용 반송 장치의 작동을 관리하는 시스템이 정지하는 경우가 있어도, 그 시스템의 복구 후에 있어서는, 반송 중의 웨이퍼 수납 용기나 레티클 수납 용기를 반송해야 할 반송선(搬送先)으로 적절히 반송할 수 있다.
즉, 입출고용 반송 장치의 작동을 관리하는 시스템은, 복구 후에 있어서, 용기 판별 센서의 검출 정보에 기초하여, 반송 중의 수납 용기가 웨이퍼 수납 용기인지, 레티클 수납 용기인지를 판별하여, 반송 중의 수납 용기에 대한 적정한 반송선을 정할 수 있으므로, 반송 중의 웨이퍼 수납 용기나 레티클 수납 용기를 반송해야 할 반송선으로 적절히 반송할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비는, 상기한 각각의 구성의 물품 보관 설비를 구비한 물품 반송 설비이며,
상기 제1 입출고부와 노광 처리 장치에서의 웨이퍼용 반출입부와의 사이에서 상기 웨이퍼 수납 용기를 반송하는 제1 천정 반송차;
상기 제2 입출고부와 상기 노광 처리 장치에서의 레티클용 반출입부와의 사이에서 상기 레티클 수납 용기를 반송하는 제2 천정 반송차;
를 포함한다.
여기서, 상기 제1 천정 반송차의 주행 경로 및 상기 제2 천정 반송차의 주행 경로가, 적어도 일부를 상기 제1 천정 반송차 및 상기 제2 천정 반송차가 각각 주행하는 공용 주행 경로 부분으로 하도록 설정되고,
상기 제1 천정 반송차 및 상기 제2 천정 반송차가 각각, 상기 주행 경로를 따라 천정측에 설치된 주행 레일을 주행하도록 구성되어 있다.
즉, 웨이퍼 수납 용기가, 제1 천정 반송차에 의해, 제1 입출고부와 웨이퍼 처리 장치에서의 웨이퍼용 반출입부와의 사이에서 반송되고, 레티클 수납 용기가, 제2 천정 반송차에 의해, 제2 입출고부와 노광 처리 장치에서의 레티클용 반출입부와의 사이에서 반송된다.
또한, 제1 천정 반송차는, 예를 들면, 웨이퍼 수납 용기의 탑 플랜지를 파지하여, 웨이퍼 수납 용기를 현수 상태로 지지하여 반송하는 호이스트식(hoist type)의 천정 반송차이며, 제2 천정 반송차는, 예를 들면, 레티클 수납 용기의 플랜지부를 파지하여, 레티클 수납 용기를 현수 상태로 지지하여 반송하는 호이스트식의 천정 반송차이다.
그리고, 제1 천정 반송차 및 제2 천정 반송차의 각각을 주행시키기 위한 주행 경로가, 적어도 일부를 제1 천정 반송차 및 제2 천정 반송차가 각각 주행하는 공용 주행 경로 부분으로 하도록 설정되어, 제1 천정 반송차 및 제2 천정 반송차가 각각, 주행 경로를 따라 천정측에 설치된 주행 레일을 주행한다.
따라서, 제1 천정 반송차 및 제2 천정 반송차의 주행 경로를 따라 천정측에 설치하는 주행 레일을, 제1 천정 반송차뿐만아니라, 제2 천정 반송차의 주행 레일로서도 이용할 수 있고, 이 결과, 제1 천정 반송차 및 제2 천정 반송차를 주행시키기 위해 설치하는 주행 레일의 전체 설치 길이의 감소화를 도모하여 설비 전체의 간소화를 도모할 수 있다.
즉, 제1 천정 반송차에 대한 전용의 주행 경로와, 제2 천정 반송차에 대한 전용의 주행 경로를, 서로 분리한 상태로 별개로 설정하고, 이들 주행 경로의 각각에 대하여, 제1 천정 반송차가 주행하는 주행 레일이나, 제2 천정 반송차가 주행하는 주행 레일을 설치하는 것도 생각할 수 있지만, 이 경우에는, 양 주행 경로를 따라 설치하는 주행 레일의 전체 설치 길이가 길어지는 문제가 있다.
이에 대하여, 본 발명에 관한 물품 반송 설비에서는, 제1 천정 반송차 및 제2 천정 반송차의 주행 경로를 따라 천정측에 설치하는 주행 레일을, 제1 천정 반송차뿐만아니라, 제2 천정 반송차의 주행 레일로서도 이용할 수 있으므로, 제1 천정 반송차 및 제2 천정 반송차를 주행시키기 위해 설치하는 주행 레일의 전체 설치 길이가 감소하여, 설비 전체의 간소화를 도모할 수 있다.
도 1은 물품 보관 설비의 일부 절결(切缺) 정면도이다.
도 2는 동 설비의 상방부의 일부 절결 정면도이다.
도 3은 동 상측부의 횡단 평면도이다.
도 4는 동 설비의 하부의 횡단 평면도이다.
도 5는 제1 수납부의 사시도이다.
도 6은 동 수납부에 웨이퍼 수납 용기를 보관하는 상태의 측면도이다.
도 7은 제2 수납부의 평면도이다.
도 8은 동 수납부의 측면도이다.
도 9는 승강 반송 기구의 측면도이다.
도 10은 동 반송 기구(機構)가 웨이퍼 수납 용기를 파지한 상태의 측면도이다.
도 11은 동 반송 기구가 레티클 수납 용기를 파지한 상태의 측면도이다.
도 12는 동 기구의 평면도이다.
도 13은 파지부가 레티클 수납 용기를 파지한 상태의 사시도이다.
도 14는 물품 반송 설비의 반송 경로를 나타낸 평면도이다.
도 15는 제1 천정 반송차의 측면도이다.
도 16은 동 천정 반송차의 일부 절결 정면도이다.
도 17은 제2 천정 반송차의 일부 절결 측면도이다.
도 18은 동 천정 반송차의 일부 절결 정면도이다.
도 19는 레티클 수납 용기의 반송 경로를 나타낸 평면도이다.
다음에, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
[물품 보관 설비의 전체 구성]
도 1에 나타낸 바와 같이, 반도체 웨이퍼 Wh(도 16 참조) 및 레티클 Rt(도 18 참조)를 보관하는 보관 선반(1)이, 건물의 1층에서 3층에 이르는 상태로 설치되고, 그리고, 입출고용 반송 장치로서의 승강식 반송 장치(2)(도 9 참조)가, 1층에서 3층에 이르는 상태로 설치되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 보관 선반(1)은, 건물의 복수 층에 이르는 상태로 형성되어 있고, 여기서는 그 일례로서, 보관 선반(1)이 건물의 3층에 이르는 상태로 설치되어 있다.
즉, 보관 선반(1)이, 건물의 1층에 설치하는 하부 구성체(1D), 건물의 3층에 설치하는 상부 구성체(1U), 하부 구성체(1D)와 상부 구성체(1U)와의 사이에 설치하는 중간 구성체(1M)를 구비하여, 하부 구성체(1D)와 상부 구성체(1U)에, 반도체 웨이퍼 Wh 및 레티클 Rt를 보관하도록 구성되어 있다.
또한, 승강식 반송 장치(2)에서의 승강대(2A)(도 9 참조)가, 보관 선반(1)에서의 하부 구성체(1D), 중간 구성체(1M), 및 상부 구성체(1U)의 내부 공간을 통해 승강하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에 있어서는, 전술한 설명으로부터 명백한 바와 같이, 중간 구성체(1M)는, 반도체 웨이퍼 Wh 및 레티클 Rt를 보관하지 않고, 승강식 반송 장치(2)에서의 승강대(2A)의 승강 통로를 형성한다. 이 중간 구성체(1M)에도, 반도체 웨이퍼 Wh나 레티클 Rt를 보관하는 형태로 실시하도록 해도 된다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 상부 구성체(1U), 및 중간 구성체(1M)의 2층의 바닥면보다 위쪽에 위치하는 부분이, 벽형체 K1에 의해 외주부를 덮고, 하부 구성체(1D), 및 중간 구성체(1M)의 2층의 바닥면보다 아래쪽에 위치하는 부분이, 판상체 K2(도 4 참조)에 의해 외주부를 덮고 있다.
상세히 설명은 하지 않지만, 상부 구성체(1U), 중간 구성체(1M) 및 하부 구성체(1D)의 내부 공간을 청정한 상태로 유지하기 위한 통풍 장치가 각 개소에 장비되어 있다. 또한, 건물의 1층 및 3층은 청정실로서 구성되어 있다.
하부 구성체(1D) 및 상부 구성체(1U)는, 도 2~도 4에 나타낸 바와 같이, 장척형(長尺形)의 프레임 형성 부재를 골조로 하여, 외형이 세로로 긴 직육면체형으로 되도록 구성되어 있다.
상부 구성체(1U)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반도체 웨이퍼 Wh를 수납하는 웨이퍼 수납 용기 W를 보관하는 2개의 제1 수납부 S1, 및 레티클 Rt를 수납하는 레티클 수납 용기 R을 보관하는 1개의 제2 수납부 S2가, 상하 방향으로 배열된 상태로 구비되어 있다. 상부 구성체(1U)에 설치하는 제1 수납부 S1의 개수나 제2 수납부 S2의 개수는, 적절히 변경 가능하다.
하부 구성체(1D)에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 2개의 제1 수납부 S1, 및 2개의 제2 수납부 S2가, 주위 방향을 따라 배열된 상태로 설치되어 있다.
그리고, 하부 구성체(1D)에는, 도시하지 않지만, 도 4에 나타낸 2개의 제1 수납부 S1과는 다른 개소에, 2개의 제2 수납부 S2가 별도로 설치되어 있다. 하부 구성체(1D)에 설치하는 제1 수납부 S1의 개수나 제2 수납부 S2의 개수는, 적절히 변경 가능하다.
상부 구성체(1U)에는, 도 1~도 3에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 수납 용기 W용의 제1 입출고부 F1으로서, 상부측의 좌측 개소에 전후 방향으로 배열된 상태로 설치되는 한쌍의 상부 웨이퍼 컨베이어(3)와, 하부측의 좌측 개소에 설치되는 하부 웨이퍼 컨베이어(4)가 장비되어 있다.
하부 웨이퍼 컨베이어(4)는, 작업자가 수작업에 의해 웨이퍼 수납 용기 W를 이송탑재(transfer)하기 위해 설치되어 있다.
전후 한쌍의 상부 웨이퍼 컨베이어(3)는, 후술하는 바와 같이, 호이스트식의 제1 천정 반송차 B1이 웨이퍼 수납 용기 W를 이송탑재하기 위해 설치되어 있다.
또한, 상부 구성체(1U)에는, 도 1~도 3에 나타낸 바와 같이, 레티클 수납 용기 R용의 제2 입출고부 F2로서, 상부측의 우측 개소에 전후로 배열된 상태로 설치되는 한쌍의 상부 레티클 컨베이어(5)와, 전술한 하부 웨이퍼 컨베이어(4)와 전후 방향으로 배열된 상태로, 하부측의 좌측 개소에 설치되는 하부 레티클 컨베이어(6)가 장비되어 있다.
하부 레티클 컨베이어(6)는, 작업자가 수작업에 의해 레티클 수납 용기 R을 이송탑재하기 위해 설치되어 있다.
전후 한쌍의 상부 레티클 컨베이어(5)는, 후술하는 바와 같이, 호이스트식의 제2 천정 반송차 B2가 레티클 수납 용기 R을 이송탑재하기 위해 설치되어 있다.
하부 구성체(1D)에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 입출고부 F1으로서, 상부측 개소에 설치되는 좌우 한쌍의 상부 웨이퍼 컨베이어(7)와, 하부측 개소에 설치되는 하부 웨이퍼 컨베이어(8)가 장비되어 있다.
하부 웨이퍼 컨베이어(8)는, 작업자가 수작업에 의해 웨이퍼 수납 용기 W를 이송탑재하기 위해 설치되어 있다.
좌우 한쌍의 상부 웨이퍼 컨베이어(7)는, 호이스트식의 제1 천정 반송차 B1이 웨이퍼 수납 용기 W를 이송탑재하기 위해 설치되어 있다.
또한, 하부 구성체(1D)에는, 제2 입출고부 F2로서, 하부측 개소에 설치되는 하부 레티클 컨베이어(9)가 장비되어 있다.
하부 레티클 컨베이어(9)는, 작업자가 수작업에 의해 레티클 수납 용기 R을 이송탑재하기 위해 설치되어 있다.
이상과 같이, 본 실시형태에서는, 제1 입출고부 F1 및 제2 입출고부 F2가, 상부 구성체(1U) 및 하부 구성체(1D)의 각각에 설치되어 있다. 상부 구성체(1U)에서의 제1 입출고부 F1나 제2 입출고부 F2의 설치 위치나 설치 개수는 적절히 변경 가능하며, 하부 구성체(1D)에서의 제1 입출고부 F1나 제2 입출고부 F2의 설치 위치나 설치 개수는 적절히 변경 가능하다.
본 실시형태에 있어서는, 승강식 반송 장치(2)의 승강대(2A)에 장비되는 용기 이송탑재 장치(2B)(도 9 참조)가, 후술하는 바와 같이, 상하 방향을 따르는 선회 축심 Z 주위에서의 선회에 의해 이송탑재 대상 개소를 선택하도록 구성되어 있다.
그러므로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 수납부 S1이, 웨이퍼 수납 용기 W의 전후 방향을 선회 축심 Z를 향하는 자세로, 웨이퍼 수납 용기 W를 지지하도록 구성되며, 마찬가지로, 제2 수납부 S2가, 레티클 수납 용기 R의 전후 방향을 선회(旋回) 축심(軸心) Z를 향하는 자세로, 레티클 수납 용기 R을 지지하도록 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 상부 구성체(1U)에 장비하는 용기 반송용 컨베이어, 즉 상부 웨이퍼 컨베이어(3), 하부 웨이퍼 컨베이어(4), 상부 레티클 컨베이어(5), 및 하부 레티클 컨베이어(6)의 각각은, 본 실시형태에서는, 롤러 컨베이어를 이용하여 구성되어 있다. 이들 컨베이어의 선반 내측 단부에는, 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R의 전후 방향을 선회 축심 Z를 향하도록 하기 위해, 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R의 자세(방향)를 변경 조작하는 자세 변경 장치(도시하지 않음)가 장비되어 있다.
마찬가지로, 하부 구성체(1D)에 장비하는 용기 반송용 컨베이어, 즉 상부 웨이퍼 컨베이어(7), 하부 웨이퍼 컨베이어(8), 및 하부 레티클 컨베이어(9)의 각각은, 본 실시형태에서는, 롤러 컨베이어를 이용하여 구성되어 있다. 이들 컨베이어에서의 선반 내측 단부에는, 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R의 전후 방향을 선회 축심 Z를 향하도록 하기 위해, 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R의 자세를 변경 조작하는 자세 변경 장치(도시하지 않음)가 장비되어 있다.
자세 변경 장치는, 상세히 설명은 하지 않지만, 용기 지지대를 승강 자재, 선회 자재, 및 반송 방향으로 이동 가능하게 장비하여, 용기의 자세를 변경한다.
자세 변경 장치는, 용기를 출고할 때는, 용기 이송탑재 장치(2B)로부터 공급되는 용기의 자세를, 용기 반송용 컨베이어에 의해 반송하는 자세로 되돌려, 용기 반송 컨베이어에 공급한다.
[웨이퍼 수납 용기의 구성]
반도체 웨이퍼 Wh를 수납하는 웨이퍼 수납 용기 W는, 합성 수지제의 기밀 용기이며, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 준거하여 작성되고, 일반적으로는, FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 한다.
이 웨이퍼 수납 용기 W는, 상세한 설명은 생략하지만, 도 16에 나타낸 바와 같이, 복수 개의 반도체 웨이퍼 Wh를 상하 방향으로 배열된 상태로 수납하도록 구성되며, 전술한 호이스트식의 제1 천정 반송차 B1에 의해 파지되는 탑 플랜지(10)가 상부에 형성되어 있다. 그리고, 웨이퍼 수납 용기 W에는, 착탈(着脫) 가능한 커버체에 의해 개폐되는 기판 출입용의 개구가 전면(前面)에 형성되고, 또한 위치결정핀(11)(도 5 참조)이 걸어맞추어지는 3개의 걸어맞춤홈(도시하지 않음)이 바닥부에 형성되어 있다.
[레티클 수납 용기의 구성]
레티클 Rt를 수납하는 레티클 수납 용기 R은, 도 17 및 도 18에 나타낸 바와 같이, 바닥부가 개구되는 하방향 개구 상태의 본체 부분(13A)과, 그 본체 부분(13A)의 하부 개구에 착탈 가능하게 장착되는 커버체(13B)로 이루어지는 합성 수지제의 기밀 용기이며, 커버체(13B)의 상면에, 레티클 Rt를 탑재 지지하도록 구성되어 있다.
이 레티클 수납 용기 R의 상부에는, 전술한 호이스트식의 제2 천정 반송차 B2에 의해 파지되는 플랜지부(13C)가 형성되어 있다.
이 레티클 수납 용기 R의 플랜지부(13C)는, 웨이퍼 수납 용기 W의 탑 플랜지(10)와 마찬가지의 형상과 같은 크기로 형성되어 있다.
[제1 수납부의 구성]
제1 수납부 S1은, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 형상이 U자형의 본체부(14)의 상면부에, 전술한 3개의 위치결정핀(11)을 구비하고 있다. 본체부(14)는, 지주(支柱) 프레임 T에 캔틸레버 상태로(cantilever type) 장착되어 있다.
그리고, 제1 수납부 S1은, 3개의 위치결정핀(11)(도 5 참조)을 웨이퍼 수납 용기 W의 걸어맞춤홈(도시하지 않음)에 걸어맞추어진 위치 결정 상태에서, 웨이퍼 수납 용기 W를 탑재 지지하도록 구성되어 있다.
[제2 수납부의 구성]
제2 수납부 S2는, 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 형상이 직사각형인 본체부(15)의 좌우 양측 에지부에, 위쪽으로 돌출하는 기립 자세의 캐치 보디(catch body)(15A)를 구비하고 있다. 본체부(15)는, 지주 프레임 T에 캔틸레버 상태로 장착되어 있다.
본체부(15)에는, 레티클 수납 용기 R을 탑재 지지하는 탑재 부분(15a)이, 아래쪽에 오목하게 들어간 상태로 형성되어 있다.
그리고, 제2 수납부 S2는, 탑재 부분(15a)에 의해 레티클 수납 용기 R을 탑재 지지하고, 또한 탑재 부분(15a)의 전후 단부로부터 연속되는 경사 부분(15b) 및 좌우의 캐치 보디(15A)에 의해, 레티클 수납 용기 R을 위치결정하도록 구성되어 있다.
[승강식 반송 장치]
승강식 반송 장치(2)는, 도 9~도 12에 나타낸 바와 같이, 전술한 바와 같이, 승강대(2A)에 용기 이송탑재 장치(2B)를 장비하고 있다. 용기 이송탑재 장치(2B)가, 웨이퍼 수납 용기 W의 탑 플랜지(10)를 파지하여 웨이퍼 수납 용기 W를 현수 상태로 지지하고, 또한 레티클 수납 용기 R의 플랜지부(13C)를 파지하여 레티클 수납 용기 R을 현수 상태로 지지하기 위한 파지부(16)를 구비하고 있다.
그리고, 승강식 반송 장치(2)는, 웨이퍼 수납 용기 W를 현수 지지한 상태에서, 제1 입출고부 F1과 제1 수납부 S1과의 사이에서 웨이퍼 수납 용기 W를 반송하고, 또한 레티클 수납 용기 R을 현수 지지한 상태로, 제2 입출고부 F2와 제2 수납부 S2와의 사이에서 레티클 수납 용기 R을 반송하도록 구성되어 있다. 이하, 각 부에 대하여 설명을 추가한다.
즉, 승강대(2A) 및 밸런스 웨이트(17)를 승강 가능하게 안내하기 위한 가이드 레일(18)이, 보관 선반(1)의 내부의 배면측 개소에, 하부 구성체(1D), 중간 구성체(1M) 및 상부 구성체(1U)에 이르는 상태로 설치되어 있다(도 3 및 도 4 참조).
승강대(2A)는, 가이드 레일(18)의 전방측 개소에 배치된다. 승강대(2A)는, 보관 선반(1)의 가로 폭 방향을 따른 축심 주위에서 회전하는 전후 위치 규제용의 복수의 제1 윤체(輪體)(19), 및 보관 선반(1)의 전후 폭 방향에 따른 축심 주위에서 회전하는 가로 위치 규제용의 복수의 제2 윤체(20)를, 배면측 개소에 구비하고 있다.
그리고, 승강대(2A)는, 복수의 제1 윤체(19) 및 복수의 제2 윤체(20)가 가이드 레일(18)에 의해 안내되는 것에 의해, 가이드 레일(18)을 따라 승강하도록 구성되어 있다.
밸런스 웨이트(17)는, 가이드 레일(18)의 내측에 배치된다. 밸런스 웨이트(17)는, 보관 선반(1)의 가로 폭 방향에서의 내측을 향함에 따라, 보관 선반(1)의 전후 폭 방향에서의 후방측을 향하는 경사 축심 주위에서 회전하는 복수의 제1 롤러(21), 및 보관 선반(1)의 가로 폭 방향에서의 내측을 향함에 따라, 보관 선반(1)의 전후 폭 방향에서의 전방측을 향하는 경사 축심 주위에서 회전하는 복수의 제2 롤러(22)를 구비하고 있다.
그리고, 밸런스 웨이트(17)는, 복수의 제1 롤러(21) 및 복수의 제2 롤러(22)가 가이드 레일(18)에 의해 안내되는 것에 의해, 가이드 레일(18)을 따라 승강하도록 구성되어 있다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 상부 구성체(1U)의 상부측 개소에, 정역(正逆)(정방향 및 역방향)으로 구동 회전되는 스프로켓형의 구동 회전체(23)가 장비되고, 하부 구성체(1D)의 하부측 개소에, 전후 한쌍의 아이들링 회전 회전체(24)가 장비되어 있다.
그리고, 구동 회전체(23)에 걸어감겨져 양단이 아래쪽으로 신장되는 자세로 되는 제1 승강용 벨트(25)의 일단부가, 승강대(2A)의 상단부에 접속되고, 제1 승강용 벨트(25)의 타단부가, 밸런스 웨이트(17)의 상단부에 접속되어 있다.
또한, 한쌍의 아이들링 회전 회전체(24)에 걸어감겨져 양단이 위쪽으로 신장되는 자세로 되는 제2 승강용 벨트(26)의 일단부가, 승강대(2A)의 하단부에 접속되고, 제2 승강용 벨트(26)의 타단부가, 밸런스 웨이트(17)의 하단부에 접속되어 있다.
따라서, 구동 회전체(23)가 정역으로 회전 구동되는 것에 의해, 승강대(2A)가 가이드 레일(18)을 따라 승강하도록 구성되어 있다.
[용기 이송탑재 장치의 구성]
용기 이송탑재 장치(2B)는, 도 9 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 전술한 선회 축심 Z 주위에서 선회 조작 가능하게 승강대(2A)에 장비되는 선회대(27), 선회대(27)에 지지되어 굴신(屈伸; bending and stretching) 작동하는 굴신 링크(28), 및 굴신 링크(28)에 대하여 기립 자세로 지지되는 세로 프레임체(29)를 구비하고, 전술한 파지부(16)를, 세로 프레임체(29)의 상단부에 장비하고 있다.
파지부(16)는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 굴신 링크(28)의 굴신 방향을 따른 방향의 회전 축심 Y 주위에서 정역으로 회전하는 한쌍의 파지 클로우부(claw portion)(16A)를 구비하고, 한쌍의 파지 클로우부(16A)의 개폐에 의해, 파지 상태와 파지 해제 상태로 전환하도록 구성되어 있다.
따라서, 용기 이송탑재 장치(2B)는, 선회 축심 Z 주위에서의 선회에 의해, 이송탑재 대상을 선택하면서, 굴신 링크(28)의 신축 작동, 파지부(16)의 개폐 작동, 및 승강대(2A)의 승강 작동에 의해, 이송탑재 대상의 용기, 즉 웨이퍼 수납 용기 W 및 레티클 수납 용기 R을 현수 상태로 지지하여 이송탑재하도록 구성되어 있다.
용기 이송탑재 장치(2B)의 이송탑재 작동에 대하여, 웨이퍼 수납 용기 W를, 제1 수납부 S1으로부터 제1 입출고부 F1으로 출고하는 경우에 대하여 설명을 추가한다.
먼저, 선회 축심 Z 주위에서의 선회에 의해, 파지부(16)를 이송탑재 대상의 제1 수납부 S1에 대향하는 상태로 한다. 다음에, 굴신 링크(28)의 신장 작동에 의해, 파지부(16)를 웨이퍼 수납 용기 W의 위쪽에 위치시킨다.
그 후, 승강대(2A)의 하강에 의해, 개방 상태의 파지부(16)를 하강시키고, 웨이퍼 수납 용기 W의 탑 플랜지(10)를 파지하기에 적절한 자세로 하강시키고, 계속하여, 파지부(16)를 폐쇄 상태로 전환하여, 파지부(16)에 의해 웨이퍼 수납 용기 W의 탑 플랜지(10)를 파지한다(도 6 참조).
다음에, 승강대(2A)의 상승에 의해, 웨이퍼 수납 용기 W를 현수 상태로 지지하고, 계속하여, 굴신 링크(28)의 단축 작동에 의해, 웨이퍼 수납 용기 W를 승강대(2A)의 위쪽 개소로 퇴피(退避)시킨다.
그 후, 승강대(2A)의 승강에 의해, 이송탑재 대상의 제1 입출고부 F1에 대응하는 높이로 웨이퍼 수납 용기 W를 승강시키고, 또한 선회 축심 Z 주위에서의 선회에 의해, 파지부(16)를 이송탑재 대상의 제1 입출고부 F1에 대향하는 상태로 한다.
다음에, 굴신 링크(28)의 신장 작동에 의해, 파지부(16)를 제1 입출고부 F1 위쪽에 위치시킨 후, 승강대(2A)의 하강에 의해, 웨이퍼 수납 용기 W를 제1 입출고부 F1에 공급한다.
웨이퍼 수납 용기 W를 제1 입출고부 F1에 공급한 후에는, 파지부(16)를 개방 상태로 전환한 후, 승강대(2A)의 상승에 의해 파지부(16)를 상승시키고, 계속하여, 굴신 링크(28)의 단축 작동에 의해, 파지부(16)를 퇴피시킨다.
전술한 이송탑재 작동의 설명, 즉 웨이퍼 수납 용기 W를, 제1 수납부 S1으로부터 제1 입출고부 F1으로 출고하는 경우의 이송탑재 작동의 설명에 의해, 웨이퍼 수납 용기 W를, 제1 입출고부 F1로부터 제1 수납부 S1에 입고하는 경우, 레티클 수납 용기 R을, 제2 수납부 S2로부터 제2 입출고부 F2로 출고하는 경우, 및 레티클 수납 용기 R을, 제2 입출고부 F2로부터 제2 수납부 S2에 입고하는 경우에서의 이송탑재 작동은 이해가 가능하므로, 이들 경우에 대하여 이송탑재 작동의 설명은 생략한다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 웨이퍼 수납 용기 W를 파지하는 경우, 및 레티클 수납 용기 R을 파지하는 경우의 어느 경우에 있어서도, 용기의 위쪽에 개방 상태로 위치시키는 파지부(16)를 파지에 적절한 위치로 하강시키는 하강량이 동일하게 되도록, 승강대(2A)의 승강에 의해 파지부(16)의 높이를 설정하도록 구성되어 있다.
[용기 판별 센서]
도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 승강식 반송 장치(2)에는, 파지부(16)에 의해 웨이퍼 수납 용기 W를 파지하고 있는지, 파지부(16)에 의해 레티클 수납 용기 R을 파지하고 있는지를 판별하기 위한 용기 판별 센서(30)가 장비되어 있다.
즉, 본 실시형태에 있어서는, 용기 판별 센서(30)는, 레이저 측거(測距) 센서 등의 거리 센서를 사용하여 구성되어, 세로 프레임체(29)에 장착되어 있다.
그리고, 용기 판별 센서(30)는, 파지부(16)에 파지되어 있는 용기까지의 거리를 검출하도록 구성되어 있다.
즉, 파지부(16)에 웨이퍼 수납 용기 W가 파지되어 있는 경우에는, 용기 판별 센서(30)는, 웨이퍼 수납 용기 W에 대응하는 제1 거리 U1을 검출하고, 파지부(16)에 레티클 수납 용기 R이 파지되어 있는 경우에는, 용기 판별 센서(30)는, 레티클 수납 용기 R에 대응하는 제2 거리 U2를 검출한다.
레티클 수납 용기 R은, 웨이퍼 수납 용기 W보다 외형이 작으므로, 제2 거리 U2가 제1 거리 U1보다 큰 값으로 되고, 용기 판별 센서(30)의 검출 거리에 의해, 파지부(16)에 의해 웨이퍼 수납 용기 W를 파지하고 있는지, 파지부(16)에 의해 레티클 수납 용기 R을 파지하고 있는지를 판별할 수 있다.
또한, 도시하지 않지만, 용기 판별 센서(30)의 검출 정보는, 설비 관리용 제어부에 출력되고, 설비 관리용 제어부가, 용기 판별 센서(30)의 검출 정보에 기초하여, 파지부(16)에 의해 웨이퍼 수납 용기 W를 파지하고 있는지, 파지부(16)에 의해 레티클 수납 용기 R을 파지하고 있는지를 판별한다.
그리고, 용기 판별 센서(30)는, 파지부(16)에 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R이 파지되어 있지 않은 경우에는, 제2 거리 U2보다 큰 거리 정보를 출력하도록 구성되어 있고, 상기 설비 관리용 제어부는, 용기 판별 센서(30)의 검출 정보에 기초하여, 파지부(16)에는 용기가 파지되어 있지 않은 상태인 것도 판별할 수 있도록 되어 있다.
즉, 설비 관리용 제어부는, 정전 등이 생겼을 때, 그 후 운전을 재개할 때는, 용기 판별 센서(30)의 검출 정보에 기초하여, 파지부(16)가 웨이퍼 수납 용기 W를 파지하고 있는지, 파지부(16)가 레티클 수납 용기 R을 파지하고 있는지, 또는 파지부(16)가 비(非)파지 상태인지를 판별하여, 승강식 반송 장치(2)의 적정한 작동 상태를 정하도록 구성되어 있다.
[물품 반송 설비의 전체 구성]
건물의 3층에는, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2를 사용하여, 웨이퍼 수납 용기 W 및 레티클 수납 용기 R을 반송하면서, 반도체 웨이퍼 Wh에 대한 처리를 행하는 처리 설비가 장비되고, 건물의 1층에는, 제1 천정 반송차 B1을 사용하여, 웨이퍼 수납 용기 W를 반송하면서, 반도체 웨이퍼 Wh에 대한 처리를 행하는 처리 설비가 장비된다.
이하, 건물의 3층에 장비되는 물품 반송 설비에 대하여 설명한다.
즉, 도 14에 나타낸 바와 같이, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2에 대한 주행 경로 L이, 일부를 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2가 각각 주행하는 공용 주행 경로 부분 La(도 19 참조)로 하는 형태로 설정되어 있다.
그리고, 도 15 및 도 16에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(41)이, 주행 경로 L을 따라, 3층의 천정측에 설치되고, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2가, 주행 레일(41)을 따라 주행하도록 구성되어 있다.
또한, 제1 천정 반송차 B1은, 전술한 바와 같이, 웨이퍼 수납 용기 W를 반송하는 것이며, 제2 천정 반송차 B2는, 전술한 바와 같이, 레티클 수납 용기 R을 반송하는 것이다.
그리고, 이하의 기재에 있어서, 제1 천정 반송차 B1과 제2 천정 반송차 B2를 구별할 필요가 없을 때는, 단지, 용기 반송차(42)라고 기재한다.
도 14에 나타낸 바와 같이, 주행 경로 L이, 웨이퍼 처리 장치 P를 경유하는 복수의 환형(環形)의 서브 주행 경로(43), 및 2개의 환형의 메인 주행 경로(44)를 형성하는 상태로 설치되어 있다.
2개의 환형의 메인 주행 경로(44)는, 경로 가로 폭 방향으로 배열된 상태로, 또한 2중의 환형으로 되는 상태로 설치되고, 용기 반송차(42)가, 이들 메인 주행 경로(44)를 같은 방향을 향해 주행하도록 설치되어 있다. 그리고, 도 14에 있어서는, 용기 반송차(42)의 주행 방향을, 화살표로 나타내고 있다.
또한, 2개의 환형의 메인 주행 경로(44)의 각각은, 평면에서 볼 때, 직사각형의 4개의 코너부를 원호형으로 한 장방형으로 형성되어 있다.
이하의 설명에 있어서는, 2중의 환형으로 되는 한쌍의 메인 주행 경로(44) 중 내측의 메인 주행 경로(44)를, 제1 메인 주행 경로(44A)로 하고, 외측의 메인 주행 경로(44)를 제2 메인 주행 경로(44B)로 하여, 설명을 계속하지만, 양자를 구별할 필요가 없을 때는, 단지, 메인 주행 경로(44)라고 기재한다.
2중의 환형으로 되는 한쌍의 메인 주행 경로(44)의 사이에는, 제1 메인 주행 경로(44A)로부터 제2 메인 주행 경로(44B)로 용기 반송차(42)가 분기 주행하는 제1 분기 경로(45A) 및 제2 메인 주행 경로(44B)로부터 제1 메인 주행 경로(44A)에 용기 반송차(42)가 분기 주행하는 제2 분기 경로(45B)가 설치되어 있다.
제1 분기 경로(45A) 및 제2 분기 경로(45B)는, 평면에서 볼 때 메인 주행 경로(44)에 대하여 경사지는 경사 자세로, 제1 메인 주행 경로(44A)와 제2 메인 주행 경로(44B)를 접속하도록 설치되어 있다.
또한, 제1 메인 주행 경로(44A)에서의 좌우 한쌍의 장변(長邊) 상당 부분의 사이에는, 이들 장변 상당 부분의 한쪽으로부터 다른 쪽을 향해 용기 반송차(42)를 단락(短絡) 주행시키는 단락 경로(46)가, 제1 메인 주행 경로(44A)의 길이 방향을 따라, 복수 설치되어 있다.
복수의 환형의 서브 주행 경로(43)는, 병행인 한쌍의 직선 상당 부분의 양단끼리를 원호형 부분에 의해 접속한 긴 원형으로 형성되는 것으로서, 평면에서 볼 때, 2개의 환형의 메인 주행 경로(44)의 양측 언더암부(underarm portion)에, 그 길이 방향을 메인 주행 경로(44)의 길이 방향과 직교시키는 자세(방향)로, 메인 주행 경로(44)의 길이 방향을 따라 간격을 두고 배열된 상태로 설치되어 있다.
그리고, 한쌍의 메인 주행 경로(44) 중 제2 메인 주행 경로(44B)로부터 서브 주행 경로(43)를 향해 용기 반송차(42)를 분기 주행시키는 분기 접속 경로(47A), 및 서브 주행 경로(43)로부터 제2 메인 주행 경로(44B)를 향해 용기 반송차(42)를 합류 주행시키는 합류 접속 경로(47B)가 설치되어 있다.
본 실시형태에 있어서는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 제1 메인 주행 경로(44A)의 내측에 상당하는 개소에, 웨이퍼 수납 용기 W 및 레티클 수납 용기 R을 보관하는 전술한 보관 선반(1), 및 웨이퍼 수납 용기 W를 일시적으로 보관하는 복수의 웨이퍼 전용 보관 선반(1A)이, 제1 메인 주행 경로(44A)의 길이 방향으로 배열된 상태로 설치되어 있다.
또한, 복수의 웨이퍼 처리 장치 P로서는, 반도체 기판에 대하여 상이한 처리를 행하는 복수 종류가 존재하게 되고, 그들 중에는, 노광 처리 장치 PR이 있다.
그리고, 도 14에 있어서는, 보관 선반(1)이 1동(棟) 장비되고, 또한 노광 처리 장치 PR이 1대 장비되는 경우를 예시하지만, 보관 선반(1)이나 노광 처리 장치 PR의 설치수는, 여러 가지 변경되게 된다.
웨이퍼 수납 용기 W 및 레티클 수납 용기 R을 보관하는 보관 선반(1)에는, 전술한 바와 같이, 웨이퍼 수납 용기 W에 대한 제1 입출고부 F1과, 레티클 수납 용기 R에 대한 제2 입출고부 F2가 장비된다.
웨이퍼 수납 용기 W를 보관하는 복수의 웨이퍼 전용 보관 선반(1A)에는, 웨이퍼 수납 용기 W에 대한 제1 입출고부 F1이 장비된다.
노광 처리 장치 PR에는, 웨이퍼 수납 용기 W에 대한 웨이퍼용 반출입부 G1과, 레티클 수납 용기 R에 대한 레티클용 반출입부 G2가 장비되고, 다른 웨이퍼 처리 장치 P에는, 웨이퍼 수납 용기 W에 대한 웨이퍼용 반출입부 G1이 장비된다.
따라서, 용기 반송차(42)로서의 제1 천정 반송차 B1은, 보관 선반(1)이나 웨이퍼 전용 보관 선반(1A)의 제1 입출고부 F1로부터 받은 웨이퍼 수납 용기 W를, 웨이퍼 처리 장치 P나 노광 처리 장치 PR의 웨이퍼용 반출입부 G1에 반송하는 작업, 웨이퍼 처리 장치 P나 노광 처리 장치 PR의 웨이퍼용 반출입부 G1로부터 받은 웨이퍼 수납 용기 W를, 다른 처리를 행하는 웨이퍼 처리 장치 P의 웨이퍼용 반출입부 G1에 반송하는 작업, 및 웨이퍼 처리 장치 P나 노광 처리 장치 PR의 웨이퍼용 반출입부 G1으로부터 받은 웨이퍼 수납 용기 W를, 보관 선반(1)이나 웨이퍼 전용 보관 선반(1A)의 제1 입출고부 F1에 반송하는 작업을 행한다.
또한, 용기 반송차(42)로서의 제2 천정 반송차 B2는, 보관 선반(1)의 제2 입출고부 F2로부터 받은 레티클 수납 용기 R을, 노광 처리 장치 PR의 레티클용 반출입부 G2에 반송하는 작업, 및 노광 처리 장치 PR의 레티클용 반출입부 G2로부터 받은 레티클 수납 용기 R을, 보관 선반(1)의 제2 입출고부 F2에 반송하는 작업을 행한다.
제2 천정 반송차 B2가 레티클 수납 용기 R을 반송하기 위해 주로 주행하는 주(主)반송 경로는, 예를 들면, 도 19에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(1)의 제2 입출고부 F2를 기점(起点)으로 하면, 제1 메인 주행 경로(44A), 단락 경로(46), 제1 분기 경로(45A), 제2 메인 주행 경로(44B), 분기 접속 경로(47A), 및 서브 주행 경로(43)를 통하여, 노광 처리 장치 PR의 레티클용 반출입부 G2에 이르는 경로이다.
또한, 주반송 경로는, 예를 들면, 도 19에 나타낸 바와 같이, 레티클용 반출입부 G2를 기점으로 하면, 서브 주행 경로(43), 합류 접속 경로(47B), 제2 메인 주행 경로(44B), 제2 분기 경로(45B), 단락 경로(46), 및 제1 메인 주행 경로(44A)를 통하여, 보관 선반(1)의 제2 입출고부 F2에 이르는 경로이다.
그리고, 상기한 제2 천정 반송차 B2의 주반송 경로는, 제1 천정 반송차 B1이 웨이퍼 수납 용기 W를 반송하기 위해 주행하는 경로 부분이므로, 주행 경로 L 중, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2의 각각이 주행하는 공용 주행 경로 부분 La에 상당한다.
그리고, 본 실시형태에 있어서는, 제2 천정 반송차 B2가, 공용 주행 경로 부분 La만을 주행함으로써, 레티클 수납 용기 R을 반송하는 경우를 예시하는 것이지만, 주행 경로 L 중에, 제2 천정 반송차 B2만이 주행하는 경로를 포함하는 형태로 실시해도 된다.
예를 들면, 도 14 및 도 19에 있어서는, 노광 처리 장치 PR의 레티클용 반출입부 G2를 경유하는 서브 주행 경로(43)가, 웨이퍼 처리 장치 P의 웨이퍼용 반출입부 G1을 경유하는 경우를 예시하지만, 이 웨이퍼 처리 장치 P를 생략하면, 노광 처리 장치 PR의 레티클용 반출입부 G2를 경유하는 서브 주행 경로(43)는, 제2 천정 반송차 B2만이 주행하게 되어, 공용 주행 경로 부분 La로부터 벗어나게 된다.
다음에, 각 부의 구성에 대하여 설명을 추가한다.
[주행 레일의 구성]
주행 경로 L을 따라 설치되는 주행 레일(41)은, 메인 주행 경로(44)나 서브 주행 경로(43)를 따라 연장되도록 설치되는 것으로서, 도 16에 나타낸 바와 같이, 주행 레일용 지지체(48)에 의해 천정부에 현수 상태로 설치되고, 또한 레일 가로 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 좌우 한쌍의 레일부(41a)를 구비하도록 구성되어 있다.
[제1 천정 반송차의 구성]
용기 반송차(42) 중 제1 천정 반송차 B1은, 도 15 및 도 16에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(41)의 아래쪽에 위치하는 차체 본체부(49A)와, 주행 레일(41)을 따라 주행하는 주행부(50)로 구성되어 있고, 차체 본체부(49A)에는, 물품 B를 현수한 상태로 파지하는 파지부(51)가 구비되어 있다.
주행부(50)가, 전후로 배열된 전방 주행부(50F)와 후방 주행부(50R)로 구성되고, 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 각각으로부터 아래쪽으로 연장되는 상하 방향을 따르는 연결축(52)이, 좌우 한쌍의 레일부(41a)의 사이를 통해 아래쪽으로 신장되는 상태로 설치되어 있다.
그리고, 차체 본체부(49A)가, 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 각각에, 연결축(52)의 축심 주위에서 상대 회전 가능한 상태로, 연결축(52)에 의해 현수 지지되어 있다.
전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 각각에는, 전동식의 구동 모터(53)에 의해 회전 구동되는 좌우의 주행륜(54)이, 좌우 한쌍의 레일부(41a) 각각의 상면에 의해 형성되는 주행면을 주행하는 상태로 장비되고, 또한 상하 축심 주위에서 자유 회전하는 좌우의 안내륜(55)이, 좌우 한쌍의 레일부(41a)에서의 내측의 측면에 의해 형성되는 안내면과 맞닿은 상태로 장비되어 있다.
따라서, 제1 천정 반송차 B1은, 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 안내륜(55)이 한쌍의 레일부(41a)에 의해 안내되는 것에 의해, 차체 가로 폭 방향에서의 위치가 규제되면서, 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 주행륜(54)이 회전 구동되는 것에 의해, 주행 레일(41)을 따라 주행하도록 구성되어 있다.
또한, 제1 천정 반송차 B1은, 차체 본체부(49A)에 대하여 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)가 연결축(52)의 축심 주위에서 굴곡되는 것에 의해, 메인 주행 경로(44)의 원호형 부분이나 서브 주행 경로(43)의 원호형 부분 등의 원호형 경로 부분도 양호하게 주행 가능하게 되어 있다.
차체 본체부(49A)는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 상벽부에서의 차체 전후 방향의 전단측 부분과 후단측 부분이 하방측으로 연장되는 차체 가로 폭 방향에서 볼 때 역U자형으로 형성되어, 하방측이나 좌우 양측이 개방되어 있고, 하방측으로 연장되는 전단측 부분과 후단측 부분과의 사이에 파지부(51)가 설치되어 있다.
그리고, 차체 본체부(49A)에는, 파지부(51)를 승강시키기 위한 전동식(電動式)의 승강용 모터(56), 파지부(51)를 상하 축심 주위에서 선회시키기 위한 전동식의 선회용 모터(57)가 구비되어 있다.
즉, 승강용 모터(56)는, 체인형상체로서의 벨트(58)가 권취된 회전 드럼(59)을 정역으로 회전 구동하여, 벨트(58)를 권취 또는 송출함으로써, 파지부(51)를 상승 위치와 하강 위치로 승강시키도록 구성되어 있다.
그리고, 상승 위치란, 도 15 및 도 16에 나타낸 바와 같이, 파지부(51)를, 차체 본체부(49A)에서의 내측 상부 개소에 수납한 위치이며, 하강 위치란, 도시는 생략하지만, 파지부(51)를, 웨이퍼 처리 장치 P 및 노광 처리 장치 PR의 웨이퍼용 반출입부 G1이나, 보관 선반(1) 및 웨이퍼 전용 보관 선반(1A)의 제1 입출고부 F1의 가까이로 하강시킨 위치이다.
파지부(51)는, 차체 본체부(49A) 상벽부로부터 아래쪽으로 연장되는 선회축(60)(도 15 참조)에 의해, 차체 본체부(49A)에 대하여 상하 축심 주위에서 회전 가능하게 연결되어 있다. 그리고, 선회용 모터(57)가, 회전 구동력 전달부(61)를 통하여 선회축(60)을 상하 축심 주위로 회전 구동시키는 것에 의해, 파지부(51)를 상하 축심 주위에서 선회시키도록 구성되어 있다.
파지부(51)는, 도 16에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 수납 용기 W의 탑 플랜지(10)를 파지하기 위한 한쌍의 파지구(62)를, 차체 본체부(49A)의 전후 방향에 따른 축심 주위의 요동에 의해 개폐 가능한 상태로 구비하고 있다. 그리고, 전동식의 파지용 모터(63)에 의해, 한쌍의 파지구(62)를 폐쇄 자세로 하여, 탑 플랜지(10)를 파지하는 파지 상태와, 한쌍의 파지구(62)를 개방 자세로 하여, 파지를 해제하는 파지 해제 자세로 전환하도록 구성되어 있다. 도 16에서는, 한쌍의 파지구(62)를 파지 상태로 전환한 상태를 나타내고 있다.
[제2 천정 반송차의 구성]
용기 반송차(42) 중 제2 천정 반송차 B2는, 도 17 및 도 18에 나타낸 바와 같이, 전술한 제1 천정 반송차 B1의 주행부(50)과 같은 구성의 주행부(50)를 구비하고, 또한 제1 천정 반송차 B1의 차체 본체부(49A)는, 상이한 구성의 차체 본체부(49B)를 구비하는 것이다
하지만, 기본적으로는, 제1 천정 반송차 B1과 유사한 구성이므로, 제1 천정 반송차 B1이 구비하는 부재와 같은 부재에 대해서는, 같은 부호를 기재하여, 상세한 설명을 생략한다.
즉, 차체 본체부(49B)가, 주행부(50)에서의 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 각각에, 연결축(52)에 의해 현수 지지되어 있다.
차체 본체부(49B)의 내부에는, 제1 천정 반송차 B1이 장비하는 파지부(51)와 같은 구성의 파지부(51)가 장비되어 있다.
이 파지부(51)는, 레티클 수납 용기 R의 플랜지부(13C)를 파지하기 위한 한쌍의 파지구(62)를, 전동식의 파지용 모터(63)에 의해, 플랜지부(13C)를 파지하는 파지 상태와, 파지를 해제하는 파지 해제 자세로 전환하도록 구성되어 있다. 도 18에서는, 한쌍의 파지구(62)를 파지 상태로 전환한 상태를 나타내고 있다.
또한, 파지부(51)는, 승강용 모터(56)에 의해 승강되어 선회용 모터(57)에 의해 선회되는 점도, 제1 천정 반송차 B1과 같다.
제2 천정 반송차 B2의 차체 본체부(49B)는, 제1 천정 반송차 B1의 차체 본체부(49A)와 마찬가지로, 상벽부에서의 차체 전후 방향의 전단측 부분과 후단측 부분이 하방측으로 연장되는 차체 가로 폭 방향에서 볼 때 역U자형으로 형성되어, 하방측이나 좌우 양측이 개방되지만, 이 제2 천정 반송차 B2에 있어서는, 차체 본체부(49B)의 좌우 양측의 개구를 폐쇄하는 한쌍의 판상체(74), 및 차체 본체부(49B)의 하방측의 개구를 폐쇄하는 한쌍의 판형 커버체(75)가 장비되어 있다.
한쌍의 판상체(74)는, 도 18에 나타낸 바와 같이, 차체 본체부(49B)의 좌우 양측의 개구를 폐쇄하는 상태로, 차체 본체부(49B)에 고정 상태로 장착되어 있다.
한쌍의 판형 커버체(75)는, 상하 방향의 요동에 의해, 차체 본체부(49B)의 하방측의 개구를 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 차체 본체부(49B)의 하방측의 개구를 개방하는 개방 위치로 전환 가능하고, 또한 개폐 구동 장치(도시하지 않음)에 의해, 개폐 조작되도록 구성되어 있다.
따라서, 파지부(51)를 승강시킬 때는, 한쌍의 판형 커버체(75)를 개방 위치로 조작함으로써, 차체 본체부(49B)의 하방측의 개구를 개방하고, 파지부(51)가 차체 본체부(49B)의 내부에 위치할 때는, 한쌍의 판형 커버체(75)를 폐쇄 위치로 조작하여, 차체 본체부(49B)의 하방측의 개구를 통하여, 먼지 등이 외부로부터 침입하는 것을 억제하게 되어 있다.
또한, 차체 본체부(49B)의 앞벽부나 후벽부에, 청정한 공기를 차체 본체부(49B)의 내부로 송풍하는 정화 공기 송풍 장치(76)가 장비되고, 그리고, 전술한 한쌍의 판상체(74)에, 배출량을 조정 가능한 배기 장치(77)가 장비되어 있다.
따라서, 정화 공기 송풍 장치(76)에 의해, 청정한 공기를 차체 본체부(49B)의 내부로 송풍하면서, 배기 장치(77)에 의해, 차체 본체부(49B)의 내부의 공기를 외부로 배출함으로써, 차체 본체부(49B)의 내부를 청정한 공기에 의해 채워진 상태로 하여, 레티클 수납 용기 R이나 그 내부의 레티클 Rt를 청정한 상태로 유지 가능하도록 구성되어 있다.
또한, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2에는, 즉 복수의 용기 반송차(42)에는, 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 주행 작동, 파지부(51)의 승강 작동, 및 한쌍의 파지구(62)의 개폐 작동 등을 제어하여, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2의 운전을 제어하는 대차(臺車; carriage) 측 제어부(도시하지 않음)가 구비되어 있다.
그리고, 대차측 제어부는, 복수의 용기 반송차(42)의 운행을 관리하는 설비 관리용 제어부로부터, 무선 통신 등에 의해, 반송원(搬送元) 및 반송선을 지정하는 반송 지령을 받으면, 그 반송 지령에 의해 지정된 반송원으로부터 반송선을 향해, 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R을 반송하는 반송 처리를 행하도록 구성되어 있다.
즉, 용기 반송차(42)에는, 반송선이나 반송원에 대응하는 목표 정지 위치를 검출하기 위한 센서나 기준점으로부터의 용기 반송차(42)의 주행 거리를 검출하기 위한 거리 센서 등의 각종 센서가 구비되어 있다.
그리고, 대차측 제어부는, 이들 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 지정된 반송원으로 주행하는 것이나, 반송원으로부터 지정된 반송선으로 주행하는 것을 행하기 위해, 전방 주행부(50F) 및 후방 주행부(50R)의 주행 작동을 제어하도록 구성되며, 또한 반송원에 있어서는, 반송원으로부터 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R을 수취하기 위해, 파지부(51)의 승강 작동이나 한쌍의 파지구(62)의 개폐 작동을 제어하고, 또한 반송선에 있어서는, 반송선으로 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R을 내려놓기 위해, 파지부(51)의 승강 작동이나 한쌍의 파지구(62)의 개폐 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 웨이퍼 수납 용기 W와 레티클 수납 용기 R을 보관 선반(1)에 보관하는 데 있어서, 입출고용 반송 장치로서의 승강식 반송 장치(2)에, 웨이퍼 수납 용기 W의 탑 플랜지(10) 및 레티클 수납 용기 R의 플랜지부(13C)를 파지하는 파지부(16)를 구비하게 하여, 승강식 반송 장치(2)에 의해, 웨이퍼 수납 용기 W나 레티클 수납 용기 R을 현수 상태로 지지하면서, 입출고를 행하게 하는 것이므로, 입출고 작업의 효율을 향상시킬 수 있고, 또한 승강식 반송 장치(2)의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
또한, 웨이퍼 수납 용기 W와 레티클 수납 용기 R을 보관하는 보관 선반(1)을, 건물의 1층으로부터 3층에 이르는 상태로 설치하여, 건물의 1층 부분이나 3층 부분을, 물품 반송 설비를 설치하는 공간으로서 이용하는 것이므로, 물품 반송 설비를, 평면에서 볼 때의 설치 스페이스를 감소시켜 상태로 설치할 수 있는 것으로 된다.
또한, 웨이퍼 수납 용기 W를 반송하는 제1 천정 반송차 B1 및 레티클 수납 용기 R을 반송하는 제2 천정 반송차 B2의 주행 경로 L을, 적어도 일부를 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2의 각각이 주행하는 공용 주행 경로 부분 La로 하는 형태로 설정하여, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2의 각각을, 주행 경로 L을 따라 천정측에 설치한 주행 레일(41)을 주행시키는 것이므로, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2를 주행시키기 위해 설치하는 주행 레일(41)의 전체 설치 길이를 감소시켜, 설비 전체의 설치 비용의 저감화를 도모할 수 있다.
〔다른 실시형태〕
다음에, 다른 실시형태를 열기한다.
(1) 상기 실시형태에서는, 웨이퍼 수납 용기 W와 레티클 수납 용기 R을 보관하는 보관 선반(1)과, 건물의 3층에 이르는 상태로 설치되어, 1층 부분과 3층 부분에 웨이퍼 수납 용기 W와 레티클 수납 용기 R을 보관하는 보관 선반(1)을 예시했지만, 보관 선반(1)의 구체 구성은 각종 변경할 수 있다.
예를 들면, 웨이퍼 수납 용기 W를 수납하는 제1 수납부 S1을 종횡(상하 방향 및 수평 방향)으로 배열된 상태로 구비하고, 또한 레티클 수납 용기 R을 수납하는 제2 수납부 S2를 종횡으로 배열된 상태로 구비하는 형태로, 보관 선반(1)을 구성해도 된다.
이 경우에 있어서는, 입출고용 반송 장치로서는, 선반 가로 폭 방향으로 주행하는 주행 대차, 및 그 주행 대차에 세워 설치된 승강 마스트에 승강 가능하게 장착한 승강대를 구비하는, 이른바 스태커 크레인(stacker crane)을 설치하고, 그 스태커 크레인의 승강대에, 파지부를 출퇴(出退) 가능하게 장비하는 형태로 구성하면 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 제1 천정 반송차 B1의 주행부(50)와, 제2 천정 반송차 B2의 주행부(50)를 같은 구성으로 함으로써, 제1 천정 반송차 B1 및 제2 천정 반송차 B2가 공용의 주행 레일(41)을 주행하는 경우를 예시했지만, 제1 천정 반송차 B1과 제2 천정 반송차 B2는, 공용의 주행 레일(41)을 주행할 수 있는 것이면, 제1 천정 반송차 B1이나 제2 천정 반송차 B2의 구체 구성은, 상이한 구성으로 구성해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 제1 천정 반송차 B1과 제2 천정 반송차 B2가, 같은 구성의 파지부(51)를 구비하는 경우를 예시했지만, 제1 천정 반송차 B1의 파지부(51)와, 제2 천정 반송차 B2의 파지부(51)를 상이한 구성으로 하는 형태로 실시해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 주행 경로 L로서, 2개의 환형의 메인 주행 경로(44)가, 경로 가로 폭 방향으로 배열된 상태로, 또한 2중의 환형으로 되는 상태로 설치되고, 복수의 환형의 서브 주행 경로(43)가, 메인 주행 경로(44)의 양측에 배열된 상태로 형성되는 경우를 예시했지만, 예를 들면, 복수의 환형의 서브 주행 경로(43)가, 메인 주행 경로(44)의 한쪽 언더암부에 배열된 상태로 형성하는 등, 주행 경로 L의 구체 구성은 각종 변경할 수 있다.
(5) 상기 실시형태에서는, 제1 입출고부 F1 및 제2 입출고부 F2가, 입출고 겸용의 롤러 컨베이어를 사용하여 구성되는 경우를 예시했지만, 입고용의 롤러 컨베이어와 출고용의 롤러 컨베이어를 별도 설치하도록 하는 형태로 실시해도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 제1 입출고부 F1 및 제2 입출고부 F2가, 롤러 컨베이어를 사용하여 구성되는 경우를 예시했지만, 용기 탑재 테이블을 보관 선반(1)의 내외 방향으로 이동 가능하게 설치한 것 등, 제1 입출고부 F1 및 제2 입출고부 F2의 구체 구성은 각종 변경할 수 있다.
1: 보관 선반
2: 입출고용 반송 장치
R: 레티클 수납 용기
10: 탑 플랜지
13C: 플랜지부
16: 파지부
30: 용기 판별 센서
41: 주행 레일
B1: 제1 천정 반송차
B2: 제2 천정 반송차
F1: 제1 입출고부
F2: 제2 입출고부
L: 주행 경로
La: 공용 주행 경로 부분
PR: 노광 처리 장치
Rt: 레티클
S1: 제1 수납부
S2: 제2 수납부
W: 웨이퍼 수납 용기
Wh: 반도체 웨이퍼

Claims (5)

  1. 반도체 웨이퍼 및 레티클(reticle)을 보관하는 보관 선반과, 입출고용(入出庫用) 반송(搬送) 장치를 구비한 물품 보관 설비로서,
    상기 보관 선반이, 상기 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 수납 용기를 보관하는 제1 수납부와, 상기 레티클을 수납하는 레티클 수납 용기를 보관하는 제2 수납부를 구비하고,
    상기 입출고용 반송 장치가, 상기 웨이퍼 수납 용기의 상부에 형성된 탑 플랜지를 파지(把持)하여 상기 웨이퍼 수납 용기를 현수(懸垂) 상태로 지지하는 파지부를 구비하고,
    상기 레티클 수납 용기의 상부에, 상기 입출고용 반송 장치가 상기 파지부에 의해 파지되어 상기 레티클 수납 용기를 현수 상태로 지지하기 위한 플랜지부가 형성되어 있는,
    물품 보관 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 수납 용기용의 제1 입출고부와, 상기 레티클 수납 용기용의 제2 입출고부가 별개로 설치되고,
    상기 입출고용 반송 장치가, 상기 제1 입출고부와 상기 제1 수납부 사이에서 상기 웨이퍼 수납 용기를 반송하고, 상기 제2 입출고부와 상기 제2 수납부 사이에서 상기 레티클 수납 용기를 반송하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 보관 선반이, 건물의 복수 층에 이르는 상태로 설치되고,
    상기 제1 입출고부 및 상기 제2 입출고부가, 상기 복수 층 중, 적어도 상이한 2개의 층 각각에 설치되어 있는, 물품 보관 설비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 입출고용 반송 장치가, 상기 파지부에 의해 상기 웨이퍼 수납 용기를 파지하고 있는지, 상기 파지부에 의해 상기 레티클 수납 용기를 파지하고 있는지를 판별하기 위한 용기 판별 센서를 구비하고 있는, 물품 보관 설비.
  5. 제2항 또는 제3항에 기재된 물품 보관 설비를 구비한 물품 반송 설비로서,
    제1 입출고부와 노광 처리 장치에 있어서의 웨이퍼용 반출입부 사이에서 상기 웨이퍼 수납 용기를 반송하는 제1 천정 반송차와,
    제2 입출고부와 상기 노광 처리 장치에 있어서의 레티클용 반출입부 사이에서 상기 레티클 수납 용기를 반송하는 제2 천정 반송차가 설치되고,
    상기 제1 천정 반송차의 주행 경로 및 상기 제2 천정 반송차의 주행 경로가, 적어도 일부를 상기 제1 천정 반송차 및 상기 제2 천정 반송차가 각각 주행하는 공용 주행 경로 부분으로 되도록 설정되고,
    상기 제1 천정 반송차 및 상기 제2 천정 반송차가 각각, 상기 주행 경로를 따라 천정측에 설치된 주행 레일을 주행하도록 구성되어 있는,
    물품 반송 설비.

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