KR101389783B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 물품 반송 설비에 관한 것으로서, 물품 지지체가 물품을 지지한 상태에서 상방 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 방지하고, 청정도의 저하를 억제하면서 물품을 보관한다. 물품 지지체(28)는, 고정 프레임체(29)에 대하여 이동 경로에 대한 원근 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 또한 고정 프레임체(29)으로부터 아래쪽으로 연장되는 형상으로 형성된 이동체(移動體)(30)와, 이동체(30)의 하단부로부터 원근 방향을 따라 연장되도록 설치된 탑재체(31)를 구비하고, 탑재체(31)는, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 폭 내에 있어서 상기 물품보다 협폭(狹幅)으로 이동체의 하단부로부터 원근 방향을 따라 연장되도록 설치된 접촉 탑재부(40)와, 접촉 탑재부(40)로부터 이동 경로를 따른 방향으로 연장되도록 설치되어 물품의 측면부와 맞닿는 입벽(立壁) 부분(41a)을 구비하고, 또한 이동 경로에 대한 원근 방향에 있어서 물품보다 협폭으로 형성된 이동 규제부(41)로 구성되어 있다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORTATION FACILITY}
본 발명은, 물품 지지체에 대한 물품 이송탑재 개소를 경유하는 천정 측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 물품 반송체(搬送體)가 설치되고, 상기 물품 지지체는, 천정 측에 설치된 고정 프레임체에 대하여 상기 이동 경로에 근접하는 측으로 돌출되는 물품 교환용의 돌출 위치와 상기 이동 경로로부터 이격되는 측으로 퇴피(退避)하는 퇴피 위치로 이동 가능하게 지지되고, 상기 물품 반송체는, 상기 물품 이송탑재 개소에 정지한 상태에서, 상기 돌출 위치의 상기 물품 지지체에 대하여 물품의 받아건넴 및 수취를 행하도록 구성되어 있는 물품 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송 설비는, 물품의 이송탑재 대상이 되는 물품 이송탑재용 스테이션이 바닥부 측으로 이동 경로를 따라 복수 개 설치되고, 물품 반송체는, 물품을 매단 상태로 파지(把持) 가능한 파지부를 승강시킴으로써, 스테이션 사이에서의 물품 반송을 행하는 것이다.
물품 지지체는, 스테이션에 반송하는 물품을 일시적으로 보관하기 위해 설치되어 있다. 물품 지지체는, 통상, 이동 경로의 측부 등에 설치된 고정 프레임체에 대하여 퇴피하는 퇴피 위치에 위치하고 있고, 물품 반송체의 이동 등을 방해하지 않도록 하고 있다. 물품 지지체에 물품을 보관하는 경우나 물품 지지체에 의해 보관하고 있는 물품을 반송하는 경우에, 물품 지지체를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 위치 변경시켜, 파지부에 의해 물품 지지체에 물품을 받아건네거나, 파지부에 의해 물품 지지체로부터 물품을 수취하도록 하고 있다.
이와 같은 물품 반송 설비는, 예를 들면, 청정실 내에 설치되고, 정화 공기를 천정 측으로부터 하방 측을 향해 통풍시킴으로써, 먼지가 적은 청정한 환경 하에서 물품 지지체에 의해 물품을 일시적으로 보관하도록 하고 있다. 그러므로, 고정 프레임체 등에 의해 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 크게 저하되면, 청정도가 저하되게 된다.
그래서, 종래의 물품 반송 설비에서는, 물품 지지체가, 고정 프레임체에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 또한 고정 프레임체로부터 아래쪽으로 연장된 후 원근 방향의 이동 경로에 근접하는 측으로 연장되는 좌우 한쌍의 지지암체와, 좌우 한쌍의 지지암체에 있어서 원근 방향의 이동 경로에 근접하는 측으로 연장되는 부분끼리를 연결하는 연결체를 구비하고 있다(예를 들면, 하기 특허 문헌 1 참조). 좌우 한쌍의 지지암체는, 원근 방향의 이동 경로에 근접하는 측으로 연장되는 부분이 원근 방향의 물품 전체 폭에 걸쳐 물품의 측면부와 맞닿도록, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 폭보다 큰 간격을 두고 설치되어 있다. 연결체는, 원근 방향으로 간격을 두고 복수 개 설치되어 있고, 복수 개의 연결체 각각이 물품의 저부와 맞닿도록 구성되어 있다.
삭제
종래의 물품 반송 설비에서는, 고정 프레임체는, 좌우 한쌍의 지지암체의 각각을 원근 방향으로 이동 가능하게 지지하도록 좌우 한쌍 설치하는 것만으로 된다. 따라서, 이동 경로를 따른 방향에서의 고정 프레임체의 폭을 작게 할 수 있어, 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 고정 프레임체에 의해 크게 저하되는 것을 방지할 수 있다.
일본공개특허 제2007-91463호 공보(제17면 내지 제21면, 도 16 내지 도 21)
상기 종래의 물품 반송 설비에서는, 물품 지지체가 물품을 지지한 상태에서, 좌우 한쌍의 지지암체에 있어서 원근 방향의 이동 경로에 근접하는 측으로 연장되는 부분이 원근 방향의 물품 전체 폭에 걸쳐 물품의 측면부와 맞닿는다. 이로써, 이동 경로를 따른 방향에 있어서, 지지암체가 물품의 원근 방향의 전체 폭에 걸쳐 물품의 외측으로 돌출하게 된다. 그러므로, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 측부에, 물품의 원근 방향의 전체 폭에 걸쳐 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되게 된다. 따라서, 청정도가 저하될 우려가 있다.
또한, 이동 경로를 따른 방향으로 복수 개의 물품 지지체를 설치하는 경우에는, 물품 지지체끼리의 사이에 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용하기 위한 큰 스페이스를 설치하지 않으면 되지 않는다. 따라서, 이동 경로를 따른 방향에서 물품 지지체끼리의 사이에 큰 공간이 존재하게 되어, 이동 경로를 따른 방향에서의 설치 스페이스가 커져 버린다.
본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 물품 지지체가 물품을 지지한 상태에서 상방 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 방지하고, 청정도의 저하를 억제하면서, 물품을 보관할 수 있는 물품 반송 설비를 제공하는 점에 있다.
이 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 물품 반송 설비의 제1 특징적 구성은, 물품 지지체에 대한 물품 이송탑재 개소를 경유하는 천정 측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 물품 반송체가 설치되고, 상기 물품 지지체는, 천정 측에 설치된 고정 프레임체에 대하여 상기 이동 경로에 근접하는 측으로 돌출되는 물품 교환용의 돌출 위치와 상기 이동 경로로부터 이격되는 측으로 퇴피하는 퇴피 위치로 이동 가능하게 지지되고, 상기 물품 반송체는, 상기 물품 이송탑재 개소에 정지한 상태에서, 상기 돌출 위치의 상기 물품 지지체에 대하여 물품의 받아건넴 및 수취를 행하도록 구성되어 있는 물품 반송 설비에 있어서,
상기 물품 지지체는, 상기 고정 프레임체에 대하여 상기 이동 경로에 대한 원근 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 또한 상기 고정 프레임체으로부터 아래쪽으로 연장되는 형상으로 형성된 이동체(移動體)와, 상기 이동체의 하단부로부터 상기 원근 방향을 따라 연장되도록 설치된 탑재체를 구비하고, 상기 탑재체는, 상기 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 폭 내의 좁은 폭, 즉 협폭(狹幅)으로 상기 이동체의 하단부로부터 상기 원근 방향을 따라 연장되도록 설치된 접촉 탑재부와, 상기 접촉 탑재부로부터 상기 이동 경로를 따른 방향으로 연장되도록 설치되어 물품의 측면부와 맞닿는 입벽(立壁) 부분을 구비하고, 또한 상기 이동 경로에 대한 원근 방향에 있어서 물품보다 협폭으로 형성된 이동 규제부로 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 물품 지지체는, 원근 방향으로 이동 가능하고, 또한 하방 측으로 연장되는 형상인 이동체와, 그 이동체의 하단부로부터 원근 방향을 따라 연장되는 탑재체를 구비하고 있으므로, 고정 프레임체로서는, 이동체를 원근 방향으로 이동 가능하게 지지하는 것만의 구성을 구비하면 된다. 이로써, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 고정 프레임체의 폭을 작게 할 수 있어, 고정 프레임체에 의해 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
탑재체는, 접촉 탑재부에 의해 물품의 저부와 맞닿아 물품을 탑재 지지할 수 있고, 또한 이동 규제부에 있어서의 입벽 부분이 이동 경로를 따른 방향의 물품의 측면부와 맞닿아 이동 경로를 따른 방향에서의 물품의 이동을 규제할 수 있다. 접촉 탑재부는 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 폭 내의 협폭이며, 이동 규제부는 원근 방향에 있어서 물품보다 협폭이다. 이로써, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 외측으로 돌출되는 부분은, 원근 방향으로 물품보다 폭이 좁은 이동 규제부만으로 되고, 원근 방향에 있어서 이동 규제부의 양 측부에 의해 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용할 수 있다. 또한, 접촉 탑재부는, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 폭 내의 협폭이므로, 물품 지지체의 경량화 및 비용의 저감을 도모할 수 있다.
이상으로부터, 물품 지지체가 물품을 지지한 상태에서 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 방지하고, 청정도의 저하를 억제하면서 물품을 보관할 수 있고, 또한 물품 지지체의 경량화 및 비용의 저감을 도모할 수 있는 물품 반송 설비를 실현할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 제2 특징적 구성은, 상기 물품 지지체는, 상기 이동 경로를 따른 방향에 있어서 인접하는 상태로 복수 개 설치되어 있는 점에 있다.
즉, 전술한 바와 같은, 물품 지지체가 물품을 지지한 상태에서, 이동 경로를 따른 방향의 물품 측부에 있어서, 원근 방향에서의 이동 규제부의 양 측부에 의해 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용할 수 있으므로, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품 지지체끼리의 사이에 있어서 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용하는 스페이스를 매우 작게 할 수 있다. 이로써, 이동 경로를 따른 방향에서 물품 지지체끼리의 사이의 간격을 작게 하면서, 복수 개의 물품 지지체를 설치할 수 있다. 따라서, 이동 경로를 따른 방향으로 작은 스페이스에 복수 개의 물품 지지체를 효율적으로 설치할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 제3 특징적 구성은, 상기 접촉 탑재부는, 상기 이동 경로에 대한 원근 방향에 있어서 물품보다 협폭으로 형성되고, 상기 접촉 탑재부로부터 상기 원근 방향으로 연장되도록 설치되어 물품의 측면부와 맞닿는 입벽 부분을 구비하고, 또한 상기 이동 경로를 따른 방향에 있어서 상기 접촉 탑재부보다 협폭으로 형성된 원근 방향 이동 규제부가 설치되어 있는 점에 있다.
즉, 접촉 탑재부는, 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 폭 내의 협폭일뿐만 아니라, 원근 방향에 있어서도 물품보다 협폭으로 형성되어 있으므로, 물품 지지체에 의해 물품을 지지하고 있지 않은 상태에서, 원근 방향의 접촉 탑재부와 이동 경로와의 사이에 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용하는 스페이스를 설치할 수 있다. 이로써, 물품 지지체에 의해 물품을 지지하고 있지 않은 상태에서도 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 접촉 탑재부를 이동 경로를 따른 방향에 있어서 물품의 폭 내의 협폭으로 함으로써, 물품의 저부와 맞닿는 부분이 작아지지만, 원근 방향 이동 규제부에 있어서의 입벽 부분이 원근 방향의 물품의 측면부와 맞닿아 원근 방향에서의 물품의 이동을 규제할 수 있다. 따라서, 물품 지지체에 의해 물품을 지지하고 있지 않은 상태에서 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 방지하면서, 물품 지지체에 의해 물품을 지지할 때는 물품을 안정적으로 지지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 제4 특징적 구성은, 상기 접촉 탑재부에는, 복수 개의 구멍부가 형성되어 있는 점에 있다.
즉, 물품 지지체에 의해 물품을 지지하고 있지 않은 상태에서 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 접촉 탑재부에 있어서의 복수 개의 구멍부에 의해 허용할 수 있다. 따라서, 물품 지지체에 의해 물품을 지지하고 있지 않은 상태에서 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 정확하게 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 제5 특징적 구성은, 상기 고정 프레임체는, 상기 퇴피 위치의 상기 물품 지지체와 상기 이동 경로를 따른 방향 및 상기 원근 방향에 있어서 중복되도록 설치되어 있는 점에 있다.
즉, 고정 프레임체가 수평 방향에 있어서 퇴피 위치의 물품 지지체와 중복되도록 설치되어 있으므로, 물품 지지체와는 별개로 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되지 않아, 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 정확하게 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 제6 특징적 구성은, 상기 원근 방향으로 간격을 둔 한쌍의 고정 프레임체 지지용의 지지 레일체가 상기 이동 경로를 따르도록 천정 측에 설치되고, 상기 고정 프레임체는, 상기 한쌍의 지지 레일체의 각각에서의 캐치(catch) 지지부에 의해 캐치 지지된 상태로 상기 한쌍의 지지 레일체에 매달려 지지되어 있는 점에 있다.
즉, 물품 지지체를 천정 측에 설치하는데 있어서, 단지, 한쌍의 지지 레일체의 각각에서의 캐치 지지부에 의해 캐치 지지되는 상태로 고정 프레임체를 고정시키는 것만으로, 고정 프레임체를 천정 측에 매달려 지지되는 상태로 설치할 수 있다. 이로써, 물품 지지체의 설치 작업의 간소화를 도모할 수 있다. 한쌍의 지지 레일체는, 이동 경로를 따르도록 천정 측에 설치되어 있으므로, 복수 개의 물품 지지체를 이동 경로를 따른 방향으로 인접하는 상태로 설치하는 경우에, 복수 개의 물품 지지체의 각각에서의 고정 프레임체를 1개씩 천정 측에 매달아 지지하도록 설치하지 않아도, 단지, 복수 개의 물품 지지체의 각각에서의 고정 프레임체를 한쌍의 지지 레일체에 매달아 지지하도록 설치하는 것만으로 된다. 따라서, 복수 개의 물품 지지체를 이동 경로를 따른 방향으로 인접하는 상태로 설치하는 경우에, 설치 작업의 간소화라는 효과가 큰 것으로 된다.
본 발명은, 물품 지지체에 대한 물품 이송탑재 개소를 경유하는 천정 측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 물품 반송체가 설치되어 있는 물품 반송 설비에 바람직하게 이용할 수 있다.
도 1은 물품 반송 설비의 평면도이다.
도 2는 이동차와 스테이션과의 측면도이다.
도 3은 이동차의 측면도이다.
도 4는 이동차의 종단 정면도이다.
도 5는 복수 개의 물품 지지체를 설치했을 때의 사시도이다.
도 6은 물품 지지체의 사시도이다.
도 7은 물품 지지체의 측면의 사시도이다.
도 8은 물품 지지체의 분해시도이다.
도 9는 퇴피 위치에서의 물품 지지체의 평면도이다.
도 10은 돌출 위치에서의 물품 지지체의 평면도이다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 실시예에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
이 물품 반송 설비는, 예를 들면, 정화 공기를 천정 측으로부터 하방 측으로 통풍시키는 다운플로우식(downflow type)의 정화 공기 통풍 수단을 구비한 청정실 내에 설치되어 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 복수 개의 물품 처리부(1)를 경유하는 상태로 안내 레일(2)(이동 경로에 상당함)이 설치되고, 이 안내 레일(2)을 따라 이동 가능한 이동차(3)(물품 반송체에 상당함)가 설치되어 있다. 이동차(3)가, 반도체 기판을 수납한 용기(5)(물품에 상당함)를 복수 개의 물품 처리부(1) 사이에서 반송하도록 구성되어 있다. 물품 처리부(1)에서는, 반도체 기판의 제조 도중에서의 반제품 등에 대하여 소정의 처리를 행하도록 구성되어 있다.
이동차(3)는, 용기(5)를 매단 상태로 파지하는 파지부(4)를 승강 가능하게 구비하고 있다. 파지부(4)는, 이동차(3)가 정지한 상태에서, 와이어(6)를 권취(卷取) 또는 권출(卷出) 즉 내보냄으로써, 이동차(3)에 근접 위치시키는 상승 위치와 이동차(3)보다 하방 측에 설치된 물품 이송탑재용 스테이션(7)과의 사이에서 물품 이송탑재를 행하는 하강 위치에 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 도 2에서는, 파지부(4)가 상승 위치로부터 하강 위치로 하강하는 경우를 상부 측에 나타내고, 파지부(4)를 하강 위치로부터 상승 위치로 상승시키는 경우를 하부 측에 나타내고 있다.
스테이션(7)은, 용기(5)를 탑재 지지하는 바닥부에 설치된 탑재대에 의해 구성되어 있다. 스테이션(7)은, 물품 처리부(1)에 의해 소정의 처리를 행하는 용기(5)를 이동차(3)로부터 수취하거나 또는 물품 처리부(1)에 의해 소정의 처리를 행한 용기(5)를 이동차(3)에 받아건네기 위한 것이며, 복수 개의 물품 처리부(1)의 각각에 대응하여 배치되어 있다.
이동차(3)는, 파지부(4)를 상승 위치에 위치시킨 상태에서 안내 레일(2)을 따라 이동하고, 복수 개의 스테이션(7) 중, 이송탑재 대상의 스테이션(7)에 대응하는 정지 위치에 정지한 상태에서 파지부(4)를 상승 위치와 하강 위치와의 사이에서 승강시킴으로써, 스테이션(7)과의 사이에서 용기(5)의 교환을 행하도록 구성되어 있다.
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안내 레일(2)은, 도 2~도 4에 나타낸 바와 같이, 안내 레일용 브래킷(8)에 의해 천정부에 고정 상태로 설치되어 있다. 이동차(3)는, 안내 레일(2)의 내측 공간부에 위치하는 상부 차체(9)와 안내 레일(2)의 아래쪽에 위치하는 하부 차체(12)를 전후의 연결 로드(10, 11)에 의해 연결하여 구성되어 있다.
상부 차체(9)는, 안내 레일(2)의 내측 공간부에 설치되는 마그넷(13)에 근접 대향시키는 상태에서 1차 코일(14)을 구비하고 있다. 상부 차체(9)는, 마그넷(13)과 1차 코일(14)로 이루어지는 리니어 모터에 의해 추진력을 얻는 리니어 모터식이며, 이동차(3)는, 이 추진력에 의해 안내 레일(2)을 따라 이동하도록 구성되어 있다. 안내 레일(2)의 내측 공간부에는, 상부 차체(9)에 구비한 주행륜(15)에 대한 주행 안내면(16)과 상부 차체(9)에 구비한 진동 방지륜(17)에 대한 진동 방지 안내면(18)이 설치되어 있다.
안내 레일(2)에는 급전선(19)이 설치되고, 상부 차체(9)에는 수전(受電) 코일(20)이 설치되고, 교류 전류의 통전에 의해 급전선(19)에 자계를 발생시키고, 이 자계에 의해 이동차(3) 측에서의 필요 전력을 수전 코일(20)에 발생시켜, 무접촉 상태에서 급전을 행하도록 구성되어 있다.
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이 실시예에서는, 상부 차체(9)를 구동시키는 방식으로서, 리니어 모터에 의해 추진력을 얻어 구동시키는 리니어 모터식을 예시하고 있지만, 예를 들면, 주행륜(15)을 회전 구동시키는 전동 모터를 설치하고, 이 전동 모터에 의해 주행륜(15)을 회전 구동시킴으로써 상부 차체(9)를 구동시키는 방식을 이용할 수도 있다.
하부 차체(12)는, 이동차(3)의 전후 방향으로 연장되는 전후 프레임체(21), 전후 프레임체(21)의 전단 개소 및 후단 개소로부터 하방 측으로 연장되는 전후 한쌍의 세로 프레임체(22)로 구성되어 있다. 하부 차체(12)는, 측면에서 볼 때, 하방 측이 개방된 ㄷ자형으로 형성되고, 전후 방향의 중앙부에 파지부(4)를 배치하고 있다.
파지부(4)는, 상부 차체(9)에 대하여 승강 가능한 승강체(23)에 설치되고, 이 승강체(23)는, 전후 프레임체(21)에 설치된 승강 조작 기구(24)에 의해 승강 조작 가능하게 지지되어 있다.
승강 조작 기구(24)는, 드럼 구동용 모터(25)에 의해 회동 가능한 회전 드럼(26)에 4개의 와이어(6)를 권취하여 구성되어 있다. 그리고, 승강 조작 기구(24)는, 회전 드럼(26)을 정역 회전시켜 4개의 와이어(6)를 동시에 권취 및 권출함으로써, 승강체(23)를 대략 수평 자세로 유지하면서 승강 조작하도록 구성되어 있다.
이 실시예에서는, 회전 드럼(26)에 와이어(6)를 권취한 예를 나타내고 있지만, 예를 들면, 회전 드럼(26)에 벨트를 감아 승강체(23)를 승강 조작할 수도 있고, 와이어(6)에 한정되지 않고, 벨트를 사용할 수도 있다.
파지부(4)에는, 용기(5)의 플랜지(5a)를 파지하는 한쌍의 파지구(4a)가 설치되어 있다. 그리고, 한쌍의 파지구(4a)가 파지 동작용 모터(27)의 정역 회전에 의해 서로 가까워지는 방향으로 요동(搖動)하여 플랜지(5a)를 파지하는 파지 자세(도 3 중 실선)와, 한쌍의 파지구(4a)가 서로 이격되는 방향으로 요동하여 파지를 해제하는 해제 자세(도 3 중 점선)로 전환 가능하게 구성되어 있다. 파지부(4)는, 세로축심 주위에서 선회 가능하게 승강체(23)에 설치되고, 도시는 생략하지만, 파지부(4)를 선회 조작하는 선회용 모터가 설치되어 있다.
스테이션(7)에 반송하는 용기(5)를 일시적으로 보관하기 위해, 안내 레일(2)의 측부에는, 도 1 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 안내 레일(2)을 대하여 좌우 양측에 물품 보관용의 물품 지지체(28)가 설치되어 있다. 그리고, 물품 지지체(28)는, 안내 레일(2)을 따라 인접하여 배열된 상태로 복수 개 설치되어 있다.
이하, 도 5~도 10을 참조하여, 물품 지지체(28)에 대하여 설명한다.
복수 개의 물품 지지체(28)의 각각은, 그에 대한 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)의 파지부(4)로부터의 용기(5)의 수취 및 파지부(4)로의 용기(5)의 받아건넴을 행하는 안내 레일(2)에 근접하는 측으로 돌출되는 물품 교환용의 돌출 위치(도 10 참조)와 안내 레일(2)로부터 이격되는 측으로 퇴피하는 퇴피 위치(도 9 참조)로 위치 변경 가능하게 설치되어 있다.
이하, 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)의 전후 방향, 즉 안내 레일(2)을 따른 방향을 「전후 방향」이라 하고, 또한 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)에 대한 원근 방향을 「원근 방향」이라 하여 설명한다.
물품 이송탑재 개소는, 복수 개의 물품 지지체(28)의 각각에 대응하여 정해져 있다. 전후 방향에 있어서 물품 지지체(28)의 폭은 이동차(3)에 있어서의 전후 한쌍의 세로 프레임체(22)의 간격보다 작아지도록 형성되어 있다. 따라서, 물품 이송탑재 개소에 이동차(3)가 정지한 상태에서, 이동차(3)에 있어서의 전후 한쌍의 세로 프레임체(22) 사이에 물품 지지체(28)를 삽입 및 인출 가능하도록 구성되어 있다.
퇴피 위치는, 물품 지지체(28)가 퇴피 위치에 위치할 때, 물품 지지체(28) 및 물품 지지체(28)가 탑재 지지하는 용기(5)가 이동차(3)의 이동이나 파지부(4)의 승강의 방해가 되지 않도록, 안내 레일(2)의 존재 개소로부터 원근 방향으로 벗어난 안내 레일(2)의 측부로 정해져 있다.
돌출 위치는, 물품 지지체(28)가 돌출 위치에 위치할 때, 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)에 있어서 상승 위치로 근접하는 위치에 위치하는 파지부(4)와의 사이에서 용기(5)를 교환할 수 있도록, 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)에 있어서의 파지부(4)와 수평 방향에 있어서 중복되는 위치로 정해져 있다.
물품 지지체(28)는, 도 5~도 8에 나타낸 바와 같이, 퇴피 위치에 대응하여 천정 측에 설치된 고정 프레임체(29)에 대하여 돌출 위치와 퇴피 위치로 이동 가능하게 지지되어 있다. 물품 지지체(28)는, 고정 프레임체(29)에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 또한 고정 프레임체(29)로부터 아래쪽으로 연장되는 형상으로 형성된 이동체(30)와, 이동체(30)의 하단부로부터 원근 방향의 안내 레일(2)에 근접하는 측으로 연장되도록 설치된 탑재체(31)를 구비하고 있다.
고정 프레임체(29)는, 원근 방향으로 간격을 둔 한쌍의 고정 프레임체 지지용의 지지 레일체(32)에 이르는 상태로 매달려 지지되어 있다. 고정 프레임체(29)는, 매달림, 즉 현수(懸垂) 지지부(33)로서 원근 방향의 한쪽 및 다른 쪽의 각각에 있어서 고정 프레임체(29)로부터 위쪽으로 연장되는 입벽 부분(33a)과, 입벽 부분(33a)의 상단부끼리를 연결하는 수평 연결 부분(33b)을 구비하고 있다. 한쌍의 지지 레일체(32)의 각각에는, 수평 연결 부분(33b)에 있어서 원근 방향의 일단부 및 타단부의 각각을 캐치하여 지지하는 캐치 지지부(32a)가 설치되어 있다. 고정 프레임체(29)는, 한쌍의 지지 레일체(32)의 각각에서의 캐치 지지부(32a)에 의해 캐치 지지된 상태로 고정함으로써, 한쌍의 지지 레일체(32)에 매달려 지지되도록 구성되어 있다.
고정 프레임체(29)를 천정 측에 매달아 지지하는 구성은, 전술한 구성에 한정되지 않고, 적절히 변경할 수 있다. 예를 들면, 고정 프레임체(29)의 상단부에 볼트 장착용 홈부를 형성하고, 이 볼트 장착용 홈부에 현수 지지체의 하단부를 볼트 고정하고, 현수 지지체의 상단부를 천정부에 볼트 고정함으로써, 고정 프레임체(29)를 천정 측에 매달아 지지할 수 있다.
이동체(30)는, 위쪽보다 아래쪽이 원근 방향에서의 폭이 협폭이 되는 상태로 아래쪽으로 연장되는 형상으로 형성된 좌우 한쌍의 지지암체(34)와, 좌우 한쌍의 지지암체(34)의 상단부끼리를 연결하는 상부 연결체(35)와, 좌우 한쌍의 지지암체(34)의 상단부로부터 아래쪽으로 연장되는 부분끼리를 연결하는 중간 연결체(36)로 구성되어 있다. 지지암체(34) 및 중간 연결체(36)에는, 복수 개의 구멍부가 형성되어 있고, 경량화가 도모되어 있다. 상부 연결체(35)에는, 전후 방향의 중앙부에 위쪽으로 돌출하는 돌출부(37)가 설치되고, 전후 방향의 일단부에 봉형(棒形)의 연계용(連繫用) 피조작체(39)가 세워진 상태로 설치되어 있다. 돌출부(37)에는, 그 측면부에 수평 축심 주위에서 회전 가능하게 지지된 좌우 한쌍의 제1 가이드 롤러(38a)가 원근 방향으로 간격을 두고 2세트 설치되고, 또한 그 상면부에 상하 축심 주위에서 회전 가능하게 지지된 좌우 한쌍의 제2 가이드 롤러(38b)가 원근 방향으로 간격을 두고 2세트 설치되어 있다.
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고정 프레임체(29)는, 아래쪽으로부터 이동체(30)의 돌출부(37)를 내부에 삽입한 상태에서 돌출부(37)의 원근 방향에서의 이동을 허용하도록 하방을 개방시킨 통형으로 형성되어 있다. 고정 프레임체(29)의 하방은, 전후 방향의 전체 길이에 걸쳐 개방되어 있는 것은 아니고, 그 중앙부만 개방되어 있고, 양쪽의 측벽부(29a)로부터 수평 방향으로 연장되는 저부(29b)가 설치되어 있다. 고정 프레임체(29)의 저부(29b)는, 고정 프레임체(29)의 내부에 삽입된 돌출부(37)에 지지된 제1 가이드 롤러(38a)를 원근 방향으로 안내하도록 구성되어 있다. 고정 프레임체(29)의 상부에는, 하방 측으로 돌출되는 안내 레일부(29c)가 원근 방향을 따라 설치되어 있다. 이 안내 레일부(29c)는, 고정 프레임체(29)의 내부에 삽입된 돌출부(37)에 지지된 제2 가이드 롤러(38b)를 원근 방향으로 안내하도록 구성되어 있다. 이로써, 이동체(30)는, 고정 프레임체(29)에 대하여 원근 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다.
탑재체(31)는, 전후 방향에 있어서 용기(5)의 폭 내의 협폭으로 이동체(30)의 하단부로부터 원근 방향의 안내 레일(2)에 근접하는 측으로 연장되도록 설치된 접촉 탑재부(40)와, 접촉 탑재부(40)로부터 전후 방향으로 연장되도록 설치되어 용기(5)의 측면부와 맞닿는 입벽 부분(41a)을 구비하고, 또한 원근 방향에 있어서 용기(5)보다 협폭으로 형성된 이동 규제부(41)로 구성되어 있다. 이동 규제부(41)는, 접촉 탑재부(40)에 있어서 용기(5)의 원근 방향의 중앙부에 상당하는 개소로부터 전후 방향의 일단측 및 타단측으로 연장되도록 한쌍 설치되어 있다.
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이로써, 물품 지지체(28)에 의해 용기(5)를 지지한 상태에서, 전후 방향으로 용기(5)의 외측으로 돌출되는 부분은, 이동 규제부(41)에 있어서의 입벽 부분(41a)만으로 되고, 그 입벽 부분(41a)의 양쪽에서 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용할 수 있다. 따라서, 물품 지지체(28)가 용기(5)를 지지한 상태에서 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되는 것을 방지할 수 있어, 먼지가 적은 청정한 환경 하에서 용기(5)를 보관할 수 있다. 이와 같이, 입벽 부분(41a)의 양측에 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용할 수 있는 스페이스를 설치함으로써, 도 1에 나타낸 바와 같이, 전후 방향에 있어서 물품 지지체(28)끼리의 사이에 있어서 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용하는 스페이스를 매우 작게 할 수 있다. 이로써, 전후 방향에서 물품 지지체(28)끼리의 사이의 간격을 작게 하면서, 복수 개의 물품 지지체(28)를 설치할 수 있다. 따라서, 전후 방향으로 작은 스페이스에 복수 개의 물품 지지체(28)를 효율적으로 설치할 수 있다.
또한, 접촉 탑재부(40)는, 전후 방향에 있어서 용기(5)의 중앙부에 설치되어 있고, 용기(5)의 전후 방향의 중앙부와 맞닿아 용기(5)를 탑재 지지할 수 있고, 용기(5)를 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 이동 규제부(41)에 있어서의 입벽 부분(41a)이 용기(5)의 측면부와 맞닿아, 전후 방향에서의 용기(5)의 이동을 규제할 수 있다.
접촉 탑재부(40)는, 원근 방향에 있어서 용기(5)보다 협폭으로 형성되어 있고, 원근 방향에 있어서 안내 레일(2)에 근접하는 측에 중공(中空) 공간을 형성하도록 구성되어 있다. 이로써, 물품 지지체(38)가 용기(5)를 지지하고 있지 않은 상태에서도, 중공 공간에 의해 천정 측으로부터 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용할 수 있어, 물품 지지체(28) 자체를 먼지가 적은 청정한 환경으로 유지해 둘 수 있다.
접촉 탑재부(40)에는, 접촉 탑재부(40)로부터 원근 방향으로 연장되도록 설치되어 용기(5)의 측면부와 맞닿는 입벽 부분(42a)을 구비하고, 또한 전후 방향에 있어서 접촉 탑재부(40)보다 협폭으로 된 원근 방향 이동 규제부(42)가 설치되어 있다. 원근 방향 이동 규제부(42)는, 전후 방향에 있어서 접촉 탑재부(40)의 양 단부에 설치되어 있다. 이로써, 원근 방향에서의 용기(5)의 이동을 규제하여 용기(5)를 탑재 지지할 수 있다. 접촉 탑재부(40)에는, 용기(5)를 위치 결정한 상태로 탑재하기 위해 복수 개의 위치결정핀 W가 설치되어 있다. 위치결정핀 W의 설치 개소는, 평면에서 볼 때 삼각형의 각각의 모서리부로 되도록 설치되어 있다. 접촉 탑재부(40)에는, 복수 개의 구멍부가 형성되어 있고, 물품 지지체(38)가 용기(5)를 지지하고 있지 않은 상태에서 하방 측으로의 정화 공기의 흐름을 허용하는 동시에, 경량화가 도모되어 있다.
이동체(30)와 접촉 탑재부(40)는, 원근 방향으로 연속되는 상태로 설치되고, 또한 전후 방향에서의 폭이 같거나 또는 대략 같은 폭으로 되도록 구성되어 있다. 고정 프레임체(29)는, 전후 방향에 있어서 이동체(30)의 중앙부에 형성되어 있고, 이동체(30)를 양호한 밸런스로 안정된 상태로 원근 방향으로 이동 가능하게 지지할 수 있다. 고정 프레임체(29)는, 퇴피 위치의 물품 지지체(28)와 전후 방향 및 원근 방향에 있어서 중복되도록 설치되고, 또한 전후 방향에 있어서 접촉 탑재부(40)보다 협폭으로 형성되어 있다. 이로써, 수평 방향에 있어서 물품 지지체(28)와는 상이한 개소에서, 고정 프레임체(29)에 의해 하방 측으로의 정화 공기의 흐름이 저하되지 않는다.
고정 프레임체(29)에는, 원근 방향에 있어서 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)에 근접하는 근접 위치(도 9 참조)와 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)로부터 이격되는 이격 위치(도 10 참조)로 이동 가능하게 지지된 피조작체(43)가 설치되어 있다. 피조작체(43)는, 근접 위치에서는 물품 지지체(28)를 퇴피 위치로 조작하고, 또한 이격 위치에서는 물품 지지체(28)를 돌출 위치로 조작하도록, 물품 지지체(28)와 연계되어 있다.
피조작체(43)는, 그 길이 방향의 중앙부가 고정 프레임체(29)의 상부에 설치된 ㄷ자형의 기체(基體)(44)에 축지지 연결되고, 그 연결 개소인 제1 요동 축심 P1 주위로 요동 가능하게 설치되어 있다. 피조작체(43)는, 근접 위치에 위치하는 상태에서, 제1 요동 축심 P1으로부터 이동차(3)에 근접하는 측으로 연장되는 제1 피조작 부분(43a)과 제1 요동 축심 P1으로부터 이동차(3)로부터 이격되는 쪽으로 연장되는 제2 피조작 부분(43b)을 상하에 단차를 형성하여 일체로 형성되어 있다.
피조작체(43)는, 제1 요동 축심 P1 주위에서의 요동에 의해 근접 위치와 이격 위치로 전환 가능하고, 또한 근접 위치(도 9 참조)에 있어서는 제1 피조작 부분(43a)이 제1 요동 축심 P1보다 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)에 근접하는 자세로 되도록 설치되어 있다. 피조작체(43)의 제1 피조작 부분(43a)에는, 피조작체(43)가 근접 위치에 위치하는 상태에서, 원근 방향에 대하여 교차하는 방향을 따라 제1 요동 축심 P1 측으로 연장되는 홈부(45)가 형성되어 있다. 이 홈부(45)는, 물품 이송탑재 개소에 정지한 이동차(3)에 근접하는 측의 선단을 원근 방향을 따라 개구된 형상으로 형성되어 있다.
피조작체(43)가 근접 위치에 위치하면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 물품 지지체(28)를 퇴피 위치에 위치시키고, 또한 피조작체(43)가 이격 위치에 위치하면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 물품 지지체(28)를 돌출 위치에 위치시키도록, 피조작체(43)의 움직임과 물품 지지체(28)의 움직임을 연계시키는 연계 기구(46)가 설치되어 있다.
연계 기구(46)는, 상하 축심 주위로 요동 가능한 제1 링크암(47), 제2 링크암(48) 및 제3 링크암(49)의 3개의 링크암으로 구성되어 있다. 제1 링크암(47)은, 일단부가 피조작체(43)의 제2 피조작 부분(43b)의 일단부에 축지지 연결되고, 또한 타단부가 제2 링크암(48)의 길이 방향의 도중 부분에 축지지 연결되어 있다. 제2 링크암(48)은, 일단부가 기체(44)에 축지지 연결되고, 또한 타단부가 제3 링크암(49)의 일단부에 축지지 연결되어 있다. 제3 링크암(49)은, 타단부가 고정 프레임체(29)에 세워 설치된 연계용 피조작체(39)에 축지지 연결되어 있다.
도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 이동차(3)에는, 물품 지지체(28)를 퇴피 위치와 돌출 위치로 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)이 설치되어 있다. 조작 수단(50)은, 이동차(3)에 고정되어 원근 방향으로 장척형(長尺形)의 베이스(51)와, 그 베이스(51)에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하게 설치된 장척형의 조작체(52)와, 그 조작체(52)의 선단부의 하면 측에 설치된 걸어맞춤 롤러(53)로 구성되어 있다. 조작 수단(50)은, 도시하지 않은 액츄에이터의 작동에 의해 베이스(51)에 대하여 조작체(52)를 출퇴(出退)하게 하여, 걸어맞춤 롤러(53)를 원근 방향으로 이동시키는 돌출 작동 및 퇴피 작동을 행하도록 구성되어 있다. 또한, 이동차(3)에는, 이동차(3)의 주행 방향에 있어서 우측에 위치하는 물품 지지체(28)를 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)과, 이동차(3)의 주행 방향에 있어서 좌측에 위치하는 물품 지지체(28)를 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)이 설치되어 있다.
걸어맞춤 롤러(53)는, 전후 방향에 있어서 피조작체(43)의 홈부(45)의 폭과 같거나 또는 그 폭보다 작은 직경으로 형성되어 있다. 이로써, 걸어맞춤 롤러(53)가, 원근 방향에서의 이동에 의해 피조작체(43)의 홈부(45)에 걸거나 분리 가능하게 구성되어 있다. 조작 수단(50)이, 돌출 작동에 의해 걸어맞춤 롤러(53)를 홈부(45)에 걸어맞추어 피조작체(43)를 근접 위치로부터 이격 위치로 푸시(push) 조작하고, 또한 퇴피 작동에 의해 걸어맞춤 롤러(53)를 홈부(45)에 걸어맞추어 피조작체(43)를 이격 위치로부터 근접 위치로 풀(pull) 조작하고, 그 후 걸어맞춤 롤러(53)를 홈부(45)로부터 이탈시키는 푸시풀식(push-pull type)으로 구성되어 있다.
조작 수단(50)이 돌출 작동에 의해 걸어맞춤 롤러(53)에 의해 피조작체(43)를 근접 위치로부터 이격 위치로 조작하면, 피조작체(43)가 이격 위치에 위치함으로써 물품 지지체(28)를 돌출 위치로 조작하여, 물품 지지체(28)를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 위치 변경시킨다. 반대로, 조작 수단(50)이 퇴피 작동에 의해 걸어맞춤 롤러(53)에 의해 피조작체(43)를 이격 위치로부터 근접 위치로 조작하면, 피조작체(43)가 근접 위치에 위치함으로써 물품 지지체(28)를 퇴피 위치로 조작하여, 물품 지지체(28)를 돌출 위치로부터 퇴피 위치로 위치 변경시킨다.
물품 지지체(28)를 퇴피 위치와 돌출 위치로 위치 변경시킬 때의 움직임에 대하여 설명한다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 피조작체(43)가 근접 위치에 위치하면, 홈부(45)의 개구 부분이 원근 방향으로 개구되어 있으므로, 조작 수단(50)이 돌출 작동을 행함으로써, 걸어맞춤 롤러(53)가 원근 방향에 있어서 이동차(3)로부터 돌출하는 측으로 이동하여 홈부(45)의 개구로부터 홈부(45)에 끼워넣어져 걸어맞추어진다. 그리고, 걸어맞춤 롤러(53)가 홈부(45)에 걸어맞추어진 상태에서 원근 방향에 있어서 이동차(3)로부터 돌출하는 측으로 이동함으로써, 걸어맞춤 롤러(53)가 홈부(45)의 측벽부를 가압하면서 이동하여 피조작체(43)를 근접 위치로부터 이격 위치로 푸시 조작한다. 피조작체(43)가 근접 위치로부터 이격 위치로 요동하면, 제1 링크암(47), 제2 링크암(48), 및 제3 링크암(49)가 순차적으로 요동하여 연계용 피조작체(39)를 이동차(3)에 근접하는 측으로 이동시키게 된다. 따라서, 연계용 피조작체(39)에 의한 이동차(3)에 근접하는 측으로의 이동에 의해 이동체(30)를 슬라이드 이동시키고, 도 10에 나타낸 바와 같이, 물품 지지체(28)가 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 위치 변경된다.
도 10에 나타낸 바와 같이, 피조작체(43)가 이격 위치에 위치할 때, 조작 수단(50)이 퇴피 작동을 행하면, 걸어맞춤 롤러(53)가 홈부(45)에 걸어맞추어진 상태로 이동차(3)에 근접하는 측으로 이동하게 되어, 걸어맞춤 롤러(53)가 홈부(45)의 측벽부를 가압하면서 이동하여 피조작체(43)를 이격 위치로부터 근접 위치로 풀 조작한다. 피조작체(43)가 이격 위치로부터 근접 위치로 요동하면, 제1 링크암(47), 제2 링크암(48), 및 제3 링크암(49)이 순차적으로 요동하여 연계용 피조작체(39)를 이동차(3)로부터 이격되는 쪽으로 이동시키게 된다. 따라서, 연계용 피조작체(39)에 의한 이동차(3)로부터 이격되는 측으로의 이동에 의해 이동체(30)를 슬라이드 이동시켜, 물품 지지체(28)가 물품 교환용 위치로부터 물품 보관용 위치로 위치 변경된다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 피조작체(43)가 근접 위치에 위치하면, 홈부(45)의 개구 부분이 원근 방향으로 개구되어 있으므로, 걸어맞춤 롤러(53)가 이동차(3)에 근접하는 측으로 이동함으로써, 걸어맞춤 롤러(53)가 홈부(45)를 이탈하여 이동차(3)로 퇴피한다.
이동차(3)에는, 이동차(3)의 동작을 제어하는 대차용(臺車用) 제어부가 설치되어 있다. 그리고, 대차용 제어부는, 물품 반송 설비 전체의 동작을 관리하는 관리용 컴퓨터로부터의 지령, 및 이동차(3)에 설치된 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 이동차(3)의 이동 및 파지부(4)의 승강 작동을 제어하는 동시에, 파지 동작용 모터(27) 및 조작 수단(50)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
예를 들면, 관리용 컴퓨터로부터, 복수 개의 스테이션(7) 중에서 반송원(搬送元) 및 반송선(搬送先)의 스테이션(7)을 특정한 상태에서 반송원의 스테이션(7)으로부터 반송선의 스테이션(7)에 용기(5)를 반송하는 반송 지령이 지령된 경우에는, 대차용 제어부가, 반송원의 스테이션(7)으로부터 용기(5)를 수취하고, 반송선의 스테이션(7)에 용기(5)를 언로드하기 위해, 이동차(3)의 동작을 제어하도록 구성되어 있다.
반송원의 스테이션(7)으로부터 용기(5)를 수취하는 경우에는, 먼저, 대차용 제어부는, 반송원의 스테이션(7)에 대응하는 정지 위치로 이동차(3)를 이동시키기 위해, 이동차(3)의 이동을 제어한다. 다음에, 대차용 제어부는, 반송원의 스테이션(7)에 대응하는 정지 위치에서 이동차(3)를 정지시킨 상태에서, 상승 위치로부터 하강 위치로 파지부(4)를 하강시킬 수 있도록, 파지부(4)의 승강 작동을 제어한다. 그리고, 대차용 제어부는, 파지부(4)가 하강 위치에 위치하면, 파지 동작용 모터(27)를 작동시켜 한쌍의 파지구(4a)를 파지 자세로 전환하고, 용기(5)의 플랜지(5a)를 한쌍의 파지구(4a)에 의해 파지하여 용기(5)를 수취한다. 그 후, 대차용 제어부는, 하강 위치로부터 상승 위치로 파지부(4)를 상승시킬 수 있도록, 파지부(4)의 승강 작동을 제어한 후, 반송선의 스테이션(7)에 대응하는 정지 위치로 이동차(3)를 이동시키기 위해, 이동차(3)의 이동을 제어한다.
대차용 제어부는, 반송선의 스테이션(7)에 대응하는 정지 위치에 이동차(3)가 정지하면, 반송원의 스테이션(7)으로부터 용기(5)를 수취하는 경우와 마찬가지로, 파지부(4)의 승강 작동이나 파지 동작용 모터(27)의 작동을 제어함으로써, 반송선의 스테이션(7)에 용기(5)를 언로드하도록 구성되어 있다.
또한, 관리용 컴퓨터로부터, 복수 개의 물품 지지체(28) 중 이송탑재 대상의 물품 지지체(28)가 특정된 상태에서 물품 지지체(28)에 용기(5)를 보관하는 보관 지령이 지령된 경우에 대하여 설명한다.
대차용 제어부가, 먼저, 이송탑재 대상의 물품 지지체(28)에 대응하는 물품 이송탑재 개소로 이동차(3)를 이동시키기 위해, 이동차(3)의 이동을 제어한다. 다음에, 대차용 제어부는, 이송탑재 대상의 물품 지지체(28)에 대응하는 물품 이송탑재 개소에 이동차(3)를 정지시킨 상태에서, 조작 수단(50)을 돌출 작동시킨다. 조작 수단(50)이 돌출 작동을 행함으로써, 물품 지지체(28)를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 위치 변경시킨다. 대차용 제어부는, 상승 위치로부터 거기에 근접하는 위치에 파지부(4)를 하강시킬 수 있도록, 파지부(4)의 승강 작동을 제어한 후, 파지 동작용 모터(27)를 작동시켜 한쌍의 파지구(4a)를 해제 자세로 전환하고, 파지부(4)로부터 물품 교환용 위치에 위치하는 물품 지지체(28)에 용기(5)를 언로드한다. 그 후, 대차용 제어부는, 파지부(4)를 상승 위치까지 상승시킬 수 있도록, 파지부(4)의 승강 작동을 제어한 후, 조작 수단(50)을 퇴피 작동시킨다. 그리고, 조작 수단(50)이 퇴피 작동을 행함으로써, 물품 지지체(28)를 돌출 위치로부터 퇴피 위치로 위치 변경시킨다.
관리용 컴퓨터로부터, 복수 개의 물품 지지체(28) 중 이송탑재 대상의 물품 지지체(28)가 특정된 상태에서 물품 지지체(28)에 의해 보관하고 있는 용기(5)를 인출하는 인출 지령이 지령된 경우에 대하여 설명한다.
대차용 제어부는, 보관 지령이 지령된 경우와 마찬가지로, 이동차(3)의 이동을 제어함으로써, 이송탑재 대상의 물품 지지체(28)에 대응하는 물품 이송탑재 개소에 이동차(3)를 정지시킨다. 그리고, 대차용 제어부는, 조작 수단(50)을 돌출 작동시킴으로써, 물품 지지체(28)를 물품 보관용 위치로부터 물품 교환용 위치로 위치 변경시킨다. 그 후, 대차용 제어부는, 상승 위치로부터 거기에 근접하는 위치에 파지부(4)를 하강시킬 수 있도록, 파지부(4)의 승강 작동을 제어한 후, 파지 동작용 모터(27)를 작동시켜 한쌍의 파지구(4a)를 파지 자세로 전환하고, 물품 지지체(28)로부터 파지부(4)에 용기(5)를 수취한다. 그리고, 대차용 제어부는, 상승 위치까지 파지부(4)를 상승시킬 수 있도록, 파지부(4)의 승강 작동을 제어한 후, 조작 수단(50)을 퇴피 작동시킨다. 조작 수단(50)이 퇴피 작동을 행함으로써, 물품 지지체(28)를 돌출 위치로부터 퇴피 위치로 위치 변경시킨다.
〔다른 실시예〕
(1) 상기 실시예에서는, 물품 지지체(28)가, 돌출 위치에 있어서, 상승 위치로 근접하는 위치에 위치하는 파지부(4)와의 사이에서 용기(5)를 주고받도록 설치되어 있지만, 예를 들면, 돌출 위치에 있어서, 상승 위치에 위치하는 파지부(4)와의 사이에서 용기(5)를 주고받도록 물품 지지체(28)를 설치할 수도 있다.
또한, 돌출 위치에 있어서, 물품 지지체(28)가 파지부(4)와의 사이에서 용기(5)를 주고받는 위치에 대해서는, 상승 위치로 근접하는 위치 또는 상승 위치에 한정되지 않고, 상승 위치보다 설정 높이만큼 하강한 위치라도 된다. 이 경우에는, 물품 지지체(28)를 돌출 위치에 위치시킨 상태에서, 파지부(4)를 상승 위치로부터 설정 높이만큼 하강시킴으로써, 물품 지지체(28)와 파지부(4) 사이에서의 용기(5)의 교환을 행할 수 있게 된다.
(2) 상기 실시예에서는, 물품 지지체(28)를 안내 레일(2)을 따라 배열된 상태로 복수 개 설치하고 있지만, 물품 지지체(28)를 설치하는 수에 대해서는 적절히 변경할 수 있다. 또한, 물품 지지체(28)의 설치 위치에 대해서도, 안내 레일(2)을 대하여 좌우 양측에 설치하고 있지만, 안내 레일(2)의 한쪽에만 설치할 수도 있다.
(3) 상기 실시예에서는, 이동차(3)에, 이동차(3)의 주행 방향에 있어서 우측에 위치하는 물품 지지체(28)를 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)과, 이동차(3)의 주행 방향에 있어서 좌측에 위치하는 물품 지지체(28)를 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)과의 2개의 조작 수단(50)을 설치하고 있지만, 예를 들면, 조작 수단(50)이, 이동차(3)의 주행 방향에 대하여 우측 및 좌측의 양측에 걸어맞춤 롤러를 출퇴 가능하게 구비함으로써, 이동차(3)에 1개의 조작 수단을 설치하여 실시할 수도 있다.
(4) 상기 실시예에서는, 물품으로서 반도체 기판을 수납한 용기(5)를 반송하는 물품 반송 설비를 예시했지만, 반송하는 물품은 적절히 변경할 수 있다.
[산업상의 이용 가능성]
본 발명은, 물품 지지체에 대한 물품 이송탑재 개소를 경유하는 천정 측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 물품 반송체가 설치되어 있는 물품 반송 설비에 바람직하게 이용할 수 있다.

Claims (6)

  1. 물품 지지체에 대한 물품 이송탑재 개소를 경유하는 천정 측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 물품 반송체(搬送體)가 설치되고,
    상기 물품 지지체는, 상기 천정 측에 설치된 고정 프레임체에 대하여 상기 이동 경로에 근접하는 측으로 돌출되는 물품 교환용의 돌출 위치와 상기 이동 경로로부터 이격되는 측으로 퇴피하는 퇴피 위치로 이동 가능하게 지지되고,
    상기 물품 반송체는, 상기 물품 이송탑재 개소에 정지한 상태에서, 상기 돌출 위치의 상기 물품 지지체에 대하여 물품의 받아건넴 및 수취를 행하도록 구성되어 있는 물품 반송 설비로서,
    상기 물품 지지체는, 상기 고정 프레임체에 대하여 상기 이동 경로에 대한 원근 방향으로 이동 가능하게 지지되고 또한 상기 고정 프레임체로부터 아래쪽으로 연장되는 형상으로 형성된 이동체(移動體)와, 상기 이동체의 하단부로부터 상기 원근 방향을 따라 연장되도록 설치된 탑재체를 구비하고,
    상기 탑재체는, 상기 이동 경로를 따르는 방향인 전후 방향에 있어서 물품의 폭 내의 협폭(狹幅)으로 상기 이동체의 하단부로부터 상기 원근 방향을 따라 연장되도록 설치된 접촉 탑재부와, 상기 접촉 탑재부로부터 상기 전후 방향으로 연장되도록 설치되어 물품의 측면부와 맞닿는 입벽(立壁) 부분을 구비하고 또한 상기 원근 방향에 있어서 물품보다 협폭으로 형성된 이동 규제부로 구성되어 있고,
    상기 이동 규제부로서, 상기 접촉 탑재부에 탑재된 물품의 상기 원근 방향의 중앙부에 상당하는 위치에 있어서, 상기 접촉 탑재부로부터 상기 전후 방향의 일단측으로 연장되는 제1 이동 규제부와, 상기 접촉 탑재부로부터 상기 전후 방향의 타단측으로 연장되는 제2 이동 규제부가 설치되어 있고,
    상기 고정 프레임체는, 상기 퇴피 위치에 있는 상기 물품 지지체와 상기 전후 방향 및 상기 원근 방향에서 중복되도록 설치되어 있고, 또한 상기 전후 방향에서 상기 접촉 탑재부보다도 협폭으로 형성되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 물품 지지체는, 상기 전후 방향에 있어서 인접하는 상태로 복수 개 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 접촉 탑재부는, 상기 원근 방향에 있어서 물품보다 협폭으로 형성되고,
    상기 접촉 탑재부로부터 상기 원근 방향으로 연장되도록 설치되어 물품의 측면부와 맞닿는 입벽(立壁) 부분을 구비하고 또한 상기 전후 방향에 있어서 상기 접촉 탑재부보다 협폭으로 형성된 원근 방향 이동 규제부가 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 접촉 탑재부에는, 복수 개의 구멍부가 형성되어 있는, 물품 반송 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 원근 방향으로 간격을 둔 한쌍의 고정 프레임체 지지용의 지지 레일체가 상기 이동 경로를 따르도록 상기 천정 측에 설치되고,
    상기 고정 프레임체는, 상기 한쌍의 지지 레일체의 각각에서의 캐치(catch) 지지부에 의해 캐치 지지된 상태로 상기 한쌍의 지지 레일체에 매달려 지지되어 있는, 물품 반송 설비.
  6. 삭제
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5440871B2 (ja) * 2010-08-20 2014-03-12 株式会社ダイフク 容器保管設備
JP5590420B2 (ja) * 2011-12-21 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR101418812B1 (ko) * 2012-10-31 2014-07-16 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치
KR101501257B1 (ko) * 2013-09-30 2015-03-11 크린팩토메이션 주식회사 퍼지 기능을 갖는 이동형 웨이퍼 보관 장치 및 퍼지형 웨이퍼 보관 시스템
CN104444190B (zh) * 2014-09-28 2017-02-01 安徽康佳电子有限公司 一种可升降支架自动升降装置
JP6327124B2 (ja) * 2014-11-12 2018-05-23 株式会社ダイフク 物品搬送車
EP3034414B1 (de) * 2014-12-19 2017-02-22 UHLMANN PAC-SYSTEME GmbH & Co. KG Verfahren zum Übertragen von Packgut in Behältnisse und zum Weitertransport der befüllten Behältnisse
EP3034415B1 (de) * 2014-12-19 2017-03-22 UHLMANN PAC-SYSTEME GmbH & Co. KG Verfahren zum Übertragen von Packgut in Behältnisse und zum Weitertransport der befüllten Behältnisse
EP3862297A4 (en) * 2018-11-06 2022-07-13 Murata Machinery, Ltd. AIR TRANSPORT VEHICLE
US11295973B2 (en) * 2020-02-11 2022-04-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Apparatus and method for automated wafer carrier handling
CN113830469B (zh) * 2020-06-24 2022-05-17 长鑫存储技术有限公司 活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车
KR20230023301A (ko) * 2021-08-10 2023-02-17 삼성전자주식회사 선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030019871A (ko) * 2001-08-31 2003-03-07 가부시키가이샤 다이후쿠 화물보관설비
KR20070026031A (ko) * 2005-08-30 2007-03-08 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0235488B1 (fr) 1986-09-19 1990-01-24 REDOUTE CATALOGUE Société Anonyme: Installation de manutention robotisée
US4762353A (en) * 1987-03-09 1988-08-09 Dexon, Inc. Flexible carrier for semiconductor wafer cassettes
DE3714638A1 (de) 1987-05-02 1988-12-01 Megamat Gmbh & Co Entlade- und ggf. beladevorrichtung
US4971508A (en) 1987-06-29 1990-11-20 Tsubakimoto Chain Co. Storage and conveyance of heavy articles
JPH0936196A (ja) * 1995-07-17 1997-02-07 Mitsubishi Electric Corp クリーンルーム内の製品搬送機構
JP3436334B2 (ja) * 1996-08-06 2003-08-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
TW348162B (en) * 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
US5927472A (en) * 1997-10-15 1999-07-27 Eisenmann Corporation Conveyor transfer unit
US6481558B1 (en) * 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
US20020025244A1 (en) * 2000-04-12 2002-02-28 Kim Ki-Sang Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
JP3829633B2 (ja) * 2001-02-22 2006-10-04 株式会社ダイフク 荷保管設備
WO2003017344A1 (fr) * 2001-08-20 2003-02-27 Nikon Corporation Procede de remplacement de masque et dispositif d'exposition
JP3832292B2 (ja) * 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
US6726429B2 (en) * 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
US7810645B2 (en) * 2002-07-03 2010-10-12 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Paddle for securely mounting a wafer cassette holder thereto
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
US7409263B2 (en) * 2004-07-14 2008-08-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
JP4915051B2 (ja) * 2005-03-28 2012-04-11 ムラテックオートメーション株式会社 自動搬送システム
DE102006039697B4 (de) * 2006-08-21 2010-07-29 SSI Schäfer Noell GmbH Lager- und Systemtechnik Vorrichtung und Verfahren zum Entladen von mit Palettenlagen beladenen Tablaren
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
JP4543338B2 (ja) * 2007-11-13 2010-09-15 村田機械株式会社 天井走行車システムとそのバッファの施工方法
US7984543B2 (en) * 2008-01-25 2011-07-26 Applied Materials, Inc. Methods for moving a substrate carrier

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030019871A (ko) * 2001-08-31 2003-03-07 가부시키가이샤 다이후쿠 화물보관설비
KR20070026031A (ko) * 2005-08-30 2007-03-08 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비

Also Published As

Publication number Publication date
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US9011068B2 (en) 2015-04-21
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JP2009253162A (ja) 2009-10-29
TW200942469A (en) 2009-10-16

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